CN111113241B - 一种抛光机 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种抛光机，包括若干抛光盘和驱动结构，且所述抛光盘的数量至少为3个，其中，所述若干抛光盘沿轴向方向依次排布，且所述驱动机构驱动相邻的所述抛光盘以相反的方向旋转。本发明所提供的抛光机包括有至少三个抛光盘，采用这种结构可以实现利用多个抛光盘对多个硅片同时进行双面抛光，使硅片的抛光效率得到了很大的提高，其有利于适应于快节奏的生产模式，提高企业的生产效率和经济效益。

Description

一种抛光机

技术领域

本发明属于半导体加工技术领域，具体涉及一种抛光机。

背景技术

单晶硅也称硅单晶，是电子信息材料中最基础性的材料，属于半导体材料类。单晶硅主要用于制备半导体集成电路、二极管、外延片衬底、太阳能电池等。

硅片在生产过程中，切片、研磨等加工过程会使得硅片表面形成损伤层，从而形成一定的粗糙度。硅片抛光是硅片生产过程中最终的加工工序，通常利用机械或化学方法提高硅片表面的平整度。一般硅片在抛光前的粗糙度约为10-20微米，而在抛光后的粗糙度仅为几十纳米，因此抛光对硅片的质量起到至关重要的作用。

当前，企业在对硅片进行抛光加工时所采用的抛光机一次只能进行一片硅片的双面抛光，这种抛光方式的抛光效率较低，不适合当今快节奏的生产模式，尤其是大批量快速生产，限制了企业的生产效率，存在不足。

发明内容

为了解决现有技术中存在的上述问题，本发明提供了一种抛光机。本发明要解决的技术问题通过以下技术方案实现：

一种抛光机，包括若干抛光盘和驱动结构，且所述抛光盘的数量至少为3个，其中，

所述若干抛光盘沿轴向方向依次排布，且所述驱动机构驱动相邻的所述抛光盘以相反的方向旋转。

在本发明的一个实施例中，所述驱动机构包括与所述抛光盘个数对应数量的驱动装置，其中，每个所述抛光盘由对应的驱动装置独立驱动。

在本发明的一个实施例中，所述驱动装置通过带传动装置与所述抛光盘的传动轴相连接。

在本发明的一个实施例中，还包括若干高度调节装置，所述高度调节装置与对应的所述抛光盘连接，用于驱动所述抛光盘沿竖向移动并固定在指定高度处。

在本发明的一个实施例中，所述若干抛光盘包括位于第一区域的至少1个第一抛光盘，且在所述第一抛光盘的数量为2个以上时，所述第一抛光盘的传动轴具有中空结构，且相邻的2个所述第一抛光盘的传动轴依次套设。

在本发明的一个实施例中，在所述第一抛光盘的数量为2个以上时，所述抛光机还包括第一进液管道、若干第一喷射头，所述第一进液管道置于所有与所述第一抛光盘连接的传动轴中位于最内侧的传动轴的中空结构中，且所述最内侧的传动轴带动所述第一进液管道共同旋转，所述第一进液管道连通于所述第一喷射头，所述第一喷射头连通至所述第一抛光盘上，并通过所述第一喷射头向所述第一抛光盘的抛光垫输送抛光液。

在本发明的一个实施例中，还包括第一抛光液箱、第一管道和第一喷头，所述第一抛光液箱连接所述第一管道的一端，所述第一管道的另一端连接所述第一喷头的一端，所述第一喷头的另一端对应所述第一进液管道的进液端。

在本发明的一个实施例中，所述若干抛光盘包括位于第二区域的至少1个第二抛光盘，且在所述第二抛光盘的数量为2个以上时，所述第二抛光盘的传动轴具有中空结构，且相邻的2个所述第二抛光盘的传动轴依次套设。

在本发明的一个实施例中，在所述第二抛光盘的数量为2个以上时，所述抛光机还包括第二进液管道、若干第二喷射头，所述第二进液管道置于所有与所述第二抛光盘连接的传动轴中位于最内侧的传动轴的中空结构中，且所述最内侧的传动轴带动所述第二进液管道共同旋转，所述第二进液管道连通于所述第二喷射头，所述第二喷射头连通至所述第二抛光盘上，并通过所述第二喷射头向所述第二抛光盘的抛光垫输送抛光液。

