JPH04217738A - 風量調整装置 - Google Patents
風量調整装置Info
- Publication number
- JPH04217738A JPH04217738A JP40212490A JP40212490A JPH04217738A JP H04217738 A JPH04217738 A JP H04217738A JP 40212490 A JP40212490 A JP 40212490A JP 40212490 A JP40212490 A JP 40212490A JP H04217738 A JPH04217738 A JP H04217738A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- adjusting device
- air volume
- fan
- volume adjusting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims abstract description 9
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 claims description 6
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 3
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 3
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 210000003746 feather Anatomy 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Air-Flow Control Members (AREA)
- Duct Arrangements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は風量調整装置、特に押込
みファンから吸出しファンに至る送風路に挿入して外気
取入れ量を加減することにより吸出しファンへの送風量
を一定に保つ風量調整装置の構造に関する。
みファンから吸出しファンに至る送風路に挿入して外気
取入れ量を加減することにより吸出しファンへの送風量
を一定に保つ風量調整装置の構造に関する。
【０００２】このような装置は、押込みファンからの送
風量が変動し、且つ吸出しファンからの吐出量が一定で
なければならない場合に必要となる。例えば半導体装置
製造工程で生じる大量の有機排気を排気処理装置に送風
する場合がこれに該当する。即ち、押込みファンからの
送風量は排気を要する半導体装置製造設備の操業度等に
よって変動するが、一方この有機排気処理装置（特に活
性炭流動層吸着装置）では吸出しファンから導入される
排気の風量に過不足があると正常な処理が出来ない。従
ってこのような場合、押込みファンから吸出しファンに
至る送風路内で排気の風量変動を吸収する必要がある。
風量が変動し、且つ吸出しファンからの吐出量が一定で
なければならない場合に必要となる。例えば半導体装置
製造工程で生じる大量の有機排気を排気処理装置に送風
する場合がこれに該当する。即ち、押込みファンからの
送風量は排気を要する半導体装置製造設備の操業度等に
よって変動するが、一方この有機排気処理装置（特に活
性炭流動層吸着装置）では吸出しファンから導入される
排気の風量に過不足があると正常な処理が出来ない。従
ってこのような場合、押込みファンから吸出しファンに
至る送風路内で排気の風量変動を吸収する必要がある。
【０００３】
【従来の技術】従来の装置の一例を図２を参照しながら
説明する。図２は従来の装置の一例を示す概略構成図で
あり、図中、１は押込みファン、２は吸出しファン、２
１はエアダクト、２２はエアダクトの分岐、２３はスラ
イドダンパ、２４はセンサ、２５は逆止ダンパ、Ｍは定
風量を必要とする設備である。
説明する。図２は従来の装置の一例を示す概略構成図で
あり、図中、１は押込みファン、２は吸出しファン、２
１はエアダクト、２２はエアダクトの分岐、２３はスラ
イドダンパ、２４はセンサ、２５は逆止ダンパ、Ｍは定
風量を必要とする設備である。
【０００４】この装置は、エアダクト２１の途中に設け
たエアダクトの分岐２２の開口部から適量の外気を補充
することにより吸出しファン２の入口への送風量を一定
化するものであるが、エアダクト２１内に設けたセンサ
２５で風量を測定し、その信号により電動式のスライド
ダンパ２４の開度を変化させることにより外気の吸込み
量を増減させる構造となっている。尚、逆止ダンパ２５
はエアダクト２１内が異常に高圧になった時にエアを逃
がすためのものであり、通常は閉じている。
たエアダクトの分岐２２の開口部から適量の外気を補充
することにより吸出しファン２の入口への送風量を一定
化するものであるが、エアダクト２１内に設けたセンサ
２５で風量を測定し、その信号により電動式のスライド
ダンパ２４の開度を変化させることにより外気の吸込み
量を増減させる構造となっている。尚、逆止ダンパ２５
はエアダクト２１内が異常に高圧になった時にエアを逃
