JP6864911B2 - 面形状歪測定装置 - Google Patents
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Description
一方、本観点の発明は、照明光源とカメラおよび被測定面の配置を上記のように設定することにより、照明光源の拡散光の被測定面への入射角および反射角が15度程度以内の反射像がカメラで撮影されることとなるので、被測定面の奥行き方向の位置ずれの影響を小さく抑えることができる。さらにその影響を小さくするためには、本観点の発明における上記の拡散光の発光点と被測定点とを結ぶ直線と前記カメラの光軸との成す角度が30度以内とする角度は、14度以内とし、入射角および反射角が7度程度以内の反射像をカメラで撮影することが望ましい。
2、2a 被測定面
3 照明光源
4、94 カメラ
5 パーソナルコンピュータ
6 移動機構
7 コントローラ
8 照明コントローラ
9、9a、93、95 反射像
10 面形状歪測定装置
13 光軸
14、17 被測定点
15 発光点
16 直線
90、96 格子状パターン
91 照明装置
Claims (4)
- 被測定面にy軸方向に伸びたスリット状の拡散光を照射する照明光源と、該照明光源に対する相対位置を固定して設置され前記拡散光の被測定面による反射像を撮影するカメラと、該撮影された反射像により該反射像を生ずる前記被測定面の各反射点の相対的な傾きを検出する画像処理手段と、前記照明光源および前記カメラまたは前記被測定面を有する被測定物を搭載して前記被測定面に照射された前記拡散光のスリットの幅方向(x軸方向とする)に移動する移動機構と、該移動機構の移動量に応じた電気信号を出力するエンコーダとを備え、
前記画像処理手段は、前記被測定面がy軸に平行な軸を中心にして基準となる基準面より傾いていることにより前記拡散光による前記被測定面の各点の正反射像がx軸方向に変移して撮像されたものとして前記反射像内の各点において前記基準面よりの傾きの角度である傾斜角度を算出し、前記被測定面上に定めた座標に対して前記傾斜角度をその座標の前記反射像の輝度と対応させた傾斜角度対輝度データを作成し、
前記照明光源および前記カメラまたは前記被測定面を前記移動機構により所定の間隔でx軸方向に移動させながら前記撮影を順次行うことにより前記被測定面の測定領域内の各座標における前記傾斜角度対輝度データを取得し、該傾斜角度対輝度データに基づいて、前記各座標において最大の輝度を有する傾斜角度を該座標において正反射を生じさせた正反射傾斜角度として決定し、
前記被測定面の測定領域内の各座標の前記正反射傾斜角度の変化から前記各座標における曲率を算出する手段と、該算出された被測定面の測定領域内における曲率の分布を表示する手段とを備えることを特徴とする面形状歪測定装置。 - 前記各座標における正反射傾斜角度と輝度のデータに基づいて、前記被測定面の測定領域内の各点の任意の正反射傾斜角度に対する輝度分布を表示する手段を有することを特徴とする請求項1に記載の面形状歪測定装置。
- y軸に垂直で前記カメラの光軸と前記被測定面とが交わる被測定点を含む面内における前記拡散光の発光点と前記被測定点とを結ぶ直線と前記カメラの光軸との成す角度が30度以内であることを特徴とする請求項1又は2に記載の面形状歪測定装置。
- 前記算出された被測定面の曲率より該被測定面のx軸方向の相対変位を算出する手段と、該算出された相対変位を表示する手段とを有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の面形状歪測定装置。
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