JPH01213504A - 光学的寸法測定装置 - Google Patents
光学的寸法測定装置Info
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- JPH01213504A JPH01213504A JP3897688A JP3897688A JPH01213504A JP H01213504 A JPH01213504 A JP H01213504A JP 3897688 A JP3897688 A JP 3897688A JP 3897688 A JP3897688 A JP 3897688A JP H01213504 A JPH01213504 A JP H01213504A
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 6
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 235000006693 Cassia laevigata Nutrition 0.000 description 2
- 241000522641 Senna Species 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229940124513 senna glycoside Drugs 0.000 description 2
- 238000012634 optical imaging Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、光学的撮像によって寸法または位置を検出
する光学的寸法測定装置に関するものである。
する光学的寸法測定装置に関するものである。
近年、CCOに代表される単位受光素子を配列して構成
され洗撮像素子によって画像を撮像し、寸法または位置
を検出するものが提案されている。
され洗撮像素子によって画像を撮像し、寸法または位置
を検出するものが提案されている。
しかしながらこのような従来のものは例えば128mm
角のエリアを256×256画素のCODで撮像した場
合、1画素あたシの寸法は0.5mmと々る。これは通
常、工業的に求められる寸法精度に比べてかなり大きい
という問題があった。
角のエリアを256×256画素のCODで撮像した場
合、1画素あたシの寸法は0.5mmと々る。これは通
常、工業的に求められる寸法精度に比べてかなり大きい
という問題があった。
このような問題を解決するためにこの発明は、測定対象
の輪郭と画素の配列方向とを斜の関係に置くようKした
ものである。
の輪郭と画素の配列方向とを斜の関係に置くようKした
ものである。
画素の配列と画像の境界線との間で光学的副尺原理が作
用し、画素サイズより十分小さい分解能が得られる◎ 〔実施例〕 第1図はこの発明の一実施例を示すブロック図である。
用し、画素サイズより十分小さい分解能が得られる◎ 〔実施例〕 第1図はこの発明の一実施例を示すブロック図である。
図において1は光源であシ、その上方には図示しない固
定装置によって測定対象2が取付けられており、その下
面を光源1が照らしている。
定装置によって測定対象2が取付けられており、その下
面を光源1が照らしている。
光源1は測定対象2より広い面積となるよう構成され、
光源1の光が測定対象2で遮断される状態が、CCDカ
メラ3によって撮像されるように々つている。CCDカ
メラ3によって撮像された信号は2値化処理装置4によ
って2値化されたうえ画像メモリ5に記憶されるように
なっている。そして記憶されたデータは適宜読出され、
処理装置6で処理され、表示器7で表示される。
光源1の光が測定対象2で遮断される状態が、CCDカ
メラ3によって撮像されるように々つている。CCDカ
メラ3によって撮像された信号は2値化処理装置4によ
って2値化されたうえ画像メモリ5に記憶されるように
なっている。そして記憶されたデータは適宜読出され、
処理装置6で処理され、表示器7で表示される。
2値化処理は単位画素の半分以上の部分に光があったと
き「1」レベルの信号を出力し、その他の状態は「0」
レベルの信号を出力するように構成されている。CCD
カメラ3の画素配列と測定対象2の端部とは斜に交差す
るようになっており、この例では第2図に示すように配
置されており、画像の境界は10画素に対して1画素傾
むけて撮像されている。このため(xo、yo〜Y4)
までの画素はM3図にその詳細を示すように、半分以上
の面積に光があたっているので明部として2値化され、
(xo、ys〜Y10)までの画素は暗部として2値化
されるので、暗部として2値化されるエリアを斜線で示
すと第2図および第3図のようになる。
き「1」レベルの信号を出力し、その他の状態は「0」
レベルの信号を出力するように構成されている。CCD
カメラ3の画素配列と測定対象2の端部とは斜に交差す
るようになっており、この例では第2図に示すように配
置されており、画像の境界は10画素に対して1画素傾
むけて撮像されている。このため(xo、yo〜Y4)
までの画素はM3図にその詳細を示すように、半分以上
の面積に光があたっているので明部として2値化され、
(xo、ys〜Y10)までの画素は暗部として2値化
されるので、暗部として2値化されるエリアを斜線で示
すと第2図および第3図のようになる。
今、ここで境界線を左へ0.1画素分ずらした場合、(
xo、yo〜Y3)までの画素が明部とな9、(XO,
Y4〜Y9)までの画素が暗部となる。すなわち、測定
対象物の境界線が横方向に0.1画素分しか変化してい
ないにもかかわらず、縦方向には1画素分の変化が現わ
れることになる。これはあたかもノギスの副尺のように
