DE2256736B2

DE2256736B2 - Meßanordnung zur automatischen Prüfung der Oberflächenbeschaffenheit und Ebenheit einer Werkstückoberfläche

Info

Publication number: DE2256736B2
Application number: DE2256736A
Authority: DE
Inventors: Hans-Erdmann Dipl.-Phys. 7000 Stuttgart Korth
Original assignee: IBM Deutschland GmbH
Current assignee: IBM Deutschland GmbH
Priority date: 1972-11-18
Filing date: 1972-11-18
Publication date: 1978-05-24
Also published as: JPS4983470A; FR2207268A1; GB1444566A; FR2207268B1; DE2256736C3; US3866038A; DE2256736A1

Description

^J5 Die Erfindung betrifft eine Meßanordnung zur automatischen Prüfung der Oberflächenbeschaffenheit und Ebenheit einer Werkstückoberfläche, wobei ein von einer Lichtquelle kommender Abtaststrahl durch ein Ablenkelement periodisch über die zu messende Oberfläche bewegt und die an der Oberfläche reflektierte oder gestreute Strahlung einer lichtelektrischen Detektoreinrichtung zugeführt wird.

Auf vielen Gebieten der Technik ist es erforderlich, die Ebenheit und die Rauhtiefe polierter oder sonstwie feinbearbeiteter Werkstückflächen laufend zu überprüfen. Insbesondere bei der Herstellung von gedruckten Schaltungen auf Keramiksubstraten oder von Dickschichtschaltungen, aber auch von integrierten Schaltungen, sind laufend durchzuführende Kontrollen erforderlich, durch die sichergestellt wird, daß die als Ausgangsmaterial dienenden Substrate sowohl vor Beginn des Herstellungsverfahrens als auch bei Beginn und nach Beendigung der einzelnen Verfahrensschritte die vorgeschriebene Oberflächenbeschaffenheit und Ebenheit aufweisen.

In den meisten Fällen müssen die Flächen wiederholt lückenlos und mit großer Genauigkeit Punkt für Punkt untersucht werden. Dabei scheiden mechanische Fühlhebelvorrichtungen wegen des dabei erforderlichen hohen Zeitaufwandes und der Gefahr der Beschädigung der untersuchten Flächen von vornherein aus. Auch die berührungslos arbeitenden Moiree-, Interferenz- und Lichtschnittverfahren können wegen des bei ihrer Anwendung erforderlichen hohen Zeitaufwandes und der Schwierigkeit der Automatisierung nicht verwendet werden.

Die für die genaue Vermessung einzelner Punkte eines Profils besonders geeignete Lichtschnittmethode

kann in ihrer bisher bekannten Form wegen des dabei erforderlichen sehr hohen Zeitaufwandes nicht verwendet werden. Die ebenfalls bekannte, an sich sehr schnelle und zur Automatisierung gut geeignete Methode der zeilenweisen Abtastung durch einen periodisch abgelenkten Lichtstrahl scheidet wegen ihrer geringen Genauigkeit für die obengenannten Zwecke ebenfalls aus. Versuche, die an sich bekannte Lichtschnilimethode durch Verwendung eines periodisch ablenkbairen Lichtstrahles zur zeilenweisen Abtastung um einige Zehnerpotenzen schneller und automatisch auswerilbar zu machen, scheiterten an der Tatsache, daß die durch die Abtastbewegung zwangsläufig bedingten Lageänderungen des Abtraststrahls, insbesondere des an der auszumessenden Fläche reflektierten oder gestreuten Abtaststrahls, bei Anwendung der Lichtschnittmethode die Meßgenauigkeit stark herabsetzen. Da die Lichtschsiittmelhode und die Abtastung mittels eines periodisch verschiebbaren oder schwenkbi-ren Lichtstrahls je für sich allein eine Reihe von Vorteilen aufweisen, die für die oben beschriebenen Zwecke von keinem anderen Verfahren auch nur angenähert erreicht werden, liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine Meßanordnung der eingangs genannten Art zu schaffen, bei der die Lichtschnittmethode und die Abtastung mittels eines periodisch mit großer Geschwindigkeit bewegbaren Lichtstrahls so miteinander kombiniert sind, daß die Vorteile beider Methoden voll erhalten bleiben und ihre Nachteile vermieden werden, so daß durch die Meßanordnung die Werkstückoberfläche in kürzester Zeit, mit hoher Genauigkeit und frei von Störeinflüssen lückenlos automatisch vermessen werden kann.

Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung durch die kennzeichnenden Merkmale des Anspruchs 1 gelöst.

Da nach der Erfindung die durch das ablenkende Element bewirkte Abtastbewegung des Strahls durch das gleiche oder ein ähnliches synchron arbeitendes zweites Element vollständig rückgängig gemacht wird, kann die bei der Lichtschnittmethode als Funktion der Höhe des jeweils abgetasteten Punktes erfolgende Verschiebung des Abtaststrahls voll und frei von Störeinflüssen als Meßgröße automatisch ausgewertet werden. Da außerdem keine durch die Abtastbewegung des Strahls bedingten Verschiebungen des reflektierten oder gestreuten Strahls im Bereich der Detektoranordnung auftreten, kann diese bei einfachstem Aufbau sehr empfindlich ausgebildet sein.

Besonders vorteilhafte Ausführungsformen der erfindungsgemäßen Meßanordnung sind durch die Unteransprüche gekennzeichnet.

Die Erfindung ist an Hand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigt

Fig. 1 eine schematische Darstellung zur Veranschaulichung der Lichtschnittmethode,

F i g. 2 eine schematische Darstellung eines besonders übersichtlichen Ausführungsbeispiels der Erfindung,

F i g. 3 und 4 zwei weitere Ausführungsbeispiele der Erfindung.

Gemäß F i g. 1 wird ein in Richtung des eingezeichneten Pfeiles von links oben nach rechts unten verlaufender Strahl 2 durch ein Mikroskopobjektiv 22 auf die obere Fläche 15 eines Plättchens 14 gerichtet. Ist diese Fläche, wie durch die ausgezogene Linie IS dargestellt, eben, so wird der Strahl im Punkt B reflektiert oder gestreut und durch ein weiteres Mikroskopobjektiv 23 auf einen Beobachtungsschirm 24 im Punkt B' fokussiert. Fällt der durch das Mikroskopobjektiv 22 fokuisierte Strahl jedoch auf eine Erhöhung, in Fig. 1 beispielsweise durch die strichpunktierte Linie 16 dargestellt, so wird er im Punkt A gestreut oder reflektiert und durch das zweite Mikroskopobjektiv 23 auf dem Beobachtungsschirm 24 im Bereich des Punktes A' fokussiert. Es ist ohne weiteres einzusehen, daß der Abstand zwischen den Punkten A'und fl'eine Funktion der Höhe des Punktes A auf der durch die strichpunktierte Linie 16 angedeuteten Erhöhung ist.

ίο Zur lückenlosen Abtastung der oberen Fläche des Plättchens 14 müßte dieses periodisch um die ganze Länge einer Abtastzeile seitlich verschoben und nach jeder derartigen seitlichen Verschiebung um eine Zeilenbreite senkrecht zur Zeichnungsebene relativ zu den Objektiven 22 und 23 und dem Beobachtungsschirm 24 verschoben werden. Abgesehen von der Schwierigkeit, das Halbleiterplättchen in der abzutastenden Ebene ohne Vibrationen und senkrecht dazu verlaufende Bewegungen zu verschieben, würde ein derartiges Verfahren auch außerordentlich zeitaufwendig sein. Bei einer Ablenkung des Strahles 2 durch Rotationsspiegel oder durch andere Ablenkelemente würde der technische Aufwand zur Sicherstellung einer geradlinigen Abtastspur, die Voraussetzung für exakte Meßergebnisse ist, sehr hoch sein. Abgesehen davon müßten die Detektoren zur Feststellung der Lage der Punkte A 'und B' etwa die Länge einer Abtastspur haben, eine Forderung, die bei hohen Anforderungen an die Meßgenauigkeil selbst mit großem technischem Auf-Mi wand nicht erfüllt werden kann.

