JPH041845B2 - - Google Patents
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- JPH041845B2 JPH041845B2 JP59039076A JP3907684A JPH041845B2 JP H041845 B2 JPH041845 B2 JP H041845B2 JP 59039076 A JP59039076 A JP 59039076A JP 3907684 A JP3907684 A JP 3907684A JP H041845 B2 JPH041845 B2 JP H041845B2
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/08—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring diameters
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
イ 産業上の利用分野
本発明は自己走査型一次元フオトダイオードア
レイ（イメージセンサ）を用いた光学式外形寸法
測定器に関する。
レイ（イメージセンサ）を用いた光学式外形寸法
測定器に関する。
ロ 従来技術
非接触で線材等の外形寸法を測定する方法の一
つとしてイメージセンサを使用するものがあり、
本出願人は既に特願昭58−190292号で、この方式
の光学式外径測定装置を開示している。この方法
の原理は、第１図に示すように投光器１よりイメ
ージセンサ２に向けて平行光を照射し、投光器１
とイメージセンサ２間に置かれた物体３の影をイ
メージセンサ２に投影させ、影の長さをイメージ
センサ２のビツト出力によりカウントして物体３
の外形寸法を測定するものである。
つとしてイメージセンサを使用するものがあり、
本出願人は既に特願昭58−190292号で、この方式
の光学式外径測定装置を開示している。この方法
の原理は、第１図に示すように投光器１よりイメ
ージセンサ２に向けて平行光を照射し、投光器１
とイメージセンサ２間に置かれた物体３の影をイ
メージセンサ２に投影させ、影の長さをイメージ
センサ２のビツト出力によりカウントして物体３
の外形寸法を測定するものである。
上記測定方法は照射する光が理想的な平行光で
ある限り物体の位置によらず安定した計測が可能
であり、さらに可動部がないため機構系が簡単で
振動や衝撃に強く、しかも保守部品が少なく安価
に製造できるといつた長所を有する。
ある限り物体の位置によらず安定した計測が可能
であり、さらに可動部がないため機構系が簡単で
振動や衝撃に強く、しかも保守部品が少なく安価
に製造できるといつた長所を有する。
ロ 発明の解決しようとする問題点
上記測定方法の分解能はイメージセンサ自体の
分解能、すなわちイメージセンサ内のフオトセル
の配列ピツチによつて制限される。現時点で入手
可能なイメージセンサの最大の分解能は7μｍで
あるから、これ以上の分解能は原理的に得られ
ず、より高精度の測定は不可能であつた。
分解能、すなわちイメージセンサ内のフオトセル
の配列ピツチによつて制限される。現時点で入手
可能なイメージセンサの最大の分解能は7μｍで
あるから、これ以上の分解能は原理的に得られ
ず、より高精度の測定は不可能であつた。
さらに、イメージセンサは個々のフオトセル毎
に感度のバラツキがあるので、同一光量を受けて
も各セル毎に発生電圧が異なり、そのシリアル出
力を積分回路でなめらかにしても、実際に受光し
た光量とは僅かに異なつている。この変動は受光
と遮光の境界部分の出力を、二値化回路とコンパ
レータで閾値と比較する際に問題になる。また、
レンズの収差による投光の平行度のバラツキも誤
差の原因となる。特に、コンパレータの閾値も、
チヤタリング防止のため立ち上がり検出と立ち下
がり検出とでレベルを変えるヒステリシス特性を
持たせる必要があるので、受光から遮光に変化す
る位置の検出レベルと、遮光から受光に変化する
位置の検出レベルが異なり、これも誤差の原因と
なる。
に感度のバラツキがあるので、同一光量を受けて
も各セル毎に発生電圧が異なり、そのシリアル出
力を積分回路でなめらかにしても、実際に受光し
た光量とは僅かに異なつている。この変動は受光
と遮光の境界部分の出力を、二値化回路とコンパ
レータで閾値と比較する際に問題になる。また、
レンズの収差による投光の平行度のバラツキも誤
差の原因となる。特に、コンパレータの閾値も、
チヤタリング防止のため立ち上がり検出と立ち下
がり検出とでレベルを変えるヒステリシス特性を
持たせる必要があるので、受光から遮光に変化す
る位置の検出レベルと、遮光から受光に変化する
