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Meßanordnung zum Ermitteln des Oberflächenprofiles eines Objekts
Beschreibung Die Erfindung bezieht sich auf eine Meßanordnung zum Ermitteln des
Oberflächenprofils eines Objekts durch Messung der Entfernung zwischen einem Punkt
auf dem Objekt und einem Bezugspunkt und durch ständige Wiederholung dieser Messungen
Die Meßanordnung enthält eine Lichtquelle, die einen dünnen Lichtstrahl aussendet,
ein erstes optisches System, das den Lichtstrahl zu dem Objekt führt, um einen Lichtpunkt
auf demselben zu bilden und ein zweites optisches System zum Führen des von dem
Lichtpunkt reflektierten Licht zu einem lichtempfindlichen Detektor.
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Bei der Verwendung einer Meßanordnung der obengenannten Art ist es
zweckmäßig, den Lichtpunkt auf der optischen Achse des ersten optischen Systems
zu fokussieren und den Brennpunkt entlang dieser Achse zu verschieben, so daß er
mit dem auf dem Objekt erzeugten Lichtpunkt zusammenfällt. Eine verschiebbare Linse
kann verwendet werden, um den Brennpunkt hin- und her zu verschieben und die Position
der Linse, die bewirkt, daß sich der Brennpunkt auf der Oberfläche des Objekts befindet,
kann mittels eines Signals vom Lichtdetektor ermittelt werden.
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In einer bekannten Meßanordnung sind das erste und das zweite optische
System in einem Gehäuse angeordnet, die entlang der optischen Achse des ersten optischen
Systems hin- und herverschiebbar ist. Das zweite optische System ist derart angeordnet,
daß der Winkel zwischen dem Lichtstrahl, der von der
Lichtquelle
ausgeht, und dem Lichtstrahl, der von der Objektoberfläche reflektiert wird, etwa
450 beträgt. Die beiden optischen Systeme haben einen gemeinsamen Brennpunkt und
das Gehäuse wird derart verschoben, daß der Brennpunkt sich auf der Oberfläche des
Objekts befindet. Das Meßsystem ist sehr genau, jedoch verbleibt ein kleiner Restfehler,
der ausgeglichen werden muß und dieser Ausgleich wird durch einen vibrierenden optischen
Abtaster durchgeführt, der den reflektierten Lichtstrahl zu einem doppelzelligen
Detektor führt, so daß der Lichtpunkt auf den Detektor die Grenze überschreitet,
die die beiden getrennten lichtempfindlichen Teile des Detektors voneinander trennt.
Wenn der Lichtpunkt auf dem Objekt mit dem gemeinsamen Brennpunkt der beiden optischen
Systeme zusammenfällt, erzeugt der Detektor ein symmetrisches Ausgangssignal.
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Wenn jedoch der Ausgleich nicht genau ist, ist das Signal von dem
Detektor unsymmetrisch und durch die Messung des Betrags der Unsymmetrie kann die
kleine Abweichung des Gehäuses, das die Asymmetrie bewirkt, bestimmt werden. Die
Gesamtentfernunq zwischen einem Bezugspunkt und dem Punkt auf der Oberfläche des
Objekts kann als die Summe des Ausgleichssignals, das erforderlich ist, um das Gehäuse
in eine Stellung zu bringen, die ein Nulldurchgangssignal an den Detektor bewirkt
und dem asymmetrischen Signal berechnet werden. Eine detailliertere Information
über dieses System kann J.P. Waters, United Technology Research Center Optical Engineering
1979 entnommen werden.
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Wie oben angegeben, ist das beschriebene Meßsystem sehr genau, jedoch
weist es nicht die erforderliche Geschwindigkeit auf, um es in Systemen zu verwenden,
bei dem viele Entfernungsdaten in einer kurzen Zeit gesammelt und zu einem Computer
übertragen werden müssen, um Zeichnungen zu erzeugen, die das gemessene Objekt kennzeichnen.
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Ein weiterer Nachteil des bekannten Meßsystems besteht darin, daß
es der große Winkel, 450, zwischen dem Lichtstrahl von der Lichtquelle und dem reflektierten
Lichtstrahl es unmöglich macht, beispielsweise Vertiefungen oder andere Unregelmäßigkeiten
in der Beschaffenheit der zu ermittelnden Oberfläche zu erkennen.
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Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die oben erwähnten Nachteile
zu beseitigen und eine Meßanordnuna anzugeben, die mit größerer Geschwindigkeit
als die bekannte Anordnung arbeitet und durch die es möglich ist, die Entfernung
zwischen einem Bezugspunkt und einer Anzahl von Punkten auf der Oberfläche eines
zu vermessenden Objekts, das Vertiefungen und ähnliche Unregelmäßigkeiten enthält,
mit großer Genauigkeit zu messen Erfindungsgemäß wird die Aufgabe bei einer Meßanordnuna
der eingangs genannten Art durch die im kennzeichnenden Teil des Patentanspruchs
1 angegebenen Merkmale gelöst. Bevorzugte Ausführungsformen sind in den zugehörigen
Unteransprüchen angegeben.
