DE4007401C2 - Vorrichtung zum Feststellen einer Eigenschaft eines Objekts - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Feststellen einer Eigenschaft eines Objekts, mit den Merkmalen des Oberbegriffs des Patentanspruchs 1.

Eine Vorrichtung dieser Art ist aus der DE-AS 12 11 421 bekannt.

Eine im Prinzip ähnliche Vorrichtung zeigt auch die DE-OS 19 62 594.

Eine Abtasteinrichtung in einer Vorrichtung zur Überwachung einer Materialbahn oder einer sonstigen Abtastebene ist aus der DE 24 33 682 A1 bekannt. Ferner ist es aus der DE-AS 12 51 981 bekannt, bei einer Vorrichtung zur Prüfung der Qualität einer Materialbahn einen Zähler vorzusehen, der die Anzahl von Fehlerstellen in der Materialbahn bei deren Abtastung innerhalb einer separat ermittelten Durchlauflänge bis zu einer vorbestimmten Maximalzahl zählt und anschließend wieder rückgestellt wird. Eine zur Ermittlung von Fehlerstellen auf Materialbahnen bestimmte Prüfvorrichtung mit einem Lichtleitstab ohne fluoreszierende optische Faser ist aus der DE 30 01 841 A1 bekannt.

Eine herkömmliche Vorrichtung zur Feststellung der Größe eines Objekts wird im folgenden anhand von Fig. 2 der Zeichnungen näher beschrieben. In dieser Vorrichtung trifft ein von einer Lichtquelle 1, beispielsweise einem Halbleiterlaser, ausgehender Laserstrahl auf einen rotierenden Polygonspiegel 2, wo er reflektiert wird. Der rotierende Polygonspiegel 2 wird von einem Motor (nicht gezeigt) oder einer entsprechenden Antriebseinrichtung angetrieben, so daß die Richtung der Reflexion des Laserstrahls einen bestimmten Winkelbereich (R) umfaßt.

Dies führt dazu, daß der Laserstrahl einen Bereich parallel zur Zeichenebene mit einer bestimmten Geschwindigkeit überstreicht, so daß ein Abtastvorgang ausgeführt wird.

Der abtastende Laserstrahl wird auf eine Linse 3 geworfen, welche eine konvexe Linse oder eine fR-Linse ist. Der rotierende Polygonspiegel 2 ist im Brennpunkt der Linse 3 angeordnet, und daher sind die Lichtstrahlen, die aus der Linse 3 austreten, unabhängig von ihrer Abtastposition parallel zueinander. Der Laserstrahl, der aus der Linse 3 austritt, wird auf eine konvexe Linse 4 geworfen, so daß er auf einen Photodetektor 5 fokussiert wird.

Ein zu prüfendes Objekt 7 ist zwischen der Linse 3 und der konvexen Linse 4 angeordnet, so daß ein Teil des Laserstrahls durch das Objekt 7 abgeschirmt wird und nicht auf den Photodetektor 5 geworfen wird. Daher kann durch Messung der Zeit, während der der Ausgangspegel des Photodetektors abgesenkt ist, die vertikale Länge (in Fig. 2) des Objektes 7 bestimmt werden.

Ein Problem einer Vorrichtung dieser Art ist, daß der Gebrauch einer konvexen Linse 4 zum Fokussieren des Lichtes auf einen einfachen Photosensor die Vorrichtung sperrig und teuer in der Herstellung macht, und daß es schwierig ist, wegen der Abweichung der konvexen Linse 4 und anderer Faktoren eine Messung mit hoher Genauigkeit durchzuführen.

In einem herkömmlichen Gepäckfördersystem wird ein abtastender Strahl üblicherweise nicht benutzt, aber stattdessen eine Lichtquelle mit einem Strahl mit vorbestimmter Weite. Statt eine konvexe Linse und einen einfachen Photodetektor einzusetzen, wird der lichtempfangende Abschnitt aus einer Photodetektoranordnung mit einer Anzahl von Photodetektoren in einer geraden vertikalen Linie zusammengesetzt. Wenn ein Gepäckstück zwischen die Lichtquelle und die Photodetektoranordnung gelangt, entspricht die Menge des zurückgehaltenen Lichtes der Größe des Gepäckstücks.

Jedoch ist auch in diesem Fall die Meßanordnung notwendigerweise nicht nur kompliziert in der Konstruktion einschließlich der Verdrahtung, sondern ist auch teuer in den Herstellungskosten.

Fig. 9 zeigt als Beispiel die Konstruktion einer konventionellen Prüfvorrichtung. In dieser Figur entspricht die Bezugszahl 61 einem zu prüfenden Objekt, wie einem Eisenplättchen, einem Film usw., und die Bezugszahl 62 entspricht einer Photodetektoranordnung, in welcher eine Mehrzahl von Photodetektoren geradlinig angeordnet ist.

Ein Objekt 61 wird mit einem Laserstrahl beleuchtet und das reflektierte Licht wird von der Photodetektoranordnung 62 erfaßt. Wenn Fremdkörper, wie Staub, Schmutz usw., sich an dem Objekt 61 befinden oder wenn im Objekt 61 Defekte, wie Sprünge, Brüche usw. vorliegen, ist der Betrag des reflektierten Lichtes des verschmutzten oder defekten Teils vom Betrag des reflektierten Lichtes eines ordnungsgemäßen Teils verschieden. Entsprechend kann das Objekt durch diese Änderung in der Lichtmenge geprüft werden. Das zu prüfende Objekt wird durch den Laserstrahl in der Richtung des Pfeiles A in Fig. 9 abgetastet und wird in die Richtung des Pfeiles B bewegt. Daher kann das ganze Objekt 61 geprüft werden.

Allerdings wird in einer solchen konventionellen Vorrichtung mit einer Photodetektoranordnung 62 die Verdrahtung, welche die verschiedenen Photodetektoren berücksichtigt, kompliziert und die Vorrichtung wird groß, wenn die Länge der Anordnung groß wird. Außerdem bestehen Abweichungen in den Eigenschaften, und ein toter Bereich kann zwischen den benachbarten Photodetektoren auftreten. Daher ist es notwendig, die jeweiligen lichtempfangenden Elemente so anzuordnen, daß die benachbarten Photodetektoren teilweise gegenseitig überlappen, oder daß eine Streuscheibe vor den Photodetektoren angeordnet wird. Somit ist es schwierig, eine präzise und genaue Prüfung durchzuführen und eine entsprechende Vorrichtung ist kompliziert und teuer.

