JPS5853704A - 位置検出装置 - Google Patents
位置検出装置Info
- Publication number
- JPS5853704A JPS5853704A JP56151401A JP15140181A JPS5853704A JP S5853704 A JPS5853704 A JP S5853704A JP 56151401 A JP56151401 A JP 56151401A JP 15140181 A JP15140181 A JP 15140181A JP S5853704 A JPS5853704 A JP S5853704A
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- JP
- Japan
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- signal
- image sensor
- image
- pattern
- quantized
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- Pending
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/024—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by means of diode-array scanning
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C1/00—Measuring angles
- G01C1/02—Theodolites
- G01C1/06—Arrangements for reading scales
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発ｆ！は、明暗を有するパターンをイメージセンサ上
に投影し、前記イメージセンサ上での―暗の前記パター
ンの位置を検出する装置に関する。
に投影し、前記イメージセンサ上での―暗の前記パター
ンの位置を検出する装置に関する。
ｌｌ！来＊留の説明
この種の装置では、従来、イメージセンサの出力信号か
らパターンの位置を検出していたが、イメージセンサの
出力信号は、各エレメントによって量子化された信号で
ある。従って、検出位置を高精度Ｋ１ｍ定した一場金に
は各エレメントの長さを狭める必要がある。
らパターンの位置を検出していたが、イメージセンサの
出力信号は、各エレメントによって量子化された信号で
ある。従って、検出位置を高精度Ｋ１ｍ定した一場金に
は各エレメントの長さを狭める必要がある。
しかしなか６．各エレメントの憂さを狭めることも物理
的Ｋ１１ｌ界があって、最終的Ｋｉｔ台エレメントの長
さで分解能が決定されてしまうと−う欠点があった。
的Ｋ１１ｌ界があって、最終的Ｋｉｔ台エレメントの長
さで分解能が決定されてしまうと−う欠点があった。
発明の口約
本発明・言これらの欠点を解決し、イメージセンサ−の
各エレメントの長さによる制限を受けることの壜い高分
解ａな位置検出装置を提供することを目的とする。
各エレメントの長さによる制限を受けることの壜い高分
解ａな位置検出装置を提供することを目的とする。
夷總儒の説明
館１１１Ｊ：第２閣に本発明の第１の実施例を示す。第
１図において、紙ＩＮＫ−直な方向へスリットを形成さ
れたスリット板ｌは図示なき装置本体に２本のワイヤ２
０１，２０２によって点ＰＫ−いて吊らされている。ス
リット板１は、装置本体に固定されている光１［３と集
光レンズ４によって裏面から照明され、スリットの投影
像は投影レンズ５によってイメージセンサ６上に形成さ
れる。イメージセンサ６は第３図に示す如くスリットの
投影像１７と角度θを為すように図示なき装置本体に固
定されている。スリットの投影像１８は図示なき装置本
体が紙・面内で傾くと装置本体に対しＡ方向へ移動し、
それに伴いイメージセンサ６と投影像１７との交鎖位置
１８は１方向へ移動する。スリットの投影像１８の真方