在本发明的一个实施例中，还包括第二抛光液箱、第二管道和第二喷头，所述第二抛光液箱连接所述第二管道的一端，所述第二管道的另一端连接所述第二喷头的一端，所述第二喷头的另一端对应所述第二进液管道的进液端。

本发明的有益效果：

本发明所提供的抛光机包括有至少三个抛光盘，采用这种结构可以实现利用多个抛光盘对多个硅片同时进行双面抛光，使硅片的抛光效率得到了很大的提高，其有利于适应于快节奏的生产模式，提高企业的生产效率和经济效益。

以下将结合附图及实施例对本发明做进一步详细说明。

附图说明

图1是本发明实施例提供的一种抛光机的结构示意图；

图2是本发明实施例提供的一种抛光机的局部示意图；

图3是本发明实施例提供的另一种抛光机的结构示意图。

附图标记说明：

第一抛光盘-10；传动轴-11；带轮-12；传动带-13；主动带轮-14；电机-15；第一进液管道-16；第一喷射头-17；抛光垫-18；第一清洗喷嘴-19；第一套筒-20；第一抛光液箱-21；第一管道-22；第一喷头-23；第二抛光盘-24；第二进液管道-25；第二喷射头-26；第二套筒-27；第二抛光液箱-28；第二管道-29；第二喷头-30；第一上喷射部-171；第一下喷射部-172；第二上喷射部-261；第二下喷射部-262。

具体实施方式

下面结合具体实施例对本发明做进一步详细的描述，但本发明的实施方式不限于此。

实施例一

本实施例提供一种抛光机，本实施例所提供的抛光机包括若干抛光盘和驱动结构，且抛光盘的数量至少为3个，其中，若干抛光盘沿轴向方向依次排布，且驱动机构驱动相邻的抛光盘以相反的方向旋转。本实施例所提供的抛光机可以用于对硅片进行抛光，也可以用于对于其它需要抛光的产品进行抛光，本实施例对此不做具体限定。

具体地，本实施例的抛光盘在轴向方向上进行分布，同时本实施例的抛光盘的数量设置为至少3个，因此两个相邻抛光盘之间便可以放置硅片，又因为相邻两个抛光盘之间可以以互逆的方向进行旋转，因此当驱动机构驱动相邻的两个抛光盘之间以互逆的方向进行旋转时，便可以同时对处于这两个相邻抛光盘之间的硅片进行抛光，因此本实施例的抛光机可以实现同时对多个硅片进行双面抛光，进而提高了硅片的抛光效率，需要说明的是，本实施例不对抛光盘的数量做具体限定，例如抛光盘的数量可以为3个、4个、5个或者更多个，本领域技术人员可以根据实际需求设置不同的抛光盘数量。与此同时，本实施例抛光机的驱动机构可以同时驱动所有抛光盘进行旋转，也可以选择部分抛光盘进行旋转，本实施例对此不做具体限定。

在一个具体实施例中，驱动机构包括与抛光盘个数对应数量的驱动装置，其中，每个抛光盘由对应的驱动装置独立驱动。

也就是说，本实施例为了便于对每个抛光盘进行驱动，因此使得每个抛光盘由独立的驱动装置进行驱动，即每个抛光盘对应连接一驱动装置，该驱动装置可以根据抛光盘需求旋转的方向驱动抛光盘进行旋转。本实施例的各个抛光盘可以以相同速度进行旋转或以不同速度进行旋转，可以根据具体需求进行选择设置。

优选地，驱动装置包括电机。

进一步地，驱动装置通过带传动装置与抛光盘的传动轴相连接。

在本实施例中，带传动装置例如可以包括主动带轮、传动带、带轮，驱动装置、主动带轮、传动带、带轮和抛光盘的传动轴依次相连，则电机带动主动带轮通过传动带带动带轮旋转，带轮便可以带动对应的抛光盘的传动轴进行旋转，则该传动轴便可以带动与其相连的抛光盘实现旋转，最终可以带动设置于该抛光盘的抛光垫沿顺时针或逆时针实现旋转。

