JP2006078457A - 高さ測定を有する基板検査装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 結像レンズを大幅に小型化し、通常の小型PSDを用いた簡単な構成とすることによりコストを低減し、また測定光を再度走査ミラーに通すことにより面倒れなどの誤差をキャンセルできる高精度な測定系を実現し、さらに結像倍率を自由に変更できる柔軟性の高い基板検査装置を提供することを課題とする。
【解決手段】 平行光束を出射する光源1と、光束をわける第1のビームスプリッタ12と、光束の角度を変える走査ミラー2と、走査光束を集光する走査レンズ3と、走査光束を二つにわける第2のビームスプリッタ13と、わけた光束を折り返すミラー15と、第1のビームスプリッタ12でわけられた光束を集光する結像レンズ17と、集光された光ビーム位置を検知するPSD18とで構成されることとした。
【選択図】 図1
【解決手段】 平行光束を出射する光源1と、光束をわける第1のビームスプリッタ12と、光束の角度を変える走査ミラー2と、走査光束を集光する走査レンズ3と、走査光束を二つにわける第2のビームスプリッタ13と、わけた光束を折り返すミラー15と、第1のビームスプリッタ12でわけられた光束を集光する結像レンズ17と、集光された光ビーム位置を検知するPSD18とで構成されることとした。
【選択図】 図1
Description
本発明は、表面に電極等の材質の異なる部分をもつ基板の基板面上にレーザ光を走査したときの反射光を受光して表面上の位置や高さ検査を行う高さ測定装置および基板検査装置に関する。
従来技術としては例えば特開平6−167322に示されたものがあげられる。
図4はレーザ走査を用いた基板検査装置の一例の構成図である。レーザ光源1は、例えば半導体レーザとコリメーションレンズの組み合わせであり、このレーザ光源1と走査ミラーであるポリゴンスキャナ2と走査レンズ3の組み合わせによる投光光学系によって搬送ステージ4上に載置されている測定対象としてたとえば電極5が形成された基板6面上に一次元的に走査されるものとなっている。
図4はレーザ走査を用いた基板検査装置の一例の構成図である。レーザ光源1は、例えば半導体レーザとコリメーションレンズの組み合わせであり、このレーザ光源1と走査ミラーであるポリゴンスキャナ2と走査レンズ3の組み合わせによる投光光学系によって搬送ステージ4上に載置されている測定対象としてたとえば電極5が形成された基板6面上に一次元的に走査されるものとなっている。
又、搬送ステージ4は、制御/測定部7の制御によって投光光学系によるレーザ光の一次元的な走査方向に対して直交する方向に移動するものとなっている。
従って、投光光学系によるレーザ光の一次元的な走査と搬送ステージ4の移動とにより、レーザ光は、基板6の電極5の配置されている領域に対して二次元走査される。
一方、基板6の法線について投光光学系と対称となる斜め上方には、結像光学系8が配置され、基板6からの反射光が結像光学系8を通して高さ測定手段としてのPSD(光位置検出器)9に結像されるものとなっている。
このPSD9に結像されるレーザ光は、基板6上のレーザ光の照射される位置の高さに応じて移動し、これによりPSD9からは、レーザ光の位置と基板6からの反射光量に応じて電流による出力信号A、Bが流れるものとなっている。
このPSD9の各出力A、Bの出力端子には、それぞれI−V変換器10が接続され、さらにこれらI−V変換器10の出力がA/D変換器11によりデジタルデータに変換されたあと制御/測定部7に送られ各PSD出力ごとに(A−B)/(A+B)の計算が行われ、これが高さ測定信号として出力される。
上記装置では、反射光が結像してできるPSD9上の光点がポリゴンスキャナ2による走査によりPSD9上を移動するためPSD9は走査幅に対応する充分な長さを持つものが必要になる。一方高さ測定可能な範囲はPSD9の電極幅により決まる。そのためPSD9の大きさにより走査幅と測定範囲の比率が決まってしまい、走査幅と測定範囲の比率がかわるごとにPSD9を作りなおす必要がある。
例えば走査幅が20mmでレンズの結像倍率が1倍で高さ方向の測定範囲が2mmのシステムが必要である場合にはPSDは電極幅が3mm、走査方向の長さが20mmのPSDが必要である。このようなPSDは市販されておらず特別に作る必要がある。