向の変位に対する交差位置１８のＢ方向へ°の変変位量
を投影レンズ５０倍率に応じて拡大し、更に角度ｅｔｃ
応じて拡大し、それによって位２置検出の精度を向上さ
せている。
１図において、紙ＩＮＫ−直な方向へスリットを形成さ
れたスリット板ｌは図示なき装置本体に２本のワイヤ２
０１，２０２によって点ＰＫ−いて吊らされている。ス
リット板１は、装置本体に固定されている光１［３と集
光レンズ４によって裏面から照明され、スリットの投影
像は投影レンズ５によってイメージセンサ６上に形成さ
れる。イメージセンサ６は第３図に示す如くスリットの
投影像１７と角度θを為すように図示なき装置本体に固
定されている。スリットの投影像１８は図示なき装置本
体が紙・面内で傾くと装置本体に対しＡ方向へ移動し、
それに伴いイメージセンサ６と投影像１７との交鎖位置
１８は１方向へ移動する。スリットの投影像１８の真方
向の変位に対する交差位置１８のＢ方向へ°の変変位量
を投影レンズ５０倍率に応じて拡大し、更に角度ｅｔｃ
応じて拡大し、それによって位２置検出の精度を向上さ
せている。
゛第２図に示したように、イメージセンサ９は周知の如
く発、振器７からのスタートパルスによって駆動され、
スタートパルスが印加された時点ｔ・から引続いて印加
されるクロックパルスにより各エレメントが順次駆動さ
れる。イメージセンサ６は、各エレメントに入射する光
量に応じた信号をパルス列としてサンプル・アンド・ホ
ールド回路６０に出力し、サンプル・アンド・ホールド
回路６０はパルスを引き伸し、第４図実線１９・２２で
示した如く量子化された階段状の信号を出力することＫ
なる。サンプル・アンド回路６０の出力はプリアンプ８
で増幅されてローパスフィルタ９に入力される。ローパ
スフィルタ９はサンプル・アンド・ホールド回路６０の
量子化された出力信号を第４図一点鎖線２０．２３で示
したアナログ信号に変換するように設計されている。ロ
ーパスフィルタ９のカットオフ周波数は、クロックパル
スの周波数以下にて実験により定められる。電圧比較器
１０はあらかじめ適轟なスレッシ１ルド電圧（第４閣（
→の２１）を有しており、ローパスフィルタ９の出力が
、スレッショルド電圧を越えたとき（時点１＋ ）パル
スＰ、をカウンタ１３に、スレッショルド電圧より下が
ったとき（時点ｂ）パルスＰ８をカウンタ１４にそれぞ
れ与える如く構成されている。制御ゲート１２は、発振
器７のスタートパルスによって位置測定用の発振器１１
からのクロックパルスな力９ンタ１３．１４にそれぞれ
入力する如、く作動する。
く発、振器７からのスタートパルスによって駆動され、
スタートパルスが印加された時点ｔ・から引続いて印加
されるクロックパルスにより各エレメントが順次駆動さ
れる。イメージセンサ６は、各エレメントに入射する光
量に応じた信号をパルス列としてサンプル・アンド・ホ
ールド回路６０に出力し、サンプル・アンド・ホールド
回路６０はパルスを引き伸し、第４図実線１９・２２で
示した如く量子化された階段状の信号を出力することＫ
なる。サンプル・アンド回路６０の出力はプリアンプ８
で増幅されてローパスフィルタ９に入力される。ローパ
スフィルタ９はサンプル・アンド・ホールド回路６０の
量子化された出力信号を第４図一点鎖線２０．２３で示
したアナログ信号に変換するように設計されている。ロ
ーパスフィルタ９のカットオフ周波数は、クロックパル
スの周波数以下にて実験により定められる。電圧比較器
１０はあらかじめ適轟なスレッシ１ルド電圧（第４閣（
→の２１）を有しており、ローパスフィルタ９の出力が
、スレッショルド電圧を越えたとき（時点１＋ ）パル
スＰ、をカウンタ１３に、スレッショルド電圧より下が
ったとき（時点ｂ）パルスＰ８をカウンタ１４にそれぞ
れ与える如く構成されている。制御ゲート１２は、発振
器７のスタートパルスによって位置測定用の発振器１１
からのクロックパルスな力９ンタ１３．１４にそれぞれ
入力する如、く作動する。
従って、カウンタ１３の計数値は、時点ｔｏから時点ｔ
、までの時間に相当し、カウンタ１４の計数値は、時点
ｔｏから時点ｔ１までの時間に相当する。カウンタ１３
．１４のそれぞれの出力は平均化回路１５に入力されて