Diese Nachteile werden durch die in Fig. 2 wiedergegebene Anordnung vermieden. Das in dieser Figur dargestellte Ausführungsbeispiel besteht aus einem Laser 1, einer elektrooptischen Anordnung 3 zur

)5 steuerbaren Ablenkung eines Lichtstrahles 2, zwei Ablenkspiegeln 4 und 5 und einer aus einzelnen lichtempfindlichen Elementen 7 bis 11 bestehenden Anordnung 12. Die Anordnung 3 zur steuerbaren Ablenkung des Lichtstrahls 2, die beispielsweise als an sich bekannter akustooptischer Ablenker oder als ebenfalls an sich bekannter, aus Elementen zur steuerbaren Drehung der Polarisationsebene und aus doppelbrechenden Elementen bestehender Lichtablenker ausgebildet sein kann, ist so beschaffen, daß die Ablenkung eines sie in einer Richtung durchlaufenden Lichtstrahls bei einem in entgegengesetzter Richtung erfolgenden zweiten Durchlauf vollständig rückgängig gemacht wird. Der vom Laser 1 ausgehende, aus scharf gebündeltem parallelem Licht bestehende Strahl 2 wird durch die elektrooptische Anordnung periodisch in Richtung des Pfeils 13 abgelenkt und fällt nach Reflexion am Spiegel 4 unter angenähert 45^U auf die auszumessende Fläche eines Plättchens 14. Dabei entsteht ein Lichtfleck, der das Plättchen 14 periodisch entlang einer zu den Spiegeln 4 und 5 parallelen Geraden abtastet. Nach Reflexion oder Streuung an dieser Fläche wird das Licht über den Spiege! 5 und die Linse 6 der elektrooptischen Anordnung 3 zur steuerbaren Ablenkung erneut zugeführt und durchsetzt

bo diese in entgegengesetzter Richtung ein zweites Mal. Dabei wird die beim ersten Durchlauf erfolgte Ablenkung rückgängig gemacht, so daß der Strahl die Oberseite der Anordnung 3 an einer Stelle verläßt, die von der Eintrittsstelle des vom Laser 1 ausgehenden

h"> Strahles 2 um einen dem Abstand zwischen den Auftreffpunkten des Strahls auf den Spiegeln 4 und 5 gleichen Abstand entfernt ist. Dieser Strahl fällt daher, wenn die abgetastete Fläche, wie durch die ausgezogene

Linie 15 angedeutet, vollkommen eben ist, auf das lichtempfindliche Element 9 der Anordnung 12. Weist die abgetastete Fläche des Plättchens 14 jedoch eine Erhöhung auf, wie sie beispielsweise durch die strichpunktierte Linie 16 angedeutet ist, so wird der dort gestreute oder reflektierte Strahl 2 in an sich gemäß der Schnittpunktmethode bekannter Weise an einen höher und somit weiter vom Auftreffpunkt am Spiegel 4 gelegenen Punkt des Spiegels 5 reflektiert und gelangt dadurch als Strahl 2b zur unteren Seite der Anordnung 3, in die er an einer Stelle eintritt, deren Entfernung vom Eintrittspunkt des Strahls 2a eine Funktion der Höhe der durch die Linie 16 angedeuteten Erhöhung ist. Da in der Anordnung 3 beim zweiten Durchlauf nur die in ihr beim ersten Durchlauf erfolgte Ablenkung des Strahles 2 rückgängig gemacht wird, verläßt der Strahl 2b die obere Seite der Anordnung 3 in bezug auf den Strahl 2a versetzt und trifft auf das lichtempfindliche Element 10 der Anordnung 12 auf, an deren Ausgang 17 ein die Höhe der durch die strichpunktierte Linie 16 angedeuteten Erhöhung anzeigendes elektrisches Signal auftritt. Bei größeren Erhebungen wird der Strahl auf das lichtempfindliche Element 11 bzw. bei Vertiefungen auf eines der lichtempfindlichen Elemente 7 oder 8 auftreffen. Selbstverständlich kann die Zahl der lichtempfindlichen Elemente der Anodnung 12 zur Erhöhung der Meßgenauigkeit vergrößert werden. Es kann auch zweckmäßig sein, den aus der Anordnung 3 austretenden Abtaststrahl durch ein Mikroskopobjektiv auf der lichtempfindlichen Anordnung 12 abzubilden. Wie leicht einzusehen ist, liegen die gleichen Verhältnisse auch bei den Strahlen 2c bis 2/ vor. Wird das Plättchen 14 gleichzeitig in Richtung des Pfeiles 18 bewegt, so geben die am Ausgang 17 auftretenden Signale die Profile des Plättchens 14 entlang der durch den am Spiegel 4 reflektierten Strahl 2 abgetasteten Linien wieder. 1st die abgetastete Fläche des Plättchens 14 gut reflektierend, kann unter Umständen auf die zylindrische Linse 6 verzichtet werden. Es kann aber auch zweckmäßig sein, anstelle der nur im Verlaufe der am Spiegel 5 reflektierten Strahlen 2a, 2b, 2d und 2( angeordneten zylindrischen Linse 6 eine im Verlauf aller Strahlen angeordnete zylindrische oder sphärische Linse anzuordnen. Da die in der Anordnung 3 erfolgende Ablenkung eines Lichtstrahls, beispielsweise der Lichtstrahlen 2c und 2e beim zweiten Durchlauf dieses Strahles in Fig. 2 beispielsweise der Strahlen 2d und 2/" vollständig rückgängig gemacht wird, werden durch die Detektor-Anordnung 12 nur die durch Höhenänderung der Oberfläche des Plättchens 14 im Bereich einer Abtastlinie verursachten Verschiebungen festgestellt. Die am Ausgang 17 der Anordnung 12 auftretenden Signale sind daher von der jeweiligen Ablenkeinstellung der elektrooptischen Ablenkanordnung 3 vollständig unabhängig.

