DE3123703C2 - - Google Patents
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Classifications
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Description
Die Erfindung betrifft eine Einrichtung der im Oberbegriff
des Anspruchs 1 genannten Art zum Analysieren des
Ausgangssignals einer sequentiell mit einem ersten Zeittakt
abgetasteten, aus diskreten Fotodetektorelementen bestehenden
linearen oder zirkularen Fotodetektoranordnung.
Solche Fotodetektoranordnungen, häufig Diodenarrays
genannt, werden mit Lichtmustern beaufschlagt, und die
einzelnen Fotodetektoren werden nacheinander abgetastet, so
daß ein sequentielles Signal entsteht, das aus einer zeitlichen
Hintereinanderanordnung der einzelnen Ausgangswerte der
Fotodetektorelemente besteht. Durch Analyse eines solchen
Ausgangssignals ist es möglich, z. B. einen Hell/Dunkelsprung
zu bestimmen, der von der Abbildung einer Kante eines Gegenstandes
auf der Fotodetektoranordnung herrührt. Durch Analyse
des Ausgangssignals der Fotodetektoranordnung läßt sich
daher auch eine Aussage der geometrischen Lage der den
Hell/Dunkelsprung verursachenden Kante gewinnen.
Die Genauigkeit dieser Aussage ist durch den linearen
Abstand der einzelnen Fotodetektorelemente begrenzt. Je
mehr Fotodetektorelemente pro Längeneinheit nebeneinanderliegen,
um so größer ist die Auflösung bei der Bestimmung
der Lage der Kante. Die lineare Dichte der Fotodetektorelemente
ist aber aus physikalischen Gründen begrenzt und läßt
sich auch aus fertigungstechnischen Gründen nicht weiter
steigern.
Durch die US-PS 41 31 857 ist eine Einrichtung zum
Analysieren des Ausgangssignals einer sequentiell abgetasteten,
linearen Fotodetektoranordnung bekannt, bei der die
Zahl der Fotodetektorelemente pro Länge zunächst sehr hoch
ist und dann zur weiteren Erhöhung der Genauigkeit Mittel
vorgesehen sind, um die Mitte zwischen zwei Intensitäts-
bzw. Spannungswerten festzustellen, die von zwei Fotodetektorelementen
stammen, die zu beiden Seiten einer Kante
liegen, die einen Hell/Dunkel- oder Dunkel/Hellsprung darstellt.
Die genannten beiden Fotodetektorelemente haben also
unterschiedliche Polarität. Es wird dabei unterstellt, daß
die wirkliche Kante genau zwischen dem dunkelsten und dem
hellsten Wert, also in der Mitte zwischen den Werten dieser
beiden Fotodetektorelemente liegt. Zwischenwerte zwischen
diesen beiden Extremwerten werden nicht berücksichtigt. Ist
also z. B. eines der Fotodiodenelemente von der Kante nur
teilweise beleuchtet, so daß also die Spannung nicht mehr
den einen maximalen Grenzwert hat, so gilt nicht mehr die in
dieser Schrift zugrundeliegende Gedankenvorstellung, daß die
tatsächliche Kante genau mitten zwischen den beiden Fotodetektorelementen
liegt. Die erzielte Erhöhung der Genauigkeit
ist daher sehr gering.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, Hell/Dunkelsprünge
in einem Lichtmuster mittels einer von diesem beaufschlagten
linearen oder zirkularen Fotodetektoranordnung mit
erhöhter Genauigkeit festzustellen.
Die der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe wird durch
die im Kennzeichen des Anspruchs 1 angegebene Lehre gelöst.
Der Grundgedanke der Erfindung geht dahin, die Intensität
von Signalen von Fotodetektorelementen, die benachbart
zu Hell/Dunkel- oder Dunkel/Hellsprüngen liegen und nur
teilweise beleuchtet sind, mit zur Erhöhung der Genauigkeit
der Feststellung des Ortes des Hell/Dunkel- oder Hell/-
Dunkelsprungs heranzuziehen.
Nach der Lehre der Erfindung wird also der tatsächliche
Spannungsverlauf der Fotodetektoranordnung durch
Heranziehung der Werte teilweise beleuchteter Dioden ermittelt
zur Extrapolation oder Interpretation des Spannungsverlaufs
zwischen den tatsächlichen Grenzwerten herangezogen.
Zur Umsetzung dieses Grundgedankens in die Praxis
wird nach der Lehre des Kennzeichens des Anspruchs 1 zunächst
ein Tiefpaßfilter zum Glätten des Ausgangssignals der
Fotodetektoranordnung verwendet. Sodann wird nach der weiteren
Lehre der Erfindung der Zeittakt für die Prüfung dieser
so geglätteten und nachgebildeten Kurve verfeinert. Das
differenzierte und geglättete Signal wird also mit einem
feineren Raster als durch die Geometrie der Fotodetektormatrix
vorgegeben abgetastet.
Weiterbildungen der Lehre des Anspruchs 1 sind in den
Unteransprüchen angegeben. Deren Merkmale und Vorteile
werden in der nachfolgenden Figurenbeschreibung deutlich.
Anhand der Zeichnung soll die Erfindung nachfolgend
näher erläutert werden.
Fig. 1 verdeutlicht das Prinzip der Messung
gemäß der Erfindung.
Fig. 2 zeigt ein Blockdiagramm eines Ausführungsbeispiels
der Erfindung.
Fig. 3a bis 3f verdeutlichen die Auswirkung der
Verkürzung des Zeittakts zum Zwecke der
Erhöhung der Meßgenauigkeit.
Fig. 4 zeigt die Messung eines Drahtdurchmessers
mit einer Einrichtung gemäß der Erfindung.
Fig. 5 zeigt als Blockschaltbild die Einrichtung
nach Fig. 4.
Fig. 6a bis 6b verdeutlichen die Verarbeitung des
Videoausgangssignals einer Fotodetektoranordnung.
Fig. 7a bis 7b zeigen die Kurvenzüge der Ausgangssignale
der Fotodiodenanordnung bei einer
stark vergrößerten Kante eines Gegenstandes.
Fig. 8a bis 8d entsprechen im wesentlichen den
Fig. 7a bis 7d, basieren jedoch auf einer
geringfügigen Defokussierung des Lichtes.
Fig. 9 verdeutlicht die Verwendung der in den
vorhergehenden Figuren verdeutlichten
Einrichtung zur Feststellung von Löchern,
Kratzern oder dergleichen in einem Nocken
einer Nockenwelle eines Motors.
Fig. 10a und 10b verdeutlichen eine weitere Ausführungsform
der Erfindung zum Sortieren von
Befestigungsmitteln und anderen Teilen
jeglicher Art auf der Grundlage der erfindungsgemäß
genauen Messung.
Fig. 11 zeigt eine Ausführungsform der erfindungsgemäßen
Einrichtung zur zweidimensionalen
Prüfung.
Fig. 12 zeigt eine Ausführungsform zur Gliederung
der Position von Blechtafeln im Raum.
Fig. 13a bis 13c verdeutlichen eine Anwendungsform
der Erfindung zur Qualitätsbestimmung einer
Oberfläche.
Fig. 1 verdeutlicht eine typische Messung gemäß der
Erfindung. Ein Gegenstand, in diesem Falle ein Schneideinsatz
1, wird durch ein Lichtfeld 2 einer Lichtquelle 3 beleuchtet.
Ein Bild 4 (invertiert) der Schneidkante wird
durch eine Linse 5 auf einer Matrixfotodiodenanordnung 6 abgebildet.
Jede vertikale Reihe solcher Matrix wird durch
einen Schaltkreis 8 analysiert, um entweder eine digitale
Anzeige 10 einer Abmessung des Schneideinsatzes in jedem
Abschnitt zu gewinnen, einen Gut/Schlecht-Vergleich mit
einem Lichtausgang 11 oder einer Sichtanzeige 12 der Schneidkante
oder ihrer Kontur auf einem Bildschirm. Im allgemeinen
sind Fenster 14 und 15 in Gehäusen 16 und 17 ebenfalls vorhanden,
um die optischen Elemente zu schützen.
Andere Aspekte und Vorteile dieser Ausführungsform
werden nachfolgend diskutiert, und es sei darauf hingewiesesn,
daß viele andere oder ähnliche optische Ausbildungsformen
möglich sind, wo die folgenden elektronischen Aspekte
von Nutzen sind. Diese elektronischen Aspekte sind sehr
wichtig, da die Genauigkeit eines Systems, wie beispielsweise
das gemäß Fig. 1, vollständig von der Fähigkeit der
analysierenden Schaltung abhängt, um sicherzustellen, wo
sich das Bild auf der Fotodiodenanordnung im Raum befindet,
und zwar auch bei Unterschieden in der Empfindlichkeit der
Fotodiodenanordnung, bei Schmutz auf den Fenstern 14 und
15 und bei einer Ungleichmäßigkeit des Sichtfeldes 2 quer
über die Kante des Objekts.
Die nachfolgend beschriebene elektronische Verarbeitung
gilt in gleicher Weise für lineare Fotodetektoranordnungen,
zirkulare Anordnungen wie auch Matrixanordnungen 6 auf einer
einachsigen Zeile-für-Zeile-Basis. Andere Techniken für die
Feststellung zweiachsiger Bildkanten und die Verbesserung
werden ebenfalls beschrieben.
Beim gegenwärtigen Stand der Technik des Aufbaus von
Fotodetektoranordnungen gibt es physikalische Grenzen hinsichtlich
der Herstellung kleiner Fotodetektorelemente, was
wiederum die Verwendung von Anordnungen auf gröbere Messungen
beschränkt und das Arbeiten bei Feldanwendungsfällen
unmöglich macht. Die Begrenzung der Größe oder Ausdehnung
der Fotodetektoranordnung bedeutet eine Grenze hinsichtlich
der räumlichen Auflösung, die in der Praxis erreichbar ist,
was weit unter die theoretischen Grenzen der optischen Abbildungselemente
fällt.