在一个具体实施例中，本实施例的抛光机还包括若干高度调节装置，高度调节装置与对应的抛光盘连接，用于驱动抛光盘沿竖向移动并固定在指定高度处。

具体地，为了便于对抛光盘沿竖向的移动，本实施例通过高度调节装置调节抛光盘沿竖向移动，本实施例设置高度调节装置的目的是能够调节相邻两个抛光盘之间的距离，因此本实施例可以使得每个抛光盘均对应连接一高度调节装置，也可以每隔一个抛光盘连接一个高度调节装置，也可以为其它的连接方式，本实施例对此不做具体限定，只要本实施例的抛光机满足能够调整相邻两个抛光盘之间的距离即可。另外为了便于实现，在高度调节装置驱动对应的抛光盘沿竖向移动时，同时可以利用该抛光盘对应的驱动装置和带传动装置同步移动，从而实现该抛光盘的竖向移动。

优选地，本实施例的高度调节装置例如可以为液压机构或者气缸等。

在一个具体实施例中，所有抛光盘包括位于第一区域的至少1个第一抛光盘，在第一抛光盘的数量为2个以上时，第一抛光盘的传动轴具有中空结构，且相邻的2个第一抛光盘的传动轴依次套设。

在本实施例中，第一区域为所有抛光盘设置在与其连接的传动轴下侧的区域，处于第一区域的抛光盘即为第一抛光盘，且在第一区域至少设置了1个第一抛光盘，当第一区域仅设置了一个第一抛光盘时，则对应的在该第一抛光盘下方应沿轴向方向至少设置2个抛光盘，以满足本实施例抛光机的使用需求。当第一区域的第一抛光盘的数量为2个以上时，则会将每个第一抛光盘对应连接的传动轴设置成具有中空结构，为了节省安装空间，沿轴向方向排布的第一抛光盘的传动轴依次套设。另外，当第一区域中仅设置有2个第一抛光盘时，那么在第一区域的下方应对应至少设置1个抛光盘。

例如，请参见图1和图2，本实施例的抛光机包括3个抛光盘，其中包括2个第一抛光盘10，且每个第一抛光盘10对应连接一传动轴11，每个传动轴11通过带轮12、传动带13和主动带轮14连接至电机15，且处于上端的第一抛光盘10对应连接的传动轴11套设在处于下端的第一抛光盘10对应连接的传动轴11上。

又例如，请参见图3，本实施例的抛光机包括4个抛光盘，其中包括2个第一抛光盘10，且每个第一抛光盘10对应连接一传动轴11，每个传动轴11通过带轮12、传动带13和主动带轮14连接至电机15，且处于上端的第一抛光盘10对应连接的传动轴11套设在处于下端的第一抛光盘10对应连接的传动轴11上。

在一个具体实施例中，在第一抛光盘的数量为2个以上时，本实施例的抛光机还包括第一进液管道、若干第一喷射头，第一进液管道置于所有与第一抛光盘连接的传动轴中位于最内侧的传动轴的中空结构中，且该最内侧的传动轴带动第一进液管道共同旋转，第一进液管道连通于第一喷射头，第一喷射头连通至第一抛光盘上，并通过第一喷射头向第一抛光盘的抛光垫输送抛光液。