Es gibt weiterhin bei gedruckten Schaltungen verschiedene Arten von Auslegungen, welche sich auf die Breite eines leitenden Abschnitts (Musters) beziehen, auf den Abstand zwischen leitenden Abschnitten, auf Kontaktdurchmesser, usw. Eine Prüfvorrichtung zum Prüfen von gedruckten Schaltungen vom in Fig. 9 gezeigten Typ kann benutzt werden, um festzustellen, ob eine gedruckte Schaltung mit einem vorgegebenen Muster der jeweiligen Auslegung entspricht oder nicht. Um diese gedruckte Schaltung zu prüfen, wird sie von einem Laserstrahl abgetastet und das reflektierte Licht wird von einer Photodetektoranordnung empfangen, in welcher eine Vielzahl von Photodetektoren in einer Reihe angeordnet sind. Der leitende Abschnitt, bestehend z. B. aus Kupfer, und ein Abschnitt des Basismaterials, bestehend z. B. aus glasfaserverstärktem Epoxyharz, sind in der Richtwirkung des reflektierten Lichtes verschieden. Normalerweise reflektiert der leitende Abschnitt stärker als der Abschnitt des Basismaterials, so daß der erfaßte Betrag des reflektierten Lichtes groß wird. Demgemäß kann das Muster der gedruckten Schaltung durch die Veränderung im Ausgangssignal der Photodetektoranordnung geprüft werden. Es ist ebenfalls bekannt, das Licht jeder Abtastposition auf einen einzelnen Photodetektor fallen zu lassen unter Benutzung einer Kondensorlinse, die vor diesem einzelnen Photodetektor angeordnet ist.

Die Vorrichtung zum Prüfen der Entwurfsregeln mit der Detektoranordnung leidet unter denselben Problemen, die oben im Hinblick auf die Fehlererkennungsvorrichtung diskutiert wurden. Für die Vorrichtung zum Prüfen der gedrückten Schaltung unter Benutzung einer Kondensorlinse, um das reflektierte Licht auf einen einzelnen Photodetektor konvergieren zu lassen, ist es notwendig, eine große Kondensorlinse zu verwenden, um einen weiten Bereich der gedruckten Schaltung abzutasten. Daher wird die Vorrichtung groß und teuer.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung der eingangs genannten Art zu schaffen, welche einerseits wenig Raum erfordert und andererseits eine jeweils zu prüfende Eigenschaft eines Objekts mit großer Sicherheit ermöglicht.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe mit den Merkmalen des kennzeichnenden Teils des Patentanspruchs 1 gelöst.

Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.

Eine Vorrichtung nach der Erfindung enthält: Eine Lichtquelle zum Aussenden von Licht; eine Abtasteinrichtung, die einen Lichtstrahl der Lichtquelle in einem vorbestimmten Bereich von Winkeln schwenken läßt; eine Linse, die bewirkt, daß Lichtstrahlen der Abtasteinrichtung unabhängig von ihren Einfallswinkeln parallel zueinander verlaufen; eine fluoreszierende optische Faser, welche in einem bestimmten Abstand von der Linse angeordnet ist, so daß das zu testende Objekt zwischen der Linse und der Faser positioniert werden kann und die in einer Abtastebene der Lichtstrahlen, die aus der Linse heraustreten, in der Weise angeordnet ist, daß die fluoreszierende optische Faser im wesentlichen senkrecht zur optischen Achse der Lichtstrahlen ist; einen Photodetektor zum Empfang des Lichtes, welches von dem Ende der fluoreszierenden Faser heraustritt; und eine Bewertungsschaltung zum Empfang eines Ausgangssignales des Photodetektors, um die Länge des Testobjektes zu bestimmen.

Ein von der Lichtquelle erzeugter Laserstrahl wird auf die Linse geworfen, wobei er durch die Abtasteinrichtung geschwenkt wird, so daß die Lichtstrahlen, die aus der Linse hervortreten, unabhängig von ihren Einfallswinkeln parallel zueinander verlaufen. Die Laserstrahlen, die aus der Linse hervortreten, werden auf die Seite der fluoreszierenden optischen Faser geworfen. Die optische Faser enthält fluoreszierendes Material, welches bei einfallendem Laserstrahl Fluoreszenzlicht emittiert. Das so emittierte Fluoreszenzlicht wird innerhalb der fluoreszierenden optischen Faser übertragen und wird von dem Photodetektor, welcher an dem Ende der fluoreszierenden optischen Faser vorgesehen ist, empfangen. Das Ausgangssignal des Photodetektors wird benutzt, um die Länge des Objektes zu bestimmen. Demgemäß kann die Meßvorrichtung nach der Erfindung die Länge eines Objektes genau messen, ohne gesteigerte Baugröße oder Kosten.

Im Falle eines Systems zum größengemäßen Sortieren von Gepäckstücken oder anderer Objekte, die durch einen Größendetektor transportiert werden, wird die Lichtquelle und der Abtastabschnitt durch eine Lichtquelle ersetzt, zum Beispiel durch eine lineare Lampe, welche einen Lichtstrahl von vorbestimmter Weite aussendet, und die fluoreszierende optische Faser in einer Richtung parallel zur Weite des Strahls angeordnet ist. Ein Teil des Lichtes, welches auf die fluoreszierende optische Faser fallen würde, wird von dem Objekt zurückgehalten. Daher korrespondiert die Höhe des Objektes mit der Menge von Licht, die auf die fluoreszierende optische Faser fällt, und in dem Fall, daß die Geschwindigkeit der Bewegung des Objektes konstant ist, korrespondiert die Breite des Objektes mit der Dauer, für die der Lichtstrahl von dem Objekt zurückgehalten wird. Die Größe des Objektes kann entsprechend durch die Veränderung und den Grad der Veränderung der Ausgangssignale der lichtempfangenden Elemente und der erwähnten Dauer bestimmt werden.

Ein weiteres Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung besteht in einer Prüfvorrichtung, enthaltend eine Lichtquelle zum Aussenden von Licht zur Prüfung; eine Abtasteinrichtung, welche das ausgesendete Licht der Lichtquelle benutzt, um ein Objekt in einer vorbestimmten Richtung abzutasten; eine fluoreszierende optische Faser, welche im wesentlichen parallel zur Abtastrichtung der Abtasteinrichtung angeordnet ist, um so das Licht, welches von dem Objekt reflektiert wird, an einer Seite der fluoreszierenden optischen Faser zu empfangen; und einen Photodetektor, der an wenigstens einem Endabschnitt der fluoreszierenden optischen Faser angeordnet ist und das Fluoreszenzlicht, welches innerhalb der fluoreszierenden optischen Faser erzeugt wurde, empfängt.