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Eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung wird im Folgenden unter
Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen: Fig. 1 ein
schematisches Blockschaltbild einer Meßanordnung gemäß der Erfindung, Fig 2 eine
schematische Darstellung, die das Meßprinzip gemäß der Erfindung zeigt, Fig. 3 eine
schematische Darstellung, die die Führung des Lichts zeigt, das vom zu vermessenden
Objekt zu einem Detektor reflektiert wird,
Fig. 4 eine vergrößerte
Ansicht der in Fig. 2 gezeigten Fläche, die den Brennpunkt und das zu vermessende
Objekt einschließt und Fig. 5 eine Darstellung, die die Formen von verschiedenen
in der Meßanordnung auftretenden Spannungen zeiqt.
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In Fig. 1 ist ein schematisches Blockbild dargestellt, das das erfindungsgemäße
Meßprinzip zeigt. Eine als Laser ausgebildete Lichtquelle 10 erzeugt einen dünnen
Lichtstrahl, der durch ein erstes optisches System in Form einer verschiebbaren
Linse 11 zu der Oberfläche 12 eines zu vermessenden Objekts 13 geführt wird. Die
Linse 11 wird auch dazu verwendet, das von der Oberfläche 12 über einen halbdurchlässigen
Spiegel 14 zu einem doppelzelligen Lichtdetektor 15 zu führen, dessen zwei Ausgangssignale
in einem Vergleicher 16 verglichen werden, um ein Ausgangs signal zu erzeugen, das
einer elektronischen Einheit 17 zugeführt wird, die im einzelnen unten beschrieben
wird.
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Gemäß dem Meßprinzip nach der Erfindung wird die Entfernungsmessung
als eine Kombination einer schnellen und einer längsamen Messung ausgeführt. Die
langsame Messung beinhaltet die Vorwärts- und Rückwärtsbewegung der verschiebbaren
Linse 11, wogegen die schnelle Messung durch die Verwendung von kleinen schnellen
Ablenkungen durchgeführt wird, die bewirken, daß der Lichtpunkt auf der Oberfläche
12 sich entlang dieser bewegt. Die Ablenkungen werden durch eine in einem Block
18 enthaltene akustooptische Ablenkeinheit erzeugt. Dieser Block 18 enthält auch
einen akustooptischen Modulator, durch den der Laserstrahl abgelenkt wird, um zwei
Strahlen a und b zu erzeugen, die auch in Fig. 2 dargestellt sind, und die wechselweise
auftreten und jeweils derart geführt werden, daß sie
jeweils eine
Hälfte der öffnung der verschiebbaren Linse 11 ausfüllen. Unter Verwendung der beiden
wechselweise auftretenden Strahlen in Verbindung mit den kleinen schnellen Ablenkungen
jedes Strahls wird für eine Unempfindlichkeit regen Störungen durch die Umgebung,
wie beispielsweise eine schlechte Ausrichtung der in den verwendeten optischen Systemen
vorgesehenen Linsen Sorge getragen.
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Das Grundprinzip der Messung wird nun unter Bezugnahme auf Fig. 2
beschrieben, in der die verschiedenen Teile die selben Bezugszeichen aufweisen wie
in Fig. 1. Hier ist das optische System, das den Lichtstrahl zu der Oberfläche 12
des Objekts 13 führt, schematisch dargestellt und enthält die verschiebbare Linse
11 und eine zusätzliche feststehende Linse 19, die den Strahl in einem Punkt f fokussiert,
der immer auf der optischen Achse 20 des optischen Systems innerhalb des Meßbereichs
angeordnet ist.
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Der Lichtstrahl, der vom Laser 10 austritt, wird durch den akustooptischen
Modulator in eine von zwei Richtungen gerichtet. Hier ist der Modulator als eine
eigene Einheit 25 dargestellt. Die Hälfte der Zeit ist der Strahl in die Richtung
a gerichtet, die in der Figur gezeigt ist, und die andere Hälfte der Zeit ist er
in die Richtung b gerichtet. Zunächst soll der Strahl betrachtet werden, der in
der Richtung a verläuft. Nach dem Modulator 25 geht der Strahl durch eine akustooptische
Ablenkstufe 21 und dann durch die Linse 11 hindurch, die durch eine lineare Schiebeeinrichtung
verschiebbar ist, welche als Einheit 22 dargestellt ist. Wie oben erwähnt, wird
durch den Strahl a nur eine Hälfte der Linse beleuchtet. Dann geht der Strahl durch
einige weitere fokussierende Optiken hindurch, die durch die Linse 19 dargestellt
ist und auch bei diesen
Linsen ist nur die Hälfte der Öffnung beleuchtet.
Schließlich wird der Strahl auf eine Punkt f fokussiert, der sich in der Nähe der
Oberfläche 12 des Objekts 13 befindet. Da der Strahl a nur ein halber Strahls ist,
trifft er nicht senkrecht auf der Oberfläche 12 des Objekts 13 auf, sondern in einem
geneiqten Winkel, der etwa halb so groß ist wie die numerische dff nung der Linse.