がすためのものであり、通常は閉じている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
従来の装置ではセンサや動力配線を必要とする等構造が
複雑となる上、押込みファン１からの送風量の変動に対
するスライドダンパ２４の開度変更にタイムラグを生じ
て送風量の変動を吸収し切れないことがある、という問
題があった。
従来の装置ではセンサや動力配線を必要とする等構造が
複雑となる上、押込みファン１からの送風量の変動に対
するスライドダンパ２４の開度変更にタイムラグを生じ
て送風量の変動を吸収し切れないことがある、という問
題があった。
【０００６】本発明はこのような問題を解決して、構造
が単純で且つ風量変動を遅滞なく吸収することが可能な
風量調整装置を提供することを目的とする。
が単純で且つ風量変動を遅滞なく吸収することが可能な
風量調整装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この目的は、本発明によ
れば、両端が送風入口１１ａ 及び送風出口１１ｂ で
あり且つ側面に外気吸込み口１２を備えた筒体１１と、
該筒体１１の外気吸込み口１２より送風入口１１ａ 寄
りに回動自在に取り付けられて回動により該外気吸込み
口１２の開度を変化させ且つ表面に送風風圧を受けるフ
ィン１４を備えた羽根１３とを有することを特徴とする
風量調整装置とすることにより、達成される。
れば、両端が送風入口１１ａ 及び送風出口１１ｂ で
あり且つ側面に外気吸込み口１２を備えた筒体１１と、
該筒体１１の外気吸込み口１２より送風入口１１ａ 寄
りに回動自在に取り付けられて回動により該外気吸込み
口１２の開度を変化させ且つ表面に送風風圧を受けるフ
ィン１４を備えた羽根１３とを有することを特徴とする
風量調整装置とすることにより、達成される。
【０００８】
【作用】送風風量を受けて回動する羽根により外気吸込
み口の開度を変化させるので特別のセンサや動力配線を
設置する必要がなく、構造が単純化される。更に羽根に
フィンを設けることにより羽根の風圧に対する抵抗が増
大し、送風量の僅かな変化に対しても羽根の回動角度、
即ち外気吸込み口の開度を変化させることが可能となり
、しかもタイムラグを生じない。従って適量の外気を吸
い込んで吸出しファンへの送風量を一定化することが出
来る。
み口の開度を変化させるので特別のセンサや動力配線を
設置する必要がなく、構造が単純化される。更に羽根に
フィンを設けることにより羽根の風圧に対する抵抗が増
大し、送風量の僅かな変化に対しても羽根の回動角度、
即ち外気吸込み口の開度を変化させることが可能となり
、しかもタイムラグを生じない。従って適量の外気を吸
い込んで吸出しファンへの送風量を一定化することが出
来る。
【０００９】
【実施例】本発明の一実施例を図１を参照しながら説明
する。図１は本発明の実施例を示す模式図であり、（Ａ
）が全体構成を示す断面図、（Ｂ）が羽根部を示す斜視
図である。図中、１は押込みファン、２は吸出しファン
、３はエアダクト、１１は筒体、１２は外気吸込み口、
１３は羽根、１４はフィン、１５は送風逃がし口、１６
は逆止ダンパ、Ｍは定風量を必要とする設備である。
する。図１は本発明の実施例を示す模式図であり、（Ａ
）が全体構成を示す断面図、（Ｂ）が羽根部を示す斜視
図である。図中、１は押込みファン、２は吸出しファン
、３はエアダクト、１１は筒体、１２は外気吸込み口、
１３は羽根、１４はフィン、１５は送風逃がし口、１６
は逆止ダンパ、Ｍは定風量を必要とする設備である。
【００１０】筒体１１の両端は送風入口１１ａ 及び送
風出口１１ｂとなっており、それぞれにエアダクト３が
接続される。筒体１１の上面には外気吸込み口１２が開
口している。 又、筒体１１下面には送風逃がし口１５が開口している
が、これは通常は逆止ダンパ１６により閉鎖されており
、エアダクト３内が異常に高圧になった時にのみ開く。
風出口１１ｂとなっており、それぞれにエアダクト３が
接続される。筒体１１の上面には外気吸込み口１２が開
口している。 又、筒体１１下面には送風逃がし口１５が開口している
が、これは通常は逆止ダンパ１６により閉鎖されており
、エアダクト３内が異常に高圧になった時にのみ開く。
【００１１】羽根１３は筒体１１の外気吸込み口１２よ
り送風入口１１ａ 寄りに回動自在に取り付けられてお
り、その下面には回動の軸心に平行にフィン１４が固着
されている。 この羽根１３は、押込みファン１からの送風がなければ
その先端部が筒体１１下内面に設けられている羽根止め
部１１ｄ に接して筒体１１内を仕切り、入口側と出口
側とが遮断される。この状態で吸出しファン２を作動さ
せると外気だけが吸出しファン２に向かう。又、押込み
ファン１からの送風があれば羽根１３は風圧を受けてそ
の先端部が上昇して入口側と出口側とが通じ、更に送風
量が増すとその先端部は更に上昇して最終的には筒体１
１上内面に設けられた羽根止め部１１ｃ に接して外気
吸込み口１２を閉鎖するように構成されている。
り送風入口１１ａ 寄りに回動自在に取り付けられてお
り、その下面には回動の軸心に平行にフィン１４が固着
されている。 この羽根１３は、押込みファン１からの送風がなければ
その先端部が筒体１１下内面に設けられている羽根止め
部１１ｄ に接して筒体１１内を仕切り、入口側と出口
