DE19722607A1

DE19722607A1 - Selbsttätiges Verfahren sowie Einrichtung zum Bestimmen der Eigenschaften einer Probe

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Publication number: DE19722607A1
Application number: DE1997122607
Authority: DE
Inventors: Michael F Braun; Heinz Bungert
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1997-05-30
Filing date: 1997-05-30
Publication date: 1998-12-03

Description

Die Erfindung betrifft ein selbsttätiges Verfahren zum Bestimmen der Eigenschaften einer Probe mit einer im wesentlichen ebenen oder nur leicht gekrümmten Oberfläche, insbesondere der Eigenschaften eines gewebten Textils oder von Leder oder der Oberflächenbeschaffenheit eines Werk stücks.

Für die verarbeitende Textilindustrie, insbesondere die Textilkonfektionäre, ist es wichtig, die Art der Stoff bindung und die Anzahl der Kett- und Schußfäden, die Fadendicken von Kette und Schuß sowie die Stoffdicke der Textilien zu bestimmen, die verarbeitet werden sollen. Diese Eigenschaften sind entscheidend für die Einstellung von Be- und Verarbeitungsmaschinen, z. B. Nähmaschinen. Um diese Daten zu erhalten, wurden bisher aufwendige Labor methoden angewendet.

Bekannte Verfahren zum Erfassen der Eigenschaften einer textilen Stoffprobe stammen z. B. von Kawabata. Hier werden mit Labormethoden 16 Prüfparameter bestimmt, die die Eigenschaften des Gewebes beschreiben. Derartige Ver fahren sind sehr kostspielig, zeitaufwendig oder, falls nur Erfahrungswerte herangezogen werden, ungenau.

Bekannt ist außerdem, die Oberfläche von Werkstücken oder auch textiler Materialien mit einer CCD-Kamera aufzunehmen und das erhaltene Bild automatisch in einem Computer zu verarbeiten. Da die textilen Stoffe in diesem Fall nur in einem großen Winkel zu Kamera beleuchtet werden können, ist eine Auflösung der Oberflächenstruktur, insbesondere eine Tiefenauflösung nicht möglich. Bei dem üblichen relativ großen Abstand zwischen der Kamera und dem textilen Stoff werden die räumlichen Strukturen außerdem nicht in ausreichendem Maße aufgelöst. Die ebenfalls von allen Seiten erfolgte Beleuchtung führt zu einer Ver minderung des Kontrastes im von der Kamera aufgenommenen Bild.

Die Erfindung läßt sich jedoch nicht nur in der Textil industrie einsetzen. So ist es damit z. B. möglich, Rauhigkeitsmessungen an geschliffenen oder lackierten Oberflächen durchzuführen. Bisher wurden diese Unter suchungen mit mechanischen Meßuhren vorgenommen, die jedoch in vielen Fällen versagen, da der auf der Ober fläche aufliegende und an dieser entlanggeführte Meßkopf relativ dick ist, so daß feinere Rauhigkeiten nicht erfaßt werden können.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein preiswertes, schnelles und genaues automatisches Verfahren der eingangs genannten Art zu entwickeln, das im Falle der Anwendung aufgewebte Textilproben zur Ermittlung von Stoffbindung, Schuß- und Kettfadendichte sowie der Faden- und Gewebe dicke geeignet ist.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß man die Oberfläche der Probe punktförmig beleuchtet und das rückgestrahlte Licht mit einer nur einen punktförmigen Bereich erfassenden Detektoreinheit sowie die zweidimen sionalen Koordinaten dieses Bereichs erfaßt, auf diese Weise einen vorgegebenen Ausschnitt der Oberfläche abtastet, die Helligkeitswerte zusammen mit den zuge hörigen Koordinaten in einem Computer als dreidimensio nales Profil speichert und durch Auswertung dieses Höhen profils die Eigenschaften der Probe bestimmt.

