KR960042219A - Si 함유 고분자 화합물 및 감광성 수지 조성물 - Google Patents
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Abstract
Si 함유 고분자 화합물은 측쇄에 비닐기를 갖는 폴리실세스퀴옥산 및 알콕시실란에 의해 수득된 가교결합 산에 의해 수득된다. 이 Si 함유 고분자 화합물은 하기 일반식으로 표시된다.
(식 중, R1은 C2-C82가 포화 탄화수소기이며, R2은 C1-C8탄화수소기이며, R3은 C1-C8탄화수소기이며, Z는 탄화수소 원자 또는 트리메틸실일기이며, a는 1 내지 3이며, b 는 0 내지 2이며, a와 b의 합은 3이며, n은 10 내지 500의 양의 정수이다.)감광성 수지 조성물은 Si 함유 고분자 화합물을 광산 발생제와 결합시킴으로써 수득된다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
Claims (10)
- 하기 일반식으로 표시되는 Si 함유 고분자 화합물(식 중, R1은 C2-C82가 포화 탄화수소기이며, R2은 C1-C8탄화수소기이며, R3은 C1-C8탄화수소기이며, Z는 탄화수소 원자 또는 트리메틸실일기이며, a는 1 내지 3 이며, b는 0 내지 2이며, a와 b의 합은 3이며, n은 10 내지 500의 양의 정수이다.)
- Si 함유 고분자 화합물이 하기 일반식으로 표시되며(식 중, R1은 C2-C82가 포화 탄화수소기이며, R2은 C1-C8탄화수소기이며, R3은 C1-C8탄화수소기이며, Z는 탄화수소 원자 또는 트리메틸실일기이며, a는 1 내지 3 이며, b는 0 내지 2이며, a와 b의 합은 3이며, n은 10 내지 500의 양의 정수이다).광산 발생제는 광조사에 의해 산을 발생시키며 노출 후 열처리에서 촉매반응의 형태로 레지스트의 화학적 변화를 증폭시키는 것을 특징으로 하는, 하나 이상의 Si 함유 고분자 화합물 및 광산 발생제를 포함하는 감광성 수지 조성물.
- 제2항에 있어서, 감광성 수지 조성물 중에 포함된 Si 함유 고분자 화합물의 비가 75내지 99.8 중량부임을특징으로 하는 감광성 수지 조성물.
- 제2항에 있어서, 감광성 수지 조성물 중에 포함된 광산 발생제의 비가 0.2 내지 25 중량부임을 특징으로하는 감광성 수지 조성물.
- 제2항에 있어서, 용매가 Si 함유 고분자 화합물 및 감광성 수지 조성물로 구성된 물질을 용해시킴을 특징으로 하는 감광성 수지 조성물.
- 제2항에 있어서, R1이 에틸렌기, 프로필렌기, 부틸렌기, 펜틸렌기, 헥실렌기, 헵틸렌기, 옥틸렌기, 시클로펜틸렌기, 시클로헥실렌기, 시클로헵틸렌기, 시클로옥틸렌기, 시클로펜틸 에틸렌기, 또는 시클로헥실 에틸렌기와 같은 C2-C82가 포화 탄화수소기임을 특징으로 하는 감광성 수지 조성물.
- 제2항에 있어서 R2이 메틸기, 에틸기, 프로필기, 부틸기, 펜틸기, 헥실기, 헵틸기, 페닐기, 또는 메틸 페닐기와 같은 C1-C8탄화수소기임을 특징으로 하는 감광성 수지 조성물.
- 제2항에 있어서, R3이 메틸기, 에틸기, 프로필기, 부틸기, 펜틸기, 헥실기, 헵틸기, 페닐기, 또는 메틸 페닐기와 같은 C1-C8탄화수소기임을 특징으로 하는 감광성 수지 조성물.
- 제2항에 있어서, 광산 발생제로서 트리페닐 술포늄 트리플루오로메탄 술포네이트, 트리페닐 술포늄 트리플루오로메탄 안티모네이트, 트리페닐 술포늄 벤조술포네이트, 시클로헥실 메틸(2-옥소시클로헥실) 술포늄 트리플루오로메탄 술포네이트, 디시클로헥실(2-옥소시클로헥실)술포늄 트리플루오로메탄 술포네이트, 디시클로헥실술포닐 시클로헥사논,또는 디메틸 (2-옥소시클로헥실)술포늄 트리플루오로메탄 술포네이트와 같은 술포늄 염 화합물, 디페닐 이오도늄 트리플루오로메탄 술포네이트와 같은 이오도늄 염, N-히드록시 숙신이미드 트리플루오로메탄 술포네이트 등을 단독으로 또는 2이상의 종류를 배합하여 사용하는 것을 특징으로 하는 감광성 수지 조성물.
- 제2항에 있어서, 용매로서 메틸 셀로솔브 아세테이트, 에틸 셀로솔브 아세테이트, 프로필렌 글리콜 모노에틸에테르 아세테이트, 메틸 락테이트, 에틸 락테이트, 2-메톡시에틸 아세테이트, 2-에톡시에틸 아세테이트, 메틸 피루베이트, 에틸 피루베이트, 3-메톡시메틸 프로피오네이트, N-메틸-피롤리디논, 시클로헥사논, 시클로펜타논, 메틸에틸케톤, 1,4-디옥산, 에틸렌 글리콜 모노에틸 에테르 아세테이트, 에틸렌 글리콜 모노메틸 에테르, 에틸렌 글리콜 모노이소프로필 에테르, 디에틸렌 글리콜 모노에틸 에테르, 디에틸렌 글리콜 모노에틸 에테르 등을 단독으로 또는 2 이상의 종류를 배합하여 사용하는 것을 특징으로 하는 감광성 수지 조성물.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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