Darüber hinaus sind bei diesen Einrichtungen Empfindlichkeitsvariationen
von Element zu Element aufgrund der sehr
komplexen Natur des Fertigungsvorganges für die Diodenanordnungen
unvermeidbar. Dieser Faktor führt im Zusammenhang
mit Variationen des Lichtfeldes zu Gesamtfehlern bei optischen
Meßsystemen, die mit Fotodetektoranordnungen arbeiten.
Die beschriebene Erfindung überwindet alle diese Schwierigkeiten
und macht hochgenaue Messungen in Bereichen möglich,
die bisher automatisierten optischen Meßsystemen verschlossen
waren.
Aus einzelnen Elementen bestehende Fotodetektoranordnungen
liefern aufgrund ihrer Natur nur diskrete räumliche
Beispiele des Lichtfeldes. Die theoretisch erreichbare räumliche
Auflösung bei Systemen mit Fotodetektoranordnungen ist
durch die physische Abmessung eines einzelnen Elements der
Fotodetektoranordnung begrenzt, wenn einfache Schwellwerttechniken
auf das Ausgangssignal der Fotodetektoranordnung
angewendet werden. In der Praxis können diese theoretischen
Grenzen nur angenähert werden, jedoch niemals erreicht werden.
Um diese Begrenzung durch die endliche Elementengröße
von Detektoranordnungen zu überwinden, muß man folgendes berücksichtigen.
Wird eine Fotodetektoranordnung sequentiell
mit einer genauen Frequenz abgetastet, so repräsentiert das
erzeugte Videosignal eine Zeitdomäne des optischen Signals
im Raum. Wenn sich das Signal in der Zeitdomäne befindet,
so kann man das Signal durch analoge elektronische Frequenzdomänenschaltkreise
verarbeiten. Tiefpaßfilter und Differentiatoren
können dabei das notwendige Frequenzdomänensignal
verarbeiten.
Eine Ausführungsform ist als Blockdiagramm in Fig. 2
gezeigt. Das von der Fotodetektoranordnung (a) kommende Videosignal
wird tiefpaßgefiltert durch ein lineares Phasenfilter
(b), wie beispielsweise ein BESSEL-Filter, dann zweimal
differenziert (c) und (d), worauf eine Feststellung des Null-
Durchganges des Signals erfolgt (e). Das Zeitintervall zwischen
dem Start der Anordnung und dem Null-Durchgang des
differenzierten Signals oder der Zeitintervall zwischen den
ersten und zweiten Null-Durchgängen wird durch einen Präzisionstaktgeber
(f) gemessen. Das Zeitbasissignal für den
Taktgeber und die Taktimpulse für die Abtastung der Diodenanordnung
wird durch einen hochstabilen Taktgenerator (g)
erzeugt. Typischerweise wird der Ort des Kantenbildes dann
in einen Mikrocomputer, wie dargestellt, eingespeist, um dort
mit gespeicherten Werten von Meisterteilen oder dergleichen
verglichen zu werden.
Die Bedeutung der Verwendung dieses Präzisionstaktgebers
zur Erzielung der Verbesserung der räumlichen Auflösung
ist in Fig. 3 gezeigt.
Fig. 3a ist eine vergrößerte Ansicht eines Übergangs
von hell zu dunkel, wie er an der Kante eines Teils beobachtet
wird. Die horizontale Achse gibt die Zeit an (die proportional
zur Position auf einer Fotodetektoranordnung ist), und die vertikale
Achse gibt eine Spannung an, die proportional zur Intensität
des auf die Anordnung fallenden Lichtes ist. Die Kante
des Gegenstandes ist durch den Umkehrpunkt des Signals definiert.
Der genaue Ort der Kante im Bild läßt sich wegen der
endlichen Größe der Elemente der Diodenanordnung nicht ohne
weiteres feststellen.
Durch Hindurchleiten des Signals durch ein Tiefpaßfilter
erhält man ein interpoliertes Signal, das die Wirkung
der Abtastfrequenz reduziert (Fig. 3b).
Fig. 3c und 3d zeigen das Signal nach der zweimaligen
Differentiation. Der Umkehrpunkt, der die Kante des Bildes
darstellt, ist nun durch den Ort gekennzeichnet, bei dem die
zweite Ableitung durch Null geht. Der Detektor E in Fig. 2
zur Feststellung des Null-Durchganges stellt den Ort der
Kante des Bildes fest.
Bei der Übertragung dieser Kantenposition zu dem
Computer wird der Präzisionstaktgeber F (Fig. 2) bedeutsam.
Da das Ziel darin besteht, den Ort dieses Kantenbildes zu
bestimmen, muß ein Zähler oder Taktgeber verwendet werden,
um zu verfolgen, welches Element der Fotodetektoranordnung
dem Null-Durchgang zugeordnet ist.
Zeigt der Detektor zur Feststellung des Null-Durchganges
an, daß die Kante des Bildes gefunden worden ist,
so wird der Wert dieses Taktes durch den Taktgeber (F) gespeichert.
Pulsiert dieser Takt nicht sehr oft, so wird das
Kantenbild gefunden, jedoch wird der Ort nicht vor später
gespeichert (was bedeutet: weiter weg).
Es sei nun Fig. 3e betrachtet. Die Periode dieses Taktes
ist die gleiche wie die Element/Elementperiode der Diodenanordnung.
In diesem Falle wird das Kantenbild als auf Puls
3 oder 4 fallend festgestellt, je nach dem genauen Ort
der Kante. Dieses entspricht einer räumlichen Auflösung
von nur 1 : 7 (Detektoranordnungen mit viel mehr Elementen
sind natürlich erhältlich, jedoch reicht diese aus 7 Elementen
bestehende Diodenanordnung aus, um die Technik zu verdeutlichen).
Wird eine höhere Taktfrequenz verwendet (Fig. 3f), so
wird das Auftreten eines Null-Durchganges weit öfter festgestellt.
Aus diesem Grunde gibt es eine geringere Verzögerung
zwischen der Zeit, zu der ein Null-Durchgang auftritt
und der Zeit, bei der sein Vorhandensein festgestellt wird.
Bei dem Ausführungsbeispiel ist die Taktfrequenz des Taktgebers
fünfmal so groß wie die Abtastfrequenz der Diodenanordnung.
Es sei nun angenommen, daß das Kantenbild beim
Taktimpuls 16 oder 17 auftritt. Dieses entspricht einer
räumlichen Auflösung von 1 : 35 unter Verwendung der Daten
von der gleichen Fotodetektoranordnung. Eine andere Betrachtungsweise
ist die, daß man annimmt, daß jedes Element der
Diodenanordnung in fünf Teile unterteilt ist, was Ergebnisse
liefert, die ähnlich derjenigen sind, die mit einer Anordnung
mit fünfmal mehr Elementen erzielt werden.
Es ist wesentlich, daß der schnelle Takt nicht ein
ganzzahliges Vielfaches des Taktes der Diodenanordnung sein
muß (obwohl es manchmal bequemer ist). Es ist lediglich notwendig,
daß der schnelle Takt mit dem Beginn der Videoabtastung
synchronisiert ist, um wiedergebbare Ergebnisse zu
erzielen.
Diese Technik wurde erläutert, um die Kanten eines
Bildes 64mal genauer zu orten, als das mit einem langsamen
Takt möglich wäre.
Die Verwendung eines richtig bemessenen Tiefpaßfilters
ist für die Arbeitsweise der gezeigten Ausführungsform bedeutsam.
Das Filter dient zwei speziellen Zwecken bei der
elektronischen Aufbereitung. Einer besteht darin, die Abtastfrequenzanteile
von dem Videosignal zu entfernen, und der zweite
besteht darin, ein augenblickliches gewichtetes Mittel von
verschiedenen Elementen der Diodenanordnung zu bilden.
Durch Bildung dieses augenblicklichen gewichteten Mittels
können Schwankungen in der Intensität von Element zu Element
der Diodenanordnung (typischerweise 5-10%) überwunden
werden, so daß dadurch die Beständigkeit der Ablesung
verbessert wird. Dies liefert außerdem eine notwendige
Interpolation zwischen Elementen.
Die Elimination von Störungen durch den Abtasttakt
von dem Signal ist deshalb erforderlich, weil der dem Filter
folgende Differentiator auf die Taktfrequenzkomponenten
ansprechen würde, die in dem Videosignal enthalten sind.
Je nach dem verarbeiteten optischen Signal und dem
speziellen Aspekt des gesuchten Signals wendet man eine
einfache oder doppelte Differentiation vor der Feststellung
des Null-Durchganges an, bevor man die zu taktenden Signale
in den Präzisionstaktgeber eingibt. Eine doppelte Differentiation
wird angewendet, wenn die Umkehrpunkte in optischen
Signalen angenommen werden, beispielsweise der Hell/Dunkel-
Kantenübergang eines Bildes oder mehrfache Kantenübergänge
in Sprossencodes oder von Bildern von Oberflächenfehlern.
Auch Beugesprossen oder Triangulationspunkte können durch
Bestimmung der Umkehrpunkte analysiert werden.
Der bei dem System verwendete Taktgeber gemäß Fig. 2g
mit hoher Auflösung ermöglicht die Feststellung des präzisen
Ortes der in den optischen Signalen angenommenen Eigentümlichkeiten
mit hoher Genauigkeit. Versuche haben gezeigt,
daß die Abstände zwischen den Elementen der Detektoranordnung
tatsächlich in 64 Teile unterteilt werden können bei
einem Zählfehler von 1. Diese sehr hohe Auflösung ermöglicht
den Bau von optischen Instrumenten mit Genauigkeiten,
die vorher unerreichbar waren.
Das hier beschriebene System ermöglicht aufgrund seiner
Natur auch eine Kompensation der optischen Leistung. Änderungen
der Lichtintensität haben keine Auswirkung auf den
festgestellten Ort der Kantenpunkte in dem Bild. Typischerweise
liegt der dynamische Bereich der Intensität bei 8 : 1,
wenn die Auflösung der Elemente der Diodenanordnung um den
Faktor 8 verbessert ist. Diese Kompensationsfähigkeit für
Lichtpegelschwankungen macht das Meßinstrument völlig unempfindlich
für Lichtfeldschwankungen aufgrund von Änderungen
in den Reflexionseigenschaften, Alterung von Lichtquellen,
Ablagerung von Schmutz auf den Abbildungslinsen
usw.