平均化される。すなわち平均化回路１５の出力信号は、
カウンタ１３とカウンタ１４で各々カウントされた時間
の平均値である。この平均値は。
、までの時間に相当し、カウンタ１４の計数値は、時点
ｔｏから時点ｔ１までの時間に相当する。カウンタ１３
．１４のそれぞれの出力は平均化回路１５に入力されて
平均化される。すなわち平均化回路１５の出力信号は、
カウンタ１３とカウンタ１４で各々カウントされた時間
の平均値である。この平均値は。
時点ｔｏから第４図で示した１点鎖線２０のピーク位置
に対応する時点１．まての時間に対応する。平均化回路
１５の出力信号は表示器１６に入力される。時点ｔｏか
ら時点−１までの時間は、第３図で対応をとれば、イメ
ージセンサ６の一端から、交差位置１８の中心までの距
離に対応し、これは図示なき装置本体の傾きにも対応す
る。従って、表示９１６ｋ、図示なき装置本体の紙面内
での傾きを表示することができる。
に対応する時点１．まての時間に対応する。平均化回路
１５の出力信号は表示器１６に入力される。時点ｔｏか
ら時点−１までの時間は、第３図で対応をとれば、イメ
ージセンサ６の一端から、交差位置１８の中心までの距
離に対応し、これは図示なき装置本体の傾きにも対応す
る。従って、表示９１６ｋ、図示なき装置本体の紙面内
での傾きを表示することができる。
既に菖２１５！ｌｌを脱明するために部分的に利用した
が、第４図を詳述すれば、第４図はローパスフィルタ９
０入力波形１９．２２と出力波形２０．２３と電圧比較
器１０のスレッショルド電年２１の関係図である。第４
図に示した如く、イメージセンサ６はエレメントによっ
て構成されており、イメージセンサ６とスリット投影像
１７との交差位置１８は図示の如き形をなして−るため
、イメージセンサ６のサンプル・アンド・木−ルド回路
６０を介した出力波形は量子化された第４１１１９．２
２の如く階段状の波形になる。第４図−）では、電圧比
較ＩＩＩ Ｏ）言ローパスフィルタ９の出力波形２０を
入力し、出力波形２ｏのピーク以下に定めた適当なスレ
ッショルド電圧２１との交点（時点ｔｌ及びｔｓ）Ｋて
パルスを発生し。
が、第４図を詳述すれば、第４図はローパスフィルタ９
０入力波形１９．２２と出力波形２０．２３と電圧比較
器１０のスレッショルド電年２１の関係図である。第４
図に示した如く、イメージセンサ６はエレメントによっ
て構成されており、イメージセンサ６とスリット投影像
１７との交差位置１８は図示の如き形をなして−るため
、イメージセンサ６のサンプル・アンド・木−ルド回路
６０を介した出力波形は量子化された第４１１１９．２
２の如く階段状の波形になる。第４図−）では、電圧比
較ＩＩＩ Ｏ）言ローパスフィルタ９の出力波形２０を
入力し、出力波形２ｏのピーク以下に定めた適当なスレ
ッショルド電圧２１との交点（時点ｔｌ及びｔｓ）Ｋて
パルスを発生し。
時点１．で庄じたパルスＰ、をカウンタ１３Ｋ。
時点ｔ、にて生じたパルスＰ、をカウンタ１４に入力す
る。カウンタ１３、カウンタ１４の作動は前述の如くで
ある。第４Ｒ伽）は交差位置１９の位置が（ａ）と異な
るので、パルスＰ、。
る。カウンタ１３、カウンタ１４の作動は前述の如くで
ある。第４Ｒ伽）は交差位置１９の位置が（ａ）と異な
るので、パルスＰ、。
Ｐ、をカウンタ１３・１４に人力する時間も異なる。
第４図６）では、図示の如く入力波形１９が対称な波形
であるため、入力波形１９２スレツシヨルド電圧２１と
の交点（時点ｔ１′及びｔ１′）より得られるピーク位
置は、出力波形２０２スレッショルド電圧より得られた
ピーク位置と等しい。ピークを示すエレメントは。
であるため、入力波形１９２スレツシヨルド電圧２１と
の交点（時点ｔ１′及びｔ１′）より得られるピーク位
置は、出力波形２０２スレッショルド電圧より得られた
ピーク位置と等しい。ピークを示すエレメントは。
投影像１７が第４ｗＡ（ａ）Ｉｃおける位置からエレメ
ントの長さのに以上ずれなければ変化しない。すなわち
、第４ｗＩ（ｂ）の如く、投影像１７が第４７１（ａ）
よりエレメントの長さ％だけ移動して−るのにも係らず
ピークを示すエレメントが同じである場合、波形２２と