Das von der Lichtquelle emittierte Licht bestrahlt das Objekt über die Abtasteinrichtung, die z. B. aus einem Polygonspiegel besteht. Das vom Objekt reflektierte Licht fällt auf eine Seite der fluoreszierenden optischen Faser ein, welche parallel zur Abtastrichtung des einfallenden Strahls angeordnet ist. Die fluoreszierende optische Faser erzeugt ein Fluoreszenzlicht innerhalb der Faser, sobald Licht einfällt, und dieses Licht wandert die Faser entlang und wird vom Photodetektor detektiert. Die fluoreszierende optische Faser ist preiswert und eine lange fluoreszierende optische Faser mit gleichmäßigen Eigenschaften ist leicht herzustellen. Demgemäß kann eine kompakte und preiswerte Vorrichtung realisiert werden, welche ein Objekt über einen größeren Bereich gleichzeitig prüfen kann und eine genaue und gute Prüfung durchführen kann.

Ein weiteres Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung besteht in einer Prüfvorrichtung für gedruckte Schaltungen, enthaltend: eine Lichtquelle zum Emittieren eines Prüflichtstrahls; eine Tafel zum Bewegen einer gedruckten Schaltung in einer vorbestimmten Richtung; eine Abtasteinrichtung zum Abtasten der gedruckten Schaltung mit dem Licht, welches von der Lichtquelle in einer Richtung näherungsweise senkrecht zur Bewegungsrichtung der Tafel emittiert wird; eine fluoreszierende optische Faser, die näherungsweise parallel zu der Abtastrichtung des abtastenden Abschnitts angeordnet ist, um so das von der gedruckten Schaltung reflektierte Licht durch eine Seite der Faser zu empfangen; und einen Photodetektor, der an wenigstens einem Ende der fluoreszierenden optischen Faser angeordnet ist.

Bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung werden nachfolgend anhand der Zeichnungen näher beschrieben. Darin zeigt

Fig. 1 eine Ausführungsform einer Vorrichtung in schematischer Darstellung,

Fig. 2 eine herkömmliche Vorrichtung ebenfalls in schematischer Darstellung,

Fig. 3 ein Blockschaltbild zur Vorrichtung nach Fig. 1

Fig. 4 eine Ausführungsform einer fluoreszierenden optischen Faser,

Fig. 5 den Gegenstand von Fig. 4 im Querschnitt,

Fig. 6 zeigt eine weitere Ausführungsform einer fluoreszierenden optischen Faser im Querschnitt,

Fig. 7 eine Ausführungsform der Erfindung in der Anwendung zur Sortierung von Gepäckstücken,

Fig. 8 ein Blockschaltbild zum Gegenstand von Fig. 7,

Fig. 9 eine herkömmliche Prüfvorrichtung in perspektivischer Darstellung,

Fig. 10 ist eine weitere Ausführungsform der Erfindung in schematischer Darstellung,

Fig. 11 ein Blockschaltbild zum Gegenstand von Fig. 10,

Fig. 12A ein zu prüfendes Objekt in Seitenansicht,

Fig. 12B die Wellenform eines mit der Vorrichtung nach Fig. 10 bei der Prüfung des Objekts nach Fig. 12A erfaßten Ausgangssignals,

Fig. 13 eine Ausführungsform ähnlich dem Gegenstand von Fig. 10 bei Prüfung eines anderen Objekts,

Fig. 14 eine Ausführungsform ähnlich dem Gegenstand von Fig. 10 bei Prüfung eines weiteren Objekts,

Fig. 15A das mit der Vorrichtung nach Fig. 14 zu prüfende Objekt in Seitenansicht,

Fig. 15b die Wellenform eines mit der Vorrichtung nach Fig. 14 bei der Prüfung des Objekts nach Fig. 15A gebildeten Detektorsignals,

Fig. 15C die Wellenform eines Referenzortsignals,

Fig. 16 eine Ausführungsform ähnlich dem Gegenstand von Fig. 13 oder 14 bei Prüfung einer gedruckten Schaltung,

Fig. 17A die mit der Vorrichtung nach Fig. 16 zu prüfende gedruckten Schaltung,

Fig. 17B die Wellenform eines mit der Vorrichtung nach Fig. 16 bei der Abtastung der gedruckten Schaltung nach Fig. 17A gebildeten Detektorsignals,

Fig. 18 eine Darstellung zur Erläuterung der Beziehung zwischen einfallendem Licht und reflektiertem Licht bei der Abtastung der gedruckten Schaltung nach Fig. 17A mittels der Vorrichtung nach Fig. 16 und

Fig. 19 eine weitere Darstellung zur Erläuterung der Beziehung zwischen einfallendem Licht und reflektiertem Licht bei der Abtastung der gedruckten Schaltung nach Fig. 17A mittels der Vorrichtung nach Fig. 16.

Fig. 1 zeigt die Anordnung bei einer Ausführungsform der Vorrichtung. Darin sind Teile, die funktionell den in Fig. 2 beschriebenen Teilen entsprechen, mit den gleichen Bezugszeichen versehen.

In Fig. 1 bezeichnet die Bezugszahl 31 eine fluoreszierende optische Faser, die in der Abtastebene (parallel zur Zeichenebene) des Laserstrahls angeordnet ist, in der Weise, daß sie rechtwinklig zur optischen Achse des Laserstrahls ist. Ein Photodetektor 32 ist an wenigstens einem Ende der fluoreszierenden optischen Faser 31 vorgesehen (im Fall der Fig. 1 ist ein Photodetektor an jedem Ende der optischen Faser vorgesehen). Eine Signalverarbeitungsschaltung 33 ist für die Verarbeitung der Ausgangssignale des Photodetektors 32 vorgesehen.

Fig. 3 ist ein Blockschaltbild, welches die Signalverarbeitungsschaltung 33 im Detail zeigt. In Fig. 3 bezeichnet die Bezugszahl 11 eine Additionsschaltung, welche die Ausgangssignale von zwei Photodetektoren 32 addiert. Die Additionsschaltung 11 wird weggelassen, wenn nur ein Photodetektor 32 eingesetzt wird. Weiterhin bezeichnet die Bezugszahl 12 in Fig. 3 eine Pegeldetektorschaltung zum Detektieren des Pegels eines Ausgangssignals der Additionsschaltung 11. Eine Meßschaltung 13 zählt die Taktimpulse, die durch eine Takterzeugungsschaltung 14 erzeugt werden, um somit die Zeit zu messen, für welche der Ausgang der Detektorschaltung auf einem vorbestimmten Pegel gehalten wird. Eine Bewertungsschaltung 15 vergleicht den Ausgang der Meßschaltung 13 mit Werten, die im Speicher 16 gespeichert sind, um die Länge eines Objektes 7 festzustellen und eine Anzeigeeinheit 17 zeigt die Werte der so festgestellten Länge an.