Die Technik der doppelten Differentiation ermöglicht
das Auffinden des exakten Ortes des Umkehrpunktes beim Hell/
Dunkelübergang von abgebildeten Kanten von festen Körpern.
Dieser Umkehrpunkt ändert seinen Ort nicht, wenn sich das
Lichtfeld ändert. Die doppelte Differentiation schafft
in Verbindung mit den Null-Durchgängen ein System, das
in bezug auf optische Leistungsschwankungen ganz unempfindlich
ist. Hinzu kommt der Vorteil des Systems, daß es auf
Defokussierungen unempfindlich ist. Es muß schon eine beträchtliche
Bildverschlechterung stattfinden, bevor die
Fähigkeit verlorengeht, eine Kante eines Bildes festzustellen.
Die oben genannten Konzepte gelten in gleicher Weise
für reflektive (Vorderflächen-)Beleuchtung und sind zweckmäßig
zur Feststellung von Oberflächenfehlern. Die hier beschriebenen
Analysenkonzepte eignen sich auch gut für die
Bestimmung von Orten von Beugemustern, wobei entweder die
erste oder die zweite Ableitung des Signals der Diodenanordnung
verwendet wird.
Eine Abwandlung der beschriebenen elektronischen Einrichtungen
besteht in der gleichzeitigen Verarbeitung von
Beugemustern, die bei industriellen Meßsystemen verwendet
werden, von denen ein Beispiel nachfolgend beschrieben sei.
Fig. 4 zeigt die Messung eines Drahtdurchmessers mittels
einer von Hand gehaltenen Pistole 50 gemäß der Erfindung.
Aus der Zeichnung ist ersichtlich, daß ein Diodenlaser
51 über eine Linse 52 und einen Spiegel 53 Kanten 55 und 56
von feinem Draht 57, typischerweise beschichteter Spulendraht
mit einem Durchmesser von 1 mm oder weniger, beleuchtet.
Das sich ergebende Beugemuster 58, das sich durch
Interferenz von Beugewellen ergibt, die von den Kanten ausgehen,
wird festgestellt und durch eine Fotodetektoranordnung
60 abgetastet. In diesem Falle handelt es sich um
eine Fotodiodenanordnung mit der Handelsbezeichnung RETICON
512C. Spiegel 61 dient zur Ablenkung des Lichtes, um das
Gehäuse kleiner zu gestalten.
Dieser Schaltkreis auf der Platte 62, dessen Blockdiagramm
in Fig. 5 gezeigt ist, verarbeitet die auf die
Diodenanordnung fallenden Beugesprossen. Das Ausgangssignal
der Schaltung besteht aus zwei binären Zahlen, nämlich
der Zahl der festgestellten Sprossen, und die andere ist
die zwischen der ersten und der letzten feststellbaren
Sprosse gemessene Distanz. Die mittlere Sprossenfrequenz
wird erreicht, wenn die Zahl von Sprossenabständen durch
die Entfernung geteilt wird; die von der Fotodiodenanordnung
gemessen wird. Hieraus und aus zwei anderen Konstanten
kann der Drahtdurchmesser berechnet werden.
Die grundlegende Beugungsgleichung lautet:
oder
W = R λ B oder
W = R λ B oder
darin ist
W = Schlitzbreite
n = Sprossenzahl
R = Abstand zwischen Schlitz u. Detektor
λ = Wellenlänge d. Lichtes (HeNe-Laser λ = 6.328 nm)
B = Sprossenfrequenz
darin ist
W = Schlitzbreite
n = Sprossenzahl
R = Abstand zwischen Schlitz u. Detektor
λ = Wellenlänge d. Lichtes (HeNe-Laser λ = 6.328 nm)
B = Sprossenfrequenz
darin ist
Das Intensitätsprofil ist
Diese Gleichung ergibt eine zyklische Intensitätsvariation,
worin I = 0 ist, wenn a = π, 2π, nπ ist. Mit anderen
Worten, die Minima (oder Sprossen) sind in regelmäßigen
Intervallen angeordnet. Der Abstand kann gemessen werden,
indem einfach die Position der ersten und letzten Sprossen
auf der Diodenanordnung geortet werden und der Abstand
zwischen ihnen gemessen und die in diesen Abstand fallenden
Sprossenabstände gezählt werden.
In der obigen Gleichung steckt eine weitere Implikation,
es können nämlich durch einfache Differentiation
des Videosignals und Feststellung der Null-Durchgänge die
Minima sehr genau und schnell lokalisiert werden.
Die räumliche Auflösung der Diodenanordnung wird durch
die Verwendung eines mittelnden Tiefpaßfilters und eines
Präzisionstaktgebers verbessert, der 4, 8 oder 16mal schneller
als der Takt der Diodenanordnung ist. Ist ein Minimumpunkt
gefunden, so kann sein Ort 4, 8 oder 16mal genauer
bestimmt werden, als das bei der herkömmlichen Taktmethode
der Fall ist.
Die Beschreibung eines Beugesystems liegt außerhalb
des Rahmens dieser Diskussion, jedoch seien einige Vorteile
der Beugung hier genannt:
- a) Es gibt theoretisch keine Begrenzung der Auflösung in einem Beugesystem (es wurde eine Auflösung von ca. 1 µ erzielt).
- b) Es muß keine Linse benutzt werden, so daß ein variables Element aus dem optischen Übertragungsweg eliminiert ist.
- c) Die Vergrößerung variiert mit der R-Distanz, da ein Beugesystem für Änderungen der axialen Position weniger empfindlich ist als ein abbildendes System.
Die hier beschriebene Schaltung wurde so ausgelegt,
daß sie mit einem treppenförmigen Videosignal arbeitet,
das durch eine unter dem Handelsnamen RETICON RC 100B bekannte
Platine oder ein entsprechendes Äquivalent erzeugt sein mag.
Der Standardstiftstecker dieser Platine sitzt auf der
DIFFRACTO CPU-Sammelschiene und ist mit einem Speicher
versehen. Auf dem gegenüberliegenden Ende befindet sich
ein Stecker zur Herstellung einer Verbindung zu einem runden
Kabel, das von der RC 100B Platine in dem optischen
Kopf kommt. Dieser Stecker überträgt das Video-Austastsignal,
das Taktsignal für die Diodenanordnung und die
Startsignale dafür zusammen mit einem Blitzlichtzündsignal
und weist außerdem vier Erdungsstifte auf. Der Sinn besteht
darin, in dem Kabel nur Signal- und Erdleitungen zu haben,
während die Speisespannungen unabhängig mit dem optischen
Kopf verbunden sind.
Das treppenförmige Videosignal wird gefiltert, um die
Taktfrequenz und irgendwelche geraden oder ungeraden Störsignale
des Musters in dem Signal zu entfernen. Das verwendete
Filter ist ein sechspoliges BESSEL-Tiefpaßfilter
mit einer Grenzfrequenz, die auf 1/10 der Taktfrequenz
der Diodenanordnung eingestellt ist. Durch einen derartigen
Betrieb hält das Filter die Taktfrequenz um mehr als
100 dB unterhalb des Signalpegels. Der Vorteil der Verwendung
eines BESSEL-Filters besteht darin, daß es nicht
"klingelt" oder unerwünschte Harmonische erzeugt. Es wirkt
außerdem als Mitteler für mehrere Elemente der Diodenanordnung
zu irgendeiner Zeit unter Berücksichtigung einer
bewichteten Fensterfunktion. Dieses Merkmal gestattet in
Verbindung mit einem Takt des Systems, dessen Frequenz
ein Vielfaches der Taktfrequenz der Diodenanordnung beträgt,
die Erhöhung der Auflösung über das Auflösungsniveau
eines Elements hinaus, das irgendeiner Diodenanordnung innewohnt.
Die Minima des Beugemusters werden durch Differentieren
und Feststellen der Null-Durchgänge in dem gefilterten
Videosignal gefunden.
Beim ersten Minimum des Beugemusters wird ein schneller
Zähler gestartet. Das Verhältnis der Zählertaktfrequenz zu
der Taktfrequenz der Diodenanordnung wird als elektronischer
Vergrößerungsfaktor (EVF) bezeichnet.
Nach dem ersten Sprossenminimum werden nachfolgende
Minima dazu verwendet, den Ausgangszählwert in zwei Ausgangstore
zu speisen. Nachdem das letzte Sprossenminimum
der Diodenanordnung vorgelegen hat, ist die in den Verriegelungen
verbleibende Zahl der Zählwert zwischen der
ersten und letzten Sprosse.
Ein getrennter Zähler dient zur Zählung der Zahl der
Sprossenabstände bei der Abtastung der Diodenanordnung. Die
Gesamtzählung der Zählung und die Zahl des Sprossenabstandes
kann dann von dem vorhandenen Computersystem aufgenommen
werden.
Befindet sich die Diodenanordnung in der Sättigung, so
wird die digitale Verriegelungs-Hardware außer Betrieb gesetzt,
um das Ansprechen der Zählung auf falsche Sprossen
zu verhindern. Aufgrund der Sprosseneinhüllenden mögen die
äußeren Sprossen auf der Diodenanordnung zu klein sein, um
eine zuverlässige Ablesung zu ergeben. Ein kleiner Sprossenfeststellkreis
setzt die Verriegelungs-Hardware außer Betrieb,
wenn die Sprossenmaxima unter einen bestimmten Schwellwert
fallen.
Ein monostabiler Kreis dient zur Verzögerung der Messung
beim Abtaststart, damit das Filter einschwingen kann.
Sobald eine DATENANFORDERUNG auftritt, wird ein Startimpuls
an die Diodenanordnung für den ENTLADEN-Zyklus gesandt.
Am Ende des Entlade-Zyklus wird ein monostabiler Kreis für den
Blitz mitgenommen. Dieses monostabile Ausgangssignal steht an
dem Verbindungsstecker zum Zünden von Blitzlampen (gepulste
Laser) zur Verfügung. Nach dem Blitzfenster wird ein weiterer
Startimpuls zu der Diodenanordnung für den LESEN-Zyklus gesandt.
