JPS60111104A - 撮像方法 - Google Patents
撮像方法Info
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- JPS60111104A JPS60111104A JP59098661A JP9866184A JPS60111104A JP S60111104 A JPS60111104 A JP S60111104A JP 59098661 A JP59098661 A JP 59098661A JP 9866184 A JP9866184 A JP 9866184A JP S60111104 A JPS60111104 A JP S60111104A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/024—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by means of diode-array scanning
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は物体の撮像方法に関する。
例えは小さい単位光電素子を一列状に、或いはマトリッ
クス状に規則的に配列させた固体撮像素子を用いて、物
体の寸法或いは位置を計測する場合、物体像を適当な光
学系を介して固体撮像素子上に結像させ、この固体撮像
素子からの受光の強弱に応じた光電出力を電気的に処理
することが行われる。このような光学系の一例を第１図
に示す。
クス状に規則的に配列させた固体撮像素子を用いて、物
体の寸法或いは位置を計測する場合、物体像を適当な光
学系を介して固体撮像素子上に結像させ、この固体撮像
素子からの受光の強弱に応じた光電出力を電気的に処理
することが行われる。このような光学系の一例を第１図
に示す。
ｉｆ図で計測される物体（１）はレンズ（２）で拡大さ
れた光学像（３）を介して固体撮像素子（４）上に結像
を得させる。省略されている駆動回路によって、この固
体撮像素子の各単位光電素子は受光状態を調べられ、こ
の駆動回路から受光強度に応じた電気出力が得られる。
れた光学像（３）を介して固体撮像素子（４）上に結像
を得させる。省略されている駆動回路によって、この固
体撮像素子の各単位光電素子は受光状態を調べられ、こ
の駆動回路から受光強度に応じた電気出力が得られる。
そして電気出力は適当な処理回路によって２値化され、
物体の寸法或いは位置が計測される。この例では物体の
計測可能最小単位が単位光電素子の大きさと各単位光電
素子間の間隔によって左右される。
物体の寸法或いは位置が計測される。この例では物体の
計測可能最小単位が単位光電素子の大きさと各単位光電
素子間の間隔によって左右される。
いま単位光電素子を一列に配列した一次元固体撮像索子
によシ物体の寸法を計測するとする。この固体撮像素子
は第２図ａでｎ個のビットと称される単位光電素子例え
ば一定面積を持ったケイ素フォートダイオード（４＋）
、（４ｔ） −（４ｇ） 、 （４４）、 （４Ｂ）
・・・（＝４）、（−二）、（−一〕）、（ム）が−列
に並んでいるものである。斜線を施した部分を物体の光
学像（３）の結像域とし、任意のビット内で斜線部分が
５０％以上に達するとき電気的に“ｌ”信号が得られ、
そうでない時“０″信号が得られるとする。従って第２
図ａの結像域から得られるデジタル信号はａ′に示され
る通シとなシ、′ｌ”信号の数によって物体の寸法が計
測される。光学像の一端及び他端が第３図に示す隣接ビ
ット境界から±０５ビット内のＳ、 、 Ｓ、及びＳｌ
、Ｓｆに結像する時には各端のデジタル信号は等しくて
変らない。従って光学像は両端で±０５ビットの誤差を
許す。
によシ物体の寸法を計測するとする。この固体撮像素子
は第２図ａでｎ個のビットと称される単位光電素子例え
ば一定面積を持ったケイ素フォートダイオード（４＋）
、（４ｔ） −（４ｇ） 、 （４４）、 （４Ｂ）