也就是说，当第一抛光盘的数量为2个以上时，本实施例为了向每个第一抛光盘均能够提供抛光液，因此在抛光机上还设置了能够向第一抛光盘提供抛光液的第一进液管道和若干第一喷射头。本实施例将用于输送抛光液的第一进液管道内置于所有与第一抛光盘连接的传动轴中位于最内侧的传动轴的中空结构中，并且第一进液管道可以随着与其最邻近的传动轴一起转动，例如，可以将第一进液管道和与其最邻近的传动轴在某一处固定连接起来，则可以在该传动轴旋转的同时带动该第一进液管道共同旋转，同时第一喷射头也可以随之一起旋转，在抛光液经第一进液管道流向至第一喷射头时，便可以在旋转力的作用下，通过第一喷射头将抛光液均匀地输送至对应的第一抛光盘的抛光垫上，这种结构极大的节省了空间，同时能够保证抛光液的均匀输送。需要说明的是，因除了最上端的第一抛光盘之外的其余第一抛光盘的上下两个端面均可以安装抛光垫，因此本实施例的第一喷射头可以同时向安装于第一抛光盘上下两个端面的抛光垫同时输送抛光液，本实施例的每个第一抛光盘可以均对应连通一第一喷射头，另外因为在实际使用时，当相邻的两个第一抛光盘对硅片进行抛光时，只要其中一个第一抛光盘对应的第一喷射头能够向该硅片提供抛光液，便可以实现对该硅片的抛光，因此也可以每隔一个第一抛光盘连通一个第一喷射头，当然还可以为其它形式，本实施例对此不做具体限定，只要满足向每个需要抛光的硅片均能够提供抛光液即可。另外，本实施例通过第一进液管道输送抛光液，可以避免其腐蚀其它部分，同时若第一进液管道出现腐蚀情况，可以及时更换第一进液管道，以免影响其它部分的正常使用。

进一步地，第一喷射头可以包括第一上喷射部和第一下喷射部，且第一上喷射部和第一下喷射部均与第一进液管道连通，第一上喷射部的第一端对应连通至安装于第一抛光盘上端面的抛光垫上，第一上喷射部的第二端对应连通至第一进液管道，且第一上喷射部的第一端位于第一上喷射部的第二端的上方，第一下喷射部的第一端对应连通至安装于第一抛光盘下端面的抛光垫上，第一下喷射部的第二端连通至第一进液管道，且第一下喷射部的第一端位于第一下喷射部的第二端的下方。

也就是说，第一上喷射部的出液端朝向第一抛光盘上端面的抛光垫，用于向安装于第一抛光盘上端面的抛光垫上输送抛光液，第一下喷射部的出液端朝向第一抛光盘下端面的抛光垫，第一下喷射部用于向安装于第一抛光盘下端面的抛光垫上输送抛光液，因此，本实施例通过旋转力的作用使得抛光液可以同时通过第一上喷射部和第一下喷射部分别向安装于第一抛光盘上下两个端面的抛光垫上喷射抛光液，保证了抛光液的均匀性。另外，在第一进液管道的底端可以设置一第一清洗喷嘴，因抛光液中存在一些杂质等沉淀物，若长时间不对第一进液管道进行清洗，容易造成其腐蚀或损坏，因此可以通过在第一进液管道的排液端安装一第一清洗喷嘴实现定期对其进行清洗的目的，在其不需要清洗时，第一进液管道的排液端则处于封闭状态。

例如，请再次参见图1和图2，第一进液管道16设置在处于第一区域下端的第一抛光盘10对应连接的传动轴11的中空结构中，且处于下端的第一抛光盘10对应连通了一第一喷射头17，则该第一喷射头17便可以将抛光液输送至安装于处于下端的第一抛光盘10上下两个端面的抛光垫18上。该第一喷射头17包括有第一上喷射部171和第一下喷射部172，第一上喷射部171的第一端对应连通至安装于第一抛光盘10上端面的抛光垫18上，第一上喷射部171的第二端对应连通至第一进液管道16，且第一上喷射部171的第一端位于第一上喷射部171的第二端的上方，第一下喷射部172的第一端对应连通至位于第一抛光盘10下端面的抛光垫18上，第一下喷射部172的第二端连通至第一进液管道16，且第一下喷射部172的第一端位于第一下喷射部172的第二端的下方。同时在第一进液管道16的排液端安装一第一清洗喷嘴19。

另外，为了保护最外侧的传动轴，本实施例在该最外侧的传动轴外侧套设了一第一套筒，以免因为外部因素对该最外侧的传动轴造成损坏，影响其正常使用。例如，请参见图1和图2，在与位于第一区域上端的第一抛光盘10连接的传动轴11的外侧安装了一第一套筒20。

在一个具体实施例中，本实施例的抛光机还包括第一抛光液箱、第一管道和第一喷头，第一抛光液箱连接第一管道的一端，第一管道的另一端连接第一喷头的一端，第一喷头的另一端对应第一进液管道的进液端。