Das Messen findet während dieser Abtastung der Diodenanordnung
statt.
Daten von dem Schaltkreis 62 gelangen zu einem Mikrocomputer
65 (typischwerweise ein solcher, der unter dem Handelsnamen
Intel 8085 bekannt ist) und werden verarbeitet, um den
Drahtdurchmesser in Zoll, My usw. auf einer Anzeigeeinrichtung
68 anzuzeigen. Die Genauigkeit liegt im Bereich von 2-10 µ
(abhängig von der Zahl der verwendeten Elemente in der Diodenanordnung)
und ist allen anderen bekannten Drahtmeßinstrumenten
überlegen.
Das beschriebene System ist außerdem äußerst linear bei
einem Fehler von kleiner 10-5 über einen gesamten Bereich von
Durchmessern von 0,001-0,04 mm. Außerdem kann die gleiche elektronische
Methode bei Beugemustern angewendet werden, die von
zwei Kanten oder einem zylindrischen Teil und einer Kante
herrühren, wie das z. B. in der US-PS 39 94 584 beschrieben ist.
Wird Diodenlaser 51 kontinuierlich betrieben oder ein
Gaslaser verwendet, so können Ablesungen mit Geschwindigkeiten
von 1000 pro Sekunde erzielt werden. Dies ist im allgemeinen
schnell genug, um die Drahtposition einzufrieren, ohne daß
Zittern stattfindet. Dies kann jedoch vollkommen erreicht werden
durch Verwendung einer Linse zur Fokussierung ungebeugter
Strahlung in der Ebene der Diodenanordnung, wodurch ein quasi
statisches Muster geschaffen wird, und durch Verwendung eines
gepulsten Diodenlasers 51 zum Einfrieren des Musters mit kurzen
stroboskopischen Impulsen. Dieser Impuls kann auch durch einen
gesonderten Detektor 65 und einem Schaltkreis 66 ausgelöst
werden, der dazu dient anzuzeigen, daß der Draht sich in der
Meßposition befindet - ein besonders wünschenswertes Merkmal
bei einer von Hand gehaltenen Einrichtung.
Natürlich muß die Einheit nicht unbedingt mit der Hand
gehalten werden, sie kann auch ortsfest angeordnet und in ein
Kontrollsystem eingefügt sein, um Daten z. B. zur Steuerung
einer Drahtbeschichtungsmaschine rückzuführen.
Ein Analogdetektor 70, der auf den Böschungen einer
Sprosse des Beugemusters angeordnet ist, und ein Vergleichskreis
75, der ein Hochpaßfilter aufweist, können ebenfalls verwendet
werden, um Fehler oder Vertiefungen in der Beschichtung
des Spulendrahtes festzustellen. Solche Fehler oder Stöße bedeuten
typischerweise 20% oder mehr Durchmesseränderung und
bewirken eine heftige, jedoch augenblickliche Verschiebung des
Ortes der Beugesprosse, was augenblicklich durch einen Schaltkreis
75 festgestellt wird. Ein Fehler kann festgestellt oder
die Zahl von Fehlern pro Meter kann mittels des Mikrocomputers
ermittelt werden.
Die Verarbeitungsstufen für die elektronischen Signale
gemäß der Erfindung werden anhand der Fig. 6, 7 und 8 für eine
Anzahl verschiedener Anwendungsfälle erläutert. Fig. 6 verdeutlicht
den Ablauf bei einer Anwendung bei Beugesprossen, Fig. 7
für Hell/Dunkelübergänge einer optischen Kante und Fig. 8 für
die gleiche optische Kante, die fokussiert worden ist.
Fig. 6 zeigt oben das Videoausgangssignal einer Fotodetektoranordnung,
wobei das optische Signal durch ein Beugemuster
eines einzigen Schlitzes erzeugt wird. Die räumlich abgetastete
Natur des Signals ist deutlich in der Darstellung zu erkennen
(Kurvenzug a), der dieses Signal wiedergibt. Die Zentren der
Sprossenmaxima sind gesättigt. Ohne eine weitere Verarbeitung
würde irgendeine räumliche Auflösung auf ein Element begrenzt
sein, das durch jedes der Flecken repräsentiert ist.
Kurvenzug (b) ist eine tiefpaßgefilterte Version des
ersten Signals. Die kontinuierliche Natur des optischen Signals
wird an diesem Punkt deutlich wieder hergestellt, und es gibt
tatsächlich keine Diskontinuitäten in dem Signal. Die erscheinende
Verschiebung nach rechts der Signale b, c und d wird
durch die Verzögerung in dem Tiefpaßfilter und den Differentiatoren
bewirkt. Das Bessel-Filter ist deshalb gewählt, da es
eine konstante Zeitverzögerung hat, die nicht von dem Videosignal
abhängig ist. Da diese Zeitverzögerung konstant ist,
kann sie bei der Eichung des Systems sehr leicht berücksichtigt
werden. Die kontinuierliche Natur des optischen Signals wird
an diesem Punkt klar wiederhergestellt, und es gibt tatsächlich
keine Diskontinuitäten in dem Signal.
Kurvenzug (c) ist das gefilterte Videosignal nach der
Differentiation. Die Nulldurchgänge von negativ zu positiv in
dem differenzierten Signal fallen mit den minima des gefilterten
Signals zusammen. Kurvenzug (d) zeigt das Ausgangssignal
des Detektors für die Nulldurchgänge, wobei die negativ verlaufenden
Kanten genau die relativen Positionen der minima des
Beugemusters lokalisieren.
Fig. 7 zeigt die Kurvenzüge der Ausgangssignale der
Diodenanordnung und verdeutlicht den Hell/Dunkelübergang einer
stark vergrößerten Kante eines Gegenstandes, die mittels einer
Linse auf die Diodenanordnung projiziert worden ist. Dieser
zerstört, wie sich das deutlich aus dem Kurvenzug (a) ergibt, die
räumliche Abtastung der Diodenanordnung die räumliche Kontinuität,
was durch die konstante Zeitverzögerung des Tiefpaßfilters
wiederhergestellt wird, was aus Kurvenzug (b) hervorgeht. Das
Filter liefert außerdem eine Interpolation zwischen abgetasteten
Punkten im Raum. Kurvenzug (c) ist die erste Ableitung
und Kurvenzug (d) die zweite Ableitung des Kurvenzuges (b).
Der Umkehrpunkt des Hell/Dunkelüberganges ist im Raum fest und
kann sehr genau durch Anwendung der Doppeldifferentiation gefunden
werden. Ein Nulldurchgang tritt in der zweiten Ableitung
an dem Umkehrpunkt auf, und dieser Punkt verschiebt sich nicht
bei Änderungen der Lichtintensität, so daß dies ein automatisches
Mittel zur Kompensation der optischen Leistung darstellt.
Fig. 7 zeigt den Kurvenzug eines fokussierten Bildes,
während Fig. 8 entsprechende Kurvenzüge für ein Bild zeigen,
das etwas defokussiert ist. Wie aus den Signalen zu ersehen
ist, ergibt die Feststellung der Nulldurchgänge weiterhin den
Ort der fraglichen Kante an, obwohl Änderungen der Vergrößerung
erfolgen können.
Bei der Ausführungsform gemäß Fig. 1 sind der dargestellte
Schaltkreis und die aus Festkörpern aufgebaute digitale
Anordnung maßgebend für eine arbeitsfähige Einrichtung mit
hoher Auflösung, die moderne industrielle Forderungen erfüllen
kann. Z. B. wird üblicherweise gefordert, Schneidwerkzeuge mit
Genauigkeiten von 0,00025 mm oder besser einzustellen, was in
sehr einfacher Weise mit der Einrichtung gemäß Fig. 1 geprüft
werden kann.
Ein typischer Detektor für den Schneidwerkzeugfall kann
der der Firma General Electric mit der Bezeichnung TN2200 sein,
der eine Diodenanordnung von 128 × 128 Elementen aufweist, wobei
die Zentren der Elemente Abstände von 0,003 × 0,003 mm
betragen, während die Linsenvergrößerung 2 : 1 beträgt. In
diesem Fall hängt das Bild der kritischen Kante der Schneidwerkzeugspitze
auf der Diodenanordnung, jedoch mit einer Auflösung
von 0,0015 mm pro Element, was für die meisten Anwendungsfälle
unzureichend ist. Durch Anwendung der beschriebenen Erfindung
zum Auffinden der Bildkante wird die Bildauflösung ohne
weiteres ein Zehnmillionstel eines Millimeters. Es tritt keine
Drift oder eine Nichtlinearität aufgrund der Position der digitalen
Diodenanordnung auf.
Bei dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 1 ist der Schneideinsatz
1 in einer Bohrstange 20 befestigt, die in einem Prismenblock
ruht, der sich auf einer Befestigung 21 befindet.
Es ist nun von Interesse, optische Achsen x, y und z einzuführen,
die durch Führungen 25, 26 und 27 gebildet sind, die jeweils
ihre eigenen Positionsfeststellvorrichtungen aufweisen,
die aus Einfachheitsgründen nicht dargestellt sind. Die Verwendung
solcher Achsen entspricht der vieler optischer Koordinatenprojektoren,
die ohne weiteres durch die hier beschriebene
Einrichtung ersetzt werden können.
Aufgrund der erzielten Abmessungen kann man die Kontur des
Schneidwerkzeuges und seinen Ort in großer Vergrößerung in der
Abtastachse auf einen Bildschirm projizieren. Dies ist im allgemeinen
Sinne ein Analog-CRT, der seinen eigenen Fehler hat,
wenn es nicht selbst eine digitale Anzeigevorrichtung ist, beispielsweise
eine flache Flüssigkristallanzeigeeinrichtung, die
jedoch noch nicht allgemein erhältlich ist.
Geeigneter, jedoch teurer ist der automatische Vergleich
der Schneidkantendaten mit Grenzwerten. Z. B. kann die Spitze
des Schneidwerkzeuges unmittelbar ermittelt werden, indem aufeinanderfolgende
Abtastungen ermittelt werden, wie das auch
für den Schneidwinkel gilt. Da die Auflösung sehr hoch ist,
können Schneidwerkzeugdefekte wie beispielsweise Abbruchbezirke
ebenfalls sehr gut festgestellt werden.