側とが遮断される。この状態で吸出しファン２を作動さ
せると外気だけが吸出しファン２に向かう。又、押込み
ファン１からの送風があれば羽根１３は風圧を受けてそ
の先端部が上昇して入口側と出口側とが通じ、更に送風
量が増すとその先端部は更に上昇して最終的には筒体１
１上内面に設けられた羽根止め部１１ｃ に接して外気
吸込み口１２を閉鎖するように構成されている。
【００１２】送風量に対する羽根１３の回動感度はフィ
ン１４の風圧抵抗（総面積、取付け角度等）と羽根１３
の総重量とのバランスにより調整する。本発明者はこの
装置を、半導体装置製造工程で生じる大量の有機排気を
活性炭流動層吸着方式の排気処理装置に送風する送風路
に挿入して使用した。
ン１４の風圧抵抗（総面積、取付け角度等）と羽根１３
の総重量とのバランスにより調整する。本発明者はこの
装置を、半導体装置製造工程で生じる大量の有機排気を
活性炭流動層吸着方式の排気処理装置に送風する送風路
に挿入して使用した。
【００１３】半導体装置製造工程においては有機溶剤を
使用する洗浄装置等が使用されるが、その排気中に含ま
れる微量の有機溶剤成分をこの排気処理装置で処理する
。そのためにその排気を押込みファン１で排気処理装置
に送風するが、この送風量は半導体装置製造設備の操業
度等によって変動する。一方、この排気処理装置は、排
気が連続移動する球状活性炭の層を通過する際に排気中
の微量の有機溶剤成分等を球状活性炭に吸着させるもの
であり、活性炭層へ導入する排気の風量が所定の値に対
して過不足があると正常な吸着がなされない。従ってこ
の排気処理装置付属のブロワ（上記の吸出しファン２相
当）の入口では排気は所定の風量に調整されていなけれ
ばならない。
使用する洗浄装置等が使用されるが、その排気中に含ま
れる微量の有機溶剤成分をこの排気処理装置で処理する
。そのためにその排気を押込みファン１で排気処理装置
に送風するが、この送風量は半導体装置製造設備の操業
度等によって変動する。一方、この排気処理装置は、排
気が連続移動する球状活性炭の層を通過する際に排気中
の微量の有機溶剤成分等を球状活性炭に吸着させるもの
であり、活性炭層へ導入する排気の風量が所定の値に対
して過不足があると正常な吸着がなされない。従ってこ
の排気処理装置付属のブロワ（上記の吸出しファン２相
当）の入口では排気は所定の風量に調整されていなけれ
ばならない。
【００１４】そこで押込みファン１からの送風量の最大
値が排気処理装置の処理能力（即ち最適導入風量）以下
となるように構成しておき、本発明の風量調整装置から
適量の外気を補充することにより吸出しファン２の入口
への送風量を一定化した。その結果この排気処理装置を
安定稼動させることが出来た。
値が排気処理装置の処理能力（即ち最適導入風量）以下
となるように構成しておき、本発明の風量調整装置から
適量の外気を補充することにより吸出しファン２の入口
への送風量を一定化した。その結果この排気処理装置を
安定稼動させることが出来た。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
構造が単純で且つ風量変動を遅滞なく吸収することが可
能な風量調整装置を提供することが出来る。
構造が単純で且つ風量変動を遅滞なく吸収することが可
能な風量調整装置を提供することが出来る。
【図１】 本発明の実施例を示す模式図で、（Ａ）は
全体構成を示す断面図、（Ｂ）は羽根部を示す斜視図で
る。
全体構成を示す断面図、（Ｂ）は羽根部を示す斜視図で
る。
【図２】 従来の装置の一例を示す概略構成図である
。
。
１ 押込みファン
２ 吸出しファン
３ エアダクト
１１ 筒体
１１ａ 送風入口
１１ｂ 送風出口
１２ 外気吸込み口
１３ 羽根
１４ フィン
Claims (1)
- 【請求項１】 押込みファン（１） から吸出しファ
ン（２） に至る送風路に挿入して該吸出しファン（２
） への送風量を一定に保つ装置であって、両端が送風
入口（１１ａ） 及び送風出口（１１ｂ） であり且つ
側面に外気吸込み口（１２）を備えた筒体（１１）と、
該筒体（１１）の該外気吸込み口（１２）より該送風入
口（１１ａ） 寄りに回動自在に取り付けられて回動に
より該外気吸込み口（１２）の開度を変化させ且つ表面
に送風風圧を受けるフィン（１４）を備えた羽根（１３
）とを有することを特徴とする風量調整装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP40212490A JP2949850B2 (ja) | 1990-12-14 | 1990-12-14 | 風量調整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP40212490A JP2949850B2 (ja) | 1990-12-14 | 1990-12-14 | 風量調整装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04217738A true JPH04217738A (ja) | 1992-08-07 |
| JP2949850B2 JP2949850B2 (ja) | 1999-09-20 |
Family
ID=18511943