Durch die punktförmige Beleuchtung und die punktförmige Erfassung des beleuchteten Bereiches erhält man über raschenderweise eine besonders hohe Auflösung in der Tiefe, so daß die abgetasteten Helligkeitswerte zusammen mit den zugehörigen Koordinaten ein dreidimensionales Profil der Probe, also deren Oberflächengeometrie, ergeben. Aus diesem Höhenprofil lassen sich unterschied liche Probeneigenschaften im angeschlossenen Computer errechnen.

Eine besonders gute Tiefenauflösung läßt sich mit den Aus gestaltungen der Erfindung gemäß den Ansprüchen 2 bis 6 erreichen.

Es ist auch möglich, für die Beleuchtung ein Leuchtdioden array in Kombination mit einem Photodiodenarray mit Optik oder Binäroptik für mehrfache gleichzeitige Punktaus wertung zu verwenden. Diese können als Chip ausgeführt sein.

Der Vorteil des Lichtleiter-Einsatzes, der erfindungsgemäß nicht unbedingt notwendig ist, liegt in der Möglichkeit, auch unter extremsten Umweltbedingung zu messen, unter denen elektronische Komponenten zerstört werden, wie z. B. große Hitze, extreme Niedrigtemperaturen, hohe Feuchtig keit.

In einer besonders vorteilhaften Ausgestaltung der Erfin dung wird vorgeschlagen, daß man die Fadendichte eines gewebten Textils bestimmt, indem der Computer den räum lichen Abstand zweier benachbarter Helligkeitsmaxima in Kett- oder Schußfadenrichtung des Höhenprofils ermittelt und die Fadendichte aus dem reziproken Wert dieses Abstands errechnet. Dabei kann der Computer außerdem aus dem Vergleich der Fadendichten in Kett- und Schußfaden richtung die Art der Gewebebindung bestimmen.

Außerdem wird vorgeschlagen, daß der Computer den Winkel abstand der Helligkeitsmaxima auf einer kreisförmigen Profillinie mit einem absoluten Helligkeitsmaximum als Kreismittelpunkt ermittelt und aus der Winkelabhängigkeit die Art der Gewebebindung und/oder den Winkel der Kett- und/oder Schußfadenrichtung bestimmt.

Weiterhin wird vorgeschlagen, daß man die Fadendicke bestimmt, indem der Computer die Halbwertsbreite der Maxima im Höhenprofil errechnet.

Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren ist es auch möglich, die Dicke eines gewebten oder sonstigen Textils zu bestimmen. Dazu wird vorgeschlagen, daß man die Dicke eines auf einer Unterlage liegenden Textils durch Auflegen einer ebenen Platte mit vorgegebener Dicke auf den Rand des Textils und durch punktförmiges Beleuchten von Platte und Unterlage, Erfassen des rückgestreuten Lichtes mit der Detektoreinheit und Bestimmen der Differenz der Entfernung von Platte und Unterlage zur Lichtquelle und/oder Detektoreinheit bestimmt. Die Entfernung kann dabei aus der bekannten mit dem Quadrat des Abstandes zur Licht quelle erfolgenden Intensitätsabnahme des Lichts selbst tätig ermittelt werden.

Die Erfindung betrifft auch eine Einrichtung zum Bestimmen der Eigenschaften einer Oberfläche, wobei die Einrichtung insbesondere zum Durchführen des bisher beschriebenen erfindungsgemäßen Verfahrens geeignet ist.

Die bereits genannte erfindungsgemäße Aufgabe wird hier durch eine, insbesondere in einer Ebene zeilen- und spaltenweise verfahrbare, optische Abtasteinrichtung mit mindestens einem die Oberfläche punktförmig beleuchtenden Element und mindestens einer einen punktförmigen Bereich des rückgestrahlten Lichts erfassenden Detektoreinheit sowie durch einen an die Detektoreinheit angeschlossenen Computer zur Übernahme der von der Abtasteinrichtung gelieferten Werte für die Helligkeit und die zugeordneten Koordinaten gelöst. Dabei können die Lichtquelle und die Detektoreinheit separat angeordnet oder auch in einem ein zigen Bauteil integriert sein. An Stelle der Verfahrbar keit der Abtasteinrichtung ist es auch möglich, daß die Probenunterlage verfahrbar ist, die beispielsweise ein sogenannter x-y-Tisch sein kann. Schließlich liegt es ebenfalls im Rahmen der Erfindung, wenn sowohl die Abtasteinrichtung als auch die Probenunterlage verfahrbar sind.

Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung hinsichtlich der beleuchtenden Elemente und der Detektoreinheiten finden sich in den Ansprüchen 13 bis 17.

Zur hohen Tiefenauflösung ist es vorteilhaft, wenn die Licht emittierenden und die Licht aufnehmenden Lichtleiter mit ihren der zu untersuchenden Oberfläche zugewandten Enden parallel zueinander ausgerichtet sind und wenn ins besondere diese Enden ohne wesentlichen Abstand aneinander anliegen. Wichtig im erfindungsgemäßen Verfahren und der entsprechenden Einrichtung ist eine Überlappung des punkt förmig beleuchteten Probenbereichs mit dem Erfassungs bereich (Sehwinkel) des Detektors. Da Lichtleiter ihr Licht nicht parallel, sondern unter einem Winkel abstrahlen und erfassen, reicht es aus, wenn die Licht leiter parallel zueinander angeordnet sind. Vorteilhafter ist es jedoch, wenn die Enden der Lichtleiter schräg auf einander zu in einem Winkel von 0 bis 30°, vorzugsweise von 0 bis 12°, ausgerichtet sind.

Zur besonders schnellen Erfassung des Höhenprofils wird vorgeschlagen, daß mehrere beleuchtende Elemente und mehrere das Licht erfassende Detektoreinheiten vorgesehen sind, wobei jede Detektoreinheit eine separate Ausgangs signalleitung hat, die an den Computer angeschlossen ist.

Eine besonders kompakt Bauweise wird erreicht, wenn die beleuchtenden Elemente und die Detektoreinheiten in einer Sensoreinheit zusammengefaßt sind. Dabei ist es besonders vorteilhaft, wenn die beleuchtenden Elemente und die Detektoreinheit an der Kopfseite der Sensoreinheit linien förmig angeordnet sind. Als besonders praktikabel hat es sich herausgestellt, wenn in diesem Fall 4 beleuchtende Elemente und 4 Detektoreinheiten vorgesehen sind.

Im folgenden werden Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand von Zeichnungen näher beschrieben. Es zeigen

Fig. 1 eine schematische Darstellung einer Anordnung zum erfindungsgemäßen Bestimmen einer Probe, z. B. eines gewebten Textils, in einem ersten Ausführungsbeispiel,

Fig. 1a eine schematische perspektivische Darstellung des Licht- und Erfassungskegels für die Anord nung nach Fig. 1,

Fig. 2 eine schematische Darstellung entsprechend Fig. 1 in einem zweiten Ausführungsbeispiel,

Fig. 2a eine Darstellung entsprechend Fig. 1a für die Anordnung nach Fig. 2,

Fig. 3 eine schematische perspektivische Zeichnung einer erfindungsgemäßen Einrichtung zum Bestimmen der Eigenschaften von Oberflächen,

Fig. 4 ein zweidimensionales Höhenprofil einer ersten Textilprobe zusammen mit 2 Diagrammen, die die Helligkeitsverteilung entlang einer in Kett- bzw. Schußfadenrichtung des Höhenprofils ver laufenden Linie zeigen,

Fig. 5 die Winkelabhängigkeit der Helligkeitsverteilung im Höhenprofil nach Fig. 4,

Fig. 6 ein zweites Höhenprofil, ebenfalls dargestellt als zweidimensionale Helligkeitsverteilung, zu sammen mit den entsprechenden Darstellungen des Helligkeitsverlauf entlang einer Linie in Kett- bzw. Schußfadenrichtung,

Fig. 7 die Winkelabhängigkeit der Helligkeitsverteilung im Höhenprofil nach Fig. 6 und

Fig. 8 eine schematische Darstellung einer erfindungs gemäßen Anordnung zum Bestimmen der Dicke eines Textilgewebes oder eines anderen Flächen gebildes.