Die beträchtliche Verbesserung der Auflösung ermöglicht
die Messung bei hoher Auflösung (z. B. 0,00025 mm) über ein
weites Beobachtungsfeld. Z. B. liefert eine allgemein erhältliche
Diodenanordnung der Firma General Electric TN 2500 mit 250 × 250
Elementen mit der beschriebenen elektronischen Technik ohne
weiteres ausreichende Auflösung in der Abtastachse und über
computergesteuerte Verarbeitung ebenso in der anderen Achse
(s. Fig. 11).
Über das Feld auftretende Linsenfehler können gewünschtenfalls
in dem Mikrocomputer kompensiert werden, so daß die Kosten
sehr teure flache feldverzerrungsfreie Linsen vermieden werden
können. Dies kann dadurch erfolgen, daß Punkte in einem präzisen
xy-Gitter gespeichert werden, das über die Gegenstandsposition
gelegt wird, und in dem die zwischen diesen gespeicherten bekannten
Punkten gewonnenen Prüfdaten interpoliert werden. Hierdurch
werden auch Restlichtfehler entfernt, obwohl die beschriebene
Schaltung fast alle solche Fehler berücksichtigen
kann.
Die oben genannte Auflösung von 0,00025 mm zu 2,5 mm
Objektfeld ist weit besser als die, die selbst mit den größten
optischen Projektoren erreichbar ist, und die Genauigkeit ist
"fest eingebaut" aufgrund der driftfreien Anordnung digitaler
Festkörper. Der Bereich kann jedoch sehr weit automatisch vergrößert
werden, indem man die erzielten Ablesungen in die gezeigten
Führungsablesungen einbezieht.
Fig. 9 verdeutlicht die Verwendung der Schaltung zur
Feststellung von Löchern, Kratzern oder anderen Fehlern in
Nocken 99 einer Nockenwelle eines Motors. Gemäß der grundlegenden
Fehleranalyse und deren Verarbeitung werden die fehlerhaften
Kanten durch den doppeltdifferenzierenden Schaltkreis und
ihrem zwischen Umkehrpunkten bestimmten Abstand festgestellt
oder durch die Zahl von aufeinanderfolgenden Abtastlinien, auf
denen ein Fehler festgestellt worden ist. Die hier beschriebene
optische Einrichtung kann jedoch auch in Verbindung mit anderen
Schaltkreisen verwendet werden.
Eine lineare Diodenanordnung 100, beispielsweise Reticon
256C, auf der ein Bild 101 des axialen Nockenstreifens 102, den
die Diodenanordnung sieht, mittels einer Linse 103 gebildet
wird, die beispielhaft für eine große Zahl für eine gute Tiefenschärfe
ist. In der Praxis wird dies durch Verwendung einer
Objektivlinse mit einem Durchmesser von 1 mm erreicht, um den
Öffnungswinkel zu begrenzen. Lichtquelle 110 besteht aus kontinuierlichem
Bogenlicht oder aus einer Anzahl individueller
Lichtquellen, die in einem Bogen angeordnet sind und den Nocken
aus vielen Winkeln beleuchten, derart, daß ausreichend Licht
die Anordnung in allen Winkellagen des Nockens erreichen kann.
Bei einer derartigen Anordnung ergibt sich eine geringe
Variation der Lichtleistung, die von der Oberfläche zurückkommt,
und dies kann bei dem beschriebenen Verarbeitungskreis
berücksichtigt werden. Typischerweise können 100 Abtastungen pro
Sekunde oder mehr der Diodenanordnung erreicht werden.
Es sei bemerkt, daß diese Technik der Fehlerfeststellung
auch bei anderen gekrümmten Objekten oder in der Brenntiefe
variierenden Objekten verwendet werden kann. Von besonderem
Interesse sind alle Kugellager, Lager, Hohlräume wie beispielsweise
Gieß- oder Spritzformen usw.
Fig. 10a und 10b verdeutlichen eine weitere Ausführungsform
der Erfindung zum Sortieren von Befestigungsmitteln und
anderen Teilen jeder Art. Die spezielle Ausführungsform ist für
zylindrische Teile wie beispielsweise Schrauben, Bolzen, Niete
usw. ausgelegt. Eine von einer Werkstückzuführeinrichtung 201
zugeführte Schraube 200 gleitet über eine Prismenbahn 205 nach
unten, die einen durchscheinenden Abschnitt 206 aufweist. Eine
Matrixfotodiodenanordnung 210 ist oberhalb der Bahn angeordnet,
und unterhalb davon befindet sich eine Xenon-Blitzlichtlampe
212. Wenn die Schraube in der Bahn nach unten gleitet (im allgemeinen
aufgrund der Auslegung der Werkstückzuführeinrichtung)
mit dem Gewindeende nach vorn, so löst das Ende der Schraube
eine lichtemittierende Diode und einen Taster 220 zur Feststellung
der Anwesenheit von Teilen aus, der das Blitzlicht
zündet. Das Licht von dem Blitzlicht durchläuft die Teflonbahn
und bringt damit das Bild der Schraube oder eines Teiles davon
auf der Diodenanordnung über eine Objektivlinse 221 zum Stehen.
Die Abtastachse der Zeilen der Diodenanordnung ist typischerweise
quer zu dem Schraubendurchmesser, d. h. senkrecht zu
der Längsachse der Schraube, orientiert. Die gleichzeitige Auflösungsverbesserung,
die sich durch die elektronische Technik
gemäß der Erfindung ergibt, verbessert somit die diametrale
Meßgenauigkeit.
Eine Steuereinheit 240 mit einem Mikrocomputer dient zum
Vergleich der verschiedenen diametralen Abschnitte mit gespeicherten
akzeptablen Werten der Schraube und berechnet die
Gesamtlänge, Gewindelänge, Kopfhöhe, Scheibendicke (falls vorhanden)
und das Vorhandensein einer Scheibe (gegebenenfalls)
aus sequentiellen Daten aufgrund der Zeilenabtastung. Es ist
auch möglich, die Zahl von Gewindegängen zu zählen.
Nach dem Vergleich wird das Teil angenommen oder in der
bezeichneten Weise durch einen Abblaseelektromagneten 250 abgewiesen.
Detektor 260 kann in der der Matrixanordnung benachbarten
Bildebene angeordnet sein, um den Blitz abzuschalten, wenn ein
normaler Energiepegel erreicht worden ist, um so verschmutzte
Fenster oder Bahnen zu kompensieren.
Die Xenon-Blitzquelle kann auch durch eine Reihe von gepulsten
Festkörperquellen wie beispielsweise Diodenlasern oder
LED's 240 in der gezeigten Weise ersetzt werden. Die hier gezeigte
Schaltung kann im Gegensatz zu Bauarten mit festem
Schwellwert mit ungleichmäßigen Lichtfeldern verwendet werden,
wie sie durch die Verwendung von diskreten Lichtquellen bedingt
sind.
Derart aufgebaute Maschinen ermöglichen eine beachtliche
Produktivitätsverbesserung aufgrund der Zuführung von vorgeprüften
Teilen zu Montagemaschinen. Die hier beschriebenen
Abtasteinheiten können unmittelbar in die Speisebahnen solcher
Maschinen eingebaut werden.
Durchmessergenauigkeiten von 0,005 mm können bei Verwendung
billiger TN 2200 Diodenanordnungssystemen bei 50-mm-
Schrauben erreicht werden. Zu beachten ist, daß ein spezieller
Detektor 275 (Fig. 10b) zur Feststellung der Anwesenheit von
Zeilen stromaufwärts erforderlich ist, um Ladung von der Diodenanordnung
vor dem Blitz abzuführen. Dieser besondere Detektor
ist erforderlich, um ein wiederholtes Mitnehmen oder Zünden
für sich schnell bewegende Teile zu ermöglichen.
Die Fotodetektoranordnung muß kontinuierlich abgetastet
werden, um die Anordnung ladungsfrei bezüglich Streulicht und
Leckstrom (auf der Detektoranordnung selbst) zu halten. Die Abtastgeschwindigkeit
der TN 2200-Kamera beträgt 20 Abtastungen
pro Sekunde. Da die Teile mit hoher Geschwindigkeit wandern,
kann die Diodenanordnung das Teil vollständig verfehlen, wenn es
bis zum Ende der nächsten Abtastung wartet, um den Blitz zu
zünden. Ein Zünden des Blitzes während der Abtastung ist unerwünscht,
da das Format des Videosignals seine Verarbeitung
schwierig macht.
Die Verwendung eines zweiten Detektors 275 zur Feststellung
eines Teiles löst dieses Problem, da er der Diodenanordnung
vorher Mitteilung davon macht, daß sich ein Teil nähert.
Bei Eintreffen einer solchen Information kann die Diodenanordnung
seine Stromabtastung beenden und den Abtastvorgang am Ende
der Abtastung anhalten. Wenn das Teil den Detektor 220 erreicht,
so kann der Blitz gezündet und die Daten können augenblicklich
abgelesen werden. Die Zeit, während der die Abtastung
angehalten ist, reicht nicht aus, einen merklichen Aufbau von
Streulicht oder Leckstrom zu ermöglichen.
Eine spezielle Wiedergabeeinrichtung mit Einfrierspeicher
ist ebenfalls vorgesehen, mit Schleifkontakten, um diametrale
und longitudinale Vergleiche einzustellen.
Zur Prüfung der Schraubenkopfabmessungen und Scheibenbeschaffenheit
sowie großer Kopfrisse und dergleichen kann eine
zweite Kamera 280 mit einer Festkörpermatrixanordnung verwendet
werden, die in einem geneigten Winkel zur Bahn angeordnet ist,
um die Stirnseite des Kopfbereichs zu betrachten. Im allgemeinen
reicht für die Prüfung von Scheibe und Kopf die Beleuchtung
von hinten durch den gleichen Blitz durch die Bahn aus. Es ist
auch möglich, zusätzliche Lichtquellen, z. B. 285, vorzusehen, um
den Schraubenkopf zu beleuchten.