位置の検出レベルが異なり、これも誤差の原因と
なる。
また、測定対象がガラス管や透明チユーブの場
合に、第４図中に点線で示すように影に相当する
部分に光の迷い込み信号（ｎ）が出て測定ミスの
原因となる問題もある。
合に、第４図中に点線で示すように影に相当する
部分に光の迷い込み信号（ｎ）が出て測定ミスの
原因となる問題もある。
そこで本発明は、測定精度を、イメージセンサ
のフオトセルの配列ピツチで規定される分解能の
数倍以上に高めるとともに、各フオトセルの感度
のバラツキ、レンズ収差による投光の平行度のバ
ラツキ、コンパレータのヒステリシス特性による
測定誤差、および光の迷い込み信号による測定ミ
スを解消した光学式外形寸法測定器を提供するこ
とを目的とする。
のフオトセルの配列ピツチで規定される分解能の
数倍以上に高めるとともに、各フオトセルの感度
のバラツキ、レンズ収差による投光の平行度のバ
ラツキ、コンパレータのヒステリシス特性による
測定誤差、および光の迷い込み信号による測定ミ
スを解消した光学式外形寸法測定器を提供するこ
とを目的とする。
ハ 発明の構成
本発明は、光源から被測定物体越しに光をイメ
ージセンサに照射し、イメージセンサに投影され
た被検出物体の影の長さによつて外形寸法を測定
するものにおいて、 クロツクパルスに同期してイメージセンサから
出力されるパルス列を、なめらかな連続出力に変
換する積分回路と、 この積分回路の出力を所定のレベルで二値化
し、その最初の立ち下がりと最後の立ち上がりを
検出する二値化回路と、 イメージセンサのクロツクパルスの数倍の周波
数のクロツクパルスを、イメージセンサのスター
ト位置から上記二値化回路により検出された最初
の立ち下がりと最後の立ち上がりまでカウントす
るカウンタと、 使用するイメージセンサと二値化回路について
他の測長計を用いて予め作成され、影のエツジが
投影されたイメージセンサの絶対位置と、上記立
ち下がりと立ち上がりについてイメージセンサの
スタート位置から測定したカウント数との関係を
記録した立ち下がり用及び立ち上がり用の２種の
補正テーブルと、 これらの補正テーブルによつて補正した上記カ
ウンタの立ち上がりカウント値と立ち下がりカウ
ント値との差から、被測定物体の外形寸法を求め
る演算部とを具備したことを特徴とする光学式外
形寸法測定器である。
ージセンサに照射し、イメージセンサに投影され
た被検出物体の影の長さによつて外形寸法を測定
するものにおいて、 クロツクパルスに同期してイメージセンサから
出力されるパルス列を、なめらかな連続出力に変
換する積分回路と、 この積分回路の出力を所定のレベルで二値化
し、その最初の立ち下がりと最後の立ち上がりを
検出する二値化回路と、 イメージセンサのクロツクパルスの数倍の周波
数のクロツクパルスを、イメージセンサのスター
ト位置から上記二値化回路により検出された最初
の立ち下がりと最後の立ち上がりまでカウントす
るカウンタと、 使用するイメージセンサと二値化回路について
他の測長計を用いて予め作成され、影のエツジが
投影されたイメージセンサの絶対位置と、上記立
ち下がりと立ち上がりについてイメージセンサの
スタート位置から測定したカウント数との関係を
記録した立ち下がり用及び立ち上がり用の２種の
補正テーブルと、 これらの補正テーブルによつて補正した上記カ
ウンタの立ち上がりカウント値と立ち下がりカウ
ント値との差から、被測定物体の外形寸法を求め
る演算部とを具備したことを特徴とする光学式外
形寸法測定器である。
ニ 実施例
本発明の一実施例を第２図乃至第７図を参照し
ながら以下説明する。
ながら以下説明する。
第２図及び第３図は光学系を示し、４は発光源
４ａ、棒レンズ４ｂ及びレンズ４ｃからなる投光
器、５はシリンドリカルレンズ５ａ及びイメージ
センサ５ｂからなる受光器、６は被検出物体であ
る線材である。
４ａ、棒レンズ４ｂ及びレンズ４ｃからなる投光
器、５はシリンドリカルレンズ５ａ及びイメージ
センサ５ｂからなる受光器、６は被検出物体であ
る線材である。
ここで発光源４ａには、例えばLED等の固体
発光素子或いはフラツシユランプが使用され、棒
レンズ４ｂは発光源４ａの光を集光して光強度分
布が均一な線光源を形成する。レンズ４ｃは棒レ
ンズ４ｂの形成する線光源から拡散された光を平
行にし、線材６越しに受光器５に入射させる。シ
リンドリカルレンズ５ａは受光器５に入射した光
の光量を有効に利用して検出感度を高めるために
使用され、入射光の平行化された方向と直交する
成分を集光して線状の光としてイメージセンサ５
ｂに入射させる。
発光素子或いはフラツシユランプが使用され、棒
レンズ４ｂは発光源４ａの光を集光して光強度分
布が均一な線光源を形成する。レンズ４ｃは棒レ