也就是说，第一抛光液箱用于向第一进液管道提供带有一定压力的抛光液，第一抛光液箱将抛光液通过第一管道和第一喷头输送至第一进液管道中，从而为待抛光的硅片提供抛光液。

例如，请再次参见图1和图2，该抛光机在第一进液管道16的进液端的上方对应设置了一第一喷头23，且第一抛光液箱21通过第一管道22连接至第一喷头23，则当需要向抛光垫18上提供抛光液时，第一抛光液箱21中储存的抛光液便会依次通过第一管道22和第一喷头23输送至第一进液管道16中，再通过第一进液管道16将抛光液通过第一喷射头17对应的输送至抛光垫18上。

在一个具体实施例中，所有抛光盘包括位于第二区域的至少1个第二抛光盘，在第二抛光盘的数量为2个以上时，第二抛光盘的传动轴具有中空结构，且相邻的2个第二抛光盘的传动轴依次套设。

在本实施例中，第二区域为所有抛光盘设置在与其连接的传动轴上侧的区域，处于第二区域的抛光盘即为第二抛光盘，且在第二区域至少设置了1个第二抛光盘，当第二区域仅设置了1个第二抛光盘时，则对应的在该第二抛光盘上方应沿轴向方向至少设置2个抛光盘，以满足本实施例抛光机的使用需求。当第二区域的第二抛光盘的数量为2个以上时，则会将每个第二抛光盘对应连接的传动轴设置成具有中空结构，为了节省安装空间，沿轴向方向排布的第二抛光盘的传动轴依次套设。另外，当第二区域中设置有2个第二抛光盘时，那么在第二区域的上方应对应至少设置1个抛光盘。

例如，请参见图3，本实施例的抛光机包括3个抛光盘，其中包括2个第二抛光盘24，且每个第二抛光盘24对应连接一传动轴11，每个传动轴11通过带轮12、传动带13和主动带轮14连接至电机15，且处于下端的第二抛光盘24对应连接的传动轴11套设在处于上端的第二抛光盘24对应连接的传动轴11上。

在一个具体实施例中，在第二抛光盘的数量为2个以上时，本实施例的抛光机还包括第二进液管道、若干第二喷射头，第二进液管道置于所有与第二抛光盘连接的传动轴中位于最内侧的传动轴的中空结构中，且该最内侧的传动轴带动第二进液管道共同旋转，第二进液管道连通于第二喷射头，第二喷射头连通至第二抛光盘上，并通过第二喷射头向第二抛光盘的抛光垫输送抛光液。

也就是说，当第二抛光盘的数量为2个以上时，本实施例为了向每个第二抛光盘均能够提供抛光液，因此在抛光机上还设置了能够向第二抛光盘提供抛光液的第二进液管道和若干第二喷射头。本实施例将用于输送抛光液的第二进液管道内置于所有与第二抛光盘连接的传动轴中位于最内侧的传动轴的中空结构中，并且第二进液管道可以随着与其最邻近的传动轴一起转动，例如，可以将第二进液管道和与其最邻近的传动轴在某一处固定连接起来，则可以在该传动轴旋转的同时带动该第二进液管道共同旋转，同时第二喷射头也可以随之一起旋转，在抛光液经第二进液管道流向至第二喷射头时，便可以在旋转力的作用下，通过第二喷射头将抛光液均匀地输送至对应的第二抛光盘的抛光垫上，这种结构极大的节省了空间，同时能够保证抛光液的均匀输送。需要说明的是，因除了最下端的第二抛光盘之外的其余第二抛光盘的上下两个端面均可以安装抛光垫，因此本实施例的第二喷射头可以同时向安装于第二抛光盘上下两个端面的抛光垫同时输送抛光液，本实施例的每个第二抛光盘可以均对应连通一第二喷射头，另外因为在实际使用时，当相邻的两个第二抛光盘对硅片进行抛光时，只要其中一个第二抛光盘对应的第二喷射头能够向该硅片提供抛光液，便可以实现对该硅片的抛光，因此也可以每隔一个第二抛光盘连通一个第二喷射头，当然还可以为其它形式，本实施例对此不做具体限定，只要满足向每个需要抛光的硅片均能够提供抛光液即可。另外，本实施例通过第二进液管道输送抛光液，可以避免其腐蚀其它部分，同时若第二进液管道出现腐蚀情况，可以及时更换第二进液管道，以免影响其它部分的正常使用。