Bei dem in F i g. 3 beschriebenen Ausführungsbeispiel der Erfindung fällt ein von einem Laser 31 ausgehender Strahl 32 auf einen Polygonspiegel 33, der sich annähernd im Brennpunkt einer sphärischen Linse 36 befindet. Der Polygonspiegel kann auch näher an der Linse angeordnet werden, doch sind die Verhältnisse dann nicht so leicht überschaubar. Zur Erhöhung der Übersichtlichkeil wurde daher für das Ausführungsbeispiel die obengenannte Anordnung des Polygonspiegel« in der Brennebene der Linse gewählt. Durch die Drehung des Polygonspiegel 33 wird der an ihm reflektierte Strahl 32 periodisch in Richtung des Pfeiles 36;i bewegt. Da der Strahl 32 durch die Drehung des Polygonspiegel 33 um eine senkrecht zur optischen Achse der Linse 36 und durch deren Brennpunkt verlaufende Gerade periodisch geschwenkt wird, tritt er an der Unterseite dieser Linse als ein periodisch parallel zur optischen Achse bewegter Strahl aus, der nach Durchtritt durch einen Glaskeil 37 unter Änderung seiner Richtung auf einen Spiegel 34 fällt, von wo er unter einem Winkel von etwa 45° auf die abzutastende Fläche 15 eines Plättchens 14 fokussiert wird. Der an

ίο diesem, in der Brennebene der Linse 36 reflektierte oder gestreute Strahl wird über einen zweiten Umlenkspiegel 35 der Linse 36 als Strahl 32a zugeführt. Da der Divergenzpunkt dieses Strahles angenähert in der Brennebene der Linse 36 liegt, verläßt er diese Linse in Richtung auf den Polygonspiegel 33 als Parallelstrahl, dessen Richtung sich von der Richtung des vom Polygonspiegel ausgehenden Strahls 32 praktisch nicht unterscheidet. Dieser Strahl wird, wie aus Fig.3 ersichtlich, jeweils von derselben spiegelnden Fläche des Polygonspiegels 33, die den vom Laser 31 kommenden Strahl ablenkt, in Richtung auf einen Spiegel 38 gerichtet, wobei die durch diese spiegelnde Fläche des Polygonspiegels bewirkte Ablenkung des vom Laser 31 kommenden Strahles 32 rückgängig gemacht wird.