ンズ４ｂの形成する線光源から拡散された光を平
行にし、線材６越しに受光器５に入射させる。シ
リンドリカルレンズ５ａは受光器５に入射した光
の光量を有効に利用して検出感度を高めるために
使用され、入射光の平行化された方向と直交する
成分を集光して線状の光としてイメージセンサ５
ｂに入射させる。
上記構成において発光源４ａをパルス発光させ
ると、イメージセンサ５ｂに線材６の部分が影に
なつた光が入射される。この直後にイメージセン
サ５ｂにクロツクパルスを与えると、イメージセ
ンサ５ｂ内の各フオトセルからそれに対応したパ
ルス列が出力される。このパルス列の影Ｄに対応
する期間をカウントすることにより線材６の外形
が測定される。
ると、イメージセンサ５ｂに線材６の部分が影に
なつた光が入射される。この直後にイメージセン
サ５ｂにクロツクパルスを与えると、イメージセ
ンサ５ｂ内の各フオトセルからそれに対応したパ
ルス列が出力される。このパルス列の影Ｄに対応
する期間をカウントすることにより線材６の外形
が測定される。
上記パルス列の影Ｄに対応する期間のカウント
は次のように行われる。
は次のように行われる。
第４図に示すようにイメージセンサ５ｂの出力
であるパルス列ｂは、線材６の影のエツジ部b′，
b″がなだらかに変化している。これは光の回折、
光が完全に平行でないためのボケ、及びイメージ
センサ内のフオトセル間のフオトキヤリア漏れ出
しのためである。このようなイメージセンサの出
力特性を、本発明では積極的に利用し、イメージ
センサ自体の分解能よりも高い分解能を得てい
る。
であるパルス列ｂは、線材６の影のエツジ部b′，
b″がなだらかに変化している。これは光の回折、
光が完全に平行でないためのボケ、及びイメージ
センサ内のフオトセル間のフオトキヤリア漏れ出
しのためである。このようなイメージセンサの出
力特性を、本発明では積極的に利用し、イメージ
センサ自体の分解能よりも高い分解能を得てい
る。
以下これについて説明する。
クロツクパルスａに同期してイメージセンサか
ら出力されるパルス列ｂを、サンプルホールド回
路を用いてその発生タイミング毎に次の発生タイ
ミングまで保持することにより階段波ｃを得て、
これを第７図に示す積分回路８を通してなめらか
な積分波形ｄに変換する。この積分波形ｄはパル
ス列ｂを凝似的に補間したものであり、分解能が
無限に小さい仮想のイメージセンサの出力に近似
している。次にこの積分波形ｄを所定のスライス
レベルVsで二値化回路９で二値化して、線材６
の影Ｄの長さに対応する幅のＬパルス信号ｅを得
る。この影の長さに対応する幅Ｌをカウンタ１０
でイメージセンサ５ｂのクロツクパルスａの数倍
の周波数のパルス発生器１１のクロツクパルスｈ
でカウントする。すると分解能はその倍数分の一
に向上できる。例えばイメージセンサ５ｂの実際
の分解能を7μｍとし、４倍の周波数のクロツク
パルスｈでカウントすれば分解能は7/4＝1.75μｍ
とすることができる。なお現実に分解能を向上で
きるカウント用クロツクパルスｈの周波数の倍数
は数倍程度であつた。
ら出力されるパルス列ｂを、サンプルホールド回
路を用いてその発生タイミング毎に次の発生タイ
ミングまで保持することにより階段波ｃを得て、
これを第７図に示す積分回路８を通してなめらか
な積分波形ｄに変換する。この積分波形ｄはパル
ス列ｂを凝似的に補間したものであり、分解能が
無限に小さい仮想のイメージセンサの出力に近似
している。次にこの積分波形ｄを所定のスライス
レベルVsで二値化回路９で二値化して、線材６
の影Ｄの長さに対応する幅のＬパルス信号ｅを得
る。この影の長さに対応する幅Ｌをカウンタ１０
でイメージセンサ５ｂのクロツクパルスａの数倍
の周波数のパルス発生器１１のクロツクパルスｈ
でカウントする。すると分解能はその倍数分の一
に向上できる。例えばイメージセンサ５ｂの実際
の分解能を7μｍとし、４倍の周波数のクロツク
パルスｈでカウントすれば分解能は7/4＝1.75μｍ
とすることができる。なお現実に分解能を向上で
きるカウント用クロツクパルスｈの周波数の倍数
は数倍程度であつた。
また上記測定方法を実施する場合、イメージセ
ンサの出力は“０”又は“１”のデジタルデータ
としてではなくアナログデータとして使用してい
るので、イメージセンサ５ｂの各フオトセルの感
度のバラツキ（同一光量が照射された各フオトセ
ルの出力するパルス列が第５図に示すように高低
差を生じることをいう）やレンズの収差による平
行度のバラツキが測定精度低下の原因となる。こ
れは具体的には上記測定法によつて得られたカウ
ント数とイメージセンサ５ｂの絶対位置の座標と
の関係が非線形になることであり、この非線形の