In allen Zeichnungen haben gleiche Bezugszeichen die gleiche Bedeutung und werden daher gegebenenfalls nur ein mal erläutert.

Ein gewebtes Textil 1 liegt auf einer ebenen Unterlage 2 auf (Fig. 1). Mit einem Lichtleiter 3, der an eine Licht quelle 5, z. B. einer LED-Diode (Leuchtdiode) ange schlossen ist, wird das gewebte Textil 1 punktförmig beleuchtet. Das rückgestrahlte Licht wird von einem Licht leiter 4 erfaßt und zu einem Photodetektor 6 weiter geleitet.

Während der Abtastung wird die Probe oder die Abtast einrichtung oder beide in der Probenebene motorisch bewegt, so daß der gewünschte Probenausschnitt ausgemessen werden kann.

In der Anordnung nach Fig. 1 verlaufen die dem gewebten Textil 1 benachbarten Enden der Lichtleiter 3, 4 parallel zueinander und sind eng benachbart, d. h. sie liegen direkt aneinander an. Alternativ können die Lichtleiter 3, 4 auch schräg zueinander in einem Winkel α ausgerichtet sein, wie es in Fig. 2 dargestellt ist. Diese Anordnung ist besonders vorteilhaft, da hier der beleuchtete Bereich 12 und der von dem jeweiligen Detektor erfaßte Bereich 13 besonders stark überlappen, wie es aus den Fig. 1a und 2a zu erkennen ist. Aus der Breite des schraffiert ein gezeichneten Überlappungsbereichs, gemessen in Bewegungs richtung der Probe bzw. des Sensorkopfes, ergibt sich der optimale Tastabstand.

Die Signale eines oder mehrerer Photodetektoren 6 werden in einem in den Figuren nicht dargestellten Rechner (Computer) erfindungsgemäß weiterverarbeitet, wie es weiter unten noch näher erläutert wird.

In Fig. 3 wird ein konkretes Ausführungsbeispiel einer für das erfindungsgemäße Verfahren besonders geeigneten optischen Abtasteinrichtung (Sensorkopfes) mit seinen wesentlichen Einzelheiten gezeigt. Hier sind vier der in Fig. 1 gezeigten Einheiten in einem Gehäuse 7 zusammen gefaßt. Vier Lichtleiter 3, die mit ihren schraffiert gezeichneten Enden zur punktförmigen Beleuchtung der Probe dienen, werden von einer Lichtquelle 5, einer LED-Diode, einer Laserdiode oder einer Halogenlampe, mit farbigem oder weißem Licht versorgt. Von der Lichtquelle 5 ist eine elektrische Leitung 9 zur Stromversorgung aus dem Gehäuse 7 herausgeführt. Die Enden der Lichtleiter 3 sind am Kopf der optischen Abtasteinrichtung eng aneinander, linien förmig und parallel zueinander angeordnet.

Unmittelbar neben den Enden der Lichtleiter 3 sind, wie es in Fig. 3 deutlich erkennbar ist, vier weitere Licht leiter 4A, 4B, 4C und 4D aus dem Gehäuse 7 herausgeführt. Die Enden aller Lichtleiter sind am Kopf der Abtast einrichtung, also an deren Austrittsstelle aus dem Gehäuse 7, parallel zueinander angeordnet. Jeder der Lichtleiter 4A, 4B, 4C, 4D ist an jeweils einen Photodetektor 6A, 6B, 6C, 6D im Gehäuse angeschlossen. Von diesen Photodetek toren führen elektrische Signalleitungen 8A, 8B, 8C, 8D aus dem Gehäuse 7 nach außen, wo sie an einen nicht dar gestellten Computer, vorzugsweise über einen Analog- Digital-Wandler, angeschlossen sind.