スレッショルド電圧２１との交点より得られるピーク位
置は第４１１ （ａ）と同じになる。換言すれば一人力
波彫１９，２２の如くイメージセンサ６の出力信号とス
レッショルド電圧から得られるピーク◆言、各エレメン
トの境と各エレメントの中心にのみ位置し、投影像エフ
の位置検出上支障をきたす。それに対して、第４１１（
ｂ）の出力波形２２の如くローパスフィルタ９の出力信
号のピークは投影像１７の位置に連続的に対応する。よ
って、ローパスフィルタ９を用いることで分解能がエレ
メントの長さに依存しなくなる。
ントの長さのに以上ずれなければ変化しない。すなわち
、第４ｗＩ（ｂ）の如く、投影像１７が第４７１（ａ）
よりエレメントの長さ％だけ移動して−るのにも係らず
ピークを示すエレメントが同じである場合、波形２２と
スレッショルド電圧２１との交点より得られるピーク位
置は第４１１ （ａ）と同じになる。換言すれば一人力
波彫１９，２２の如くイメージセンサ６の出力信号とス
レッショルド電圧から得られるピーク◆言、各エレメン
トの境と各エレメントの中心にのみ位置し、投影像エフ
の位置検出上支障をきたす。それに対して、第４１１（
ｂ）の出力波形２２の如くローパスフィルタ９の出力信
号のピークは投影像１７の位置に連続的に対応する。よ
って、ローパスフィルタ９を用いることで分解能がエレ
メントの長さに依存しなくなる。
このような構造であるから、上述の装置を欄量機沢内蔵
すれば、極めて高精度に装置本体の絶対水平面からの傾
きを表示することができ、また、このようｋして得られ
た傾き量を自動的に演算処暑の段階で補正量として用い
ることが可能となる。
すれば、極めて高精度に装置本体の絶対水平面からの傾
きを表示することができ、また、このようｋして得られ
た傾き量を自動的に演算処暑の段階で補正量として用い
ることが可能となる。
以上の実施ｆｌにおいてはスリット像の位置を求める例
であったが、第５図に示した如くエツジ像の位置を求め
る場合にも同様に行なうことができる。第Ｓ＠において
明暗の境界線２４は、第１の実總例と同じ原理からイメ
ージセンサ６と角度０をなす如く設定されている。なお
、柵線部分は暗部である。
であったが、第５図に示した如くエツジ像の位置を求め
る場合にも同様に行なうことができる。第Ｓ＠において
明暗の境界線２４は、第１の実總例と同じ原理からイメ
ージセンサ６と角度０をなす如く設定されている。なお
、柵線部分は暗部である。
ｊ１５１Ｎ−！、ｊｌ！６ＷＪの＊におけるローパスフ
ィルタ９の入力波形２５と出力波形２６とスレッショル
ド電圧２７との関係図である。第６図の波形の処！１回
路には第２図におけるカウンタ１４、平均化回路１５を
必要としない。
ィルタ９の入力波形２５と出力波形２６とスレッショル
ド電圧２７との関係図である。第６図の波形の処！１回
路には第２図におけるカウンタ１４、平均化回路１５を
必要としない。
第２図と同様、に時点ｔｏから順次印加されるクロック
パルスにより各エレメントを順次駆動する。ｊｌ！２１
１において、出力波形２８と出力波形２８の最大出力よ
り低く設定されたスレッショルド電圧２７とが交わる時
点ｔ！が、エツジの端間の位置に対応し、カウンタ１３
が時点ｔｏから１１までパルスをカウントし、表示器１
７はカウントされたパルス数に基づいてエツジの端面が
対応する位置又は角度等を表示する。
パルスにより各エレメントを順次駆動する。ｊｌ！２１
１において、出力波形２８と出力波形２８の最大出力よ
り低く設定されたスレッショルド電圧２７とが交わる時
点ｔ！が、エツジの端間の位置に対応し、カウンタ１３
が時点ｔｏから１１までパルスをカウントし、表示器１
７はカウントされたパルス数に基づいてエツジの端面が
対応する位置又は角度等を表示する。
なお第７１１に示した如く本発明の第１の夾膳１’ｌＫ
おけるローパスフィルタ９の出力波形には、イメージセ
ンサ６の各エレメントの感度ムラやゴミ等によって、波
形２８の如く歪が生じる。図が示す如く、スレッショル
ド電圧２９を用いて得られた波形２８のピーク値（ｔｓ
＋ ｔ＠ ）／２は、４ｔ／２なる誤差を含むことＫ
なる。ここで新たに、スレッショルド電圧２９とは異な