状態は第４図に示すパルス列ｂの立ち下がりb′と
立ち上がりb″を測定した場合とで異なる。そこで
これを補正するため、第６図ａ，ｂに示すように
他の測長計７を用いて平行光を遮る位置を1μｍ
単位で変化させながら、上記測定方法によつてイ
メージセンサ５ｂのスタート位置Ｓから影のエツ
ジ位置ｅまでを測定したカウント数と、影のエツ
ジが投影されたイメージセンサ５ｂの絶対位置の
座標との関係を測定してカウント数補正テーブル
を作成する。なお第６図ａは立ち上がりの測定用
であり第６図ｂは立ち下がりの測定用である。こ
のようにして本発明装置の一台毎に２種のカウン
ト数補正テーブルを作成する。
ンサの出力は“０”又は“１”のデジタルデータ
としてではなくアナログデータとして使用してい
るので、イメージセンサ５ｂの各フオトセルの感
度のバラツキ（同一光量が照射された各フオトセ
ルの出力するパルス列が第５図に示すように高低
差を生じることをいう）やレンズの収差による平
行度のバラツキが測定精度低下の原因となる。こ
れは具体的には上記測定法によつて得られたカウ
ント数とイメージセンサ５ｂの絶対位置の座標と
の関係が非線形になることであり、この非線形の
状態は第４図に示すパルス列ｂの立ち下がりb′と
立ち上がりb″を測定した場合とで異なる。そこで
これを補正するため、第６図ａ，ｂに示すように
他の測長計７を用いて平行光を遮る位置を1μｍ
単位で変化させながら、上記測定方法によつてイ
メージセンサ５ｂのスタート位置Ｓから影のエツ
ジ位置ｅまでを測定したカウント数と、影のエツ
ジが投影されたイメージセンサ５ｂの絶対位置の
座標との関係を測定してカウント数補正テーブル
を作成する。なお第６図ａは立ち上がりの測定用
であり第６図ｂは立ち下がりの測定用である。こ
のようにして本発明装置の一台毎に２種のカウン
ト数補正テーブルを作成する。
第７図に示す、これらのカウント数補正テーブ
ル１２によつてカウント値を演算部１３で補正す
ることによつて上記測定精度低下を防止する。
ル１２によつてカウント値を演算部１３で補正す
ることによつて上記測定精度低下を防止する。
また測定対象がガラス管や透明チユーブの場合
に、第４図中に点線で示すように影に相当する部
分の中間に光の迷い込み信号ｎが出て、測定ミス
が生じるのを防止するため次のような処理をす
る。
に、第４図中に点線で示すように影に相当する部
分の中間に光の迷い込み信号ｎが出て、測定ミス
が生じるのを防止するため次のような処理をす
る。
すなわち第４図のパルス信号ｅを前記二値化回
路９において微分して立ち上がり微分出力ｆと立
ち下がり微分出力ｇとを作り、パルス信号ｅの最
後の立ち上がりアドレスA1（クロツクパルスｈで
カウントした値）と最初の立ち下がりアドレス
A2を検出して、このアドレスA1，A2を前記カウ
ント数補正テーブルで補正して実測値A′1，A′2を
得て、A′1−A′2から影の区間を測定するようにし
ている。
路９において微分して立ち上がり微分出力ｆと立
ち下がり微分出力ｇとを作り、パルス信号ｅの最
後の立ち上がりアドレスA1（クロツクパルスｈで
カウントした値）と最初の立ち下がりアドレス
A2を検出して、このアドレスA1，A2を前記カウ
ント数補正テーブルで補正して実測値A′1，A′2を
得て、A′1−A′2から影の区間を測定するようにし
ている。
なお上記実施例では平行光線を照射し、物体の
影をイメージセンサ5bに投影させる光学系を採
用していたが、光学系はこの例に限られない。例
えば、図示しないが物体６の後方に投光器を配置
し、前方においたレンズによつて物体６の像をイ
メージセンサ５ｂ上に結像させるようにしてもよ
い。
影をイメージセンサ5bに投影させる光学系を採
用していたが、光学系はこの例に限られない。例
えば、図示しないが物体６の後方に投光器を配置
し、前方においたレンズによつて物体６の像をイ
メージセンサ５ｂ上に結像させるようにしてもよ
い。
また本発明装置は物体の突出長の測定、幅の広
いテープ等の幅測定、或いは走行帯状体の蛇行の
有無検出等にも使用できる。これらの場合は、そ
の両端又は一端を挾むように本発明の光学式外形
寸法測定装置を設置し、投光器の端の位置を測定
する。
いテープ等の幅測定、或いは走行帯状体の蛇行の
有無検出等にも使用できる。これらの場合は、そ
の両端又は一端を挾むように本発明の光学式外形
寸法測定装置を設置し、投光器の端の位置を測定
する。
ヘ 発明の効果
本発明によれば、イメージセンサを用いた光学
式外形寸法測定器において、イメージセンサの出
力するパルス列を凝似的補間法によりなめらかな
連続出力に変換した後、所定のレベルで二値化し
て影の長さに対応する幅のパルス信号を得て、こ
のパルス信号をイメージセンサのクロツクパルス