Für die oben genannten Teile ist gewöhnlich eine Basis
290 vorgesehen, wie auch Schutzgehäuse 291 und 292 mit Fenstern
293 und 294.
Bei langen Teilen können die Linsenvergrößerungen so gewählt
werden, daß nur das Kopfende betrachtet wird, da der
Sitz zu einem genauen Mitnahmepunkt auftritt, wenn ein Taster,
wie z. B. 295 in Fig. 10b, zusammen mit einer Linse und einem
Detektor mit Schlitzöffnung zur genauen Feststellung der Teilposition
verwendet wird. Hierdurch wird das Kopfende eingefroren,
so daß die Ablesung der Gesamtlänge, der Gewindelänge
und im allgemeinen all der anderen bedeutungsvollen Variablen
möglich ist.
Die Prismenbahn ist billig, führt gut die zylindrischen
Teile und ist besonders geeignet für Schrauben, bei denen der
Kopf einen beträchtlich unterschiedlichen Durchmesser hat. In
gleicher Weise kann auch ein durchscheinendes V-förmiges Transportband
verwendet werden, das von einem Motor angetrieben ist
und aufgrund seiner Geschwindigkeitsbeständigkeit größere Teilmengen
gestattet.
Schließlich kann auch ein motorgetriebenes flaches Transportband
aus Mylar oder anderem transparenten oder durchscheinendem
Material verwendet werden, um das Teil, gefangen durch
Führungsschienen, zu transportieren. Natürlich kann ein durchscheinendes
Transportband verwendet werden, wenn Lichtquelle
und Kamera horizontal sind.
Als nächstes ist in Fig. 11 eine äußerst nützliche Anwendung
der beschriebenen Schaltungstechnologie bei einer zweidimensionalen
Prüfung unter Verwendung einer Matrixanordnung,
einer sequentiellen Zeilenabtastung eines sich bewegenden
Bildes (entweder aufgrund der Bewegung des Teiles oder einer
Bewegung seines Bildes über eine lineare Diodenanordnung) oder
zur Verarbeitung von sequentiellen Abtastungen einer zirkularen
Anordnung wie einer Reticon 720 möglich, die eine Vielzahl von
Ringen von Vielfachelementen möglich (solche Anordnungen sind
im Handel noch nicht erhältlich).
Kurz gesagt besteht die Technik der zweiachsigen Messung
und eine Matrixanordnung darin, die Zeilen zu lesen, Zeile für
Zeile, und die Kantenorte z. B. durch Verwendung des hier
beschriebenen Schaltkreises zu bestimmen. Hierdurch werden die
Kanten in Richtung der Abtastlinien bestimmt. Die zweite Dimension
erhält man durch Ablesung der Information von Spalte zu
Spalte, die rechtwinklig zu den Zeilen der Anordnung liegen,
und die Information durch die beschriebenen elektronischen Einrichtungen
zu verarbeiten.
Die Technik besteht hier darin, zusätzlich jedes Element
jeder Abtastung in einen digitalen Graupegelspeicher (z. B. 256
Pegel oder 8 Bits) einzulesen und dann jede äquivalente Anordnungsspalte
des Speichers auszulesen und in den gleichen beschriebenen Schaltkreis
einzulesen (z. B. den gemäß Fig. 2 oder
5). Auf diese Weise wird der Punkt des Kantenortes in zwei
Ebenen bestimmt, was von Vorteil bei der allgemeinen Messung
zweidimensionaler Bilder von Gegenständen ist. Diese Technik
funktioniert auch bei zweiachsigen Beugemustern, die z. B. durch
quadratische Öffnungen erzeugt sein mögen.
Videodaten von der Fotodetektoranordnung A werden durch
das Videoschaltnetzwerk K geleitet, das Daten zu dem System L
zur Verbesserung der räumlichen Auflösung sendet. Das System
der Verbesserung der räumlichen Auflösung lokalisiert die Bildkanten
für jede Zeile der Diodenanordnung, und der Ort dieser
Kanten wird in einem Datenspeicherelement M gespeichert.
Zu der gleichen Zeit werden die Videodaten durch einen
Analog/Digitalwandler H in digitale Form umgewandelt. Das Videosignal
von jedem Diodenanordnungselement wird in eine Zahl umgewandelt,
die proportional zu dem Licht ist, das darauffällt.
Diese Reihe von Zahlen (eine für jedes Element der Anordnung)
wird in dem digitalen Pufferspeicher I gespeichert. Die Daten
werden nach Teilen geordnet gespeichert (d. h. Zeile 1 Element 1,
Zeile 1 Element 2 . . . . . Zeile 2 Element 1, Zeile 2 Element 2 usw.).
Nachdem die Kanten der Zellen gespeichert worden sind
(wie zuvor erwähnt), wird das Videoschaltnetzwerk K so eingestellt,
daß es ein Signal von dem Digital/Analogkonverter J
erhält. Die Bilddaten werden von dem digitalen Pufferspeicher I
abgerufen, ein Element zu einer Zeit, und in analoge Form
rückgewandelt. Wenn die Daten jedoch ausgelesen werden, geschieht
dies in der Reihenfolge der Spalten der Anordnung (d. h.
Zeile 1 Element 1, Zeile 2 Element 1 . . . . . Zeile 1 Element 2,
Zeile 2 Element 2 usw.).
Jetzt lokalisiert das System L zur Verbesserung der räumlichen
Auflösung die Bildkanten für jede Spalte der Anordnung,
und der Ort dieser Kanten wird in dem Datenspeicherelement M
gespeichert. Durch Anwendung dieser Technik kann das gleiche
System zur Verbesserung der Auflösung sowohl für die vertikale
Richtung (Spalten) wie auch die horizontale Richtung (Zeilen)
der Bildanordnung verwendet werden.
Durch Änderung der Reihenfolge, in der die Elemente der
Bilddaten aus dem digitalen Pufferspeicher I ausgelesen werden,
kann der Ort der Kanten auf diagonalen Linien ebenfalls
sehr genau aufgefunden und gespeichert werden. Wiederum dienen
die Verarbeitungselemente L und M zur Lokalisierung und Speicherung
von Kanten für alle Richtungen, die durch Speichereinheit
I abgetastet werden können.
Schließlich sei darauf hingewiesen, daß die oben erläuterte
Erfindung insbesondere in ihrer zweiachsigen Form von besonderem
Wert für die Bestimmung der Position von Objekten im
Raum ist. Wenn man insbesondere die Verwendung entweder von
Schatten oder Reflexionsbildern wie Fig. 9 oder 10 betrachtet,
so kann man unmittelbar die vorteilhaften Ergebnisse bei
"Visions"-Systemen zur Steuerung von Automaten ableiten. Die
genaue Wiedergabe von Bildern von Löchern, Kantenverläufen
oder anderen Merkmalen von Teilen gemäß der Erfindung ist
wesentlich für die ordnungsgemäße Arbeitsweise im industriellen
Bereich.
Fig. 12 verdeutlicht eine Ausführungsform der Erfindung,
die zur Gliederung der Position von Blechtafeln im Raum dient,
wenn sie einen Roboter eingebracht sind. Der verwendete Taster
arbeitet nach dem optischen Triangulationsprinzip. Es sind zwei
orthogonale Meßachsen vorgesehen, und im übrigen werden die
gewünschten Vorteile der beschriebenen Schaltkreise ausgenutzt.
Es ist gezeigt, daß die Position der Blechtafel 30 in
x- und y-Richtung gleichzeitig festgestellt wird, indem Punkte
303 und 304 mittels Strahlprojektoren 305 und 306 auf die Oberfläche
projiziert werden, die einen Diodenlaser 307 und eine
Fokussierlinse 308 aufweisen. Die genannten Lichtpunkte werden
durch Linse 310 abgebildet und bilden Lichtpunktbilder 315
und 316 auf einer linearen Fotodetektoranordnung 320.
In Betrieb wird das Zweiachsentasterensemble 325 mittels
eines Roboterarmes 330 (z. B. ASEA oder Cinncinatti Robot) in
die Nähe der Türkante bewegt, und die Position der Blechtafel
wird durch Bezug auf die Koordinatenachsen des Roboters ermittelt.
Dies ist ein unabhängiges duales System und kann in einer
Achse betrieben werden, indem entweder 305 oder 306 gelöscht
wird. Zur Trennung der Ablesungen in x- und y-Richtung erfordert
daher lediglich ein Pulsen der Lichtquelle 306 und die Bestimmung
der Position des y-Achsen-Flecks auf der Diodenanordnung,
worauf kurz danach der x-Lichtfleck von 305 gepulst und
in gleicher Weise behandelt wird. Das Lichtpunktbild auf der
Diodenanordnung ist proportional zu dem Ort.
Zur Bestimmung des Ortes des Lichtpunktbildes auf der
Diodenanordnung wird ein Schaltkreis wie beispielsweise der
gemäß Fig. 5 verwendet, um die erste Ableitung des Ortes der
Spitze des Lichtflecks aufzufinden. Es kann auch ein Schaltkreis
wie der gemäß Fig. 2 verwendet werden, um die Umkehrpunkte
auf einer oder beiden Seiten des Lichtflecks und den
Flächenschwerpunkt durch Verarbeitung durch den Mikrocomputer
oder den Hardware-Schaltkreis aufzufinden.
Diese Ausführungsform des Schaltkreises, die einen Hochgeschwindigkeitstakt
mit einer Taktfrequenz weit über der Taktfrequenz
der Diodenanordnung verwendet, ist für die Verbesserung
der Auflösung solcher Triangulationssysteme sehr vorteilhaft,
die normalerweise jetzt sehr empfindlich sind, da nur
eine niedrige Leistungsvergrößerung des Linsensystems verwendet
werden kann.
Das oben genannte zweiachsige Annäherungstastsystem ist
nicht nur für die Messung von Metallblechkonturen und Kantenorten
zweckmäßig, es kann vielmehr auch in vorteilhafter Weise
zur Bildung von Rückführungssignalen für Robotersteuersysteme
als Funktion des Teileortes in zwei orthogonalen Bereichsachsen
verwendet werden. Eine Kombination dieser Ausführungsform
mit der zuvor genannten Ausführungsform mit einer zweiachsigen
Wiedergabe von Bildern in der Ebene senkrecht zur
Linsenachse liefert eine vollständige 3-4-Achsenmessung- und
-steuerung.
