JPS59161010U - 平坦度測定装置 - Google Patents

平坦度測定装置

Info

Publication number
JPS59161010U
JPS59161010U JP5569483U JP5569483U JPS59161010U JP S59161010 U JPS59161010 U JP S59161010U JP 5569483 U JP5569483 U JP 5569483U JP 5569483 U JP5569483 U JP 5569483U JP S59161010 U JPS59161010 U JP S59161010U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
conversion means
photoelectric conversion
measured
flatness
measuring device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP5569483U
Other languages
English (en)
Inventor
倉矢　隼太
星野　和彦
Original Assignee
日本板硝子株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日本板硝子株式会社 filed Critical 日本板硝子株式会社
Priority to JP5569483U priority Critical patent/JPS59161010U/ja
Publication of JPS59161010U publication Critical patent/JPS59161010U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図はこの考案の一実施例を示す概略的な配゛置図、
第２Ａ図はガラス板の表面が平坦である場合における第
１図の原理図、第２Ｂ図は第２Ａ図における左側の太陽
電池の受光面上の光の位置を示す図、第３Ａ図はガラス
板の表面が傾軸している場合における第１図の原理図、
第３Ｂ図及び第３Ｃ図は第３Ａ図の場合における左側及
び右側の太陽電池の受光面上のレーザー光の位置を示す
図、第４図はガラス板が測定部に対してΔ１近づいた場
合における第１図の原理図である。 なお図面に用いた符号において、１．４・・・・・・レ
ーザー光源、２．　３．　５．　６・・・・・・太陽電
池、７・・・・・・ガラス板、８・・・・・・記録計で
ある。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 １　平坦度を測定すべき被測定物体の表面に光源からの
    光を照射し、この表面で反射された上記光を光電変換手
    段に入射させてこの光電変換手段から検出信号を得るよ
    うにした平坦度測定装置において、上記光電変換手段を
    互いに隣接する複数の光電素子から構成し、これらの光
    電素子を差動的に接続したことを特徴とする平坦度測定
    装置。 ２　上記光源及び上記光電変換手段を有する測定部と、
    上記被測定物体を保持する保持部とを具備し、上記保持
    部が上記測定部に対して相対的に直線移動し得るように
    構成した実用新案登録請求の範囲第１項に記載の平坦度
    測定装置。 ３　゛上記光源及び上記光電変換手段とから成る組を２
    組設け、上記被測定物体の表面と垂直な方向における上
    記被測定物体の変位による上記検出信号の変動を一方の
    光電変換手段と他方の光電変換手段とによって互いに補
    償するように構成した実用新案登録請求の範囲第１項に
    記載の平坦度測定装置。
JP5569483U 1983-04-14 1983-04-14 平坦度測定装置 Pending JPS59161010U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5569483U JPS59161010U (ja) 1983-04-14 1983-04-14 平坦度測定装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5569483U JPS59161010U (ja) 1983-04-14 1983-04-14 平坦度測定装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS59161010U true JPS59161010U (ja) 1984-10-29

Family

ID=30186026

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5569483U Pending JPS59161010U (ja) 1983-04-14 1983-04-14 平坦度測定装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS59161010U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62112132U (ja) * 1985-12-30 1987-07-17

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4910067A (ja) * 1972-05-25 1974-01-29
JPS4983470A (ja) * 1972-11-18 1974-08-10

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4910067A (ja) * 1972-05-25 1974-01-29
JPS4983470A (ja) * 1972-11-18 1974-08-10

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62112132U (ja) * 1985-12-30 1987-07-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS59161010U (ja) 平坦度測定装置
JPS5933009U (ja) 光学フアイバ−アレイプレ−ト
JPS58144216U (ja) 位置変位量計測装置
JPS58178113U (ja) レ−ザ偏向装置
JPS6136867U (ja) 位置検出装置
JPS5860256U (ja) ガス検知装置
JPS58148610U (ja) 位置検出装置
JPS5812813U (ja) 人工衛星の太陽方向センサ
JPS601077U (ja) 長尺密着型イメ−ジセンサ
JPS6130878U (ja) 反射形光電スイツチ
SU1226051A1 (ru) Фотоэлектрическое устройство дл контрол отклонений от пр молинейности поверхности объекта
JPS5817525U (ja) 光分析装置
JPS5839364Y2 (ja) ディジタル太陽センサ
JPS59157791U (ja) 集光装置の位置決め装置
JPS59119663U (ja) 画像読取装置
JPS6128010U (ja) 距離計測装置
JPS60145308U (ja) 入射方向検知用光センサ
JPS58178110U (ja) 光学読取装置
JPS5849233U (ja) 半導体検出器
JPS607007U (ja) 平面度測定器
JPS6144543U (ja) 半導体レーザーの光ビーム放射角測定装置
JPS60183833U (ja) レ−ザ−ハンドピ−ス
JPS59183305A (ja) 位置検出装置
JPS61122508U (ja)
JPS6042746U (ja) 光伝導検出器