KR970007400A - 기판의 선택적 발수 처리 방법과 그를 이용한 차광 부재 형성 기판 및 화상 소자용 칼라 필터 기판의 제조 방법 - Google Patents

기판의 선택적 발수 처리 방법과 그를 이용한 차광 부재 형성 기판 및 화상 소자용 칼라 필터 기판의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 유리와 같은 기판상에 부분적으로 차광 부재가 형성되어 있고, 게다가 차광 부재 위에만 발수성을 부여하는 처리 방법과 그 방법을 이용한 차광 부재 형성기판에 관한 것으로, 특히 우수한 칼라 특성과 표면 평탄화가 양호한 칼라 필터의 제조 방법과 그 방법을 이용한 화상 소자용 칼라 필터 기판에 관한 것이다.
본 발명은, 착색성이 우수하고, 표면 평탄성이 양호한 유전체 기판의 선택적 발수 처리 방법과, 그를 이용한 차광 부재 형성 기판 및 화상 소자용 칼라 필터 기판의 제조 방법을 제공함에 있다.
본 발명에 따른 기판의 선택적 발수 처리 방법은, 차광 부재가 부분적으로 형성된 기판상에 실란 결합제로 이루어진 발수층을 형성하는 단계와, 그 후 산소 플라즈마에 기판의 표면을 노광시키는 단계를 구비하고, 차광 부재 형성 기판은, 상술된 처리에 기판의 표면을 노광시키는 단계를 구비하고, 차광 부재 형성 기판은, 상술된 처리 방법으로 기판을 처리함으로써 얻어지며, 화상 소자용 칼라 필터 기판 제조 방법은, 차광 부재가 부분적으로 형성된 기판상에 실란 결합제로 구성된 발수층을 형성하는 단계와, 산소 플라즈마에 기판의 표면을 노광시키는 단계 및, 기판의 투명한 영역상 각각으로부터 스펙트럼 특성과 다른 다수의 착색 부재를 정렬하는 단계를 구비한다.

Description

기판의 선택적 발수 처리 방법과 그를 이용한 차광 부재 형성 기판 및 화상 소자용 칼라 필터 기판의 제조 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 이용되는 진공 용기의 개략도, 제4도는 산소 플라즈마 조사에 의해 금속 박막 부분만을 발수막이 잔류한 기판의 유리 부분에 잉크를 도포한 것을 도시한 단면도.

Claims (20)

  1. 부분적으로 차광 부재가 형성된 기판상에 실란 결합제로 이루어진 발수층(awater-repellent layer)을 형성하고, 그 기판 표면을 산소 플라즈마에 노광시키는 것을 특징으로 하는 기판의 선택적 발수 처리 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 발수층이 진공하에서 플라즈마 중합 공정 또는 증착 공정에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 기판의 선택적 발수 처리 방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 차광 부재가 미리 패턴화된 금속 부분으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판의 선택적 발수 처리 방법.
  4. 제1항에 따른 기판의 선택적 발수 처리 방법으로 기판을 처리함으로써 얻어지는 것을 특징으로 하는 차광 부재 기판.
  5. 투명한 기판상에 차광 부재 및 상호 스펙트럼 특성이 다른 다수의 착색 부재를 선택적으로 정렬하는 것에 의해 구성된 화상 소자용 칼라 필터 기판 제조 방법에 있어서, 부분적으로 차광 부재가 형성된 기판상에 실란 결합제로 이루어진 발수층을 형성하는 단계; 상기 기판 표면을 산소 플라즈마에 노광시키는 단계; 및 기판의 투명한 영역들에 상호 스펙트럼 특성이 다른 다수의 착색 부재를 정렬하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 화상 소자용 칼라 필터 기판 제조 방법.
  6. 제5항에 있어서, 상기 차광 부재가 금속이나 합금으로 구성된 것을 특징으로 하는 화상 소자용 칼라 필터 제조 방법.
  7. 제6항에 있어서, 상기 금속 또는 합금은 Cr, Mo, Ta, Ti, W, Al에서 선택된 금속을 구비하는 것을 특징으로 하는 화상 소자용 칼라 필터 제조 방법.
  8. 제6항에 있어서, 상기 차광 부재가 50 내지 1,000nm의 두께로 형성된 것을 특징으로 하는 화상 소자용 칼라 필터 제조 방법.
  9. 제5항에 있어서, 상기 차광 부재가 수지로 구성된 것을 특징으로 하는 화상 소자용 칼라 필터 제조 방법.
  10. 제5항에 있어서, 상기 발수층이 플라즈마 중합 공정에 의해 형성된 것을 특징으로 하는 화상 소자용 칼라 필터 제조 방법.
  11. 제10항에 있어서, 상기 발수층이 0.5 내지 50nm의 두께로 형성된 것을 특징으로 하는 화상 소자용 칼라 필터 제조 방법.
  12. 제5항에 있어서, 상기 발수층의 형성에서, 실란 결합제의 가공하지 않은 재료를 진공용기에 공급하는 파이프가 25 내지 150℃의 온도 범위로 유지되는 것을 특징으로 하는 화상 소자용 칼라 필터 제조 방법.
  13. 제5항에 있어서, 상기 발수층의 형성이 진공 용기에서 플라즈마를 발생시킴으로써 수행되는 것을 특징으로 하느 화상 소자용 칼라 필터 제조 방법.
  14. 제5항에 있어서, 상기 플라즈마가 무선 주파수 전계를 사용하여 100 내지 1,000W의 고주파 전원을 인가함으로써 발생되는 것을 특징으로 하는 화상 소자용 칼라 필터 제조 방법.
  15. 제5항에 있어서, 상기 산소 플라즈마가 1×10-4내지 1×10-2Torr의 진공 상태로 유지된 진공 용기의 내부에서 발생되는 것을 특징으로 하는 화상 소자용 칼라 필터 제조 방법.
  16. 제15항에 있어서, 상기 산소 플라즈마가 진공 용기속으로 산소 가스를 유입시키고 무선 주파수 전계를 인가함으로써 발생되는 것을 특징으로 하는 화상 소자용 칼라 필터 제조 방법.
  17. 제16항에 있어서, 상기 무선 주파수 전계의 전력은 10 내지 1,000W의 범위 이내인 것을 특징으로 하는 화상 소자용 칼라 필터 제조 방법.
  18. 제17항에 있어서, 상기 무선 주파수 전계의 전력은 25 내지 100W의 범위 이내인 것을 특징으로 하는 화상 소자용 칼라 필터 제조 방법.
  19. 제5항에 있어서, 상호 스펙트럼 특성이 다른 착색 부재가 각각의 잉크로 구성된 것을 특징으로 하는 화상 소자용 칼라 필터 제조 방법.
  20. 제19항에 있어서, 상기 착색 부재가 잉크 젯 시스템에 따라 형성된 것을 특징으로 하는 화상 소자용 칼라 필터 제조 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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