JPH01242906A - 光切断法における線化方法 - Google Patents

光切断法における線化方法

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JPH01242906A
JPH01242906A JP6829788A JP6829788A JPH01242906A JP H01242906 A JPH01242906 A JP H01242906A JP 6829788 A JP6829788 A JP 6829788A JP 6829788 A JP6829788 A JP 6829788A JP H01242906 A JPH01242906 A JP H01242906A
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JP
Japan
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measured
image
light
gravity
matrix
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JP6829788A
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English (en)
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Yoichi Naganuma
永沼 洋一
Masaki Motomura
元村 雅記
Hajime Suzuki
肇 鈴木
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Nippon Steel Corp
Original Assignee
Nippon Steel Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、光切断法における線化処理の方法に関する。
[従来の技術] 物体の形状を、その物体に触れることなく3次元測定す
る手段として光切断法がある。
この場合、線状光源を必要とし、それを得る手段として
、レーザ光源を柱状レンズに通し帯状光源とする方法、
あるいはレーザ光源をミラーに当てて反射させ、このミ
ラーを回転または振動させることによって時間的経緯よ
り帯状光源とする方法等が採られる。
このような場合、被測定物の照射された光はある有限の
幅を持つ光帯となる。光切断法においては、この光帯の
幅が零の線状となるのが望ましいが、このことは、物理
的に不可能であり、よりて複数の撮像素子にまたがるこ
とは不可避である。
従っである幅をもつ光帯から線を特定する処理、すなわ
ち線化が必要である。
これを解決する手段として、例えば特開昭62−210
11がある。これは、測定対象物に投射するスリット光
の強度を段階的に変化させて撮像し、得られる複数の画
像データの中から最も明るい撮像画像点を代表値として
検出し、これを特定のアドレスに対応させ各々の点を結
ぶことによって線化し、これを処理することで、3次元
形状情報の測定を行なうものである。
〔発明が解決しようとする課題] 特開昭62−21011の場合、認識された光切断線の
各点が特定のアドレスとして対応づけられるため、量子
化誤差を生じることは避けられない。よって、この誤差
を減少するために、前記撮像素子の素子数を多く採るか
、または、カメラを被測定物体に近づけ一素子あたりの
分解能を小さくする方法を採るのが従来の手段であった
しかし、撮像素子の素子数を多く採ると、画素数がその
分だけ多くなり、よって画像処理に必要とされる画像記
憶装置の記憶容量が大きくなり非常に高価となるばかり
でなく、画像処理時間が膨大となり実用的でない。また
撮像素子の数には制限があるため、誤差を小さくするに
も限界があった。
また、カメラを被測定物体に近づけた場合は、視野が狭
くなり、よって測定範囲が狭くなるため、同時に広範囲
の測定が不可となり、光切断法による測定の長所である
広範囲同時測定を生かすことかできなかった。
以上の点から、光切断法による3次元物体の寸法測定は
、高精度に、かつ短時間に測定することは、適当でない
とされていた。
さらに、特開昭62−21011の場合、3段階に分け
て撮像するため、多くの撮像時間、信号処理時間を要し
ていた。
[3題を解決するための手段] 本発明の光切断法における線化方法は、その目的を達成
するために、ほぼ一定の強度分布を持つ細長い光帯を被
測定物の表面に照射し、撮像素子がマトリックス状に配
列され、入射光量と出力値かほぼ比例する固体撮像装置
により被測定物表面上の光帯照射像を撮像して被測定物
の形状を測定する方法において、光帯の像を横切る素子
行列の列ごとに出力値の重心点を求め、素子行列の行方
向に沿って面記重心点を順次結ぶことを特徴としている
固体撮像装置として、CCD型イメージセンサ、MO3
型イメージセンサその他のエリアセンサが用いられる。
光帯の撮像に際し、素子行列の列が光帯像を直角に横切
る必要はなく、斜めに横切ってもよい。出力の重心点は
、素子行列の列方向に沿う出力分布の平均値を示す位置
を表わしている。重心点を求めるには、アナログ出力値
をデジタル値に変換したのち、コンピュータにより演算
する。また、コンピュータの演算により隣り合う重心点
を直線で結んで重心点の連結を行う。なお、各重心点の
間の座標値は公知の直線近似法で求めることができる。
これらの結果はモニターテレビに表示、プロッタに図形
出力、または磁気ディスクその他に記録するなどする。
[作用] 重心点を結ぶことにより、光帯に沿った被測定物の輪郭
線が得られる。重心点およびこれを結ぶ線の大きさおよ
び幅は、それぞれ零と見なすことができるために、被測
定物の形状は細かな線で精密に描かれる。
[実施例] 以下、図面を参照しながら、実施例により本発明の特徴
を具体的に説明する。
第1図は本発明実施例の装置構成を示す概略図である。
図に示すように、レーザ光源1より下方に向けて出力さ
れた光ビームは、例えば柱状レンズ2等によりある幅を
持つ光帯に変換される。その光帯は、被測定物3に投影
されレーザ光源1の光に対しj′方向に異なった角度に
設置されたテレビカメラ4の、配列要素を持つ撮像素子
、例えばCCD電荷転送撮像素子(以下CCD JM像
毒素子称す)上に結像する。この場合、カメラの位置が
レーザ光源の光軸に対しj′方向に異なった角度に設置
しておけば、被測定物体3に照射されたレーザ光帯のC
CD撮像素子上の結像像は、被測定物体3表面の凹凸に
対応することになり、このCCD撮像素子の出力信号を
処理することで3次元物体の形状測定を可能とする。
以上は、光切断法を呼ばれる公知の技術である。
しかしながら、+ffff螢光帯る幅を持つためにCC
D素子上にもある幅をもって結像し、以下に述へるよう
な方法を用いない場合は、府に述べたような問題を生じ
る。
さて、撮像素子上の出力信号は、アナログ・ディジタル
変換器(以下A/D変換と称す)5でマトリックス状に