・・・（＝４）、（−二）、（−一〕）、（ム）が−列
に並んでいるものである。斜線を施した部分を物体の光
学像（３）の結像域とし、任意のビット内で斜線部分が
５０％以上に達するとき電気的に“ｌ”信号が得られ、
そうでない時“０″信号が得られるとする。従って第２
図ａの結像域から得られるデジタル信号はａ′に示され
る通シとなシ、′ｌ”信号の数によって物体の寸法が計
測される。光学像の一端及び他端が第３図に示す隣接ビ
ット境界から±０５ビット内のＳ、 、 Ｓ、及びＳｌ
、Ｓｆに結像する時には各端のデジタル信号は等しくて
変らない。従って光学像は両端で±０５ビットの誤差を
許す。
この計測誤差は一次元固体撮像素子による計測に限らず
二次元固体撮像素子Ｉ：よる場合にも伴われる。このた
め誤差の軽減には固体撮像素子ではビット数を増加させ
なければ々らないが装置４を高価にしている。
二次元固体撮像素子Ｉ：よる場合にも伴われる。このた
め誤差の軽減には固体撮像素子ではビット数を増加させ
なければ々らないが装置４を高価にしている。
この発明は上記点に鑑みなされたもので、光電検出単位
片数を増加させることなく固体撮像素子を用いて高精度
な撮像な可能にした撮像方法を提供するものである。即
ちこの発明は物体の光学像を一次元又は二次元固体撮像
素子にょる撮像において、この固体撮像素子の位置を光
電検出単位片の範囲で変化させて撮像することにょシ高
稍度な撮像出力を得るものである。そして撮像物体と固
体撮像素子の相対位置の変更は物体を直接５二移動させ
、又は光学系を用いるか、或いは例えば固体撮像素子を
移動するか、もしくはアナログ信号のサンプリング位相
を変更することでなされる。始めの対応並びに相対位−
を変更された後の対応の各対応毎Ｃ二得られる量は電圧
で、演算回路を用いデジタル変換を行う点については説
明が省略されているが、常法に従ってよろしい。
片数を増加させることなく固体撮像素子を用いて高精度
な撮像な可能にした撮像方法を提供するものである。即
ちこの発明は物体の光学像を一次元又は二次元固体撮像
素子にょる撮像において、この固体撮像素子の位置を光
電検出単位片の範囲で変化させて撮像することにょシ高
稍度な撮像出力を得るものである。そして撮像物体と固
体撮像素子の相対位置の変更は物体を直接５二移動させ
、又は光学系を用いるか、或いは例えば固体撮像素子を
移動するか、もしくはアナログ信号のサンプリング位相
を変更することでなされる。始めの対応並びに相対位−
を変更された後の対応の各対応毎Ｃ二得られる量は電圧
で、演算回路を用いデジタル変換を行う点については説
明が省略されているが、常法に従ってよろしい。
以下実施例について述べる。この例で使用する光学系は
前記第１図例光学系でよい。しかしこの例では物体（１
）の載置台（５）は矢印方向にモータ（６）で移動出来
る点で相違している。さてこの光学系で一次元固体撮像
素子（４）の結像と光学像（３）との始めに得られる対
応を第２図ａとし、斜線領域で示される光学像の対応結
像域がビットの面積の５０％以−Ｌを占める時このビッ
トは“ｉ”（を号を出力するものとすると、デジタル信
号はａ′に示す通りに得られる。次に第１図で載置台（
５）をモータ（６）で−次元固体撮像素子性）の長手方
向に半ビットに相当する距離だけ移動する。この状態で
変更されて得られる光学像の一次元固体撮像素子での対
応結像域を第２図すに示す。相対−位置を変更されたこ
の状態でデジタル信号はｂ′に示す通シに得られる。ｂ
′でビット（４４）の信号は“ｌ”から“０”に変化し
、−次元固体撮像素子の左端からの“Ｏ”の数はａ′で
の／。
前記第１図例光学系でよい。しかしこの例では物体（１
）の載置台（５）は矢印方向にモータ（６）で移動出来
る点で相違している。さてこの光学系で一次元固体撮像
素子（４）の結像と光学像（３）との始めに得られる対
応を第２図ａとし、斜線領域で示される光学像の対応結
像域がビットの面積の５０％以−Ｌを占める時このビッ