るスレッショルド電圧３１を用いてピーク値を求め、ス
レッショルド電圧２９より求めたピーク値との平均をと
ると（を龜＋ｔｏ＋ｔ、。＋１１１ ） ／ ４となり
、ピーク値の平均に含まれる誤差はΔｔ／４と表る。以
上の如く、ローパスフィルタ９のサンプル場アンド・ホ
ールド回路を介した出力波形に歪が生じている際にも、
スレッショルド電圧を置数用いてピーク値の平均をとれ
ば、歪によって生じる誤差を減少させることができる。
おけるローパスフィルタ９の出力波形には、イメージセ
ンサ６の各エレメントの感度ムラやゴミ等によって、波
形２８の如く歪が生じる。図が示す如く、スレッショル
ド電圧２９を用いて得られた波形２８のピーク値（ｔｓ
＋ ｔ＠ ）／２は、４ｔ／２なる誤差を含むことＫ
なる。ここで新たに、スレッショルド電圧２９とは異な
るスレッショルド電圧３１を用いてピーク値を求め、ス
レッショルド電圧２９より求めたピーク値との平均をと
ると（を龜＋ｔｏ＋ｔ、。＋１１１ ） ／ ４となり
、ピーク値の平均に含まれる誤差はΔｔ／４と表る。以
上の如く、ローパスフィルタ９のサンプル場アンド・ホ
ールド回路を介した出力波形に歪が生じている際にも、
スレッショルド電圧を置数用いてピーク値の平均をとれ
ば、歪によって生じる誤差を減少させることができる。
以上のような実繍例において、ローパスフィルタのカッ
トオフ周波数の大きさは、まずクロックパルス周波数よ
り小さく定め、最適な信号を得るため実験の結果によっ
てより小さくなる。更に、前述の条件と直諸成分をカッ
トする条件を備えたバンドパスフィルタｋ。
トオフ周波数の大きさは、まずクロックパルス周波数よ
り小さく定め、最適な信号を得るため実験の結果によっ
てより小さくなる。更に、前述の条件と直諸成分をカッ
トする条件を備えたバンドパスフィルタｋ。
サンプル・アンド・ホールド回路の出力信号を通せばよ
り安定した信号を得られる。
り安定した信号を得られる。
効果の説明
以上のように本発９４によれば、極めて簡単な装置でイ
メージセンサの各エレメントの長さに制限を受けること
のない高感度な位置検出が可能である。Ｉ！に、本発明
の装置を変位検出装置に用いると、投影されたパターン
の位置の変位前と変位後を′それぞれ検出することで高
精度な萱位検出が可能という効果がある。
メージセンサの各エレメントの長さに制限を受けること
のない高感度な位置検出が可能である。Ｉ！に、本発明
の装置を変位検出装置に用いると、投影されたパターン
の位置の変位前と変位後を′それぞれ検出することで高
精度な萱位検出が可能という効果がある。
第１図、第２図及び第３ｇは本発明第１の実線ガを示す
図、第４図会言本発明第１１）ｌ［６例を説−するため
の図、第５図はスリット曹の代わりに光学エツジを用い
た図、第１ＩＩは第５図の如き巻金に得られる第４図と
同様の図、鮪ｙｓｏけイメージセンサの′各エレメント
ーの感度ムラやゴミ等による誤差の軽減を説明する図で
ある。 〔主要部分の符号の説明〕 サンプル・ホールド回路 ・・・６０フイルタ
・・・ ９出願人： 日本光学
工業株式会社
図、第４図会言本発明第１１）ｌ［６例を説−するため
の図、第５図はスリット曹の代わりに光学エツジを用い
た図、第１ＩＩは第５図の如き巻金に得られる第４図と
同様の図、鮪ｙｓｏけイメージセンサの′各エレメント
ーの感度ムラやゴミ等による誤差の軽減を説明する図で
ある。 〔主要部分の符号の説明〕 サンプル・ホールド回路 ・・・６０フイルタ
・・・ ９出願人： 日本光学
工業株式会社
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 イメージセンサの出力信号をサンプル・アンド・ホール
ド回路により量子化された信考ＫＷ換し、イメージセン
サ上に投影された明暗のパターンの位置を検出する位置
検出装置に於て。 前記イメージセンサのクロックパルス周液数以上の周波
数成分を少なくとも阻止することにより、前記量子化さ
れた信号をアナログ信号に変換する如く設計されたフィ
ルタを設け、該フィルタの出力信号に基づいて前句パタ