このシステムを別な用途に使うために例えば走査幅が同じ20mmで高さ測定範囲を1/4の0.5mmとし、高さ分解能を向上させたシステムを作りたい場合には同じPSDを用いるとPSDの高さ測定範囲の1/4しか使えなくなりS/Nが悪くなって高さ分解能が向上しない。光学倍率を4倍にして高さ測定範囲をPSDの大きさに合わせると走査幅20mmのうち1/4の5mmしかデータの取得ができなくなる。
よって十分な性能のシステムを作る場合には適したPSDを新たに製作する必要が生じコスト高となる。また同時に結像レンズも作りなおす必要が生じ、さらにコスト高になり、システムとして柔軟性に欠けるという問題点がある。
さらに従来装置においてポリゴンスキャナの各ミラーの回転軸に対する傾き角度を加工精度上誤差ゼロで製作することはできないので各ミラー毎に面倒れと呼ばれる角度誤差が発生する。この誤差はあらかじめ計測しておいて、取得したPSDのデータから差し引くなどの処置が必要になるわけであるが、ポリゴンスキャナには回転軸が倒れるなどの誤差もあり、動的な誤差を完全になくすことはできなかった。
そこで本発明は、結像レンズを大幅に小型化し、通常の小型PSDを用いた簡単な構成とすることによりコストを低減し、また測定光を再度走査ミラーに反射させることにより面倒れなどの誤差をキャンセルできる高精度な測定系を実現し、さらに結像倍率を自由に変更できる柔軟性の高い基板検査装置を提供することを目的とする。
本発明は以上の課題を解決するため以下のような構成としたものである。
平行光束を出射する光源1と、光束をわける第1のビームスプリッタ12と、光束の角度を変える走査ミラー2と、走査光束を集光する走査レンズ3と、走査光束を二つにわける第2のビームスプリッタ13と、わけた光束を折り返すミラー15と、第1のビームスプリッタ12でわけられた光束を集光する結像レンズ17と、集光された光ビーム位置を検知するPSD18とで構成されることとした。
平行光束を出射する光源1と、光束をわける第1のビームスプリッタ12と、光束の角度を変える走査ミラー2と、走査光束を集光する走査レンズ3と、走査光束を二つにわける第2のビームスプリッタ13と、わけた光束を折り返すミラー15と、第1のビームスプリッタ12でわけられた光束を集光する結像レンズ17と、集光された光ビーム位置を検知するPSD18とで構成されることとした。
また、第1のビームスプリッタ12を偏光ビームスプリッタとし、第2のビームスプリッタ13を偏光ビームスプリッタとし、第2のビームスプリッタ13でわかれる光束の一方に1/2波長板14を挿入することとした。
また走査レンズ3の焦点距離をf、設計上の入射瞳径をdとしたとき走査レンズ3を全走査幅において角度d/(2f)rad以下のテレセントリック光学系とした。
また前記第1のビームスプリッタ12とPSD18との間にシリンドリカルレンズ16を挿入することとした。
本発明によると次のような効果がある。
第1に反射光を走査ミラー2に戻す構造としたことにより結像レンズ8が不要となりコストの低減が図れる。
第2にPSD18に入射する光が走査しないのでPSD18の小型化、市販品の使用が可能となりコストの低減が図れる。
第3に光が走査ミラー2を2度通過することにより走査ミラー2の誤差がキャンセルされ測定の高精度化が測れる。
第4に走査幅とPSD18に対する結像倍率が独立に設計できるためシステムの柔軟性が高く、さまざまな用途に使用できる。
第1に反射光を走査ミラー2に戻す構造としたことにより結像レンズ8が不要となりコストの低減が図れる。
第2にPSD18に入射する光が走査しないのでPSD18の小型化、市販品の使用が可能となりコストの低減が図れる。
第3に光が走査ミラー2を2度通過することにより走査ミラー2の誤差がキャンセルされ測定の高精度化が測れる。
第4に走査幅とPSD18に対する結像倍率が独立に設計できるためシステムの柔軟性が高く、さまざまな用途に使用できる。
以下、本発明を実施するための最良の形態について図面を参照して説明する。なお、図4と同一部分には同一符号を付す。
図1は第1の実施の形態を示す2次元高さ測定装置の構成図である。
レーザ光源1は、従来例と同様に例えば半導体レーザとコリメーションレンズの組み合わせでありこのレーザ光源1から平行光として出射されたレーザ光は、第1のビームスプリッタ12を通過する。このビームスプリッタ12は例えば透過光対反射光の比率がほぼ1:1のいわゆるハーフミラー的なものでも良いが、より望ましくは偏光ビームスプリッタであって、レーザ光源から出射したレーザ光の偏光方向はこの第1の偏光ビームスプリッタ12を通過する方向に設定されている。
レーザ光源1は、従来例と同様に例えば半導体レーザとコリメーションレンズの組み合わせでありこのレーザ光源1から平行光として出射されたレーザ光は、第1のビームスプリッタ12を通過する。このビームスプリッタ12は例えば透過光対反射光の比率がほぼ1:1のいわゆるハーフミラー的なものでも良いが、より望ましくは偏光ビームスプリッタであって、レーザ光源から出射したレーザ光の偏光方向はこの第1の偏光ビームスプリッタ12を通過する方向に設定されている。
第1の偏光ビームスプリッタ12を通過したレーザ光は走査ミラーであるポリゴンスキャナ2を介して走査レンズ3に入射し出射する。走査ミラーはポリゴンスキャナ以外にガルバノスキャナやレゾナントスキャナでもよい。走査レンズ3はより望ましくはテレセントリックレンズとなっており、走査のいずれの場所でも走査レンズ3の光軸にほぼ平行に出射する。
走査レンズ3を出射した光は第2のビームスプリッタ13に入射する。この第2のビームスプリッタ13はハーフミラーでもよいがより望ましくは偏光ビームスプリッタとなっておりレーザ光源1からのレーザ光はこれを透過するような偏光方向となっている。この第2のビームスプリッタ13は走査幅によっては細長く作る必要が生じる。
第2のビームスプリッタ13を出射したレーザ光は次に1/2波長板14に入射する。この1/2波長板14は各ビームスプリッタがハーフミラーである場合にはなくてもよいものであるが各ビームスプリッタが偏光ビームスプリッタである場合には必ず必要である。この1/2波長板14は透過するレーザ光の偏光方向を90°変換するような角度で設置される。この1/2波長板14も走査幅によっては細長く作る必要がある。
その後レーザ光はミラー15に入射し、反射される。このミラー15はより望ましくは誘電体多層膜により反射率が高く設計される。別な例としてはプリズムを用いた全反射でもよい。
これを反射したレーザ光は測定対象である基板6および電極5に入射する。測定対象を反射した測定光は入射時と対称な位置にあるミラー15で反射され、第2のビームスプリッタ13に再び入射する。第2のビームスプリッタ13の入射側には波長板はないが行き側の1/2波長板14の光路長を補正するために第2のビームスプリッタ13の入射側にも1/2波長板14と同光路長のガラス板を挿入してもよい。
第2のビームスプリッタ13に再び入射した測定光は前記1/2波長板14により偏光方向が90°変化しているため偏光ビームスプリッタ13を反射し、走査レンズ3方向に向きを変え、行きと逆の経路で走査レンズ3を透過する。走査レンズは結像位置が焦点距離と角度に比例するいわゆるfθレンズであるので反射位置の高さが変化した場合は反射位置の高さに応じた角度をもつ平行光に変換されてポリゴンスキャナ2に向かう。
ポリゴンスキャナ2を再度反射する際にはポリゴンスキャナの走査による角度変化がキャンセルされる。そのためポリゴンスキャナを出射した測定光は走査しないのでPSD18の小型化が可能になる。また面倒れによる角度誤差がキャンセルされるので高精度な測定が可能となる。
ポリゴンスキャナ2を反射した測定光は第1のビームスプリッタ12に再び入射する。ここでも前記1/2波長板14により偏光方向を90°変えられているために測定光は第1のビームスプリッタ12を反射し、PSD18方向に向かう。
測定光はシリンドリカルレンズ16を通過する。このシリンドリカルレンズ16はなくてもよいがより望ましくはより大きな光量でより高い周波数でPSD18を動作させるため高さ測定方向と直交方向にビームを広げる役割をになう。このことによりPSD18上の光量密度が緩和されPSD18の応答性、線形性が改善される。
次に測定光は結像レンズ17に入射する。測定光は結像レンズ17によってPSD18上に結像される。このときの結像高さは測定光の角度のタンジェントと、結像レンズ17の焦点距離に比例する。測定光の角度は反射点の高さに比例し走査レンズ3の焦点距離の逆数に比例する。そのため測定光の反射点の高さとPSD18上の結像高さは(結像レンズ17の焦点距離)/(走査レンズ3の焦点距離)に比例することになる。よって結像レンズ17の焦点距離を変えることにより走査幅などとは独立に結像倍率を可変することができる。よって本発明においては背景技術に比較して対象物の要求にたいしてより柔軟に最適な設定を行うことができる。
この結像レンズ17は背景技術で説明したような結像レンズ8とは難しさがまったく異なる。背景技術で使われるような結像レンズ8は走査幅のすべての視野で測定に耐えうる精度でPSD9に結像しなければならない。そのため走査幅のすべてでコマ収差、非点収差、像面湾曲、歪曲などが高精度に補正されていなければならない。一方本発明による結像レンズ17はほぼ光軸上のほぼ平行な光束を集光するだけの機能であり、必要な視野範囲は走査幅に対応する必要はなく、高さ測定範囲に対応できればよい。
例として20mmの走査幅で1mmの高さ測定範囲でPSDの電極幅2.5mmとすれば、背景技術での結像レンズ8では視野20mm以上に対応する必要があるが、本発明の結像レンズ17ではPSD18の電極幅2.5mmに対応できればよく、視野は約1/10となる。また一般に市販されている等倍結像レンズは高価であるが、無限遠の光束を結像するためのレンズはカメラレンズをはじめとして市販品にきわめて多く、安価である。よって本発明の結像レンズは背景技術に比較して大幅な低コスト化が図れる。
結像レンズ17を透過した測定光はPSD18に入射する。このPSD18に結像されるレーザ光は、基板6上のレーザ光の光点の高さに応じて移動し、これによりPSD18からは、レーザ光の位置と光量に応じて電流による出力信号A、Bが流れる。
このPSD18の各出力A、Bの出力端子には、それぞれI−V変換器10が接続され、さらにこれらI−V変換器10の出力がA/D変換器11によりデジタルデータに変換されたあと制御/測定部7に送られ各PSD出力ごとに(A−B)/(A+B)の計算が行われ、これが高さ測定信号として出力される。
走査レンズ3がテレセントリックである必要性について簡単に説明する。高さ計測を行う場合には対象基板6に投射した光が最終的にPSD18まで到達する必要があるが、基板6が平面で正反射性の場合、走査レンズ3がテレセントリックでなく光軸より外側に傾いていると、走査の端部を投光した光の平面での正反射光はより一層光軸より離れてしまうため走査レンズ3に戻ることができず、PSD18まで到達しない。この場合には表面の高さを測定することはできない。
走査レンズ3がテレセントリックであって投射したレーザ光が光軸と平行であるならば基板6が平面で正反射性の場合でも走査方向には投光レーザ光と同じ経路を戻ることとなりPSD18まで到達できる。テレセントリック性が走査レンズの焦点距離fに対し開口dの半分までの角度範囲つまりd/(2f)以下であれば一部の光はPSD18まで到達できるが、それ以上テレセントリック性が悪くなると平面で正反射性の対象物の場合にはPSD18に光が到達できない。よってテレセントリック性が必要となる。ただし測定対象物が拡散反射面であればテレセントリックであることは望ましいことではあるが必ずしも必要ではない。
以上、最良の形態について説明したが以下のよう変形も可能である。
対象基板への入射角度を変えることで高さ測定倍率を変えることができる。基板法線からの入射光の角度をθとすると高さzによる反射光のビームの位置の差yはy=z(2・sinθ)で与えられる。たとえば角度15度の場合y=0.52zであるが角度45度ではy=1.41z、角度75度ではy=1.93zである。このように角度によって高さ測定倍率を4倍程度にも変えることができる。
対象基板への入射角度を変えることで高さ測定倍率を変えることができる。基板法線からの入射光の角度をθとすると高さzによる反射光のビームの位置の差yはy=z(2・sinθ)で与えられる。たとえば角度15度の場合y=0.52zであるが角度45度ではy=1.41z、角度75度ではy=1.93zである。このように角度によって高さ測定倍率を4倍程度にも変えることができる。
