JPH01180437A - リード曲り検出方法 - Google Patents
リード曲り検出方法Info
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- JPH01180437A JPH01180437A JP529288A JP529288A JPH01180437A JP H01180437 A JPH01180437 A JP H01180437A JP 529288 A JP529288 A JP 529288A JP 529288 A JP529288 A JP 529288A JP H01180437 A JPH01180437 A JP H01180437A
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- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
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- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
- G01N21/95607—Inspecting patterns on the surface of objects using a comparative method
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、同一平面上に規則正しく並んでいるIC等
のリード曲りを検出するための方法の改良に関するもの
である。
のリード曲りを検出するための方法の改良に関するもの
である。
従来は第2図に示すように、1.C(31のリード部(
4)の先端部(5)の斜め上方に光源(1)、二次元撮
像素子(2)を配置していた。
4)の先端部(5)の斜め上方に光源(1)、二次元撮
像素子(2)を配置していた。
この構成において、リード曲りを検出する場合には光源
(1)により、IC+31のリード部(4)の先端部(
5)を照射し、二次元撮像素子(2)により第3図の撮
像を得る。そして、第3図のリード先端部像団の直線性
およびピッチの乱れを、あらかじめ設定されている基準
と比較し、リード曲りを検出する。
(1)により、IC+31のリード部(4)の先端部(
5)を照射し、二次元撮像素子(2)により第3図の撮
像を得る。そして、第3図のリード先端部像団の直線性
およびピッチの乱れを、あらかじめ設定されている基準
と比較し、リード曲りを検出する。
従来の方法は−リード先端部という極めて狭い面積部分
を撮像するため、二次元撮像素子の受光蓋が少なく、光
源および二次元撮像素子の感度等の影響を受は易く、リ
ード曲り検出の安定性に欠けるという問題点があった。
を撮像するため、二次元撮像素子の受光蓋が少なく、光
源および二次元撮像素子の感度等の影響を受は易く、リ
ード曲り検出の安定性に欠けるという問題点があった。
この発明は、上記のような問題点を解消するためになさ
れたもので、二次元撮像素子によりリード曲りを安定し
て検出することを目的とする。
れたもので、二次元撮像素子によりリード曲りを安定し
て検出することを目的とする。
この発明に係るリード曲り検出方法は、ICのリードの
側面から光線を照射してこれを二次元撮像素子にて撮像
し、その結果を基準値と比較して上記リードの曲りを検
出するものである。
側面から光線を照射してこれを二次元撮像素子にて撮像
し、その結果を基準値と比較して上記リードの曲りを検
出するものである。
〔作用]
この発明において、リード部側面部に対する光源と二次
元撮像素子の配置により、撮像面積が広くなり、リード
部のリードピッチ間の曲りおよびリードのリード部側面
に対し直角方向への曲がり、いわゆるリードの内的り、
外曲りの撮像が安定して得られる。
元撮像素子の配置により、撮像面積が広くなり、リード
部のリードピッチ間の曲りおよびリードのリード部側面
に対し直角方向への曲がり、いわゆるリードの内的り、
外曲りの撮像が安定して得られる。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第1
図において、(1)は平行光源でIC(31のリード部
(4)の側面部(5)に対し光線が直角に照射されるよ
う配置されている。(2)は二次元撮像素子で。
図において、(1)は平行光源でIC(31のリード部
(4)の側面部(5)に対し光線が直角に照射されるよ
う配置されている。(2)は二次元撮像素子で。
リード部(4)の側面部(5)に対しX軸方向、2軸方
向のいずれにも傾きを持って配置されている。
向のいずれにも傾きを持って配置されている。
次に検査方法について説明する。第1図においてIC+
31のリード部(4)の側面部(5)を平行光源(1)
により側面部(5)のx −z平面に直角に照射する。
31のリード部(4)の側面部(5)を平行光源(1)
により側面部(5)のx −z平面に直角に照射する。
その反射光を側面部(5)のX軸、l軸いずれにも傾き
をもつ二次元撮像素子(2)により撮像する。そしてそ
の撮像のリード部先端の直線性およびリード間ピッチの
規則性をあらかじめ設定されている基準と比較し、リー
ド曲りを検出する。
をもつ二次元撮像素子(2)により撮像する。そしてそ
の撮像のリード部先端の直線性およびリード間ピッチの
規則性をあらかじめ設定されている基準と比較し、リー
ド曲りを検出する。
また上記実施例ではI C+7−ドの場合について説明
したがIcソケットおよび、基板コネクタ、ケーブルコ
ネクタの接続ピンであってもよく、上記実施例と同様の
効果を奏する。
したがIcソケットおよび、基板コネクタ、ケーブルコ
ネクタの接続ピンであってもよく、上記実施例と同様の
効果を奏する。
以上のように、この発明によれば、−列に整列されたリ
ードの側面から光線を照射してこれを二次元撮像素子に
て撮像し、その結果を基準値と比較して上記リードの曲
りを検出するので一リード部先端部を撮像する方式に比
較すると、面積の大きい撮像が得られることになり、リ
ードの像が安定し、リード部先端部の直線性およびリー
ド間ピッチのばらつきが判別し易くなる効果がある。
ードの側面から光線を照射してこれを二次元撮像素子に
て撮像し、その結果を基準値と比較して上記リードの曲
りを検出するので一リード部先端部を撮像する方式に比
較すると、面積の大きい撮像が得られることになり、リ
ードの像が安定し、リード部先端部の直線性およびリー
ド間ピッチのばらつきが判別し易くなる効果がある。
第1図はこの発明の一実施例による構成を示す斜視図、
iJ 2 Il+は従来の構成を示す構成図、第3図は
従来の構成での撮像を示す図である。図中。 (1)は光諒、(2)は二次元撮像素子、(3)はIC
1(4)はリード部、(5)は側面部である。 なお各図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。
iJ 2 Il+は従来の構成を示す構成図、第3図は
従来の構成での撮像を示す図である。図中。 (1)は光諒、(2)は二次元撮像素子、(3)はIC
1(4)はリード部、(5)は側面部である。 なお各図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 一列に整列されたリードの側面から光線を照射してこれ
を二次元撮像素子にて撮像し、その結果を基準値と比較
して上記リードの曲りを検出することを特徴とするリー
ド曲り検出方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP529288A JPH01180437A (ja) | 1988-01-12 | 1988-01-12 | リード曲り検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP529288A JPH01180437A (ja) | 1988-01-12 | 1988-01-12 | リード曲り検出方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01180437A true JPH01180437A (ja) | 1989-07-18 |
Family
ID=11607168
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP529288A Pending JPH01180437A (ja) | 1988-01-12 | 1988-01-12 | リード曲り検出方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01180437A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110954552A (zh) * | 2018-09-27 | 2020-04-03 | 联合汽车电子有限公司 | 跨接线检测装置、跨接线检测系统和跨接线检测方法 |
-
1988
- 1988-01-12 JP JP529288A patent/JPH01180437A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110954552A (zh) * | 2018-09-27 | 2020-04-03 | 联合汽车电子有限公司 | 跨接线检测装置、跨接线检测系统和跨接线检测方法 |
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