Die fluoreszierende optische Faser 31 ist wie in Fig. 4 und 5 gezeigt, aufgebaut.

In Fig. 4 und 5 bezeichnet die Bezugszahl 21 einen ersten Teil aus Glas oder Kunststoff, wobei das erste Teil 21 in diesem Aufbau in Form einer zylindrischen Röhre vorliegt; und 22 bezeichnet ein zweites Teil aus Glas oder Kunststoff innerhalb des ersten Teils 21. Das zweite Teil 22 hat einen höheren Brechungsindex als das erste Teil 21. Zusätzlich ist fluoreszierendes Material gleichförmig in dem zweiten Teil 22 verteilt, um das hier einfallende Licht zu absorbieren.

Das von der Seite in die fluoreszierende optische Faser 32 eindringende Licht durchdringt das erste Teil 21 und erreicht so das zweite Teil 22, welches wie vorher beschrieben das fluoreszierende Material enthält. Daher wird das einfallende Licht von dem fluoreszierenden Material absorbiert, welches dann Fluoreszenzlicht emittiert.

Wie vorher beschrieben, ist der Brechungsindex des zweiten Teils 22 größer als der des ersten Teiles 21. Daher kann das Fluoreszenzlicht, welches von dem zweiten Teil 22 erzeugt wird, nicht das erste Teil 21 durchdringen und wird stattdessen an der Fläche des ersten Teils 21 reflektiert. Als Ergebnis wird das Fluoreszenzlicht an das rechte und linke Ende der fluoreszierenden optischen Faser übertragen und wird dann von den Photodetektoren 32, die am rechten und linken Ende des zweiten Teils 22 vorgesehen sind, empfangen.

Die Ausgangssignale der zwei Photodetektoren 32 werden auf die Additionsschaltung 11 gegeben, wo sie addiert werden. Das Ausgangssignal der Additionsschaltung 11 wird der Pegeldetektorschaltung 12 zugeführt, welche den Pegel des Eingangssignals feststellt. Auf der anderen Seite zählt die Meßschaltung 13 die Taktimpulse, die durch die Takterzeugungsschaltung 14 während der Zeitdauer, an der die Pegeldetektorschaltung 12 ein Signal mit einem niedrigeren Pegel feststellt (welches erzeugt wird, wenn der Lichtstrahl von einem Objekt 7 blockiert wird und nicht auf die fluoreszierende optische Faser 31 fällt), zugeführt werden, wobei die Länge der Zeitdauer festgestellt wird. Die Länge (oder die Anzahl der Taktimpulse), die von der Meßschaltung 13 festgestellt wird, wird der Bewertungsschaltung 15 übergeben.

Eine Tabelle, welche die Länge eines Objektes als Funktion der gezählten Taktimpulse anzeigt, ist fortlaufend im Speicher 16 abgelegt. Die Bewertungsschaltung 15 vergleicht die Daten der gezählten Taktimpulse, die von der Meßschaltung 13 empfangen wurden mit den im Speicher 16 gespeicherten Daten, um die entsprechenden Längenwerte auszulesen und auf der Anzeigeeinheit 17 anzuzeigen.

In der oben beschriebenen Ausführungsform der Erfindung ist die fluoreszierende optische Faser 31 zylindrisch. Allerdings kann sie auch einen im wesentlichen rechteckigen Querschnitt aufweisen, wie in Fig. 6 gezeigt, oder sie kann auch ein im Querschnitt viereckiges Prisma sein.

Wie vorher diskutiert wurde, wird in der Meßvorrichtung der Lichtstrahl, welcher aus der Linse aus­ tritt, auf die Seite der fluoreszierenden optischen Faser geworfen und ein zu testendes Objekt ist zwischen der Linse und der optischen Faser angeordnet. Daher kann die Meßvorrichtung sowohl in der Größe als auch in den Herstellungskosten reduziert werden. Außerdem kann in der beschriebe­ nen Meßvorrichtung der abtastende Lichtstrahl so auf die fluoreszierende optische Faser gegeben werden, wie er ist (d. h. ohne konvergiert zu werden), und so kann eine Messung mit einer höheren Präzision erreicht werden.

Fig. 7 zeigt als Beispiel eine Anordnung für ein System zum Sortieren von Gepäckstücken oder anderer bewegter Objekte nach der Größe. In Fig. 7 bezeichnet die Bezugszahl 41 eine Lichtquelle, welche zum Beispiel eine lineare fluoreszierende Lampe sein kann. Eine fluoreszierende optische Faser 42 ist in einem vorbestimmten Abstand von der Lichtquelle 41 in der Weise angeordnet, daß sie parallel zur Lichtquelle 41 ist. Ein Photodetektor 43 ist an wenigstens einem Ende der fluoreszierenden optischen Faser 42 vorgesehen (an beiden Seiten im Beispiel nach Fig. 7). Eine Signalverarbeitungsschaltung 44 verarbeitet die Ausgangssignale des Photodetektors 43.

Weiter bezeichnet in Fig. 7 die Bezugszahl 45 ein Objekt, wie z. B. ein Gepäckstück, welches zwischen der Lichtquelle 41 und der fluoreszierenden optischen Faser 42 plaziert ist. Das Objekt 45 wird mit einem Band 46 in einer zur Zeichnungsebene senkrechten Richtung bewegt. Ohne es besonders zu erwähnen, kann die Vorrichtung auch so modifiziert werden, daß das Objekt 45 festgehalten wird und die Lichtquelle 41 und die fluoreszierende optische Faser 42 mit einer Bewegungseinrichtung, z. B. mit einem Band, bewegt werden.