作用し、実際の目盛より小さい寸法が読取れることにな
る。したがって処理装置6では境界線がまたいでいるY
軸方向の画素数に対して暗部の画素数の比を計算するこ
とで、容易に画素単位以下の精度で境界線の位置を知る
ことができる。
xo、yo〜Y3)までの画素が明部とな9、(XO,
Y4〜Y9)までの画素が暗部となる。すなわち、測定
対象物の境界線が横方向に0.1画素分しか変化してい
ないにもかかわらず、縦方向には1画素分の変化が現わ
れることになる。これはあたかもノギスの副尺のように
作用し、実際の目盛より小さい寸法が読取れることにな
る。したがって処理装置6では境界線がまたいでいるY
軸方向の画素数に対して暗部の画素数の比を計算するこ
とで、容易に画素単位以下の精度で境界線の位置を知る
ことができる。
なお、第2図では測定対象は小さなものであるとして説
明したが、実際にはもつと大きなものなので、縦方向の
画素は1列でなく、数列にわたってまたがることになる
が、原理は前述のものと同様である。
明したが、実際にはもつと大きなものなので、縦方向の
画素は1列でなく、数列にわたってまたがることになる
が、原理は前述のものと同様である。
第5図は密着形ラインイメージセンサを用いた装置の例
を示す斜視図である。この例では測定対象2をアテ金1
0に当接させた状態で例えば上方に設けた光源1から光
を照射する。そして、測定対象2の寸法tを測定するた
め境界線の下部に密着形ラインイメージセンナ(204
8ドツト)を1150の傾斜をつけて配置しである。イ
メージセンナの画素1個あたシの寸法を50μmとする
と、第6図のXの寸法は50 μm X 2048=
102.4mmxyの寸法は2.048 mmである。
を示す斜視図である。この例では測定対象2をアテ金1
0に当接させた状態で例えば上方に設けた光源1から光
を照射する。そして、測定対象2の寸法tを測定するた
め境界線の下部に密着形ラインイメージセンナ(204
8ドツト)を1150の傾斜をつけて配置しである。イ
メージセンナの画素1個あたシの寸法を50μmとする
と、第6図のXの寸法は50 μm X 2048=
102.4mmxyの寸法は2.048 mmである。
この状態において1画素あたりのY方向成分は2.04
8/2048 =1μmとなる。
8/2048 =1μmとなる。
この装置はCOD制御回路21から第7図(a)に示す
スタートパルスSPを2値化処理回路22、カウンタ2
3、ドライバ24に供給することKよってカウンタ23
のデータがドライバ24に取込まれ、カウンタ23がリ
セットされる。そしてスタートパルス訃が終了するとイ
メージセンサのスキャンが行なわれる。このため明部の
画素からは第7図ら)に示すように、スキャンパルスの
供給されている期間、「1」レベルのパルスが発生し、
暗部の画素からは「0」レベルの信号が発生する。
スタートパルスSPを2値化処理回路22、カウンタ2
3、ドライバ24に供給することKよってカウンタ23
のデータがドライバ24に取込まれ、カウンタ23がリ
セットされる。そしてスタートパルス訃が終了するとイ
メージセンサのスキャンが行なわれる。このため明部の
画素からは第7図ら)に示すように、スキャンパルスの
供給されている期間、「1」レベルのパルスが発生し、
暗部の画素からは「0」レベルの信号が発生する。
このため記号Aで示す範囲のスキャンが終ると再びスタ
ートパルスspが発生し、前述の動作が繰返される。
ートパルスspが発生し、前述の動作が繰返される。
このような処理を繰返すことによって1μmまでの寸法
読取がリアルタイムで実現できる。
読取がリアルタイムで実現できる。
第7図は円形対象物に適用したときの例であシ、図のA
−Hの8ケ所の部分領域についても光学的副尺原理が作
用していることを説明する図である。
−Hの8ケ所の部分領域についても光学的副尺原理が作
用していることを説明する図である。
図中のxlOの座標位置におけるY座標を求める例につ
いて説明する。pXIOの列の画素はpylとpy2の
間で明暗が変化している。次にPF3とpy2のX方向
の明暗変化点はx8とx14の点であり、この間の画素
数は6画素である。ここで曲線の線分x8 、 Xi
4を近似直線と見なした場合、xlOKおけるYはシ4
となる。したがって(xlO,Yo、66)という座標
点を求めることができる。実際の装置はこの状態よシも
画素数を多くとれるので、さらに高い分解能が得られる
。図のA−Hは全て対象な位置関係にあるので、全て同
様のアルゴリズムで処理できる。またAE、BF等の長
さを計算することで、正確な円の直径を求めることがで
きる。
いて説明する。pXIOの列の画素はpylとpy2の
間で明暗が変化している。次にPF3とpy2のX方向
の明暗変化点はx8とx14の点であり、この間の画素
数は6画素である。ここで曲線の線分x8 、 Xi
4を近似直線と見なした場合、xlOKおけるYはシ4
となる。したがって(xlO,Yo、66)という座標
点を求めることができる。実際の装置はこの状態よシも
画素数を多くとれるので、さらに高い分解能が得られる
。図のA−Hは全て対象な位置関係にあるので、全て同
様のアルゴリズムで処理できる。またAE、BF等の長
さを計算することで、正確な円の直径を求めることがで
きる。
以上説明したようにこの発明は測定対象の外縁に対して
センナの画素列を斜に配設したので、画素の大きさより
小さな変化でも検出でき、しかも大容量の画像記憶メモ
リ、レンズ等の光学装置も必gなく、簡単で分解度の高
い寸法読堆を行なえるという効果をMする。
センナの画素列を斜に配設したので、画素の大きさより
小さな変化でも検出でき、しかも大容量の画像記憶メモ
リ、レンズ等の光学装置も必gなく、簡単で分解度の高