トは“ｉ”（を号を出力するものとすると、デジタル信
号はａ′に示す通りに得られる。次に第１図で載置台（
５）をモータ（６）で−次元固体撮像素子性）の長手方
向に半ビットに相当する距離だけ移動する。この状態で
変更されて得られる光学像の一次元固体撮像素子での対
応結像域を第２図すに示す。相対−位置を変更されたこ
の状態でデジタル信号はｂ′に示す通シに得られる。ｂ
′でビット（４４）の信号は“ｌ”から“０”に変化し
、−次元固体撮像素子の左端からの“Ｏ”の数はａ′で
の／。
からｂ′での４で変化する。これに対し右端からの“０
”の数はａ′でのｍ、がｂ′のｍ、にあっても変化しな
い。即ち第３図に示すように光学像の各端が隣接ビット
境界から０．５ビツトの部分Ｓ１ ＊ Ｓ７に対応結像
する時デジタル信号は変化せず、各端が８２ ｒ 努に
対応結像する時Ｅ、は１１よシ１増加し、ｍ！はＩｎ、
よシ１減少する。そして第２図ａで正確な状態を把握す
るとすれば、−次元固体撮像素子の両端から対応結像域
境界までのビット数を次式（１） 、 （２１からめる
と、±０．２５ビットの精度で光学像各端位にをめるこ
とが出来る。
”の数はａ′でのｍ、がｂ′のｍ、にあっても変化しな
い。即ち第３図に示すように光学像の各端が隣接ビット
境界から０．５ビツトの部分Ｓ１ ＊ Ｓ７に対応結像
する時デジタル信号は変化せず、各端が８２ ｒ 努に
対応結像する時Ｅ、は１１よシ１増加し、ｍ！はＩｎ、
よシ１減少する。そして第２図ａで正確な状態を把握す
るとすれば、−次元固体撮像素子の両端から対応結像域
境界までのビット数を次式（１） 、 （２１からめる
と、±０．２５ビットの精度で光学像各端位にをめるこ
とが出来る。
固体撮像素子左輪からのビット数
固体撮像素子右端からのビット数
第２図ａの状態では／ ＝ ３．２５ ビット、 ｍ＝
２．２５ビツトとなシ、それぞれ’％ ｒ ”’；の中
央に合致する。
２．２５ビツトとなシ、それぞれ’％ ｒ ”’；の中
央に合致する。
前記例は固体撮１＃！素子の単位光竜累子が、５０％以
上の面積に光学像を結像するとき“ｌ”信号として扱っ
ているが、電気的処理或いは物体への照明強度の変更に
よシａ′チ以上の面積に光学像が結像する場合に“ｌ″
信号なる場合も同様に扱うことが出来る。この場合の光
学像の一次元固体撮１．ｉ！素子での対応結像域を第４
図ａに示す。第４図ａで光学像の各端が、隣接ビットか
らａ ／ ％の領域にあるピッ）Ｓ、、Ｓ’にそれぞれ
対応結像する時、同じデジタル信号が得られることは明
らかである。それ故Ｓｌｌの中心な瞬接ビットの境界に
おきかえた一次元固体撮像素子を考えると、第４図わが
描かれ、第３図と同様に考えてよいことが理解される。
上の面積に光学像を結像するとき“ｌ”信号として扱っ
ているが、電気的処理或いは物体への照明強度の変更に
よシａ′チ以上の面積に光学像が結像する場合に“ｌ″
信号なる場合も同様に扱うことが出来る。この場合の光
学像の一次元固体撮１．ｉ！素子での対応結像域を第４
図ａに示す。第４図ａで光学像の各端が、隣接ビットか
らａ ／ ％の領域にあるピッ）Ｓ、、Ｓ’にそれぞれ
対応結像する時、同じデジタル信号が得られることは明
らかである。それ故Ｓｌｌの中心な瞬接ビットの境界に
おきかえた一次元固体撮像素子を考えると、第４図わが
描かれ、第３図と同様に考えてよいことが理解される。
この場合物体の寸法の絶対値を知ろうとする場合には、
予じめ物体の長さＬに対応するビット数ｎ、１正確にめ
ておき次式を用いて算出する。
予じめ物体の長さＬに対応するビット数ｎ、１正確にめ
ておき次式を用いて算出する。
Ｌ＋（（ｎ−ｎ、）−（ｊ’＋ｍ） ）ｘａ但しこの式
でａは１ビツト尚シの物体の長さである。
でａは１ビツト尚シの物体の長さである。
このように光学像と固体撮像素子に於ける結像との対応
を半ビットずらせ、前後の光′１し検出出力を用いるこ
とにより、」＝０５ビットの精度で寄られていた光学像
境界は±０．２５ビットの精度に向上出来る。更に少ビ