In den Fig. 4 bis 7 werden die Ergebnisse von zwei Ver suchen bildlich dargestellt, die mit dem erfindungsgemäßen Verfahren und der erfindungsgemäßen optischen Abtast einrichtung erhalten worden sind. Der erste Versuch ent sprechend den Fig. 4 und 5 wurde mit einem Textilgewebe mit Leinwandbindung durchgeführt. Hier liegt der Schuß faden abwechselnd über und unter nur einem Kettfaden. Für den Kettfaden gilt das gleiche entsprechend. Das Bild in Fig. 4 oben links zeigt die zweidimensionale Helligkeits verteilung, wie sie von den Photodetektoren 6A, 6B, 6C, 6D der optischen Abtasteinrichtung gemessen worden ist. Die Kurven am rechten und unteren Rand stellen den Hellig keitsverlauf entlang einer vertikalen bzw. horizontalen geraden Linie dar. Der Helligkeitsverlauf entlang einer Kreislinie des in Fig. 4 oben links gezeigten Höhen- bzw. Helligkeitsprofils ist in Fig. 5 über dem jeweiligen Winkel dargestellt. Die gepunkteten Linien in den Fig. 5 und 7 sind die aktuellen Meßwerte, die durchgezogenen Linien stellen eine Mittelung zur Kurvenglättung dar.

Diese Daten werden vom Computer in der folgenden Weise ausgewertet.

1. Aus der Winkelabhängigkeit der Maxima und Minima der Helligkeit wird die Bindungsart bestimmt. Im Falle von Leinwandbindung findet sich zwischen 0° und 180° ein Maxi mum mittlerer Höhe bei einem Winkel von etwa 90°. Bei Köperbindung treten zwischen den Winkeln 0° und 180° zwei Maxima bei den Winkel von etwa 60° und 120° auf. Auf diese Weise kann durch die mit einem Rechner mögliche Auswertung der Winkelabhängigkeit der Helligkeitsverteilung die Bindungsart der Stoffprobe bestimmt werden. In diesem Beispiel sind die Abweichungen der Maxima von den Winkeln 90°, 60° und 120° relativ groß, da die Fäden im Textil gegeneinander verschoben sind. Dennoch ist eine einwand freie automatische Auswertung möglich. Die Abweichungen lassen sich deutlich verringern, wenn eine Mittelung über mehrere Meßkurven vorgenommen wird.
2. Die Lage der größten Helligkeitsmaxima in der Winkel verteilung gibt die Lage von Kett- und Schußfadenknoten an.
3. Wird die Helligkeitsverteilung nun in Richtung des Kett- und Schußfadens bestimmt, so erhält man zum einen aus der Anzahl der Maxima pro Längeneinheit die Zahl von Fäden pro Längeneinheit. Aus der Halbwertsbreite der jeweiligen Maxima erhält man außerdem den Durchmesser des Kettfadens bzw. Schußfadens.

Die Fadendichte im Beispiel nach Fig. 4 wurde zu 23 und 18 cm⁻¹ in den zwei zueinander senkrechten Richtungen (Leinwandbindung) automatisch bestimmt. Die Werte im Beispiel nach Fig. 6 betrugen 50 und 25 cm⁻¹ (Köper bindung).

Zusätzlich zu diesen Angaben ist in der Regel auch die Dicke der Textilprobe von Interesse. Dieser Wert läßt sich ebenfalls mit der erfindungsgemäßen optischen Abtast einrichtung auf folgende Weise ermitteln. Auf das auf einem ebenen Untergrund aufliegenden Textilgewebe 1 wird eine Platte mit einem Gewicht von 2 g/cm², die ein übliches Prüfgewicht in der Textilindustrie ist, auf gelegt, wie es in Fig. 8 gezeigt ist. Bei bekannter Dicke der Platte 10 kann dann durch Abtasten der Platte 10 sowie der Unterlage 2 der Abstand zwischen der Oberseite der Platte 10 und der Unterlage 2 ermittelt werden. Der Abtastbereich ist in Fig. 8 durch den Doppelpfeil 11 dar gestellt. Durch Subtraktion der Dicke der Platte 10 vom Abstand d zwischen der Oberseite der Platte 10 und der Unterlage 2 erhält man dann die Dicke der Textilprobe 1.