い寸法読堆を行なえるという効果をMする。
M1図はこの発明の一実施例を示すブロック図、第2図
は測定対象とセンナの画素との関係を示す図、第3図は
第2図の部分拡大図、第4図は測定対象が移動したとき
の状態を示す図、第5図は他の実施例を示す斜視図、第
6図は第5図の実施例に対応するブロック図、第7図は
第6図に示す装置の各部波形図、第8図は円形の測定対
象を示す図、第9図は第8図の記号A−Hのある一つの
部分の拡大図である。 1・・―・光源、2・・拳φ測定対象、3・・・・CC
Dカメラ、4・争・・2値化処理装置、5・・・・画像
メモリ、6・・・・処理装置、7.25−・・・表示器
、10・・−・あて金、20・拳φ・ラインイメージセ
ンサ、21・・・・CCD制御回路、23・・・・カウ
ンタ、24・・・・ドライバ。
は測定対象とセンナの画素との関係を示す図、第3図は
第2図の部分拡大図、第4図は測定対象が移動したとき
の状態を示す図、第5図は他の実施例を示す斜視図、第
6図は第5図の実施例に対応するブロック図、第7図は
第6図に示す装置の各部波形図、第8図は円形の測定対
象を示す図、第9図は第8図の記号A−Hのある一つの
部分の拡大図である。 1・・―・光源、2・・拳φ測定対象、3・・・・CC
Dカメラ、4・争・・2値化処理装置、5・・・・画像
メモリ、6・・・・処理装置、7.25−・・・表示器
、10・・−・あて金、20・拳φ・ラインイメージセ
ンサ、21・・・・CCD制御回路、23・・・・カウ
ンタ、24・・・・ドライバ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 単位受光素子を所定の基準にしたがい多数配列した撮像
素子と、 その撮像素子によつて得られた画像信号を2値化する2
値化手段と、 測定対象の画像の境界線が受光素子の画素列の配列に対
して斜となる領域における境界線の寸法または位置を測
定する測定手段とから構成される光学的寸法測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3897688A JPH01213504A (ja) | 1988-02-22 | 1988-02-22 | 光学的寸法測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3897688A JPH01213504A (ja) | 1988-02-22 | 1988-02-22 | 光学的寸法測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01213504A true JPH01213504A (ja) | 1989-08-28 |
Family
ID=12540183
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3897688A Pending JPH01213504A (ja) | 1988-02-22 | 1988-02-22 | 光学的寸法測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01213504A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0500400A2 (en) * | 1991-02-25 | 1992-08-26 | Mitsui Engineering and Shipbuilding Co, Ltd. | Apparatus for measuring dimensions of objects |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60183507A (ja) * | 1984-02-29 | 1985-09-19 | Hokuyo Automatic Co | 光学式外形寸法測定器 |
JPS62238402A (ja) * | 1986-04-09 | 1987-10-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気テ−プ走行位置検出センサ |
-
1988
- 1988-02-22 JP JP3897688A patent/JPH01213504A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60183507A (ja) * | 1984-02-29 | 1985-09-19 | Hokuyo Automatic Co | 光学式外形寸法測定器 |
JPS62238402A (ja) * | 1986-04-09 | 1987-10-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気テ−プ走行位置検出センサ |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0500400A2 (en) * | 1991-02-25 | 1992-08-26 | Mitsui Engineering and Shipbuilding Co, Ltd. | Apparatus for measuring dimensions of objects |
US5481298A (en) * | 1991-02-25 | 1996-01-02 | Mitsui Engineering & Shipbuilding Co. Ltd. | Apparatus for measuring dimensions of objects |
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