ットずつ２回、電ビットずつ３回・・・域ビットずつ（
Ｚ−１）回物体を移動し、各回で得られる複数個の光電
検出出力を用い」１は計測精度は一層向上する。負１５
図ａ、ｂ、ｃ、ｄ−二乞ビットずつ３回相対位置を没更
し、変更ＡＵ後で光学ｆ象の一次元固体撮１″！！素子
での対応結像域を示す。ａ／。
を半ビットずらせ、前後の光′１し検出出力を用いるこ
とにより、」＝０５ビットの精度で寄られていた光学像
境界は±０．２５ビットの精度に向上出来る。更に少ビ
ットずつ２回、電ビットずつ３回・・・域ビットずつ（
Ｚ−１）回物体を移動し、各回で得られる複数個の光電
検出出力を用い」１は計測精度は一層向上する。負１５
図ａ、ｂ、ｃ、ｄ−二乞ビットずつ３回相対位置を没更
し、変更ＡＵ後で光学ｆ象の一次元固体撮１″！！素子
での対応結像域を示す。ａ／。
ｂ′、Ｃ′ｌｄ′はそれぞれの場合に得られるデジタル
信号である。この場合−次元固体撮像素子の一方端及び
他方端が光学像の対応結像端（二到るビット数ｌ、ｍ及
び精度は、次の（３）、（４）、（５）式からめられ、
ｌ！−３−匈ビット、ｍ＝２十％ビット、１３度は土掻
ビットとなる。
信号である。この場合−次元固体撮像素子の一方端及び
他方端が光学像の対応結像端（二到るビット数ｌ、ｍ及
び精度は、次の（３）、（４）、（５）式からめられ、
ｌ！−３−匈ビット、ｍ＝２十％ビット、１３度は土掻
ビットとなる。
例えば固体撮像素子が、単位光電素子をマトリックス状
に配列している二次元固体撮像素子であっても精度を同
様に向上出来る。いま光学像の対応結像域が、第６図斜
線域からＸ、Ｙ方向に半ビットずれ、且つこの二次元固
体撮像素子は７×７のビット、配列にあるとする。又ビ
ットの半分以上を斜線域とする時“１″伯号が、そうで
ない時“０″信号が得られるとする。斜線を施した始め
の結像位置ではＸＩ ｒ ”１行、５１ ＃ ）’ａ
ｆ Ｙｖ 列ニハ“１″イｂが含まれず、点線で囲まれ
た対応変更後の結像位置はＸＩ ＋ ＸＩ ＋ ”！
行、）’Ｉ ｅ ｙｒ列に“１”信号が含まれない。従
って二次元固体撮像素子の谷辺がら始めの光学像結像端
までの距離は（１１、（２）式から左辺から １．２５
ビツト 右辺から １．２５ビツト −Ｅ辺から ０．７５ビツト 下辺から １７５ビツト となる。光学像即ち物体の大きさ或いは位置は、始めの
結像位置でのデジタル信号のみで計測する場合よシもよ
り正確にめることが出来る。
に配列している二次元固体撮像素子であっても精度を同
様に向上出来る。いま光学像の対応結像域が、第６図斜
線域からＸ、Ｙ方向に半ビットずれ、且つこの二次元固
体撮像素子は７×７のビット、配列にあるとする。又ビ
ットの半分以上を斜線域とする時“１″伯号が、そうで
ない時“０″信号が得られるとする。斜線を施した始め
の結像位置ではＸＩ ｒ ”１行、５１ ＃ ）’ａ
ｆ Ｙｖ 列ニハ“１″イｂが含まれず、点線で囲まれ
た対応変更後の結像位置はＸＩ ＋ ＸＩ ＋ ”！
行、）’Ｉ ｅ ｙｒ列に“１”信号が含まれない。従
って二次元固体撮像素子の谷辺がら始めの光学像結像端
までの距離は（１１、（２）式から左辺から １．２５
ビツト 右辺から １．２５ビツト −Ｅ辺から ０．７５ビツト 下辺から １７５ビツト となる。光学像即ち物体の大きさ或いは位置は、始めの
結像位置でのデジタル信号のみで計測する場合よシもよ
り正確にめることが出来る。
又この発明の方法は物体のＸ、Ｙ方向の位置ずれ量を計
測することにも利用出来る。例えは第７図で物体の光学
像（３）はθの角度で交わる２辺であシ、固体撮像素子
（４）はこの２辺を横切るように置かれている。この場
合光学像を検出しているビットは第２図ａの斜線領域に
相当し、ｉ、値は“１”信号を選出する光電受光端子の
数である。物体がＹ方向に移動ずれはｉ、値が変化し、
Ｘ方向に移動すれは４．ｍ、が叙化する。いま説明を簡
単にするためθ−タとし、／１＝λ。、ｌ！、−ｍ、が
正規の位置とすると、物体のＸ、Ｙ方向正規位置からの
ずれ量は次式（６１、（力から算出される。