Fig. 8 ist ein Blockschaltbild, welches die Anordnung der Signalverarbeitungsschaltung 44 zeigt. In Fig. 8 bezeichnet die Bezugszahl 51 eine Additionsschaltung zum Addieren der Ausgangssignale der zwei Photodetektoren 43. Daher kann die Additionsschaltung 51 auch weggelassen werden, wenn nur ein Photodetektor eingesetzt wird. Die Bezugszahl 52 bezeichnet weiter in Fig. 8 ein Filter, welches andere Frequenzkomponenten als 100 Hz beseitigt, wenn die Lichtquelle 41 mit einer Stromversorgung von 50 Hz arbeitet, oder das andere Frequenzkomponenten als 120 Hz beseitigt, wenn die Lichtquelle mit einer Stromversorgung von 60 Hz arbeitet. Eine Pegeldetektorschaltung 53 stellt den Pegel des Ausgangssignals des Filters 52 fest und die Meßschaltung 54 zählt die Taktimpulse, die von der Takterzeugungsschaltung 55 ausgegeben werden, um so die Zeit zu messen, für die das Ausgangssignal der Pegeldetektorschaltung 53 auf einem vorgegebenen Pegel gehalten wird. Eine Bewertungsschaltung 56 vergleicht die Ausgangssignale der Pegeldetektorschaltung 53 und der Meßschaltung 54 mit Referenzwerten, die im Speicher 57 gespeichert sind, um die Größe des Objektes festzustellen, und eine Anzeigeeinheit 58 zeigt die Daten der so festgestellten Größe an.

Der von der Lichtquelle 41 ausgehende Lichtstrahl fällt auf die fluoreszierende optische Faser 42. Wenn es kein Objekt 45 zwischen der Lichtquelle 41 und der fluoreszierenden optischen Faser 42 gibt, erreicht fast der gesamte Lichtstrahl, der in Richtung der fluoreszierenden optischen Faser 42 emittiert wurde, die optische Faser 42. Wenn auf der anderen Seite ein Objekt 45 zwischen der Lichtquelle 41 und der fluoreszierenden optischen Faser 42 angeordnet ist, wird wenigstens ein Teil des Lichtstrahls von dem Objekt 45 zurückgehalten und nicht auf die fluoreszierende optische Faser 42 geleitet.

Die fluoreszierende optische Faser 42 kann im wesentlichen in derselben Weise wie in Fig. 4 bis 6 gezeigt aufgebaut sein. Die Menge des fluoreszierenden Lichtes, welches von der Faser erzeugt wird und an einem oder beiden Enden derselben erfaßt wird, entspricht der Menge des auf sie einfallenden Lichtes. Die Menge des einfallenden Lichtes wird verringert, wenn die Höhe (oder die vertikale Länge in Fig. 7) des Objektes 45 ansteigt. Die Zeit, für die das einfallende Licht zurückgehalten wird, steigt an, wenn die Breite (oder die Länge in einer zur Zeichnungsebene senkrechten Richtung nach Fig. 7) des Objektes 45, welches in einer zur Zeichnungsebene senkrechten Richtung bewegt wird, ansteigt. Jeder der Photodetektoren 43 empfängt das innerhalb der Faser übertragene fluoreszierende Licht und wandelt es in ein elektrisches Signal um. Daher enthalten die Ausgangssignale der Photodetektoren 43 die Werte der Höhe und der Breite des Objektes 45.

Die Ausgangssignale der zwei Photodetektoren 43 werden in der Additionsschaltung 51 addiert. Das Additionsergebnis wird auf das Filter 52 gegeben. Die Lichtquelle 41 wird mit einer Frequenz an- und ausgeschaltet, die zweimal der Frequenz der Versorgungsspannungsquelle entspricht. Wenn die Frequenz der Versorgungsspannungsquelle 50 Hz beträgt, enthält das Ausgangssignal der Additionsschaltung daher eine 100 Hz Frequenzkomponente; und wenn sie 60 Hz beträgt, enthält das Ausgangssignal eine 120 Hz Frequenzkomponente. Andere Frequenzkomponenten als 100 oder 120 Hz werden durch das Filter 52 beseitigt, weil sie nicht der Lichtquelle 41 zugeordnet werden können.

Das Ausgangssignal des Filters 52 wird auf die Pegeldetektorschaltung 53 gegeben, wo der Pegel festgestellt wird. Auf der anderen Seite zählt die Meßschaltung 54 die Taktimpulse, die von der Takterzeugungsschaltung 55 während einer Periode, in der die Pegeldetektorschaltung 53 ein Signal mit einem vorbestimmten Pegel feststellt, zugeführt werden, um so die Länge dieser Periode festzustellen. Der von der Pegeldetektorschaltung 53 festgestellte Signalpegel und die von der Meßschaltung 54 gemessene Periode (oder die Zahl der Taktimpule) werden der Bewertungsschaltung 56 zugeführt.

Eine Wertetabelle mit Objekthöhen und entsprechenden Signalpegeln und eine Wertetabelle mit Objektbreiten und entsprechenden gemessenen Taktimpulszahlen ist in dem Speicher 57 abgelegt. Die Bewertungsschaltung 56 vergleicht die Ausgangsdaten der Pegeldetektorschaltung 53 und der Meßschaltung 54 mit den Werten der im Speicher 57 abgelegten Tabellen, um die der Objekthöhe und Objektbreite entsprechenden Werte auszulesen und diese auf der Anzeigeeinheit 58 anzuzeigen.

Wenn in einem Fall ein Objekt abhängig von seiner Größe an einer bestimmten Position von dem Band 46 abgeladen wird, werden die Ergebnisse der Entscheidung der Bewertungsschaltung 56 an die Objektabladeeinheiten (nicht gezeigt) übergeben, die an bestimmten Positionen vorgesehen sind, wobei jede Objektabladeeinheit ein Objekt vom Band 6 ablädt, wenn festgestellt worden ist, daß das Objekt an der Position der Abladeeinheit durch die Abladeeinheit bearbeitet werden soll.

Um irrtümliche Operationen, hervorgerufen durch Lichtreflexionen, an den umgebenden Begrenzungen oder ähnlichem zu vermeiden, sind Schlitze oder ähnliches auf der Rückseite der Lichtquelle 41 und/oder vor der fluoreszierenden optischen Faser 42 vorgesehen.

In dem System zur Gepäck- oder Objektgrößenmessung nach Fig. 7 und 8 trifft der von der Lichtquelle ausgesendete Lichtstrahl auf die fluoreszierende optische Faser und das zu messende Objekt ist zwischen der Lichtquelle und der fluoreszierenden optischen Faser angeordnet. Daher kann die Meßvorrichtung in der Konstruktion vereinfacht werden und in den Herstellungskosten verringert werden. Außerdem kann eine längliche Lichtquelle und eine fluoreszierende optische Faser verhältnismäßig einfach hergestellt werden und daher folgt, daß auch ein relativ großes Objekt mit der Meßvorrichtung gemessen werden kann.

