KR970008330A - 회전식 기판도포장치 - Google Patents

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가츠시 요시오카
세이이치로우 오쿠다
츠요시 미츠하시
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이시다 아키라
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Abstract

기판을 회전시킴으로써 그 상면에 도포피막을 형성하는 회전식 기판도포장치에 있어서, 상기 장치는 이하의 요소를 포함한다. 기판을 거의 수평자세로 지지해서 회전 구동한 지지회전부, 상기 지지회전부의 측방 및 하방을 둘러싸고 상부 중앙부근의 개구에서 유입하는 기류를 하방으로 배기하는 배기구를 구비함과 동시에, 상기 기판의 하면으로 향해 개구된 기류 통로를 저부에 구비한 비산방지컵, 상기 비산방지컵의 개구에서 기판의 상면에 대해서 도포액을 공급하는 도포액 공급부, 기류를 소정온도로 조절해서 상기 기류통로에 조절기구로서 공급하는 조절기류 공급부.

Description

회전식 기판도포장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 관한 회전식 기판도포장치의 일예를 나타내는 종단면도.

Claims (19)

  1. 기판을 회전시킴으로써 그 상면에 도포피막을 형성하는 회전식 기판도포장치에 있어서, 기판을 거의 수평 자세로 지지하여 회전구동하는 지지회전수단과, 상기 지지회전수단의 측방 및 하방을 둘러싸고, 상부중앙부근의 개구에서 유입하는 기류를 하방으로 배기하는 배기구를 구비함과 동시에, 상기 기판의 하면을 향해 개구된 기류 통로를 저부에 구비하는 비산방지컵과, 상기 비산방지컵의 개구에서 기판의 상면에 대해서 도포액을 공급하는 도포액 공급수단과, 기류를 소정온도로 조절하여 상기 기류통로에 조절기류로서 공급하는 조절기류공급 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 회전식 기판도포장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 지지회전수단은, 그 회전축의 외주면에 접동하여 회전시 축의 흔들림을 억제하는 베어링을 구비하고, 상기 기류통로는, 상기 회전축을 둘러싸도록 상기 비산방지컵과 상기 베어링의 사이에 형성되어 있음과 동시에, 상기 회전축과 상기 베어링의 접동부를 향해 조절기류를 유출하는 미소개구부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 회전식 기판도포장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 기류통로는, 그 유로 단면적을 가변하는 댐퍼를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 회전식 기판도포장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 유로단면적은, 기판 사이즈 및 상기 지지회전 수단에 의한 기판의 최대회전수에 의거하여 일정하게 설정되는 것을 특징으로 하는 회전식 기판도포장치.
  5. 제3항에 있어서, 상기 유로단면적은, 기판 사이즈 및 상기 기기회전수단에 의한 기판의 회준수에 따라서 가변설정되는 것을 특징으로 하는 회전식 기판도포장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 조절기류 공급수단은, 기류를 소정온도로 조절함과 동시에 소정습도로 조절하여 상기 기류통로에 조절기류로서 공급하는 것을 특징으로 하는 회전식 기판도포장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 조절기류 공급수단은, 기류의 풍량을 소정풍량으로 조절하여 상기 기류통로에 조절기류로서 공급하는 것을 특징으로 하는 회전식 기판도포장치.
  8. 제6항에 있어서, 상기 조절기류 공급수단은, 상기 기류통로에 연통 접속되어 조절기류를 방출하는 방출구와, 기류를 받아들이는 기류 취입구를 가지고, 상기 기류 취입구에서 상기 방출구를 향해 가동부, 가열부, 가습부를 구비하는 것을 특징으로 하는 회전식 기판도포장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 가습부는, 기화식에 의해 가습하는 것을 특징으로 하는 회전식 기판도포장치.
  10. 제8항에 있어서, 상기 가습부는, 기화식에 의해 가습하는 것을 특징으로 하는 회전식 기판도포장치.
  11. 제7항에 있어서, 상기 소정 풍량은, 기판 사이즈 및 상기 지지회전수단에 의한 기판 최대 회전수에 의거하며 일정하게 설정되는 것을 특징으로 하는 회전식 기판도포장치.
  12. 제7항에 있어서, 상기 소정풍량은, 기판사이즈 및 상기 지지회전수단에 의한 기판의 회전수에 따라서 가변설정되는 것을 특징으로 하는 회전식 기판도포장치.
  13. 제1항에 있어서, 상기 조절기류 공급수단은, 기류의 풍량을 소정 풍량으로 조절하여 상기 기류통로에 조절기류로서 공급하는 것을 특징으로 하는 회전식 기판도포장치.
  14. 제13항에 있어서, 상기 소정풍량은, 기판사이즈 및 상기 지지회전수단에 의한 기판의 최대 회전수에 의거하여 일정하게 설정되는 것을 특징으로 하는 회전식 기판도포장치.
  15. 제13항에 있어서, 상기 소정풍량은, 기판사이즈 및 상기 지지회전수단에 의한 기판의 회전수에 따라서 가변설정되는 것을 특징으로 하는 회전식 기판도포장치.
  16. 제1항에 있어서, 상기 기류통로는, 평면에서 볼때 상기 지지회전수단과 상기 기판의 주변테두리부 사이에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 회전식 기판도포장치.
  17. 제16항에 있어서, 상기 기류통로는, 그 유로 단면적으로 가변하는 댐퍼를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 회전식 기판도포장치.
  18. 제17항에 있어서, 상기 유로단면적은, 기판사이즈 및 상기 지지회전수단에 의한 기판의 최대회전수에 의거하여 일정하게 설정되는 것을 특징으로 하는 회전식 기판도포장치.
  19. 제17항에 있어서, 상기 유로단면적은, 기판사이즈 및 상기 지지회전수단에 의한 기판의 회전수에 따라서 가변설정되는 것을 특징으로 하는 회전식 기판도포장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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