KR970008393A

KR970008393A - 반도체 웨이퍼 제조방법, 그 방법에 사용되는 연삭방법 및 이에 사용되는 장치

Info

Publication number: KR970008393A
Application number: KR1019960030028A
Authority: KR
Inventors: 후미히꼬 하세가와; 마꼬도 고바야시; 다메요시 히라노
Original assignee: 이가라시 수구루; 신에쯔 한도타이 콤파니 리미티드; 가이데 히사오; 도요 에이테크 가부시끼가이샤
Priority date: 1995-07-28
Filing date: 1996-07-24
Publication date: 1997-02-24
Also published as: TW328921B; KR100227924B1; MY132393A; EP0755751A1; US5700179A

Abstract

본 발명은 얇은 원반상으로 절단하고 필요에 따라 모깍기한 웨이퍼를, 베어링에 의해 양단이 지지된 한쌍의 원통상 회전 연삭롤 사이에 삽통시켜 양면 동시 연삭으로 평탄화한 후, 그 평탄화한 웨이퍼를 일면 또는 양면 동시 연마하여 연마 웨이퍼를 제조함을 특징으로 하며, 이에 의해 종래에 행해지던 래핑 공정과 에칭공정을 생략하여 가공공정의 단축을 도모함과 동시에, 상기 연삭은 양면 동시 연삭이기 때문에 종래의 웨이퍼 보지를 위해 웨이퍼 진공흡착에 기인하는 절단마크의 전사나 왁스 마운트 방식과 같이 작업이 번잡함이 없이, 또는 배치식 연삭이 아닌 연속식 연삭을 행하는 것이 가능하며, 그 결과 가공마진의 변동이 생기지 않고 고정밀도의 평탄도와 안정된 두께를 갖는 연삭을 가능하게 한다.

Description

반도체 웨이퍼 제조방법, 그 방법에 사용되는 연삭방법 및 이에 사용되는 장치

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 본 발명의 제1실시예에 관한 원통상 회전률을 갖는 웨이퍼 양면연삭장치를 도시한 정면도.