の数倍の周波数のクロツクパルスによりカウント
して外形寸法を測定するから、使用するイメージ
センサ自体の分解能の数倍の分解能を得ることが
てきる。
式外形寸法測定器において、イメージセンサの出
力するパルス列を凝似的補間法によりなめらかな
連続出力に変換した後、所定のレベルで二値化し
て影の長さに対応する幅のパルス信号を得て、こ
のパルス信号をイメージセンサのクロツクパルス
の数倍の周波数のクロツクパルスによりカウント
して外形寸法を測定するから、使用するイメージ
センサ自体の分解能の数倍の分解能を得ることが
てきる。
特に本発明は、なめらかにされたイメージセン
サの出力から最初の立ち下がりと最後の立ち上が
りを検出することにより、光の迷い込み信号を除
去し、予め作成された、使用するイメージセンサ
と二値化回路についての、立ち下がり用及び立ち
上がり用の２種の補正テーブルによつて補正を行
なうから、測定精度を高くし、信頼性を高くする
ことができる。
サの出力から最初の立ち下がりと最後の立ち上が
りを検出することにより、光の迷い込み信号を除
去し、予め作成された、使用するイメージセンサ
と二値化回路についての、立ち下がり用及び立ち
上がり用の２種の補正テーブルによつて補正を行
なうから、測定精度を高くし、信頼性を高くする
ことができる。
第１図は光学式外形測定装置の原理説明図、第
２図及び第３図は本発明の光学式外形寸法測定器
の一実施例の光学系を示す正面図及び平面図、第
４図は第２図及び第３図に示す光学系によつて得
られるパルス列の処理手順を説明する波形図、第
５図はイメージセンサの各フオトセルの感度のバ
ラツキを説明するパルス列の一例を示す図、第６
図ａ，ｂは夫々立ち上がり及び立ち下がりの各々
についてカウント数補正テーブルを作成する方法
を説明する正面図である。第７図は本発明の構成
を示すブロツク図である。 ４……投光器、４ａ……光源、５……受光器、
５ｂ……イメージセンサ、６……被測定物体（線
材）、Ｄ……影の長さ、ａ……イメージセンサの
クロツクパルス、ｂ……パルス列、ｃ……段階
波、ｄ……なめらかな連続出力（積分波形）、ｅ
……パルス信号、ｈ……カウント用のクロツクパ
ルス、Vs……スライスレベル。
２図及び第３図は本発明の光学式外形寸法測定器
の一実施例の光学系を示す正面図及び平面図、第
４図は第２図及び第３図に示す光学系によつて得
られるパルス列の処理手順を説明する波形図、第
５図はイメージセンサの各フオトセルの感度のバ
ラツキを説明するパルス列の一例を示す図、第６
図ａ，ｂは夫々立ち上がり及び立ち下がりの各々
についてカウント数補正テーブルを作成する方法
を説明する正面図である。第７図は本発明の構成
を示すブロツク図である。 ４……投光器、４ａ……光源、５……受光器、
５ｂ……イメージセンサ、６……被測定物体（線
材）、Ｄ……影の長さ、ａ……イメージセンサの
クロツクパルス、ｂ……パルス列、ｃ……段階
波、ｄ……なめらかな連続出力（積分波形）、ｅ
……パルス信号、ｈ……カウント用のクロツクパ
ルス、Vs……スライスレベル。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 光源から被測定物体越しに光をイメージセン
サに照射し、イメージセンサに投影された被検出
物体の影の長さによつて外形寸法を測定するもの
において、 クロツクパルスに同期してイメージセンサから
出力されるパルス列を、なめらかな連続出力に変
換する積分回路と、 この積分回路の出力を所定のレベルで二値化
し、その最初の立ち下がりと最後の立ち上がりを
検出する二値化回路と、 イメージセンサのクロツクパルスの数倍の周波
数のクロツクパルスを、イメージセンサのスター
ト位置から上記二値化回路により検出された最初
の立ち下がりと最後の立ち上がりまでカウントす
るカウンタと、 使用するイメージセンサと二値化回路について
他の測長計を用いて予め作成され、影のエツジが
投影されたイメージセンサの絶対位置と、上記立
ち下がりと立ち上がりについてイメージセンサの
スタート位置から測定したカウント数との関係を
記録した立ち下がり用及び立ち上がり用の２種の
補正テーブルと、 これらの補正テーブルによつて補正した上記カ
ウンタの立ち上がりカウント値と立ち下がりカウ
ント値との差から、被測定物体の外形寸法を求め
る演算部とを具備したことを特徴とする光学式外
