JP2008032668A - 走査型形状計測機 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数の波長を含む点光源と、点光源からの光を走査する光走査機と、色収差を持つレンズと、対象物からの反射光を分けるビームスプリッタと、反射光を透過するピンホールまたはスリットまたは光ファイバと、ピンホールまたはスリットまたは光ファイバからの光を分光する分光器と分光された光の位置を検出するPSDまたは位置検出型光電子増倍管とを具備するものとした。
【選択図】図1
Description
この共焦点顕微鏡は、光源からの光を試料上に集光する第1の集光レンズと、1つのピンホールを有するピンホール部材と、試料からの光をピンホールに集光する第2の集光レンズと、回転軸を中心にこの回転軸に対してそれぞれ異なる角度をなす複数の鏡面を有するポリゴンミラーと、光源からの光をポリゴンミラーへ導き、ポリゴンミラーから導かれてくる試料からの光を第2の集光レンズへ導くビームスプリッタと、ピンホールに集光した光を検出する光検出ユニットと、光検出ユニットにより検出された光とポリゴンミラーの回転に対応した信号に基づき、試料の2次元像を生成する制御装置とを備えるものである。
そこで本発明は、高速走査が可能でかつ測定可能な全範囲で焦点があわせられ、高さ方向の走査が不要な走査型形状計測機を提供することを目的とする。
複数の波長を含む点光源と、点光源からの光を走査する光走査機と、色収差を持つレンズと、対象物からの反射光を分けるビームスプリッタと、反射光を透過するピンホールまたはスリットまたは光ファイバと、ピンホールまたはスリットまたは光ファイバからの光を分光する分光器と分光された光の位置を検出する位置検出デバイスとを具備することとした。
2はピンホール
3はコリメータレンズ
3bは集光レンズ
3cはコリメータレンズ
4はビームスプリッタ
5は色収差レンズ
6はポリゴンスキャナ
7は集光レンズ
8はピンホール
9はコリメータレンズ
10は回折格子
10bは分散プリズム
11は結像レンズ
12は位置検出型光電子増倍管
15は635nmレーザ光源
16は655nmレーザ光源
17は685nmレーザ光源
18、19はハーフミラー
20はPSD
21は走査レンズ
23はI/V変換回路
24はA/D変換回路
25は光ファイバ
26はレゾナントスキャナ
27は光ファイバ
28は制御測定部
29は搬送系
30は結像レンズ
31はPSD
Claims (10)
- 複数の波長を含む点光源と、軸上色収差を発生するレンズと、光を角度走査する光走査機と、対象物からの反射光を分けるビームスプリッタと、反射光を透過するピンホールまたはスリットまたは光ファイバと、ピンホールまたはスリットまたは光ファイバからの光を分光する分光器と分光された光の位置を検出するPSDまたは位置検出型光電子増倍管とを具備することを特徴とする走査型形状計測機。
- 前記点光源は白色光源をピンホールまたは光ファイバに入力することにより構成される請求項1の走査型形状計測機。
- 前記点光源に代えて複数の波長を含む、あるいは白色光の平行光であることを特徴とする請求項1の走査型形状計測機。
- 前記光走査機は少なくとも1つの反射面をもつ回転体または揺動体を用いることを特徴とする請求項1乃至3の走査型形状計測機。
- 前記位置検出デバイスからの信号と光走査機の走査角度から断面形状を演算する演算装置を設けることを特徴とする請求項1乃至4の走査型形状計測機。
- 前記色収差を持つレンズを光走査機より光源側に設けることを特徴とする請求項1乃至5の走査型形状計測機。
- 前記色収差を持つレンズは光走査機より対象物側に設けられ、走査レンズとしても用いられることを特徴とする請求項1乃至6の走査型形状計測機。
- 前記点光源と前記反射光を透過する光ファイバが同一の光ファイバであって前記ビームスプリッタおよび分光器は該光ファイバの光源側に設けられることを特徴とする請求項1乃至7の走査型形状計測機。
- 前記点光源と前記反射光を透過するピンホールまたはスリットまたは光ファイバが同一でなく、前記ビームスプリッタは点光源と光走査機との間に設けられることを特徴とする請求項1乃至7の走査型形状計測機。
- 前記ピンホールまたはスリットまたは光ファイバを出て前記分光器を経由する光を平行とするためのコリメーションレンズ、及びその後前記位置検出器に入射する光を集光する集光レンズを設けることを特徴とする請求項1乃至9の走査型形状計測機。
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