配列されたCCD素子全ての素子アナログ信号出力につ
いてディジタル信号に変換される。このディジタル変換
出力信号は、画像フレームメモリー6に一画面分蓄積さ
れる。その出力を重心(″R算比出力装置7、以下に述
へる方法で重心値として求めることにより、前記レーザ
光帯がある一定幅を持っていても、前記問題を生しるこ
となく線化することを可能ならしめている。
以下、第2図に従って線化の方法を詳細に説明する。第
2図(a)は、第1図のCCDカメラ4のCCD素子上
に結像したある一部分を模式的に示したもので、iはC
CD素子上の水平方向の番号(列番号)を表わし、破線
はCCD素子か受光したことによりCCD信号出力か生
じるか否かの境界線を表わしている。従って、図中の2
本の破線の内側全てのCCD素子は、レーザ光帯直交方
向の光強度分布が正規分布を成すために、第2図(b)
に示すような、ほぼレーザ光帯の結像光に対応したほぼ
正規分布に近い信号強度分布をもつ。
ここで、今、第2図(a)の各CCD素子について順次
i番目毎に、j (列)方向のCCD各素子の信号出力
を、第1図の変換器5でディジタル信号に変換し、各々
をフレームメモリー6に記録すれば、上記操作が完了し
た時、フレームメモリー6には、CCD各素子が受光し
た受光強度に比例したディジタル値としてi。xJnの
配列に記録されることになる。このフレームメモリー6
に記録された受光強度に比例した信号出力は、重心演算
出力装置7により、(+)式に従って各i番目毎の重心
値G1として出力される。
in Σ(jXfj) J:1 J+1 但し、in、jn:CCD素子横方向および縦方向の素
子行列の番号の最大値 fj:各CCD素子受光強度に比例し たディジタル信号出力値 以上より、被測定物に照射されたある幅をもつ光帯の各
点における中心位置を正確に決定することができる。
この重心値G((i=1〜+n)の算出結果を1から1
゜番目まで連続的に結べば、前記量子化誤差を生じるこ
となく線化ができる。なお、第2図の場合のCCD素子
上の受光光帯の撮像光の方向は、i (行)方向すなわ
ち横方向に並んでいるが、これが斜め方向である場合に
おいても、そのために特別な手段をとることなく前記と
同様な処理を行なえば、斜め方向の重心位置を求めるこ
とになり、前記と同様に線化ができる。また、前記撮像
光の方向がj方向すなわち縦方向に並んでいても、あら
かじめそれか縦方向に並んでいると認識できておればi
をjに、inをj。と置き換えることで、同様に線化が
できる。
[発明の効果] 第3図は、被測定物のある点を基準として一定方向に移
動させた時の、真値に対する光切断法による従来法と本
発明の方法のそれぞれの測定値の比較結果を部分的に拡
大して表わした一例で、本発明の効果を知ることができ
る。
以上に説明したように、本発明によれば、−回の撮像の
みで従来より短時間に、正確な、かつ安価な光切断法に
よる3次元寸法測定が可能となる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の実施例の装置構成を示す概略図、第2
図(a)は第1図のCCDカメラのCCD素子上に結像
したある一部分を示した模式図、第2図(b)は第2図
(a)に示す撮像素子A−A’上の受光強度分布を示す
線図、および第3図は従来法と本発明の方法との測定値
の比較結果を示すグラフである。 1・・・レーザ光源、2・・・柱状レンズ、3・・・被
測定物、4・・・テレビカメラ、5・・・アナログ・デ
ジタル変換器、6・・・フレームメモリー、7・・・重
心演算出力装置。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. ほぼ一定の強度分布を持つ細長い光帯を被測定物の表面
    に照射し、撮像素子がマトリックス状に配列され、入射
    光量と出力値がほぼ比例する固体撮像装置により被測定
    物表面上の光帯照射像を撮像して被測定物の形状を測定
    する方法において、光帯の像を横切る素子行列の列ごと
    に出力値の重心点を求め、素子行列の行方向に沿って前
    記重心点を順次結ぶことを特徴とする光切断法における
    線化方法。
JP6829788A 1988-03-24 1988-03-24 光切断法における線化方法 Pending JPH01242906A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1991010111A1 (en) * 1989-12-28 1991-07-11 Kabushiki Kaisha Toyota Chuo Kenkyusho Apparatus for measuring three-dimensional coordinate
JPH03186705A (ja) * 1989-12-15 1991-08-14 Toyota Central Res & Dev Lab Inc 3次元形状寸法計測装置
US5083073A (en) * 1990-09-20 1992-01-21 Mazada Motor Manufacturing U.S.A. Corp. Method and apparatus for calibrating a vision guided robot

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6195203A (ja) * 1984-10-17 1986-05-14 Hitachi Ltd 光切断線検出装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6195203A (ja) * 1984-10-17 1986-05-14 Hitachi Ltd 光切断線検出装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03186705A (ja) * 1989-12-15 1991-08-14 Toyota Central Res & Dev Lab Inc 3次元形状寸法計測装置
WO1991010111A1 (en) * 1989-12-28 1991-07-11 Kabushiki Kaisha Toyota Chuo Kenkyusho Apparatus for measuring three-dimensional coordinate
US5280542A (en) * 1989-12-28 1994-01-18 Kabushiki Kaisha Toyota Chuo Kenkyusho XYZ coordinates measuring system
US5083073A (en) * 1990-09-20 1992-01-21 Mazada Motor Manufacturing U.S.A. Corp. Method and apparatus for calibrating a vision guided robot

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