Claims

얇은 원반상으로 절단하고, 필요에 따라 모깍기(chamfered)한 웨이퍼를, 베어링에 의해 양단이 지지된 1쌍의 원통상 회전 연삭롤 사이에 삽통시켜 양면동시 연마에 의해 평탄화한 후, 그 평탄화된 웨이퍼를 일면 또는 양면 동시 연마하여 연마웨이퍼를 제조함을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 제조방법.
얇은 원반상으로 절단하고, 필요에 따라 모깍기한 웨이퍼를, 베어링에 의해 양단이 지지된 한쌍의 원통상회전 연삭롤 사이를 삽통시켜 양면 동시 연삭에 의해 웨이퍼를 평탄화하고, 상기 한쌍의 원통상 회전연삭롤 각각의 배면측에 그 원통상 회전연삭롤의 전체 길이에 걸쳐 접촉하는 강성(剛性)롤을 배치하고, 그 강성롤의 접촉압에 의해 웨이퍼 연삭시에 생기는 원통상 회전연삭롤의 휨을 특징으로 하는 웨이퍼 연삭방법.
제2항에 있어서, 상기 웨이퍼의 연삭방향을 웨이퍼의 이송방향과 같은 방향으로 설치하여 포워드 피드연삭(forward feed grinding)을 행함을 특징으로 하는 방법.
제2항에 있어서, 상기 원통형 회전연삭롤의 배면측에 배치된 강성롤러는 상기 원통형 회전연삭롤의 주속(周速)에 대하여 주속차이를 부여하여 회전함으로서 상기 원통상 회전연삭롤의 연삭면 재생을 행함을 특징으로 하는 방법.
제2항에 있어서, 상기 회전 연삭롤 사이의 간격보다 작은 두께를 갖는 벨트상 운반체에 상기 웨이퍼를 감합지지시킨 상태에서 운반체를 통해 상기 한쌍의 원통상 회전 연삭롤에 상기 웨이퍼를 삽통시켜 양면 동시연삭을 행함을 특징으로 하는 방법.
얇은 원반상으로 절단하고 필요에 따라 모깍기를 한 웨이퍼를 베어링에 의해 양단이 지지된 한쌍의 원통상 회전 연삭롤 사이에 삽통시켜 양면동시 연삭으로 웨이퍼를 평탄화함과 동시에, 상기 한쌍의 원통상 회전연삭롤 가운데 하나의 연삭롤을 고정하고, 나머지 다른 연삭롤을 그 하나의 연삭롤측에 향하여 이접(離接)하는 방향으로 가동가능하게 구성하고, 또한 상기 웨이퍼의 연삭방향을 웨이퍼의 이송방향과 반대방향으로 설정하여, 어겐스트 피드 연삭(against-feed grinding)을 행함을 특징으로 하는 웨이퍼 연삭방법.
제6항에 있어서, 상기 가동가능한 다른 회전역삭롤을 상기 고정된 하나의 연삭롤 주변면에 당접시킴과 동시에, 상기 다른 회전연삭롤 축선방향으로 이동시킴으로서 양회전 연삭롤의 연삭면 재생율 비연삭시에 적절한 타이밍에서 행함을 특징으로 하는 방법.
제6항에 있어서, 상기 회전연삭롤 사이의 간격보다 적은 두께를 갖는 벨트상 운반체에 웨이퍼를 감합지지시킨 상태에서, 운반체를 통해 상기 한쌍의 원통상 회전 연삭롤 사이에 웨이퍼를 삽통시켜 양면동시 연삭율 행함을 특징으로 하는 방법.
얇은 원반상으로 절단하고 필요에 따라 모깍기를 한 웨이퍼를, 베어링에 의해 양단이 지지된 한쌍의 원통상 회전 연삭롤에 삽통시켜 양면 동시 연삭으로 웨이퍼를 평탄화하는 웨이퍼 양면 동시 연삭 장치로 되며, 상기 한쌍의 원통상 회전 연삭롤 각각의 배면에 그 원통상 회전연삭롤 전 길이에 걸쳐 접촉하는 강성(剛性)롤을 배치시킨 것을 특징으로 하는 웨이퍼 연삭장치.
제9항에 있어서, 상기 원통상 회전연삭롤의 회전방향을 웨이퍼의 이송방향과 같은 방향으로 설정한 것을 특징으로 하는 장치.
제9항에 있어서, 상기 한쌍의 원통상 회전연삭롤과 그 배면에 배치된 상기 강성롤은 동일 연직면내에 수평으로 설해진 것을 특징으로 하는 장치.
제9항에 있어서, 상기 원통상 회전연삭롤의 배면에 배치된 강성롤은 상기 원통상 회전연삭롤의 주속(周速)에 대하여 주속차이를 갖고 회전가능하게 구성한 것을 특징으로 하는 장치.
제9항에 있어서, 상기 회전연삭롤 사이의 간격보다 적은 두께를 갖는 웨이퍼를 감합지지시키는 벨트상 운반체와, 상기 한쌍의 원통상 회전 연삭롤을 끼로 그 상류측과 하류측에 각각 배치되며, 상기 운반체를 회전 연삭롤축선과 직교하는 방향으로만 이동가능하게 위치 규제되는 운반체 가이드를 구비한 것을 특징으로 하는 장치.
얇은 원반상으로 절단하고 필요에 따라 모깍기를 한 웨이퍼를, 베어링에 의해 양단이 지지된 한쌍의 원통상 회전 연삭롤 사이에 삽통시켜 양면 동시 연마로 웨이퍼를 평탄화하는 웨이퍼 양면 동시 연삭장치로 되며, 상기 한쌍의 원통상 회전연삭롤 가운데 하나의 회전 연삭롤을 고정하고 다른 회전연삭롤을 그 하나의 회전연삭롤측에 향하여 이접(離接)하는 방향으로 가동가능하게 구성함과 동시에, 상기 회전연삭롤의 회전방향을 웨이퍼 이송방향과 반대방향으로 설정한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 연삭장치.
제14항에 있어서, 상기 다른 회전 연삭롤을, 상기 하나의 회전연삭롤측에 향여 이접하는 방향으로 가동가능하게 구성함과 동시에, 그 가동기구를 포함하여 상기 다른 회전 연삭롤을 연삭롤 축선방향으로 이동가능하게 구성한 이동수단을 탑재시킨 것을 특징으로 하는 장치.
제14항에 있어서, 상기 회전연삭롤 사이의 간격보다 적은 두께를 갖고, 웨이퍼를 감합지지시키는 벨트상 운반체와, 상기 한쌍의 회전연삭롤을 끼고 그 상류측과 하류측에 각각 배치되며 상기 운반체를 상기 회전 연삭룰 축선과 직교하는 방향으로만 이동가능하게 위치규제시키는 운반체 가이드를 구비한 것을 특징으로 하는 장치.
제14항에 있어서, 나아가 상기 한쌍의 원통상 회전연삭롤 사이의 간격을 설정하는 간격 설정수단을 최소 하나의 회전연삭롤의 가동부측에 설한 것을 특징으로 하는 장치.

※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.