Alle zuvor genannten Ausführungsformen sind für den Umfang
der Erfindung repräsentativ, und viele andere Abwandlungen
sind möglich.
Wie bereits erwähnt, kann die Erfindung auch zur Messung
von Kantenorten von Sprossen in Sprossenkodes verwendet werden,
indem reflektiertes Licht von dem gedruckten oder in die Oberfläche
geätzten Kode eines Teils oder eines Aufklebers darauf
verwendet wird.
Im Sprossenkodefall ermöglicht die Erfindung eine sehr
wünschenswerte Freiheit von Leistungsänderungen des rückgekehrten
Lichts, immer über das Betrachtungsfeld der Diodenanordnung,
was ein wichtiger Punkt ist, da auf langen Sprossenkodes,
wie beispielsweise Kode 39, es sehr schwierig ist, eine
gleichmäßige Beleuchtung aller Sprossen mit wenigen Lichtquellen
(wie beispielsweise einfachen Kolbenbirnen) sicherzustellen,
was auch weiterhin oft wegen des großen Öffnungwinkels
des Linsensystems schwierig ist.
In gewisser Hinsicht ähnlich der Ablesung von Sprossenkodes
ist eine andere Anwendung der Erfindung. In diesem Fall
werden jedoch Sprossen- oder Gitterorte dadurch abgelesen, daß
sie durch eine Oberfläche abgebildet werden, um die Qualität
der Oberfläche zu bestimmen.
Z. B. sei Fig. 13 betrachtet, die die Abbildung eines
gleichmäßigen Gitters von langen vertikalen Sprossen 400 mit
dem Abstand R (außerhalb der Papierebene) durch Linse 401 auf
der linearen Diodenanordnung 402 abgebildet wird. Eine lineare
Beleuchtungsquelle zur Hintergrundbeleuchtung liefert diffuses
Licht.
In diesem Fall befindet sich jedoch in dem Lichtpfad die
Oberfläche 410 des Teils als Spiegel, dessen Eigenschaften entweder
im Hinblick auf diskrete Fehler wie beispielsweise
Beulen und Sicken oder die Oberflächengüte wie beispielsweise
Mikrofinisch oder Farbqualität von Interesse ist. Die Objektdistanz
der Linse 401 ist L₁ + L₂. In diesem letzteren Fall
gibt der Kontrast der Sprossen die gewünschte Antwort, und allgemein
liefert ein alternativer analoger Schaltkreis zur
Digital/Analogwandlung und Amplitudenanalyse des Gitterbildes
die Antwort.
Betrachtet man den Fall der Beulen und Sicken oder Vertiefungen
in Blechtafeln wie beispielsweise in der gezeigten
Fahrzeugtür, die sich auf einem Transportband 420 aus der
letzten Stufe einer automatischen Transferpreßstraße herausbewegt.
Hierbei besteht das Problem darin, lokalisierte Fehler
auf der Tafel, wie beispielsweise Beulen oder Vertiefungen oder
Erhöhungen festzustellen, die in erster Linie durch Schmutz in
dem Preßstempel verursacht sind. Sie sind typischerweise
0,005-0,4 mm tief oder hoch und ungefähr 0,13-250 mm im
Durchmessser. Diese Art von Fehlern ist verschieden von der auf
Nocken gemäß Fig. 9, da keine offene Kontrastdifferenz verschieden
von einem schwarzen Porositätsfehler auf einem glänzenden
Nocken beispielsweise vorhanden ist. Es liegt jedoch eine
ausreichend lokalisierte Neigungsänderung auf der Oberfläche des
Teiles vor, und dies wird durch die genannte Technik festgestellt.
Die Diodenanordnung tastet sehr schnell (typischerweise
1000 pro Sekunde) ab und sucht nach lokalisierten Störungen in
dem Gittermuster aufgrund von Beulen oder Erhebungen (s. Beilage).
Andererseits besteht eine weniger vorteilhafte jedoch
funktionsfähige Methode darin, nach lokalisierten Kontrasttröpfchen
zu suchen.
Nachdem einmal die Punkte der lokalen Konturstörung und
ihre Größe (d. h. das Maß der Störung) gefunden worden sind,
können sie in einen Speicher eingelesen und dazu verwendet
werden, eine Fehlerkarte der Oberfläche zu zeichnen oder
wiederzugeben. Auch kann die Anwesenheit eines Defekts dazu
verwendet werden, einen Tintenmarkierer zu betätigen, um ihn
zu markieren und/oder ein Rotlicht zu steuern, das die Tafel
aussondert.
Der oben beschriebene Schaltkreis 440 dient dazu, bei der
Identifizierung der Kantenorte von Sprossen mitzuhelfen, von
der sequentielle Subtraktionen zur Bestimmung der lokalen Abstandsänderungen
entweder in Hardware oder in dem Mikrocomputer
450 zur Bestimmung der lokalisierten Defekte durchgeführt
werden können.
Bei einer noch komplizierteren, im allgemeinen selbständigen
Verarbeitungsweise kann der Mikrocomputer die Änderungen
im Bildabstand (beispielsweise S¹ bis S¹ + S) über die gesamte
Tafel (und nicht lokal) vergleichen und dann die Gesamtkontur
der Tafel ermitteln. Dies funktioniert gut bei quasi flachen
Oberflächen. Bei mehr gekrümmten Oberflächen ist die Trangulationstechnik
mit direkter Projektion wie der gemäß Fig. 12
vorteilhaft. In diesem Fall werden eine oder mehrere Zeilen,
deren Kantenorte überwacht werden, und nicht ein Lichtpunkt wie
in Fig. 12 projiziert, dessen Bildzentrum bestimmt ist. In diesem
Fall ist Lichtquelle 405 eine Projektionslampe, und eine
Hilfslinse 451 (gestrichelte Linien) dient zur Abbildung des
Gitters auf der Oberfläche. In diesem Fall ist die Objektdistanz
der Linse 401 L₁.
Die Verwendung solcher projizierten Gitter ist besonders
vorteilhaft bei der Merkmalsanalyse und Mustererkennung von
Gegenständen, bei denen eine Formfunktion mehr oder weniger
unabhängig von der Reflexionseigenschaft des Teiles ist. In
diesem Anwendungsfall sind die beschriebenen elektronischen
Mittel besonders vorteilhaft, da sie die Bestimmung des Ortes
der Kanten über einen weiten Bereich von Lichtpegeln und bei
Defokussierungsbedingungen (aufgrund der exzessiven Objekttiefe
des Linsensystems) ermöglichen. Diese Anordnung hat jedoch
nicht die Verbesserung, die durch den Hebelarmeffekt des
Spiegels gebildet wird, der durch die Oberfläche gebildet ist
(natürlich nur dann ausgenutzt werden kann, wenn die Oberfläche
ausreichend reflektierend bei der Wellenlänge des verwendeten
Lichts ist).
Bei der dargestellten Ausführungsform ist die Oberfläche
des rohen Metalls der Tafel selten ausreichend selbst reflektierend
und weist darüber hinaus eine Verteilung von Ziehfett, Öl,
Wasser und dergleichen auf seiner Oberfläche auf, was zu einer
Verzerrung des Gitters oder sogar zu einer Zerstörung des Bildes
führen kann. Infolgedessen wird zweckmäßigerweise eine Reinigung
des Teiles durch Bürsten oder ein Einölen angewendet, wobei auch
ein Blasen mit Luft möglich ist.
Kommen Tafeln aus der Presse, so werden sie zunächst mit
einem leichten Ölnebel durch einen Sprüher 480 eingesprüht,
typischerweise dem gleichen Öl, das in der Presse verwendet worden
ist, das sich mit dem Waschwasser mischt. Dann erfolgt ein
Bürsten mit einer nicht schuppenden Bürste 482 hoher Qualität
in einem schrägen Winkel, derart, daß in Verbindung mit der Geschwindigkeit
des Transportbandes die Bürstenmarken quer zur
Richtung der Bewegung verlaufen, d. h. in Richtung der Abtastung
der Diodenanordnung, wodurch die Welligkeit des Ölfilms in
dieser Richtung nicht aufgenommen wird, wie es erwünscht ist.
Diese Vorbereitung der Oberfläche funktioniert überraschend
gut. Zusätzlich kann ein Luftstrom vorgesehen werden, um
das Öl nach dem Bürsten zu glätten, jedoch ist dies im allgemeinen
nicht erforderlich.
Ein abgewandelter Analysenkreis, der für die oben genannte
Ausführungsform vorteilhaft ist, ist eine phasenstarre
Schleife. In diesem Fall wird das Ausgangssignal der Diodenanordnung
von dem Gitterbild durch ein Tiefpaßfilter 460 gefiltert.
Ein eine phasenstarre Schleife bildender integrierter
Schaltkreis 470, beispielsweise NC 565, "rastet ein" auf die
Gitterbildfrequenz (1/S¹), und ein Bandpaßfilter 471 liefert
ein Ausgangssignal auf einem Meßinstrument 472 oder einer ähnlichen
Einrichtung, wobei die Größe des Ausgangssignals grob
gesehen proportional zur Größe des Fehlers ist.
Die Verwendung des phasenstarren Kreises erfordert eine
Vorabtastung der Gittersprossen zur Erzeugung der Einrastung,
so daß man etwas mehr abtasten muß als den zu untersuchenden
Oberflächenbereich.
Bei einem praktischen Ausführungsbeispiel dieser Ausführungsform
der Erfindung wird eine Reticon 1728 Element lineare
Anordnung mit einem Gitter von 30 cm Länge mit einem gleichmäßigen
Abstand von 5 cm in der Höhe und einer Breite von etwa
3 mm verwendet. Die Wanderungsgeschwindigkeit des Teiles war
30 cm pro Sekunde, und die Abtastfrequenz betrug 1000 pro
Sekunde. Aufgrund der durch den Hebelarmeffekt auf die Oberfläche
des "Spiegels" bewirkten Verstärkung ermöglicht diese
Geschwindigkeit ohne weiteres mehr als eine Abtastung bei jedem
interessierenden Fehler.
