JP2008032669A - 光走査式平面外観検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光源より出射された光を、前記平面に対してライン状に走査する光走査手段と、該走査光による該平面および平面異常部からの反射光を受光する反射光位置検知手段と、該検知手段からの検知信号により該平面異常部の角度を算出して平面異常の検査を行う角度検査測定部と、を有する光走査式平面外観検査装置とした。また前記反射光位置検知手段は結像レンズによる結像位置から所定の距離だけ光軸方向に離れて設けることとした。
【選択図】図1
Description
x=(f1・d・θ2)/f2
逆算すると以下の式により平面上の反射角変動θ1を計算することができる。
θ1=(f2・x)/(2・f1・d)
このようにして平面異常5上の傾斜角が検出される。検出される傾斜角変化の例を図2(b)に示す。この傾斜角の変化から平面6上の凹凸の有無を検知することができる。なお傾斜角は形状の微分値であるので得られた傾斜角データを積分することで形状データを作成することも可能である。
第1の実施例
・ 開口が大きくでき、対象物の曲がりや姿勢の変化などに対応しやすい。
・ 対象物の高低差の影響を受ける。
・ PSDは必ず1次元であり、走査方向の曲がりは検出できない。
第2の実施例
・ 対象物高さの影響を受けない。
・ 2次元PSDの使用が可能で曲がり方向が縦でも横でも検出できる。
・ 開口が少なく対象物の曲がりや姿勢などの影響を受けやすい。
・ 走査レンズのテレセントリック誤差の影響を受ける。
いずれを選択するかは用途によって選択することになる。
2 ポリゴンスキャナ
3 走査レンズ
4 搬送手段
5 平面異常部
6 対象平面
7 角度検査測定部
8 結像レンズ
9 1次元PSD
10 I/V変換回路
11 A/D変換回路
12 ビームスプリッタ
14 1/4波長板
17 結像レンズ
18 2次元PSD
A,B,C,D PSD出力
d 再結像点からの光軸方向距離
x PSD上の変動量
y PSD上の変動量
f1 第1結像レンズ焦点距離
f2 第2結像レンズ焦点距離
θ1 平面異常部傾き角度
θ2 平面異常部反射光角度
Claims (8)
- 対象平面(6)に光源(1)より光を照射し、その反射光を受光して該平面(6)の外観を検査する平面検査装置であって、前記光源(1)より出射された光を、前記平面(6)に対してライン状に走査する光走査手段(2,3)と、該走査光による該平面(6)および平面異常部(5)からの反射光を受光する反射光位置検知手段(9)と、該検知手段(9)からの検知信号により該平面異常部(5)の角度を算出して平面異常の検査を行う角度検査測定部(7)と、を有することを特徴とする光走査式平面外観検査装置。
- 前記反射光位置検知手段(9)として1次元PSDもしくは位置検出型光電子増倍管を用いることを特徴とする請求項1の光走査式平面外観検査装置。
- 前記光走査手段は光走査機(2)と走査レンズ(3)とで構成され、走査レンズ(3)において被測定対象平面側が走査レンズの焦点距離をf、設計上の入射瞳径をdとしたとき走査レンズを全走査幅において角度d/(2f)rad以下のテレセントリック光学系としたことを特徴とする請求項1乃至2記載の光走査式平面外観検査装置。
- 前記光走査機(2)はポリゴンスキャナもしくは共振型ミラースキャナを用いることを特徴とする請求項1乃至3の光走査式平面外観検査装置。
- 前記光走査手段(2,3)は対象平面(6)上の走査線を中心にして傾けた角度で光を照射し、対象平面(6)法線に対して対象な角度に結像レンズ(8)を介して前記反射光位置検知手段(9)を設けることを特徴とする請求項1乃至4の光走査式平面外観検査装置。
- 前記光走査手段(2,3)は対象平面(6)に対し垂直に光を照射する構成とし、前記光走査手段(2,3)の光源(1)側にビームスプリッタ(12)を設け、対象平面(6)を反射した光が前機光走査手段(2,3)を逆行してビームスプリッタ(12)に達し、ビームスプリッタ(12)により光路を分離されて結像レンズ(17)を介して反射光位置検知手段(18)に入射する構造とすることを特徴とする請求項1乃至4の光走査式平面外観検査装置。
- 前記反射光位置検知手段(18)は2次元PSDもしくは位置検出型光電子増倍管としたことを特徴とする請求項6の光走査式平面外観検査装置。
- 前記反射光位置検知手段(9)(18)は結像レンズ(8)(17)による結像位置から所定の距離だけ光軸方向に離れて設けられることを特徴とする請求項5乃至7の光走査式平面外観検査装置。
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