Fig. 10 zeigt den Aufbau eines optischen Systems einer Prüfvorrichtung. In dieser Figur wird die Tafel 71 von einem Antriebsmittel (nicht gezeigt) in der Richtung von Pfeil B in Fig. 10 bewegt und das Objekt 72 ist auf dieser Tafel 71 angeordnet. Die Bezugszahl 73 bezeichnet einen auf dem Objekt 72 haftenden Fremdkörper.

Die Lichtquelle 74, wie zum Beispiel ein Halbleiterlaser, emittiert einen Laserstrahl. Eine Abtasteinrichtung, die einen rotierenden Polygonspiegel 75 enthält, reflektiert den Laserstrahl, um das Objekt 72 in Richtung des Pfeiles A abzutasten. Die fluoreszierende optische Faser 76 ist näherungsweise parallel zu der vom rotierenden Polygonspiegel 75 erzeugten Abtastrichtung angeordnet. Der Photodetektor 77 ist wenigstens an einem Ende der fluoreszierenden optischen Faser 76 angebracht (an beiden Enden in dieser Ausführungsform).

Fig. 11 ist ein Blockschaltbild der Signalverarbeitungsschaltung für eine Prüfvorrichtung nach Fig. 10. Nach dieser Darstellung addiert die Additionsschaltung 81 die Ausgangssignale von zwei Photodetektoren 77 und kann weggelassen werden, wenn nur ein Photodetektor 77 benutzt wird. Die Pegeldetektorschaltung 82 erfaßt den Pegel des Ausgangssignals der Additionsschaltung 81. Die Referenzsignalerzeugungsschaltung 84 erzeugt ein Referenzsignal, welches mit der Rotation des rotierenden Polygonspiegels 75 synchronisiert ist und mit dessen Rotationsgeschwindigkeit zusammenhängt. Die eine Ortssignalerzeugungsschaltung 83 konvertiert ein Signal, ausgegeben von der Pegeldetektorschaltung 82, von der Zeitachse in ein Ortssignal, welches dem Ort des Objektes 72 entspricht, entsprechend zum Referenzsignal, ausgegeben von der Referenzsignalerzeugungsschaltung 84. Die Bewertungsschaltung 85 vergleicht das Ortssignal, das von der Ortssignalerzeugungsschaltung 83 erzeugt wird mit einem Referenzwert, der im Speicher 86 abgelegt ist. Die Anzeigevorrichtung 87 zeigt das Entscheidungsergebnis der Bewertungsschaltung 85 an.

Die Funktionsweise der obigen Prüfvorrichtung wird nun beschrieben.

Der Laserstrahl, der von der Lichtquelle 74 emittiert wird, wird von dem rotierenden Polygonspiegel 75 reflektiert und fällt auf das Objekt 72, welches auf der Tafel 71 plaziert ist. Das Objekt wird durch diesen Laserstrahl entsprechend der Rotation des rotierenden Polygonspiegels 75 in Richtung des Pfeiles A in Fig. 10 abgetastet. Weil die Tafel 71 in der Richtung des Pfeiles B näherungsweise senkrecht zur Richtung des Pfeiles A bewegt wird, wird das gesamte Objekt 72 von dem Laserstrahl abgetastet.

Der Laserstrahl, der von dem Objekt 72 reflektiert wird, fällt auf eine Seite der fluoreszierenden optischen Faser 76. Die fluoreszierende optische Faser 76 ist wie in Fig. 4 und 5 gezeigt aufgebaut. Das Fluoreszenzlicht wird innerhalb der optischen Faser zum linken und rechten Ende übertragen, wo es von den Photodetektoren 77 (32 in Fig. 4), welche am linken und rechten Ende der optischen Faser angeordnet sind, erfaßt wird.

Wenn, wie in den Fig. 12A und 12B gezeigt, ein Abschnitt des Objektes 72, an dem ein Fremdkörper 73 haftet, abgetastet wird, sind die Ausgangspegel der Photodetektoren 77 zu dem Zeitpunkt, an dem der Fremdkörper 73 abgetastet wird, im Vergleich zu den Ausgangssignalen während des übrigen Abtastintervalls reduziert.

Die Ausgangssignale der zwei Photodetektoren 77 werden zueinander durch die Additionsschaltung 81 addiert und der addierte Pegel wird durch die Pegeldetektorschaltung 82 erfaßt. Die Ortssignalerzeugungsschaltung 83 konvertiert das Ausgangssignal der Pegeldetektorschaltung 82 von der Zeitachse in ein Ortssignal, das einer Position eines Objektes 72 entspricht unter Berücksichtigung eines Signals, das die Abtastgeschwindigkeit des rotierenden Polygonspiegels 75 wiedergibt und von der Referenzsignalerzeugungsschaltung 84 eingegeben wird. Demgemäß entspricht das Signal, das von der Ortssignalerzeugungsschaltung 83 herausgegeben wird, einer realen Position (Distanz) des Objektes 72. Dieses Signal wird in der Bewertungsschaltung 85 fortlaufend mit Referenzwerten R, abgelegt im Speicher 86, verglichen.

Der Referenzwert R, abgelegt im Speicher 86, ist zwischen den Erfassungspegel H für einen Abschnitt des Objektes 72 ohne einen Fremdkörper und einen Erfassungspegel L mit Fremdkörper 73 gesetzt. Demgemäß ist es durch Vergleich des oben erwähnten Signals mit dem Referenzwert R möglich zu beurteilen, ob ein Fremdkörper 73 vorhanden ist oder nicht. Die Beurteilungsergebnisse werden in der Anzeigeeinheit 87 angezeigt.

Eine fluoreszierende optische Faser 76 ist preiswert und es ist einfach, eine lange, dünne fluoreszierende optische Faser mit einheitlichen Eigenschaften herzustellen. Entsprechend kann eine genaue und gute Prüfung zu einem Zeitpunkt über einen weiten Bereich des Objektes durchgeführt werden.

Fig. 13 zeigt einen Fall, in dem Defekte, wie Sprünge oder Brüche eines Objektes 72, z. B. einer Eisenplatte oder eines Films festgestellt werden. In diesem Fall wird das relativ lange Objekt 72 in der Richtung des Pfeiles B durch geeignete Fördermittel (nicht gezeigt) bewegt.

In diesem Fall ist das Detektorausgangssignal für die Bereiche des Objektes, in denen Sprünge oder Brüche auftreten, ebenfalls reduziert im Vergleich zum Detektorausgangssignal zu anderen Zeitpunkten. Daher können Defekte in einer gleichen Weise erkannt werden, wie im oben beschriebenen Fall eines Fremdkörpers.