Es sei weiter darauf hingewiesen, daß jede Matrixanordnung
oder andere zweidimensionale Abtasteinrichtung verwendet
werden kann, aufeinanderfolgende Sprossenpositionen in der vertikalen
Richtung zu betrachten, so daß es nicht erforderlich
ist, das Teil zu bewegen, um aufeinanderfolgende Abschnitte
der Oberfläche zu betrachten (obwohl dies vorteilhafterweise
bei dem gezeigten Transportband vorgesehen ist). Darüber hinaus
kann das Gitter quer zu der gezeigten Richtung betrachtet werden,
d. h. mit der Linsenachse quer zur Bewegungsrichtung des
Teiles. In diesem Fall ist jedoch eine zweidimensionale Abtastanordnung
zur Abtastung quer über die Oberfläche erforderlich.
Diese Prüftechnik für Tafeln funktioniert auch mit
Vidicon-Kameras, obwohl das weniger vorteilhaft ist. Fehler in
dem Vidicon quer zum Feld werden nicht als lokale Abweichungen
aufgenommen. Außerdem ist der Einfallswinkel zur Teiloberfläche
typischerweise 5°-25°.
Für eine phasenstarre Arbeitsweise wird das Filter 460
typischerweise so nahe wie möglich zur Taktfrequenz betrieben,
um diese auszufiltern.
Bei den oben beschriebenen Ausführungsformen wurde die
Bildung der ersten oder zweiten Ableitungsdaten zur Beschreibung
der verschiedenen Lichtmusterpunkte beschrieben. Es ist außerdem
von Interesse, sowohl die ersten als auch die zweiten Ableitungen
zur weiteren Definition der Position der Lichtmuster zu
bilden. Diese Forderung nach mehr Daten gilt besonders für gewisse
projizierte Triangulationsgitterdaten, wie das in Verbindung
mit den in Fig. 9 und 13 diskutiert worden ist, wo die
äußerste Auflösung erwünscht ist und reflektierende Eigenschaften
des Teils einige Daten nicht zuverlässig machen.
Ein anderer interessanter Punkt bei der Betrachtung von
Konturdaten wie beispielsweise die Änderung des Gitterbildabstandes
S¹ bis S¹ + S¹ in Fig. 13b und 13c betrifft ein konstantes
Frequenzfilter, wie es bei anderen Ausführungsformen
(z. B. Fig. 2B) wünschenswert ist, hier nicht erwünscht ist, da
die Ausgangsfrequenz der Anordnung sich aufgrund des Gitterbildabstandes
ändert, so daß hier ein Filter mit variabler
Frequenz zweckmäßig sein mag, um diskrete Anordnungselemente
ohne Berücksichtigung der Signalfrequenz zu glätten - insbesondere
dann, wenn die Zahl von Auslösungselementen der Anordnung
pro Gitterbildzeile relativ gering ist.
Betrachtet man die Fig. 2 und 5, so ist es für den normalen
Anwendungsfall bei Gegenstandsbildern und Beugemustern
wünschenswert, ein Bessel-Filter mit wenigstens drei Polen zu
verwenden, z. B. mit 100 KHz cut off des Tiefpaßfilters für
eine Taktfrequenz der Diodenanordnung von 1 MHz. Dieses Filter
filtert nicht nur die Störungen aufgrund der Taktfrequenz der
Diodenanordnung, sondern liefert auch ein wünschenswertes Maß
an Mitteilung über Elemente der Diodenanordnung zur Eliminierung
von Unterschieden in der Empfindlichkeit von Element zu Element.
Für Leuchtpunkttriangulation ist im allgemeinen ein
sechspoliges oder größeres Filter erwünscht, das z. B. bei 10 KHz
bei einer Taktfrequenz von 1 MHz arbeitet. Hierdurch wird die
wesentliche Glättung zur Eliminierung des Effekts von Sprenkeln
in Laserpunktbildern erreicht.
Claims (23)
1. Einrichtung zum Analysieren des Ausgangssignals einer
sequentiell mit einem ersten Zeittakt abgetasteten, aus
diskreten Fotodetektorelementen bestehenden linearen oder
zirkularen Fotodetektoranordnung, die mit einem Lichtmuster
beaufschlagt ist, mit einer Differenziereinrichtung zum
zweimaligen Differenzieren des Signals zur Gewinnung der
ersten und zweiten Ableitung des Signals und mit Mitteln zur
Feststellung des Punktes des Nulldurchganges des zweimal
differenzierten Signals gekennzeichnet durch
ein zwischen der Fotodetektoranordnung und der Differenziereinrichtung eingeschaltetes Tiefpaßfilter zum Glätten des Ausgangssignals der Fotodetektoranordnung und
eine elektronische Schaltung zur Bestimmung des Zeitpunktes eines Nulldurchganges in bezug zu dem Zeitpunkt des Starts der Abtastung der Fotodetektoranordnung zur Feststellung der Position dieses Punktes des Nulldurchganges in dem Muster, wobei der Zeittakt der elektronischen Schaltung zur Bestimmung des Zeitpunktes des Nulldurchganges kürzer ist als der erste Zeittakt für die Abtastung der Fotodetektorelemente, derart, daß die Auflösung der dem Zeitpunkt des Nulldurchganges entsprechenden örtlichen Lage des Nulldurchganges größer ist als der Abstand der Fotodetektorelemente zueinander.
ein zwischen der Fotodetektoranordnung und der Differenziereinrichtung eingeschaltetes Tiefpaßfilter zum Glätten des Ausgangssignals der Fotodetektoranordnung und
eine elektronische Schaltung zur Bestimmung des Zeitpunktes eines Nulldurchganges in bezug zu dem Zeitpunkt des Starts der Abtastung der Fotodetektoranordnung zur Feststellung der Position dieses Punktes des Nulldurchganges in dem Muster, wobei der Zeittakt der elektronischen Schaltung zur Bestimmung des Zeitpunktes des Nulldurchganges kürzer ist als der erste Zeittakt für die Abtastung der Fotodetektorelemente, derart, daß die Auflösung der dem Zeitpunkt des Nulldurchganges entsprechenden örtlichen Lage des Nulldurchganges größer ist als der Abstand der Fotodetektorelemente zueinander.
2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß das Tiefpaßfilter eine konstante
Verzögerungszeit hat.
3. Einrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
daß das Tiefpaßfilter ein Bessel-Filter ist.
4. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die Pegeldaten der Fotodetektoranordnung
in einem Speicher gespeichert und durch das Tiefpaßfilter
und die Differenziereinrichtung zurückgelesen werden.
5. Einrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet,
daß die Fotodetektoranordnung eine die
Gewinnung von Zweiachsen-Kantenmuster-Lagedaten ermöglichende
Matrixanordnung ist.
6. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß das Lichtmuster ein Beugemuster ist
und daß die Nulldurchgänge die Streifenmaxima oder -minima
sind.
7. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß das Lichtmuster ein Bild einer oder
mehrerer Eigentümlichkeiten eines Gegenstandes ist und daß
die Zeitpunkte des Nulldurchganges die Orte der Eigentümlichkeiten
auf dem Gegenstand sind.
8. Einrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet,
daß die Eigentümlichkeiten die Kanten des
Gegenstandes sind.
9. Einrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet,
daß die Eigentümlichkeiten Defekte auf der
Oberfläche des Gegenstandes sind.
10. Einrichtung nach Anspruch 7, gekennzeichnet
durch Mittel zur Drehung des Gegenstandes bezüglich
einer oder mehrerer Achsen, um so der Fotodetektoranordnung
weitere Bilder darzubieten.
11. Einrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet
durch Mittel zum Pulsen einer das Lichtmuster erzeugenden
Beleuchtungsquelle, um so die Bewegung des Lichtmusters
einzufrieren.
12. Einrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet,
daß die Eigentümlichkeiten Linien auf
dem Gegenstand sind.
13. Einrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet,
daß die Linien ein Sprossenkode auf
einem Gegenstand sind.
14. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß das Tiefpaßfilter so bemessen ist,
daß seine Grenzfrequenz bei 1/10 der Taktfrequenz der Abtastung
der Fotodetektoranordnung oder tiefer liegt.
15. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß das Tiefpaßfilter eine veränderbare Grenzfrequenz
hat.
16. Einrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet
durch einen Mikrocomputer, der den Zeitpunkt des Nulldurchgangs
mit einem gespeicherten Wert vergleicht.
17. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß der Mikrocomputer wenigstens die Beziehung
zwischen zwei Nulldurchgängen und so den Abstand
zwischen den zugehörigen Orten bestimmt.
18. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß beim Start der Abtastung der Fotodetektoranordnung
eine Verzögerung erfolgt, um ein Einschwingen
des Tiefpaßfilters zu ermöglichen.
19. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß ein Zähler vorgesehen ist, der einen
vorausgewählten Nulldurchgang feststellt, und daß Mittel
vorgesehen sind, die eine digitale Verriegelung des augenblicklichen
Zählwertes des Zählers mit ausgewählten Ausgangssignalen
bewirken, wobei die digitale Verriegelung
außer Kraft gesetzt wird, wenn die Fotodektoranordnung
sich in der Sättigung befindet.
20. Einrichtung nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet,
daß der Zähler betätigt wird, wenn ein
vorbestimmtes Minimum oder Maximum festgestellt wird, und
daß der Augenblickswert des Zählers selektiv digital mit
Ausgangstoren verbunden wird, wobei die Verbindung außer
Kraft gesetzt wird, wenn Maxima unter einen eingestellten
Schwellwert fallen.
21. Einrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet,
daß die Lichtquelle eine Xenon-Blitzlampe ist.
22. Einrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet,
daß die Lichtquelle aus einer Anzahl von
Festkörperlichtquellen gebildet ist.
23. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß der Ort des Nulldurchgangs auf einem
Wiedergabeschirm dargestellt wird.
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