Wie aus der F i g. 3 zu ersehen, verläuft der am Polygonspiegel 33 reflektierte Strahl 32a auf einem anderen Wege als der vom Laser 31 zum Polygonspiegel verlaufende Strahl 32. Vom Spiegel 38 verläuft der Strahl 32a zu einem Spiegel 39, von wo er durch die beiden Zylinderlinsen 40 und 41 auf eine aus lichtempfindlichen Elementen 43, 44, 45, 46 und 47 bestehende lichtempfindliche Anordnung 42 fokussiert wird. Wie schon im Zusammenhang mit der Beschreibung der in Fig.2 dargestellten Vorrichtung näher erläutert, wird die durch den Polygonspiegel 33 bewirkte Ablenkung des Strahls 32 durch die erneute Reflexion des an der Fläche des Plättchens 14 reflektierten oder gestreuten Strahls an der gleichen

■»o Fläche des Polygonspiegels vollständig rückgängig gemacht, so daß bei einer vollkommenen ebenen Fläche dieses Plättchens der Strahl 32a jeweils auf ein und dasselbe lichtempfindliche Element, im vorliegenden Ausführungsbeispiel das lichtempfindliche Element 45, fokussiert wird. Weist der jeweils abgetastete Punkt der Fläche des Plättchens 14 jedoch eine Erhöhung oder eine Vertiefung auf, so erfährt der an diesem Punkt reflektierte Strahl 32 eine zusätzliche, zu der durch den Polygonspiegel 33 bewirkten Ablenkung senkrechte Verschiebung, die durch die zweite Reflexion am Polygonspiegel nicht rückgängig gemacht wird und somit eine Verschiebung des auf der lichtempfindlichen Anordnung 42 fokussierten Strahls zur Folge hat. Die Einzelheiten dieses Vorganges wurden im Zusammen-

^r'^r> hang mit der Beschreibung der F i g. 2 näher erläutert. Die lichtempfindliche Anordnung 42 ist mit einer elektronischen Auswerteinheit 50 verbunden, mit deren Hilfe beispielsweise digitale Angaben über die Oberflächcnbcschaffcnhcit des Plättchens 14 erstellt

"" werden können. Wird das Plättchen 14 zusätzlich zu der parallel zu den Ablcnkspiegeln 34 und 35 verlaufender Abtastbewegung des Strahls 32 senkrecht verschoben so wird die gesamte interessierende Fläche entlang eng benachbarter Linien punktweise abgetastet und das

' '■ Ergebnis dieser Abtastung durch die Anordnung 5C ausgewertet.

Bei dem in F i g. 4 dargestellten Ausführungsbcispic durchsetzt ein von einem Laser 51 ausgehender lineal