ーンの位置を検出することを特徴とする位置検出装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56151401A JPS5853704A (ja) | 1981-09-26 | 1981-09-26 | 位置検出装置 |
| US06/420,124 US4595294A (en) | 1981-09-26 | 1982-09-20 | Position detecting device |
| DE19823235492 DE3235492A1 (de) | 1981-09-26 | 1982-09-24 | Lagedetektorvorrichtung |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56151401A JPS5853704A (ja) | 1981-09-26 | 1981-09-26 | 位置検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5853704A true JPS5853704A (ja) | 1983-03-30 |
Family
ID=15517778
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56151401A Pending JPS5853704A (ja) | 1981-09-26 | 1981-09-26 | 位置検出装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4595294A (ja) |
| JP (1) | JPS5853704A (ja) |
| DE (1) | DE3235492A1 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS599515A (ja) * | 1982-07-09 | 1984-01-18 | Hitachi Ltd | 画像情報の処理方法及び処理装置 |
| JPS60183507A (ja) * | 1984-02-29 | 1985-09-19 | Hokuyo Automatic Co | 光学式外形寸法測定器 |
| JPS6324110A (ja) * | 1986-07-04 | 1988-02-01 | Mitsutoyo Corp | 光学式位置検出装置 |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4788441A (en) * | 1985-12-16 | 1988-11-29 | Acme-Cleveland Corporation | Range finder wherein distance between target and source is determined by measuring scan time across a retroreflective target |
| DE3775218D1 (de) * | 1986-09-20 | 1992-01-23 | Fraunhofer Ges Forschung | Verfahren zur erweiterung der aufloesung einer zeilen- oder matrixkamera. |
| JPH0718693B2 (ja) * | 1989-06-27 | 1995-03-06 | 三菱電機株式会社 | 光切断法による物体の立体形状検知装置 |
| JP3158446B2 (ja) * | 1990-12-13 | 2001-04-23 | 株式会社ニコン | 表面位置検出装置及び表面位置検出方法、並びに露光装置、露光方法及び半導体製造方法 |
| DE4308082A1 (de) * | 1993-03-13 | 1994-09-15 | Gerhard Dr Kleemann | Verfahren und Einrichtung zur optischen Messung von Objekten in einer Ebene |
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