Fig. 14 zeigt einen Fall, in welchem die Position der Teile 91, angeordnet auf dem Objekt 72, das zum Beispiel aus einer gedruckten Schaltung besteht, erkannt wird.

Wenn das Objekt 72 mit den Teilen 91, wie in Fig. 15A gezeigt, abgetastet wird, ist zu diesem Zeitpunkt das Detektorausgangssignal, wie in Fig. 15B gezeigt vorhanden. Es ist nämlich der Detektorpegel bei jedem Teil 91 im Vergleich mit dem der anderen Bereiche des Objektes 72 reduziert (oder erhöht). Die Position, die dem veränderten Detektorpegel entspricht, ist als die Befestigungsposition des obigen Teiles bekannt. Daher kann eine Verschiebung oder ein Fehler in der Befestigungsposition durch Vergleichen dieser Information mit den im Speicher 86 abgelegten Daten der Befestigungsposition festgestellt werden, wie in Fig. 15C gezeigt.

In den obigen Ausführungsbeispielen ist die fluoreszierende optische Faser 76 näherungsweise zylindrisch, aber sie kann auch näherungsweise einen rechteckigen Querschnitt aufweisen und daher kann die fluoreszierende optische Faser auch in der Form einer rechteckigen Stange, wie in Fig. 6 gezeigt, ausgebildet werden.

Fig. 16 zeigt eine Vorrichtung zur Prüfung des Design-Musters einer gedruckten Schaltung 102. Nach dieser Zeichnung wird die Tafel 101 durch Antriebsmittel (nicht gezeigt) in der Richtung des Pfeiles B bewegt und die gedruckte Schaltung 102, die geprüft werden soll, ist auf dieser Tafel 101 angeordnet. Ein leitfähiger Abschnitt 122, bestehend aus Kupfer oder ähnlichem, ist auf einen Abschnitt des Basismaterials 121, das z. B. aus glasfaserverstärktem Epoxyharz besteht, aufgebracht. Die Lichtquelle 103, wie zum Beispiel ein Halbleiterlaser, emittiert einen Laserstrahl in Richtung auf den rotierenden Polygonspiegel 104, der den Laserstrahl reflektiert, um die gedruckte Schaltung 102 in der Richtung des Pfeiles A abzutasten. Die fluoreszierende optische Faser 105 ist im wesentlichen parallel zur Abtastrichtung des rotierenden Polygonspiegels 104 angeordnet. Die optische Faser 105 ist in der Weise wie in den Fig. 4 bis 6 gezeigt aufgebaut. Der Photodetektor 106 ist an wenigstens einem Ende (in dieser Ausführungsform an beiden Enden) der fluoreszierenden optischen Faser 105 angeordnet.

Die Signalverarbeitungsschaltung für diese Realisierung ist im wesentlichen gleich mit der in der Fig. 11 gezeigten. Die Bewertungsschaltung 85 vergleicht das von der Ortssignalerzeugungsschaltung 83 erzeugte Ortssignal mit den im Speicher 86 abgelegten Daten der Entwurfsregeln. Die Anzeigeeinheit 87 zeigt die Bewertungsergebnisse an. Die Arbeitsweise der obigen Prüfvorrichtung für gedruckte Schaltungen wird nun beschrieben. Der von der Lichtquelle 103 emittierte Laserstrahl wird von dem rotierenden Polygonspiegel 104 reflektiert und fällt auf die gedruckte Schaltung 102, die sich auf der Tafel 101 befindet. Die gedruckte Schaltung 102 wird von diesem Laserstrahl entsprechend der Rotation des rotierenden Polygonspiegels 104 in der Richtung des Pfeiles A von Fig. 16 abgetastet. Weil die Tafel 101 in der Richtung des Pfeiles B näherungsweise senkrecht zur Richtung des Pfeiles A bewegt wird, wird die gesamte gedruckte Schaltung 102 durch den Laserstrahl abgetastet. Der Laserstrahl, der durch die gedruckte Schaltung 102 reflektiert wird, fällt auf die Seite der fluoreszierenden optischen Faser 105. Das Fluoreszenzlicht wird zum linken und rechten Ende der optischen Faser übertragen. Entsprechend wird das Fluoreszenzlicht von den Photodetektoren 106, die an der linken und rechten Seite der optischen Faser angeordnet sind, erfaßt.

Während ein Bereich des Basismaterials 121 der gedruckten Schaltung 102 aus glasfaserverstärktem Epoxyharz besteht, ist der leitende Bereich 122 aus Kupfer oder ähnlichem. Daher weist entsprechend dem Materialunterschied der leitende Bereich 122 eine höhere Reflexion auf als der Bereich des Basismaterials 121, so daß ein höherer Betrag von reflektiertem Licht auf die fluoreszierende optische Faser 105 fällt. Die erzeugte Menge oder Intensität des Fluoreszenzlichtes entspricht der Menge oder Intensität des einfallenden Lichtes. Wie in Fig. 17A und 17B gezeigt, ist bei Abtastung einer gedruckten Schaltung 102 durch den Laserstrahl das Ausgangssignal des Photodetektors 106 für den leitenden Bereich 122 größer als für den Bereich des Basismaterials 12.

Wie vorher beschrieben, entspricht das Signal, das von der Orts­ signalerzeugungsschaltung 83 ausgegeben wird, der echten Position (Abstand) auf der gedruckten Schaltung 102. Dieses Signal wird in der Bewertungsschaltung 85 mit Daten des Design-Musters, fortlaufend abgelegt im Speicher 86, verglichen. Es wird nämlich beurteilt, ob das Signal, ausgegeben von der Original­ erzeugungsschaltung 83, zu den im Speicher 86 abgelegten Daten paßt, wobei die Daten einer Breite des leitenden Bereichs 122 oder dem Abstand zwischen zwei leitenden Bereichen 122 entsprechen. Die Bewertungsergebnisse werden in der Anzeigeeinheit 87 angezeigt.

Fig. 18 und 19 zeigen die Beziehung zwischen dem einfallenden Licht und dem reflektierten Licht, bezogen auf die gedruckte Schaltung 102. In einer Anordnung nach Fig. 18 ist der Laserstrahl, der auf die gedruckte Schaltung 102 fällt, in einer hierzu näherungsweise senkrechten Richtung. Das reflektierte Licht hat einen vorbestimmten Winkel α zum zum einfallenden Licht und wird von der fluoreszierenden optischen Faser 105 erfaßt. Auf der anderen Seite ist in der Anordnung nach Fig. 19 die fluoreszierende optische Faser 105 so angeordnet, daß der Laserstrahl auf die gedruckte Schaltung 102 mit dem Einfallswinkel α einfällt und daß die fluoreszierende optische Faser das Laserlicht empfängt, das von der gedruckten Schaltung 102 in einer näherungsweise dazu senkrechten Richtung reflektiert wird.

Weil die Richtung und die Intensität des reflektierten Lichtes vom Material des leitenden Bereichs 122 und des Bereichs des Basismaterials 121 abhängen, ist die Anordnung des rotierenden Polygonspiegels 104 und der fluoreszierenden optischen Faser 105 so gewählt, daß der Unterschied zwischen den Signalen, die erhalten werden können, sehr groß wird.

Wie vorher ist die fluoreszierende optische Faser 105 in diesem Ausführungsbeispiel näherungsweise zylindrisch, kann aber auch einen näherungsweise rechteckigen Querschnitt, wie in Fig. 6 gezeigt, aufweisen.

Claims (14)

1. Vorrichtung zum Feststellen einer Eigenschaft eines Objektes, mit

• - einer Lichtquelle zur Beleuchtung des Objekts mit Licht in einem Abtastvorgang, wobei die Lichtquelle und das Objekt eine Relativbewegung zueinander aufweisen,
• - einem stabartigen, eine fluoreszierende Substanz enthaltenden langgesteckten Mittel zur Erzeugung von Fluoreszenzlicht aufgrund des auf das langgestreckte Mittel auftreffenden, vom Objekt beeinflußten Lichts und zur Übertragung des Fluoreszenzlichts parallel zur Achse des langgestreckten Mittels zu dessen Endflächen, wobei das langgestreckte Mittel quer zur Richtung des vom Objekt beeinflußten Lichtes angeordnet ist,
• - einem Photodetektor an mindestens einer der Endflächen des langgestreckten Mittels zum Empfang von an die Endflächen übertragenem Fluoreszenzlicht und zur Erzeugung eines Ausgangssignals entsprechend dem empfangenen Fluoreszenzlicht und
• - einer mit dem Photodetektor verbundenen Signalverarbeitungsschaltung,
  dadurch gekennzeichnet, daß
• - das stabartige, eine fluoreszierende Substanz enthaltende langgestreckte Mittel eine aus einem Festkörper gebildete optische Faser (31; 42; 76; 105) ist, in der die fluoreszierende Substanz verteilt ist und
• - die Signalverarbeitungsschaltung aufweist:
• - eine Pegeldetektorschaltung (12; 53; 82) zur Lieferung eines Ausgangssignals entsprechend dem Pegel des Ausgangssignals des Photodetektors (32; 43; 77; 106),
• - eine Meßschaltung (13; 54; Ortssignalerzeugungsschaltung 83), die aufgrund des Ausgangssignals der Pegeldetektorschaltung (12; 53; 82) zur Erzeugung eines Ausgangssignals ausgebildet ist, das innerhalb eines Abtastvorganges die Zeitspanne angibt, während der das Ausgangssignal der Pegeldetektorschaltung (12; 53; 82) einen vorgegebenen Wert erreicht,
• - einen Speicher (16; 57; 86) zur Speicherung von die Eigenschaft des Objekts (7; 45; 72) beschreibenden Daten und
• - eine Bewertungsschaltung (15; 56; 85) zum Feststellen der Eigenschaft des Objekts (7; 45; 72) aufgrund des Ausgangssignals der Meßschaltung (13; 54; Ortssignalerzeugungsschaltung 83) und der im Speicher (16; 57; 86) gespeicherten Daten.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die optische Faser (31; 42; 76; 105) einen kreisförmigen Querschnitt aufweist.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die optische Faser (31; 42; 76; 105) einen rechteckigen Querschnitt aufweist.

4. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß eine Abtasteinrichtung (2; 75; 104) vorgesehen ist zur Erzeugung eines Abtastlichtstrahls, der in einer Abtastebene einen winkelmäßigen Abtastbereich überstreicht, und daß die optische Faser (31; 42; 76; 105) parallel zur Abtastebene angeordnet ist.

5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die optische Faser (31; 42; 76; 105) zur Mittelachse des winkelmäßigen Abtastbereichs senkrecht angeordnet ist.

6. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der als Ortssignalerzeugungsschaltung (83) ausgebildeten Meßschaltung eine mit der Abtasteinrichtung Polygonspiegel (75) synchronisierte Referenzsignalerzeugungsschaltung (84) zugeordnet ist.

7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtquelle (41) langgestreckt ist und die optische Faser (42) hierzu parallel angeordnet ist.

8. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Bewertungschaltung (15; 56; 85) eine Vergleichseinrichtung enthält zum Vergleich der Ausgangssignale der Meßschaltung (13; 54; Ortssignalerzeugungsschaltung 83) mit im Speicher (16; 57; 86) gespeicherten Daten.

9. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Zeitspanne des Ausgangssignals der Bewertungschaltung (31; 56) durch Zählen von Takten einer ihr zugeordneten Takterzeugungsschaltung (14; 55) bestimmbar ist.

10. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß Fördermittel (Band 46; Tafel 71; Tafel 101) zum Transport des Objekts im Lichtstrahl der Lichtquelle in einer Richtung quer zur Achse der optischen Faser (31; 42; 76; 105) vorgesehen sind.

11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1-10, dadurch gekennzeichnet, daß im Speicher (16; 57; 86) Daten entsprechend räumlicher Dimensionen für vorgegebene Objekte abgespeichert sind zur Feststellung der Größe des zu prüfenden Objekts.

12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1-10, dadurch gekennzeichnet, daß im Speicher (16; 57; 86) Daten entsprechend einem vorgegebenen Objekt mit hierauf angeordneten Komponenten abgespeichert sind zur Feststellung der Anordnung der Komponenten auf dem zu prüfenden Objekt.

13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1-10, dadurch gekennzeichnet, daß im Speicher (16; 57; 86) Daten entsprechend dem Design-Muster einer vorgegebenen gedruckten Schaltung abgespeichert sind zur Feststellung des Design-Musters der zu prüfenden gedruckten Schaltung.

14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1-10, dadurch gekennzeichnet, daß im Speicher (16; 57; 86) Daten entsprechend der Oberflächengestaltung eines vorgegebenen Objekts abgespeichert sind zur Feststellung von Anomalien auf der Oberfläche des zu prüfenden Objekts.