进一步地，第二喷射头可以包括第二上喷射部和第二下喷射部，且第二上喷射部和第二下喷射部均与第二进液管道连通，第二上喷射部的第一端对应连通至安装于第二抛光盘上端面的抛光垫上，第二上喷射部的第二端对应连通至第二进液管道，且第二上喷射部的第一端位于第二上喷射部的第二端的上方，第二下喷射部的第一端对应连通至安装于第二抛光盘下端面的抛光垫上，第二下喷射部的第二端连通至第二进液管道，且第二下喷射部的第一端位于第二下喷射部的第二端的下方。

也就是说，第二上喷射部的出液端朝向第二抛光盘上端面的抛光垫，用于向安装于第二抛光盘上端面的抛光垫上输送抛光液，第二下喷射部的出液端朝向第二抛光盘下端面的抛光垫，第二下喷射部用于向安装于第二抛光盘下端面的抛光垫上输送抛光液，因此，本实施例通过旋转力的作用使得抛光液可以同时通过第二上喷射部和第二下喷射部分别向安装于第二抛光盘上下两个端面的抛光垫上喷射抛光液，保证了抛光液的均匀性。另外，在第二进液管道的底端可以设置一第二清洗喷嘴，因抛光液中存在一些杂质等沉淀物，若长时间不对第二进液管道进行清洗，容易造成其腐蚀或损坏，因此可以通过在第二进液管道的排液端安装一第二清洗喷嘴实现定期对其进行清洗的目的，在其不需要清洗时，第二进液管道的排液端则处于封闭状态。

例如，请再次参见图3，第二进液管道25设置在处于第二区域上端的第二抛光盘24对应连接的传动轴11的中空结构中，且处于上端的第二抛光盘24对应连通了一第二喷射头26，则该第二喷射头26便可以将抛光液输送至安装于处于上端的第二抛光盘24上下两个端面的抛光垫18上。该第二喷射头26包括有第二上喷射部261和第二下喷射部262，第二上喷射部261的第一端对应连通至安装于第二抛光盘24上端面的抛光垫18上，第二上喷射部261的第二端对应连通至第二进液管道25，且第二上喷射部261的第一端位于第二上喷射部261的第二端的上方，第二下喷射部262的第一端对应连通至位于第二抛光盘24下端面的抛光垫18上，第二下喷射部262的第二端连通至第二进液管道25，且第二下喷射部262的第一端位于第二下喷射部262的第二端的下方。

另外，为了保护位于最外侧的传动轴，本实施例在该最外侧的传动轴外侧套设了一第二套筒，以免因为外部因素对该最外侧的传动轴造成损坏，影响其正常使用。例如，请参见图3，在与位于第二区域下端的第二抛光盘24连接的传动轴11的外侧安装了一第二套筒27。

在一个具体实施例中，本实施例的抛光机还包括第二抛光液箱、第二管道和第二喷头，第二抛光液箱连接第二管道的一端，第二管道的另一端连接第二喷头的一端，第二喷头的另一端对应第二进液管道的进液端。

也就是说，第二抛光液箱用于向第二进液管道提供带有一定压力的抛光液，第二抛光液箱将抛光液通过第二管道和第二喷头输送至第二进液管道中，从而为待抛光的硅片提供抛光液。

例如，请再次参见图3，该抛光机在第二进液管道25的进液端的下方对应设置了一第二喷头30，且第二抛光液箱28通过第二管道29连接至第二喷头26，则当需要向抛光垫18上提供抛光液时，第二抛光液箱28中储存的抛光液便会依次通过第二管道29和第二喷头30输送至第二进液管道25中，再通过第二进液管道25将抛光液通过第二喷射头26对应的输送至抛光垫18上。