polarisierter Strahl 52 zunächst eine Linse 53 einer Anordnung zur Vergrößerung des Querschnittes, eine Lochblende 54, eine Linse 55 und ein erstes Wollastonprisma 56, indem er aufgrund der Lage seiner Polarisationsebene eine Richtungsänderung in Richtung auf einen Polygonspiegel 57 erfährt, der durch einen Motor 58 angetrieben wird. Am Polygonspiegel 47 wird der Strahl 52 nach unten reflektiert und in Richtung des Pfeiles 67 periodisch abgelenkt. Der am Polygonspiegel 57 nach unten reflektierte Strahl durchsetzt zunächst ein zweites Wollastonprisma 59, in dem er aufgrund der Lage seiner Polarisationsebene nach rechts abgelenkt wird und anschließend über eine Linse 60 und einen Umlenkspiegel 62 auf der oberen Fläche 15 eines Plättchens 14 fokussiert wird, das er aufgrund der durch den Polygonspiegel 57 bewirkten periodischen Ablenkung entlang einer zu den Spiegeln 61 und 62 parallelen Linie abtastet. Der an der oberen Fläche des Plättchens 14 reflektierte oder gestreute Strahl wird teilweise depolarisiert und gelangt über den Ablenkspiegel 61 erneut zur Linse 60 und von dort zu dem zweiten Wollastonprisma 59. Der in Bezug zur Lage der Polarisationsebene des das Wollastonprisma 59 verlassenden Strahles 52 senkrecht polarisierte Anteil des an der oberen Fläche des Plättchens 14 reflektierten Strahles 52a erfährt bei seinem Durchtritt durch dieses Wollastonprisma eine Richtungsänderung, die ihn zum vom Polygonspiegel 57 ausgehenden Strahl 52 parallel macht. Durch die Reflexion am Polygonspiegel 57 wird die in Richtung des Pfeiles 67 bewirkte Ablenkung des Strahles vollständig rückgängig gemacht, so daß er diesen Spiegel auf einem Wege verläßt, der parallel zum vom Laser zum Polygonspiegel verlaufenden Strahl 52 ist. Aufgrund der Lage seiner Polarisationsebene wird der vom Polygonspiegel 57 ausgehende Strahl 52a, der zunächst parallel zum Strahl 52 verläuft, im ersten Wollastonprisma 56 nach unten abgelenkt und über die Linse 55 auf einer aus mehreren lichtempfindlichen Elementen bestehenden lichtempfindlichen Anordnung 66 fokussiert. Da die durch die Drehung des Polygonspiegels 57 bewirkte periodische Ablenkung des Strahles 52 in Richtung des Pfeiles 67 durch die zweite Reflexion am Polygonspiegel 57 des als Strahl 52a von der Oberfläche des Halbleiterplättchens 14 ausgehenden Strahls 52 vollständig rückgängig gemacht wird, erfolgt seine Fokussierung unabhängig von der Ablenkung durch den Polygonspiegel 57 stets auf dem

ίο gleichen lichtempfindlichen Element der lichtempfindlichen Anordnung 66. Weist die abgetastete Fläche, wie beispielsweise in den F i g. I und 2 schematisch dargestellt, eine Erhöhung oder eine Vertiefung auf, so wird der an dieser Fläche reflektierte Strahl, wie im Zusammenhang mit der Beschreibung des Ausführungsbeispiels nach F i g. 2 im einzelnen erläutert, eine senkrecht zum Pfeil 67 erfolgende Verschiebung erfahren, die durch die zweite Reflexion am Polygonspiegel 57 nicht rückgängig gemacht. Der durch die Linse 55 auf der lichtempfindlichen Anordnung 66 fokussierte Strahl fällt daher auf ein anderes lichtempfindliches Element dieser Anordnung, wobei der Abstand dieses Fokussierungspunktes vom ersten Fokussierungspunkt ein Maß für die Abweichung des jeweils abgetasteten Punktes von einer idealen, die Oberfläche des Plättchens 14 darstellenden Ebene ist. Die am Ausgang der lichtempfindlichen Anordnung 66 auftretenden elektrischen Signale werden einer elektronischen Auswerteinrichtung 65 zugeführt, die digitale Angaben über die Beschaffenheit der abgetasteten Fläche zur Verfügung stellt. Wird das Plättchen 14 gleichzeitig in Richtung des Pfeiles 68 bewegt, so wird seine Oberfläche entlang dicht benachbarter Linien punktweise abgetastet, so daß in der elektronischen Auswerteinrichtung 65 beispielsweise digitale Angaben über die Beschaffenheit der gesamten abgetasteten Fläche zur Verfügung gestellt werden können.

Hierzu 4 Blatt Zeichnungen

Claims

Patentansprüche:

1. Meßanordnung zur automatischen Prüfung der Oberfiächenbeschaffenheit und Ebenheit einer Werkstückoberfläche, wobei ein von einer Lichtquelle kommender Abtaststrahl durch Ablenkmittel periodisch über die zu messende Oberfläche bewegt und die an der Oberfläche reflektierte oder gestreute Strahlung einer lichtelektrischen Detektoreinrichtung zugeführt wird, dadurch gekennzeichnet, daß die Ablenkmittel derart ausgebildet sind, daß die von einem Ablenkelement (3, 33, 57) zur periodischen Ablenkung auf die zu messende Oberfläche (15) gerichtete und von dort reflektierte oder gestreute Strahlung (2a, 32a, 52a) wieder dem Element (3, 33, 57) zugeführt wird und dieses in entgegengesetzter Richtung wie der von der Lichtquelle (1,31,51) kommende Abtaststrahl (2,32, 52) verläßt und zwecks Feststellung ihrer Lage mehreren nebeneinander angeordneten lichtelektrischen Detektoren (7—11, 43—47, 66) zugeführt wird.

2. Meßanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die an der zu messenden Oberfläche (15) reflektierte oder gestreute und dem Element (3,33) erneut zugeführte Strahlung dieses in entgegengesetzter Richtung jedoch auf einem anderen Wege wie der von der Lichtquelle (1, 31) kommende Abtaststrahl (2,32) verläßt.

3. Meßanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die an der zu messenden Oberfläche (15) reflektierte oder gestreute und dem Element (57) erneut zugeführte Strahlung {52a) dieses in entgegengesetzter Richtung und auf dem gleichen Wege verläßt wie der von der Lichtquelle (51) kommende Abtaststrahl (52).

4. Meßanordnung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 3, gekennzeichnet durch ein elektrooptisches Element (3) zur steuerbaren periodischen Ablenkung des Abtaststrahls (2) und deren Rückgängigmachung bei in entgegengesetzter Richtung erfolgender erneuter Zuführung des Abtaststrahls (2a) sowie durch einen parallel zur Ablenkrichtung des Abtaststrahls verlaufenden, gegen die zu messende Oberfläche (15) geneigten und den Abtaststrahl (2) unter einem spitzen Winkel auf die zu messende Oberfläche (5) richtenden ersten Spiegel (4) und einem zweiten Spiegel (5), der den an der zu messenden Oberfläche reflektierten oder gestreuten Strahl (2a, 2b) dem elektrooptischen Element (3) erneut zuleitet.

5. Meßanordnung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 3, gekennzeichnet durch einen rotierenden Polygonspiegel (33) zur periodischen Ablenkung des Abtaststrahls (32) und deren Rückgängigmachung bei erneuter entgegengesetzter Zuführung des Abtaststrahls (32a), durch eine im Wege des abgelenkten Abtaststrahls (32) angeordnete sphärische Linse (36), durch einen im Wege des die Linse verlassenden Abtaststrahls angeordneten Glaskei! (37) zur seitlichen Ablenkung des Abtaststrahls (32), durch einen parallel zur Ablenkrichtung des Abtaststrahls (32) verlaufenden, gegen die zu messende Oberfläche (15) geneigten und den Abtaststrahl unter einem spitzen Winkel auf diese richtenden ersten Spiegel (34) und einen zweiten Spiegel (35), der den auf der zu messenden

Oberfläche reflektierten oder gestreuten Strahl (32a) dem Polygonspiegel (33) durch die Linse (36) erneut zuleitet, sowie durch feststehende Ablenkspiegel (38, 39) und durch den Abtaststrahl (32a) auf die lichtempfindlichen Elemente (43 bis 47) fokussierende Linsen (40,41).

6. Meßanordnung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 3, gekennzeichnet durch ein im Wege des Abtaststrahls (52) vor einem Polygonspiegel (57) angeordnetes erstes Wollastonprisma (56) und durch ein im Wege des am Polygonspiegel (57) reflektierten Abtaststrahls (52) angeordnetes zweites Wollastonprisma (59), durch eine im Wege des das zweite Wollastonprisma (59) verlassenden Strahls angeordnete sphärische Linse (60), durch einen parallel zur Ablenkrichtung des Abtaststrahls (52) verlaufenden, gegen die zu messende Oberfläche (15) geneigten und den Abtasthals (52) unter einem spitzen Winkel auf diese richtenden ersten Spiegel und einen zweiten Spiegel (61), der den an der zu messenden Oberfläche reflektierten oder gestreuten Strahl (52a,) dem rotierenden Polygonspiegel (57) durch die sphärische Linse (60) und das zweite Wollastonprisma (59) erneut zuleitet sowie durch eine zweite Linse (55), die den reflektierten Strahl (52ajnach dessen Reflektion am Polygonspiegel (57) und Durchtritt durch das ersteWollastonprisma (56) zur Feststellung seiner Verschiebung auf die lichtempfindlichen Elemente (66) fokussiert.