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP40212490A Expired - Fee Related JP2949850B2 (ja) | 1990-12-14 | 1990-12-14 | 風量調整装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2949850B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100822238B1 (ko) * | 2006-05-19 | 2008-04-15 | 권상욱 | 쾌적 냉난방을 위한 냉·온풍 온도 보정용 에어혼합유닛장치 |
| JP2019027735A (ja) * | 2017-08-02 | 2019-02-21 | 啓治 古川 | 排気装置の排気ガスを有害物除去装置へ送る通気配管 |
| JP2021512265A (ja) * | 2017-11-30 | 2021-05-13 | フラマトム・ゲーエムベーハー | 受動的緊急冷却モードを備えた換気及び空調システム |
-
1990
- 1990-12-14 JP JP40212490A patent/JP2949850B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100822238B1 (ko) * | 2006-05-19 | 2008-04-15 | 권상욱 | 쾌적 냉난방을 위한 냉·온풍 온도 보정용 에어혼합유닛장치 |
| JP2019027735A (ja) * | 2017-08-02 | 2019-02-21 | 啓治 古川 | 排気装置の排気ガスを有害物除去装置へ送る通気配管 |
| JP2021512265A (ja) * | 2017-11-30 | 2021-05-13 | フラマトム・ゲーエムベーハー | 受動的緊急冷却モードを備えた換気及び空調システム |
| US11678459B2 (en) | 2017-11-30 | 2023-06-13 | Framatome Gmbh | Ventilation and air conditioning system with a passive emergency cooling mode |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2949850B2 (ja) | 1999-09-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| ES2705601T3 (es) | Instalación con una cámara de procesamiento para piezas de trabajo | |
| KR960002619A (ko) | 다운플로우형 스핀 드라이어 | |
| US6564792B2 (en) | Device for de-humidifying a cooking chamber in an apparatus for food cooking | |
| JPH04217738A (ja) | 風量調整装置 | |
| CA1083401A (en) | Air distribution box | |
| JPH0731567A (ja) | 電気掃除機 | |
| CN114046845A (zh) | 一种防潮防水功能的物联网水表 | |
| JP6998501B2 (ja) | 除湿装置 | |
| US10624231B2 (en) | Controller for machine | |
| JP3807184B2 (ja) | 除湿機 | |
| CN108534241B (zh) | 除湿装置 | |
| JP5287650B2 (ja) | 除湿装置 | |
| JP3012471B2 (ja) | 送穀装置における供給量調節装置 | |
| JPH06304393A (ja) | 浴室衣類乾燥装置 | |
| JP2006112710A (ja) | 気流乾燥装置 | |
| JP4992442B2 (ja) | 穀粒乾燥機 | |
| KR102371162B1 (ko) | 제가습 장치 | |
| JP2592996B2 (ja) | 穀物乾燥機 | |
| CN219545657U (zh) | 种子储存装置 | |
| KR860002305Y1 (ko) | 콤바인 탈곡부 선별팬의 풍량 조절 장치 | |
| JPS6011128Y2 (ja) | アスフアルトプラント | |
| CN107478025A (zh) | 一种热循环谷物除湿系统 | |
| JP2548457B2 (ja) | 除湿乾燥機 | |
| CN115236282A (zh) | 一种多级调节的硅基薄膜测试用恒温恒湿箱 | |
| KR101843129B1 (ko) | 바이패스 공기 유로를 구비한 제습기 및 그 운전 방법 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19990608 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |