JP2008032669A5 - - Google Patents

Claims (6)

1. 対象平面（６）に光源（１）より光を照射し、その反射光を受光して該平面（６）の外観を検査する平面検査装置であって、前記光源（１）より出射された光を、前記平面（６）に対してライン状に走査する光走査手段（２，３）と、該走査光による該平面（６）および平面異常部（５）からの反射光を受光する結像レンズ（８）（１７）及び反射光位置検知手段（９）と、該検知手段（９）からの検知信号により該平面異常部（５）の角度を算出して平面異常の検査を行う角度検査測定部（７）と、を有し、前記反射光位置検知手段（９）（１８）は結像レンズ（８）（１７）による結像位置から所定の距離だけ光軸方向に離れて設けられることを特徴とする光走査式平面外観検査装置。
2. 前記反射光位置検知手段（９）として１次元ＰＳＤまたは２次元ＰＳＤもしくは位置検出型光電子増倍管を用いることを特徴とする請求項１の光走査式平面外観検査装置。
3. 前記光走査手段は光走査機（２）と走査レンズ（３）とで構成され、走査レンズ（３）において被測定対象平面側が走査レンズの焦点距離をｆ、設計上の入射瞳径をｄとしたとき走査レンズを全走査幅において角度ｄ／（２ｆ）ｒａｄ以下のテレセントリック光学系としたことを特徴とする請求項１乃至２記載の光走査式平面外観検査装置。
4. 前記光走査手段（２，３）は対象平面（６）上の走査線を中心にして傾けた角度で光を照射し、対象平面（６）法線に対して対象な角度に結像レンズ（８）を介して前記反射光位置検知手段（９）を設けることを特徴とする請求項１乃至３の光走査式平面外観検査装置。
5. 前記光走査手段（２，３）は対象平面（６）に対し垂直に光を照射する構成とし、前記光走査手段（２，３）の光源（１）側にビームスプリッタ（１２）を設け、対象平面（６）を反射した光が前機光走査手段（２，３）を逆行してビームスプリッタ（１２）に達し、ビームスプリッタ（１２）により光路を分離されて結像レンズ（１７）を介して反射光位置検知手段（１８）に入射する構造とすることを特徴とする請求項１乃至３の光走査式平面外観検査装置。
6. 前記角度検査測定部により得られた傾斜角データを積分することで形状データを作成することを特徴とする請求項１乃至５の光走査式平面外観検査装置。