KR870700244A - 레이저 웨이퍼 측정시스템 - Google Patents

Abstract

내용 없음

Description

레이저 웨이퍼 측정시스템

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제2도는 광학측정 시스템의 광학개략도.

Claims (16)

1. 샘플표면과 근접한 자외선을 전달하는 고개구율의 대물과, 자외선 레이저 비임을 발생시키도록 동작할 수 있는 레이저와, 자외선 검출기상에 충돌하는 자외선광의 강도를 나타내는 신호를 발생시키도록 동작할 수 있는 자외선 검출기와, 상기 자외선 레이저 비임의 적어도 일부분을 상기 대물에 인도하기 위한 수단으로서, 샘플표면에서 비임광점을 촛점잡아주도록 상기 대물과 함께 동작하는 제1비임전달수단과, 그리고 샘플표면으로부터 방사되는 자외선을 인도하여 상기 대물을 통해 상기 자외선 검출기로 통과시키기 위한 제2비임전달수단을 포함하므로서, 상기 자외선 레이저가 동작될 때 상기 자외선 검출기가 샘플표면으로부터 반사되서 산란되는 자외선을 나타내는 신호를 제공하는 것이 특징인 샘플표면 측정장치.
2. 제1항에서, 상기 대물은 가시광도 전달하며, 또한 가시광 검출기상에 충돌하는 가시광의 강도를 나타내는 신호를 발생시키도록 동작되는 가시광 검출기와, 그리고 샘플표면으로부터 방사되어 상기 대물을 통하여 상기 가시광 검출기로 통과시키는 가시광을 검출하기 위한 제3비임전달수단을 더 포함하므로서, 상기 자외선 레이저가 동작될 때 상기 가시검출기는 샘플표면으로부터 방사되는 가시광으로서, 예를 들어 샘플표면상에서 상기 자외선 레이저의 충돌에 의해 결과되는 형광방사를 나타내는 신호를 제공하는 것이 특징인 샘플표면 측정장치.
3. 제1항에서, 상기 제1비임전달수단은 상기 촛점잡힌 비임광점의 횡단범위를 제한하기 위한 수단을 포함하는 것이 특징인 샘플표면 측정장치.
4. 제3항에서, 상기 제한용 수단은 : 공칭상의 촛점의 중간지점에서 상기 비임을 촛점잡기 위한 상기 자외선 레이저 비임의 경로내에 배치되는 제1렌즈와, 공칭상의 촛점의 상기 중간지점에서 위치된 바늘구멍을 한정하는 수단과, 그리고 상기 바늘구멍으로부터 방사되는 광을 평행조사하기 위한 제2렌즈를 포함하는 것이 특징인 샘플표면 측정장치.
5. 제1항에서, 상기 제2비임전달수단은 상기 촛점된 비임광점으로부터 변위된 지점들로부터 방사되는 광이 상기 자외선 검출기에 도달하지 않도록 방지해주는 수단을 포함하는 것이 특징인 샘플표면 측정장치.
6. 제5항에서, 상기 방지를 위한 수단은 : 공칭상의 촛점의 중간지점에서 그러한 광을 촛점잡기 위한 샘플표면으로부터 상기 대물을 통하여 지나가는 광의 경로에 배치되는 제1렌즈와, 공칭상의 촛점의 상기 중간지점에 위치되는 바늘구멍을 한정하는 수단과, 그리고 상기 바늘구멍으로부터 방사되는 광을 평행조사하기 위한 제2렌즈를 포함하는 것이 특징인 샘플표면 측정장치.
7. 제1항에서, 상기 제1비임전달수단은 상기 촛점된 비임광점의 횡단범위를 제한하기 위한 수단을 포함하여, 여기서 상기 제2비임전달수단은 상기 촛점된 비임광점으로부터 변위된 지점들로부터 방사되는 광이 상기 자외선 검출기에 도달하지 않도록 방지하기 위한 수단을 포함하는 것이 특징인 샘플표면 측정장치.
8. 제7항에서, 상기 제1비임전달수단과 상기 제2비임전달수단은 공통경로부분을 따라 광을 인도하는 부분들을 포함하며, 여기서, 상기 제한수단과 상기 방지수단은 양자 모두 상기 공통경로부분내의 공통세트의 소자들에 의해 한정되는 것이 특징인 샘플표면 측정장치.
9. 제1항에서, 샘플표면의 펑면내의 적어도 일축을 따라 샘플의 제어된 이동을 부여하는 스테이지 수단을 더 포함하므로서, 상기 자외선 검출기로부터의 신호는 상기 축을 따라 샘플의 윤곽을 제공하도록 그러한 이동과 상호관계될 수 있는 것이 특징인 샘플표면 측정장치.
10. 제9항에서, 상기 스테이지 수단은 : 샘플의 위치설정경로를 제공하기 위한 기계적 스테이지와, 그리고 상기 기계적 스테이지에 의해 설정된 위치에 상관하여 샘플을 미세이동시켜 주도록 전기신호에 응답하여 동작하는 상기 기계적 스테이지에 장치되는 압전변환기를 포함하는 것이 특징인 샘플표면 측정장치.
11. 자외선 레이저 비임을 발생시키는 단계와, 샘플표면에서 광점을 발생시키도록 레이저 비임을 촛점 잡아주는 단계와, 광점의 근처에서 샘플표면으로부터 방사되는 자외선의 강도를 측정하는 단계와, 샘플표면의 평면내의 적어도 일축을 따라 샘플의 제어된 이동을 부여하는 단계와, 그리고 측정될 모양을 나타내는 강도 윤곽을 추출하도록 축을 따라 위치와 자외선의 강도를 상호관계시키는 단계를 포함하는 샘플표면상의 서브미크론 모양을 측정하는 방법.
12. 제11항에서, 상기 방법은 : 광점근처의 샘플표면으로부터 방사되는 가시광의 강도를 측정하는 단계와, 그리고 축을 따라 측정되는 바와같이 형광물질들의 범위정도를 결정하도록 축을 따라 위치와 가시광의 강도를 상호 관계시키는 단계를 더 포함하는 것이 특징인 샘플표면상의 서브미크론모양을 측정하는 방법.
13. 제11항에서, 상기 자외선 레이저 비임을 촛점잡는 단계는 공칭상 촛점의 중간지점에 비임을 촛점잡는 준단계와, 공칭상 촛점의 중간지점에 바늘구멍을 제공하는 준단계와, 그리고 바늘구멍으로부터 방사되는 광을 고개구율 대물을 통하여 통과시키는 준단계를 포함하는 것이 특징인 샘플표면상의 서브미크론 모양을 측정하는 방법.
14. 제13항에서, 바늘구멍으로부터 방사되는 광을 평행조사하는 단계를 상기 통과시키는 준단계 이전에 수행하는 준단계를 더 포함하는 것이 특징인 샘플표면상의 서브미크론 모양을 측정하는 방법.
15. 제11항에서, 촛점잡힌 비임광점으로부터 변위된 지점들로부터 방사되는 광이 측정되지 않도록 방지하는 단계를 더 포함하는 것이 특징인 샘플표면상의 서브미크론 모양을 측정하는 방법.
16. 제15항에서, 상기 방지단계는 :샘플표면으로부터 공칭촛점의 중간지점으로 방사되는 광을 촛점잡아주는 준단계와, 그리고 공칭촛점의 중간지점에 바늘구멍을 제공하는 준단계를 포함하는 것이 특징인 샘플표면상의 서브미크론 모양을 측정하는 방법.

    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.