測することにも利用出来る。例えは第７図で物体の光学
像（３）はθの角度で交わる２辺であシ、固体撮像素子
（４）はこの２辺を横切るように置かれている。この場
合光学像を検出しているビットは第２図ａの斜線領域に
相当し、ｉ、値は“１”信号を選出する光電受光端子の
数である。物体がＹ方向に移動ずれはｉ、値が変化し、
Ｘ方向に移動すれは４．ｍ、が叙化する。いま説明を簡
単にするためθ−タとし、／１＝λ。、ｌ！、−ｍ、が
正規の位置とすると、物体のＸ、Ｙ方向正規位置からの
ずれ量は次式（６１、（力から算出される。
１、 −ｍ。
△Ｘ＝□β （６）
化しβは光学系の倍率や光電受光素子から決まる定数で
ある。このようなＸ、Ｙ方向位置ずれ量は光学像をＸ方
向に規定に従ってずらし、複数個の光電検出出力を得る
ことから正確Ｃ二得られる。しかし′ｆ４Ｓ７図例では
Ｙ方向に光学像を移動してもざし支えない。この時には
ｌ□ｍ１が共に増加するか又ＩＪ減少することになるが
、光学像を一ビツトずつずらしたときの／、ｍ値は次式
（８） 、 （９）から算出される。
ある。このようなＸ、Ｙ方向位置ずれ量は光学像をＸ方
向に規定に従ってずらし、複数個の光電検出出力を得る
ことから正確Ｃ二得られる。しかし′ｆ４Ｓ７図例では
Ｙ方向に光学像を移動してもざし支えない。この時には
ｌ□ｍ１が共に増加するか又ＩＪ減少することになるが
、光学像を一ビツトずつずらしたときの／、ｍ値は次式
（８） 、 （９）から算出される。
光電検出は固体撮像素子の他テレビ撮像管Ｃ二よりても
よろしい。この場合には連続ビデオ信号を採取してデジ
タル信号を得るのであるが、単位サンプリング間隔を固
体撮像素子の場合のビットと同様にデジタル１ｉｉの光
°屯検出単位片として考慮すれはよい。
よろしい。この場合には連続ビデオ信号を採取してデジ
タル信号を得るのであるが、単位サンプリング間隔を固
体撮像素子の場合のビットと同様にデジタル１ｉｉの光
°屯検出単位片として考慮すれはよい。
各４３１Ｊは何２しも光学イ・決の任意の点と７′ジタ
ル量の光電検出ｊＦＬ位片での結像との対応な、規定さ
れているように異にしてイ肩られる各光電検出出力を、
個々にデジタル処理し、飼々（二光学像のデジタル計測
な行い、得られる計測値を用い一定演′５ネを行わせて
いる。演２ナーはコンピュータ等′ｄＬ気的手法によシ
８鳥になされる。光学像の移動は第１図例のように物４
１〈をｉｊ＜ Ｗ 浮動するほか、光学手法によって光
学像を移動させでよく、例えは固体撮像素子を移動して
もよい。第７図例は物体ｉｌｌと光学像（３）ノ間に透
明ガラス（７）を配置し、この（７）の傾斜によシ光学
像を移動する光学系を示す。
ル量の光電検出ｊＦＬ位片での結像との対応な、規定さ
れているように異にしてイ肩られる各光電検出出力を、
個々にデジタル処理し、飼々（二光学像のデジタル計測
な行い、得られる計測値を用い一定演′５ネを行わせて
いる。演２ナーはコンピュータ等′ｄＬ気的手法によシ
８鳥になされる。光学像の移動は第１図例のように物４
１〈をｉｊ＜ Ｗ 浮動するほか、光学手法によって光
学像を移動させでよく、例えは固体撮像素子を移動して
もよい。第７図例は物体ｉｌｌと光学像（３）ノ間に透
明ガラス（７）を配置し、この（７）の傾斜によシ光学
像を移動する光学系を示す。
このようなこの発明の計測方法に於いては、光学像とデ
ジタル畦の光電検出単位片に於ける結像の始めの対応と
、相対位置を変更された後の対応の、各対応毎に別途に
行ったデータ処理結果を用い簡単な計算を行うことで足
り、毎回のデータ処理に用いるデータ数が少く、データ
処理装置を簡単安価にする。又例えば位置決めでは光学
像と結像との始めの対応Ｃ二対して位置誤差を算出し、
この誤差が所定外である場合誤差値を基にＸＹテーブル
等を用いて物体の粗位置決めをなし、この後始めの対応
と相対位置変更後の対応でのそれぞれデータ処理によシ
正確に位置誤差を算出し、正確な位置決めを行うことが
出来、位置決めに要する時間も短縮される。