本发明所提供的抛光机包括有至少三个抛光盘，采用这种结构可以实现利用多个抛光盘对多个硅片同时进行双面抛光，使硅片的抛光效率得到了很大的提高，其有利于适应于快节奏的生产模式，提高企业的生产效率和经济效益。同时本实施例的抛光机还能够对相邻的抛光盘之间的间距进行调整，从而可以适应不同厚度和不同压力需求的待抛光的硅片的需求。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例进行接合和组合。

以上内容是结合具体的优选实施方式对本发明所作的进一步详细说明，不能认定本发明的具体实施只局限于这些说明。对于本发明所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本发明的保护范围。

Claims (6)

1.一种抛光机，其特征在于，包括若干抛光盘和驱动机构，且所述抛光盘的数量至少为3个，其中，

所述若干抛光盘沿轴向方向依次排布，且所述驱动机构驱动相邻的所述抛光盘以相反的方向旋转；

所述若干抛光盘包括位于第一区域的至少1个第一抛光盘，且在所述第一抛光盘的数量为2个以上时，所述第一抛光盘的传动轴具有中空结构，且相邻的2个所述第一抛光盘的传动轴依次套设；

在所述第一抛光盘的数量为2个以上时，所述抛光机还包括第一进液管道、若干第一喷射头，所述第一进液管道置于所有与所述第一抛光盘连接的传动轴中位于最内侧的传动轴的中空结构中，且所述最内侧的传动轴带动所述第一进液管道共同旋转，所述第一进液管道连通于所述第一喷射头，所述第一喷射头连通至所述第一抛光盘上，并通过所述第一喷射头向所述第一抛光盘的抛光垫输送抛光液，其中所述第一进液管道设置在处于第一区域下端的第一抛光盘对应连接的传动轴的中空结构中，且处于下端的第一抛光盘对应连通所述第一喷射头，以将抛光液输送至所述处于下端的第一抛光盘上下两个端面的抛光垫上；

所述若干抛光盘包括位于第二区域的至少1个第二抛光盘，且在所述第二抛光盘的数量为2个以上时，所述第二抛光盘的传动轴具有中空结构，且相邻的2个所述第二抛光盘的传动轴依次套设；

在所述第二抛光盘的数量为2个以上时，所述抛光机还包括第二进液管道、若干第二喷射头，所述第二进液管道置于所有与所述第二抛光盘连接的传动轴中位于最内侧的传动轴的中空结构中，且所述最内侧的传动轴带动所述第二进液管道共同旋转，所述第二进液管道连通于所述第二喷射头，所述第二喷射头连通至所述第二抛光盘上，并通过所述第二喷射头向所述第二抛光盘的抛光垫输送抛光液；其中所述第二进液管道设置在处于第二区域上端的第二抛光盘对应连接的传动轴的中空结构中，且处于上端的第二抛光盘对应连通所述第二喷射头，以将抛光液输送至处于上端的第二抛光盘上下两个端面的抛光垫上。

2.根据权利要求1所述的抛光机，其特征在于，所述驱动机构包括与所述抛光盘个数对应数量的驱动装置，其中，每个所述抛光盘由对应的驱动装置独立驱动。

3.根据权利要求2所述的抛光机，其特征在于，所述驱动装置通过带传动装置与所述抛光盘的传动轴相连接。

4.根据权利要求1所述的抛光机，其特征在于，还包括若干高度调节装置，所述高度调节装置与对应的所述抛光盘连接，用于驱动所述抛光盘沿竖向移动并固定在指定高度处。

5.根据权利要求1所述的抛光机，其特征在于，还包括第一抛光液箱、第一管道和第一喷头，所述第一抛光液箱连接所述第一管道的一端，所述第一管道的另一端连接所述第一喷头的一端，所述第一喷头的另一端对应所述第一进液管道的进液端。

6.根据权利要求1所述的抛光机，其特征在于，还包括第二抛光液箱、第二管道和第二喷头，所述第二抛光液箱连接所述第二管道的一端，所述第二管道的另一端连接所述第二喷头的一端，所述第二喷头的另一端对应所述第二进液管道的进液端。

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