Bezugszeichenliste

1

gewebtes Textil

2

Unterlage

3

Lichtleiter zur Beleuchtung

4

,

4

A,

4

B,

4

C,

4

D Lichtleiter zum Detektieren

5

Lichtquelle

6

,

6

A,

6

B,

6

C,

6

D Photodetektor

7

Gehäuse

8

A,

8

B,

8

C,

8

D elektrische Signalleitung vom jeweiligen Photodetektor

9

elektrische Leitung zur LED-Versorgung

10

Platte

11

Doppelpfeil

12

beleuchteter Bereich

13

erfaßter Bereich
d Abstand
α Winkel

Claims

1. Selbsttätiges Verfahren zum Bestimmen der Eigen schaften einer Probe mit einer im wesentlichen ebenen oder nur leicht gekrümmten Oberfläche, insbesondere der Eigenschaften eines gewebten Textils oder von Leder oder der Oberflächenbeschaffenheit eines Werk stücks, dadurch gekennzeichnet, daß man die Oberfläche der Probe punktförmig beleuchtet und das rückgestrahlte Licht mit einer nur einen punktförmigen Bereich erfassenden Detektorein heit sowie die zweidimensionalen Koordinaten dieses Bereichs erfaßt, auf diese Weise einen vorgegebenen Ausschnitt der Oberfläche abtastet, die Helligkeits werte zusammen mit den zugehörigen Koordinaten in einem Computer als dreidimensionales Profil speichert und durch Auswertung dieses Höhenprofils die Eigen schaften der Probe bestimmt.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß man die punktförmige Beleuchtung der Probe mit mindestens einer Leuchtdiode oder Laserdiode vor nimmt, deren Lichtaustrittsfläche auf die Oberfläche der Probe gerichtet ist.

3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß man die punktförmige Beleuchtung der Probe mit einer Laserdiode, Leuchtdiode oder Halogenlampe und mit mindestens einem daran angeschlossenen Licht leiter vornimmt, der mit seinem Lichtaustrittsende auf die Oberfläche der Probe gerichtet ist.

4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß man das rückgestrahlte Licht mit mindestens einem Lichtwellenleiter erfaßt, der mit seinem der Licht eintrittsöffnung gegenüberliegenden Ende an einen Photodetektor, insbesondere eine Detektordiode ange schlossen ist.

5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß man das rückgestrahlte Licht unmittelbar mit einem Photodetektor, insbesondere einer Detektordiode oder einem CCD-Chip, erfaßt, vor dem vorzugsweise ein oder mehrere optische Elemente angeordnet sind.

6. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß man sowohl die punktförmige Beleuchtung der Probe als auch die Erfassung des rückgestrahlten Lichts mit einem Chip vornimmt, in welchem sowohl mindestens eine Lichtquelle als auch mindestens ein Detektor integriert ist, wobei zwischen dem Chip und der Probenoberfläche vorzugsweise ein Lichtleiter ange ordnet ist.

7. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß man die Fadendichte eines gewebten Textils bestimmt, indem der Computer den räumlichen Abstand zweier benachbarter Helligkeitsmaxima in Kett- oder Schußfadenrichtung des Höhenprofils ermittelt und die Fadendichte aus dem reziproken Wert dieses Abstands errechnet.

8. Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, daß der Computer außerdem aus dem Vergleich der Fadendichten in Kett- und Schußfadenrichtung die Art der Gewebebindung bestimmt.

9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Computer den Winkelabstand der Helligkeits maxima auf einer kreisförmigen Profillinie mit einem absoluten Helligkeitsmaximum als Kreismittelpunkt ermittelt und aus der Winkelabhängigkeit die Art der Gewebebindung und/oder den Winkel der Kett- und/oder Schußfadenrichtung bestimmt.

10. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß man die Fadendicke bestimmt, indem der Computer die Halbwertsbreite der Maxima im Höhenprofil errechnet.

11. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß man die Dicke eines auf einer Unterlage liegenden Textils durch Auflegen einer ebenen Platte mit vor gegebener Dicke auf den Rand des Textils und durch punktförmiges Beleuchten von Platte und Unterlage, Erfassen des rückgestreuten Lichtes mit der Detektor einheit und Bestimmen der Differenz der Entfernung von Platte und Unterlage zur Lichtquelle und/oder Detektoreinheit bestimmt.

12. Einrichtung zum Bestimmen der Eigenschaften einer Oberfläche, wobei die Einrichtung insbesondere zum Durchführen des Verfahrens nach einem der vorher gehenden Ansprüche geeignet ist, gekennzeichnet durch eine, insbesondere in einer Ebene zeilen- und spaltenweise verfahrbare, optische Abtasteinrichtung mit mindestens einem die Oberfläche punktförmig beleuchtenden Element (3, 5) und mindestens einer einen punktförmigen Bereich des rückgestrahlten Lichts erfassenden Detektoreinheit (4, 6) sowie durch einen an die Detektoreinheit (4, 6) angeschlossenen Computer zur Übernahme der von der Abtasteinrichtung gelieferten Werte für die Helligkeit und die zugeord neten Koordinaten.

13. Einrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß das die Oberfläche punktförmig beleuchtende Ele ment als Leuchtdiode oder Laserdiode ausgebildet ist, die die Probe unmittelbar ohne Zwischenschaltung anderer Elemente beleuchten.

14. Einrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß das die Oberfläche punktförmig beleuchtende Ele ment als Lichtleiter (3) mit angeschlossener Licht quelle (5), insbesondere Leucht- oder Laserdiode, ausgebildet ist.

15. Einrichtung nach einem der Ansprüche 12 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Detektoreinheit aus mindestens einem Licht leiter (4) mit angeschlossenem Photodetektor (6), insbesondere Photodiode, besteht.

16. Einrichtung nach einem der Ansprüche 12 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Detektoreinheit aus mindestens einer Photo diode mit einer lichtsammelnden Frontoptik oder einem CCD-Chip mit einer derartigen Frontoptik besteht.

17. Einrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß das die Oberfläche punktförmig beleuchtende Ele ment und die Detektoreinheit in einem einzigen Bau teil, insbesondere einem Chip, integriert sind.

18. Einrichtung nach einem der Ansprüche 14 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Licht emittierenden und die Licht auf nehmenden Lichtleiter mit ihren der zu untersuchenden Oberfläche zugewandten Enden parallel zueinander ausgerichtet sind und daß insbesondere diese Enden ohne wesentlichen Abstand aneinander anliegen.

19. Einrichtung nach einem der Ansprüche 14 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Licht emittierenden und die Licht aufnehmen den Lichtleiter mit ihren der zu untersuchenden Oberfläche zugewandten Enden schräg aufeinander zu in einem Winkel von 0 bis 30°, vorzugsweise von 0 bis 12°, ausgerichtet sind und daß insbesondere diese Enden ohne wesentlichen Abstand aneinander anliegen.

20. Einrichtung nach einem der Ansprüche 12 bis 19, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere beleuchtende Elemente und mehrere das Licht erfassende Detektoreinheiten vorgesehen sind, wobei jede Detektoreinheit eine separate Ausgangs signalleitung hat, die an den Computer angeschlossen ist.

21. Einrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß die beleuchtenden Elemente und die Detektor einheiten in einer Sensoreinheit zusammengefaßt sind.

22. Einrichtung nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß die beleuchtenden Elemente und die Detektor einheit an der Kopfseite der Sensoreinheit jeweils linienförmig angeordnet sind.

23. Einrichtung nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, daß 4 beleuchtende Elemente und 4 Detektoreinheiten vorgesehen sind.