ジタル畦の光電検出単位片に於ける結像の始めの対応と
、相対位置を変更された後の対応の、各対応毎に別途に
行ったデータ処理結果を用い簡単な計算を行うことで足
り、毎回のデータ処理に用いるデータ数が少く、データ
処理装置を簡単安価にする。又例えば位置決めでは光学
像と結像との始めの対応Ｃ二対して位置誤差を算出し、
この誤差が所定外である場合誤差値を基にＸＹテーブル
等を用いて物体の粗位置決めをなし、この後始めの対応
と相対位置変更後の対応でのそれぞれデータ処理によシ
正確に位置誤差を算出し、正確な位置決めを行うことが
出来、位置決めに要する時間も短縮される。
第１図及び第８図はこの発明の物体の計測方法（二使用
出来る光学系簡略図、第２図ａ、ｂ、第３図、第４図ａ
、 ｂ、第５図ａ、ｂ、ｃ、ｄは何れもこの発明の実
施例方法を説明するため一次元固体撮像素子の光学像対
応結像領域を示し、第２図ａ′、ｂ′又は第５図ａ／、
ｂｌ、 Ｃ／、 ｄ／は各対応のデジタルイａ＠変化
を示し、第６図は二次元固体撮像索子の光学像対応結像
領域を示し、第７図は位１６決め例に於ける一次元固体
撮像素子の光学像対応結像領域を示す。 第１図及び第８図で （１）・・・・・・物体、（３）
・・・・・・ 光学像、（４）・・・・・・−次元固体
撮像素子、（５）・・・・・・物体載置台、（６）・・
・・・・モータ、（力・・・・・・傾斜可能の透明カラ
ス。 代理人 弁理士 井 上 −男 第２図 第 ５ 図 ン？ｌフＸ６ 第 ６ 図 第 ７ 図 第 ８ 図 手続補正書５９．１２．２７ 昭和 年 月 日 特許庁長官 志 賀 学 殿 ■、事件の表示 昭和５９年特許願第９８６６１号 ２、発明の名称 撮像方法 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 （３０７）株式会社 東芝 電話 ７３６−３５５８ ５、 補正命令の日付 昭和５９年９月５日（発送日昭和５９年９月２５日）６
、 補正の対象 小＝−１ ■棒 明細書の図面の簡単な説明の榴 ■骨図 面 ７、補正の内容 ■＋ 別紙表Φの通り。 １４ｔｌ＝ 第２図、第５図を別紙の通りとする。 以上 俵〒−今 表 ÷ 第 ２ 図
出来る光学系簡略図、第２図ａ、ｂ、第３図、第４図ａ
、 ｂ、第５図ａ、ｂ、ｃ、ｄは何れもこの発明の実
施例方法を説明するため一次元固体撮像素子の光学像対
応結像領域を示し、第２図ａ′、ｂ′又は第５図ａ／、
ｂｌ、 Ｃ／、 ｄ／は各対応のデジタルイａ＠変化
を示し、第６図は二次元固体撮像索子の光学像対応結像
領域を示し、第７図は位１６決め例に於ける一次元固体
撮像素子の光学像対応結像領域を示す。 第１図及び第８図で （１）・・・・・・物体、（３）
・・・・・・ 光学像、（４）・・・・・・−次元固体
撮像素子、（５）・・・・・・物体載置台、（６）・・
・・・・モータ、（力・・・・・・傾斜可能の透明カラ
ス。 代理人 弁理士 井 上 −男 第２図 第 ５ 図 ン？ｌフＸ６ 第 ６ 図 第 ７ 図 第 ８ 図 手続補正書５９．１２．２７ 昭和 年 月 日 特許庁長官 志 賀 学 殿 ■、事件の表示 昭和５９年特許願第９８６６１号 ２、発明の名称 撮像方法 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 （３０７）株式会社 東芝 電話 ７３６−３５５８ ５、 補正命令の日付 昭和５９年９月５日（発送日昭和５９年９月２５日）６
、 補正の対象 小＝−１ ■棒 明細書の図面の簡単な説明の榴 ■骨図 面 ７、補正の内容 ■＋ 別紙表Φの通り。 １４ｔｌ＝ 第２図、第５図を別紙の通りとする。 以上 俵〒−今 表 ÷ 第 ２ 図
Claims (1)
- 物体の光学像を一次元固体撮像索子又は二次元固体撮像
素子による撮像において、上記−次元固体撮像素子又は
二次元固体撮像素子を構成する光電検出単位片の範囲で
上記物体と一次元固体撮像素子又は二次元固体撮像素子
の相対位置を変更させて撮像することを特徴とする撮像