本発明によれば図2に示すようにミラー15の傾きをかえることによりいずれの角度にも対応できる。図2の(a)対象面の法線から入射光の角度が45度、(b)は15度、(c)は75度の場合である。斜め入射による影が問題となるような用途であれば角度はなるべく浅くし、そのかわりに結像レンズ17の焦点距離を大きくすることで結像倍率が下がる影響を少なくすることができる。一方影の問題がなく、倍率を上げたい場合には入射角度をなるべく深くすることで高さ測定倍率をあげることができる。なお入射反射角を45度以外に設定する場合はより望ましくはPSD18の姿勢を光学的共役線に従って傾かせることが必要である。
正反射物体の計測について説明したが全体の傾きをかえることにより間接反射光の計測にも対応可能である。図3は入射、反射角を各22.5度とし、全体を22.5度傾けた場合を示したものでこのような構成とすることで垂直入射による拡散面測定を行うことができる。
1はレーザ光源
2は走査ミラーであるポリゴンスキャナ
3は走査レンズ
4はステージ
5は電極等の測定対象領域
6は基板
7は制御/測定部
8は結像光学系
9はPSD
10はI−V変換器
11はA/D変換器
12は第1のビームスプリッタ
13は第2のビームスプリッタ
14は1/2波長板
15はミラー
16はシリンドリカルレンズ
17は結像レンズ
18はPSD
2は走査ミラーであるポリゴンスキャナ
3は走査レンズ
4はステージ
5は電極等の測定対象領域
6は基板
7は制御/測定部
8は結像光学系
9はPSD
10はI−V変換器
11はA/D変換器
12は第1のビームスプリッタ
13は第2のビームスプリッタ
14は1/2波長板
15はミラー
16はシリンドリカルレンズ
17は結像レンズ
18はPSD
Claims (5)
- 平行光束を出射する光源と、光束をわける第1のビームスプリッタと、光束の角度を変える走査ミラーと、走査光束を集光する走査レンズと、走査光束を二つにわける第2のビームスプリッタと、わけた光束を折り返すミラーと、第1のビームスプリッタでわけられた光束を集光する結像レンズと、集光された光ビーム位置を検知するPSDとで構成されることを特徴とする走査型高さ測定装置。
- 第1のビームスプリッタを偏光ビームスプリッタとし、第2のビームスプリッタを偏光ビームスプリッタとし、第2のビームスプリッタでわかれる光束の一方に1/2波長板を挿入することを特徴とする請求項1の走査型高さ測定装置。
- 走査レンズの焦点距離をf、設計上の入射瞳径をdとしたとき走査レンズを全走査幅において角度d/(2f)rad以下のテレセントリック光学系としたことを特徴とする請求項1乃至2の走査型高さ測定装置。
- 前記第1のビームスプリッタとPSDとの間にシリンドリカルレンズを挿入することを特徴とする請求項1乃至3の走査型高さ測定装置。
- 請求項1乃至4の2次元高さ測定装置を用いた基板検査装置。
Priority Applications (1)
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JP2004293109A JP2006078457A (ja) | 2004-09-06 | 2004-09-06 | 高さ測定を有する基板検査装置 |
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Family
ID=36158032
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---|---|---|---|---|
JP2008032668A (ja) * | 2006-07-26 | 2008-02-14 | Oputouea Kk | 走査型形状計測機 |
JP2008032669A (ja) * | 2006-07-27 | 2008-02-14 | Oputouea Kk | 光走査式平面外観検査装置 |
JP2017525940A (ja) * | 2014-06-11 | 2017-09-07 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツングRobert Bosch Gmbh | 車両ライダシステム |
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2004
- 2004-09-06 JP JP2004293109A patent/JP2006078457A/ja active Pending
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