KR960035741A - 주사형 전자현미경 - Google Patents

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KR960035741A
KR960035741A KR1019960008987A KR19960008987A KR960035741A KR 960035741 A KR960035741 A KR 960035741A KR 1019960008987 A KR1019960008987 A KR 1019960008987A KR 19960008987 A KR19960008987 A KR 19960008987A KR 960035741 A KR960035741 A KR 960035741A
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아쯔시 고바루
다다시 오다까
다쯔야 마에다
가쯔히로 사사다
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가나이 쯔도무
가부시키가이샤 히다치 세사쿠쇼
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Abstract

전자빔이 초점맞춤렌즈에 의해 시료상에 초점이 맞추어진다. 전자빔이 시료에 조사되는 위치에 광빔이입사된다. 검출기의 출력은 전자빔의 조사위치에서 시료의 높이를 측정하는데 이용된다. 시료는 초점맞춤렌즈의 광축에 수직인 평면내에서 이동된다. 시료상에서 관찰위치에 인접한 위치들이 전자빔의 조사위치에 위치하였을때, 시료상의 이러한 위치들에서 시료높이 측정장치는 관찰위치의 시료의 높이측정을 수행한다.
시료높이 측정수단에 의해 측정값의 평균값을 구해서 이를 기초로 초점교정신호를 발생시키고 초점교정신호에 의해 초점맞춤렌즈를 제어한다.

Description

주사형 전자현미경
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (10)

  1. 전자빔을 발생하는 수단; 상기 전자빔을 시료에 조사하는 수단; 상기 시료에 상기 전자빔의 초점을 맞추는 수단; 상기 시료로부터 신호특성이 발생되도록 시료에 전자빔을 주사하는 수단; 검출신호에 기초하여 시료의 상을 디스플레이할수 있도록 발생된 신호를 검출하는 수단; 상기 전자빔의 가로방향으로 시료를 이동시키는 수단; 시료상의 관찰위치와 상기 관찰위치에 인접한 시료상의 적어도 하나의 위치에서 시료의 높이에 관한 물리량을 측정하는 수단; 및 시료상의 관찰위치에 전자빔이 조사되었을때 시료에 전자빔의 초점이 맞춰지도록, 측정된 상기 물리량에 기초하여 통계적 초점 교정신호를 발생시켜, 발생된 상기 통계적 초점교정신호에 기초하여 상기 초점맞춤수단과 상기 이동수단중의 하나를 제어하는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 주사형 전자현미경.
  2. 제1항에 있어서, 상기 통계적 초점교정신호는 상기 측정된 물리량의 평균을 나타내는 것을 특징으로하는 주사형 전자현미경.
  3. 제1항에 있어서, 상기 시료의 관찰위치와 적어도 하나의 시료상의 위치가 상기 이동수단에 의해 측정위치에 위치되었을 때 상기 측정수단이 상기 측정위치에서 상기 물리량을 측정하는 것을 특징으로 하는 주사형 전자현미경.
  4. 제1항에 있어서, 상기 통계적 초점교정신호는 상기 측정된 물리량의 평균을 나타내고, 시료의 관찰위치와 적어도 하나의 시료상의 위치가 상기 이동수단에 의해 측정위치에 위치되었을때 상기 측정수단이 측정위치에서 상기 물리량을 측정하는 것을 특징으로 하는 주사형 전자현미경.
  5. 전자빔을 발생하는 수단; 상기 전자빔을 시료에 조사하는 수단; 상기 시료에 상기 전자빔의 초점을 맞추는 수단; 상기 시료로부터 신호특성이 발생되도록 시료에 전자빔을 주사하는 수단; 검출신호에 기초하여 시료의 상을 디스플레이할수 있도록 발생된 신호를 검출하는 수단; 상기 전자빔의 가로방향으로 시료를 이동시키는 수단; 시료상의 관찰위치와 상기 관찰위치에 인접한 시료상의 적어도 하나의 위치에서 시료의 높이에 관한 물리량을 측정위치에서 측정하는 수단; 시료가 이동되어 시료상의 관찰위치에 전자빔이 조사될때 시료에 전자빔의 초점이 맞추어지도록, 측정된 상기 물리량에 기초하여 통계적 초점 교정신호를 발생시켜, 발생된 상기 통계적 초점교정신호에 기초하여 상기 초점맞춤수단과 상기 이동수단중의 하나를 제어하는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 주사형 전자현미경.
  6. 제5항에 있어서, 상기 통계적 초점교정신호는 상기 측정된 물리량의 평균을 나타내는 것을 특징으로하는 주사형 전자현미경,
  7. 제5항에 있어서, 상기 시료의 관찰위치와 적어도 하나의 시료상의 위치가 상기 이동수단에 의해 측정위치에 위치되었을때 상기 측정수단이 상기 측정위치에서 상기 물리량을 측정하는 것을 특징으로 하는 주사형 전자현미경.
  8. 제1항에 있어서, 상기 통계적 초점교정신호는 상기 측정된 물리량의 평균을 나타내고, 시료의 관찰위치와 적어도 하나의 시료상의 위치가 상기 이동수단에 의해 측정위치에 위치되었을때 상기 측정수단이 측정위치에서 상기 물리량을 측정하는 것을 특징으로 하는 주사형 전자현미경.
  9. 전자빔을 발생하는 수단; 상기 전자빔을 시료에 조사하는 수단; 상기 시료에 상기 전자빔의 초점을 맞추는 수단; 상기 시료로부터 신호특성이 발생되도록 시료에 전자빔을 주사하는 수단; 검출신호에 기초하여 시료의 상을 디스플레이할수 있도록 발생된 신호를 검출하는 수단; 상기 전자빔의 가로방향으로 시료를 이동시키는 수단; 시료가 이동된 때 조사빔이 조사되는 복수의 위치에서의 시료의 높이에 관한 물리량을 측정위치에서 측정하는 수단; 상기 복수의 위치중의 하나로서 시료의 이동이 정지되었을때 상기 전자빔이 시료에 조사되는 위치인 시료상의 관찰위치에 시료가 이동되어져서 전자빔이 조사되도록 한때, 시료상에 전자빔의 초점이 맞추어지도록 상기 측정된 물리량에 기초하여 통계적 초점 교정신호를 발생시키고, 상기 발생된 통계적 초점교정신호에 기초하여 상기 초점맞춤수단을 제어하는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 주사형 전자현미경.
  10. 제9항에 있어서, 상기 통계적 초점교정신호는 상기 측정된 물리량의 평균을 나타내는 것을 특징으로 하는 주사형 전자현미경.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960008987A 1995-03-30 1996-03-29 주사형전자현미경 KR100416200B1 (ko)

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