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59098661A JPS60111104A (ja) | 1984-05-18 | 1984-05-18 | 撮像方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59098661A JPS60111104A (ja) | 1984-05-18 | 1984-05-18 | 撮像方法 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2393777A Division JPS6045361B2 (ja) | 1977-03-07 | 1977-03-07 | 物体の計測方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60111104A true JPS60111104A (ja) | 1985-06-17 |
Family
ID=14225694
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59098661A Pending JPS60111104A (ja) | 1984-05-18 | 1984-05-18 | 撮像方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60111104A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2616220A1 (fr) * | 1987-06-05 | 1988-12-09 | Videoton Elekt Vallalat | Procede et dispositif pour la determination du diametre de faisceaux lumineux |
| JPH0464005A (ja) * | 1990-07-02 | 1992-02-28 | Toshiba Corp | 撮像素子 |
| US6008761A (en) * | 1996-06-17 | 1999-12-28 | Nec Corporation | Loop antenna |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53109658A (en) * | 1977-03-07 | 1978-09-25 | Toshiba Corp | Measuring method of objects |
-
1984
- 1984-05-18 JP JP59098661A patent/JPS60111104A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53109658A (en) * | 1977-03-07 | 1978-09-25 | Toshiba Corp | Measuring method of objects |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2616220A1 (fr) * | 1987-06-05 | 1988-12-09 | Videoton Elekt Vallalat | Procede et dispositif pour la determination du diametre de faisceaux lumineux |
| JPH0464005A (ja) * | 1990-07-02 | 1992-02-28 | Toshiba Corp | 撮像素子 |
| US6008761A (en) * | 1996-06-17 | 1999-12-28 | Nec Corporation | Loop antenna |
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