形寸法測定器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3907684A JPS60183507A (ja) | 1984-02-29 | 1984-02-29 | 光学式外形寸法測定器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3907684A JPS60183507A (ja) | 1984-02-29 | 1984-02-29 | 光学式外形寸法測定器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60183507A JPS60183507A (ja) | 1985-09-19 |
| JPH041845B2 true JPH041845B2 (ja) | 1992-01-14 |
Family
ID=12543020
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3907684A Granted JPS60183507A (ja) | 1984-02-29 | 1984-02-29 | 光学式外形寸法測定器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60183507A (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62168410U (ja) * | 1986-03-26 | 1987-10-26 | ||
| JPH01213504A (ja) * | 1988-02-22 | 1989-08-28 | Tadao Totsuka | 光学的寸法測定装置 |
| US5278634A (en) * | 1991-02-22 | 1994-01-11 | Cyberoptics Corporation | High precision component alignment sensor system |
| JP4500157B2 (ja) | 2004-11-24 | 2010-07-14 | 株式会社神戸製鋼所 | 形状計測装置用光学系 |
| US7746481B2 (en) | 2007-03-20 | 2010-06-29 | Cyberoptics Corporation | Method for measuring center of rotation of a nozzle of a pick and place machine using a collimated laser beam |
| US8068664B2 (en) | 2007-06-05 | 2011-11-29 | Cyberoptics Corporation | Component sensor for pick and place machine using improved shadow imaging |
| CN106092015B (zh) * | 2016-05-27 | 2018-07-03 | 南京理工大学 | 一种轨道表面凹陷长度检测方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5852508A (ja) * | 1981-09-22 | 1983-03-28 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | 形状測定装置 |
| JPS5853704A (ja) * | 1981-09-26 | 1983-03-30 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 位置検出装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5826326Y2 (ja) * | 1977-12-28 | 1983-06-07 | 株式会社島津製作所 | 自動寸法測定装置 |
-
1984
- 1984-02-29 JP JP3907684A patent/JPS60183507A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5852508A (ja) * | 1981-09-22 | 1983-03-28 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | 形状測定装置 |
| JPS5853704A (ja) * | 1981-09-26 | 1983-03-30 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 位置検出装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60183507A (ja) | 1985-09-19 |
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