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Der Brennpunkt f sei in einer Entfernung zt von dem Meßkopf, der durch
die Linse 19 dargestellt wird und in einer Entfernung zd von der Oberfläche 12 des
Objekts 13 entfernt. Dann beträgt die ganze Entfernung, die man messen will, zt
+ zd = z.
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Das System mißt getrennt Größen, die z und zd zugeordnet sind.
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Ein Computer, der mit der elektronischen Einheit 17 in Fig. 1 verbunden
ist, ermittelt die Werte z und z d aus den gemessenen Größen und addiert diese dann,
um z zu erhalten.
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Wenn die Position der verschiebbaren Linse 11 bekannt ist, dann kann
die Entfernung zt mittels der theoretischen Optik berechnet werden. Die lineare
Verschiebeeinrichtung 22 kann derart geeicht werden, daß sie direkt die Position
der Linse 11 angibt. Bei einer im Handel erhältlichen bekannten Verschiebeeinrichtung
ist ein kapazitiver Sensor vorgesehen, der den Drehwinkel und damit die lineare
Bewegung des Verschiebemechanismus mißt. Die Position wird als eine Ausgangsspannung
des Sensors angegeben. Auf diese Weise kann die Formel aufgestellt werden, die die
Entfernung z als eine Funktion der kapazitiven Sensorspannung angibt.
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Die einfachste Alternative bestunde darin, ein riickgekoppeltes System
derart auszubilden, daß die Linse 11 solange verschoben wird, bis der Brennpunkt
f sich auf der Oberfläche 12 des Objekts 13 befindet und dann lediglich die Entfernung
z
auszulesen. Unglücklichewweise erfüllt jedoch ein derartiges rückgekoppeltes System
nicht die Anforderungen an die Meßgeschwindigkeit in der erörterten Meßanordnung.
Gemäß dieser Anforderung sollte die Linse 11 innerhalb eines Bereichs von 200 mm
mit einer derartigen Geschwindigkeit bewegt werden, daß der Brennpunkt innerhalb
von 20 Millisekunden nach einer plötzlichen Änderung der zu messenden Entfernung
eingestellt wird.
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Dies entspricht einer Meßfrequenz von 100 Hz und die Meßfrequenz,
die durch das rückgekoppelte System erreicht werden kann, beträgt nur etwa 20 Hz,
teilweise infolge der Regelschwankungen, die immer auftreten, bevor ein rückgekoppeltes
System in seiner abweichungsfreien Position zur Ruhe kommt.
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Das Meßsystem gemäß der Erfindung ist etwas umfangreicher als das
oben erörterte rückgekoppelte System. Die Linse muß nicht genau angeordnet werden,
um die genaue Entfernung von der Oberfläche 12 des Objekts 13 anzugeben, sondern
kann eine Position einnehmen, die nur angenähert richtig ist. Im Fall der Messung
sowohl der Entfernung zt und der Entfernung zd1 die als Korrekturentfernung angesehen
werden kann, werden beide genau bestimmt. Das System ist derart entworfen, daß die
Messung angenommen wird, wenn die Entfernung zt innerhalb von + 4 mm der richtigen
Objektentfernung liegt. Dies bedeutet, daß zd höchstens 4 mm beträgt.
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Die Messung von z d wird nun beschrieben. Die lineare Verschiebeeinrichtung
22 ist derart ausgebildet, daß wo immer die verschiebbare Linse 11 angeordnet ist,
der Laserstrahl immer auf der optischen Achse 20 des Systems fokussiert ist. Damit
ist, wenn sich das Objekt 13 hinter dem Brennpunkt f befindet, wie es in Fig. 2
gezeigt ist, der Lichtpunkt auf der Objektoberfläche nicht mehr auf der Achse, sondern
auf einer Seite geringfügig versetzt. Dieser Versatz wird verwendet, um zd zu bestimmen.
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Fig. 3 zeigt in mehr Einzelheiten den doppelzelligen Detektor 15 aus
Fig. 1. Die Optiken, die verwendet werden, um das von der Oberfläche 12 des ObJekts
13 reflektierte Licht zu sammeln sind größtenteils dieselben wie sie zur Beleuchtung
des Objekts 13 verwendet werden Die besagten Optiken enthalten jedoch eine zusätzliche
Linse 23, die das Licht auf dem doppelzelligen Detektor 15 fokussiert. Dieser Detektor
15 enthält zwei Dioden D1 und D2, die durch eine schmale Linie getrennt sind. Wenn
nun der Lichtpunkt Si auf der Objektoberfläche von der optischen Achse versetzt
ist, dann ist auch sein Bild S2 auf der Doppelzelle versetzt. Ein Vergleich der
Spannungen, die durch die beiden Hälften der Doppelzelle (Dioden D1 und D2) erzeugt
werden, ergibt eine genaue Erkennung der Verschiebung der Intensitätsverteilung
zwischen den beiden Hälften. Folglich kann die Position des Punkts genau auf der
optischen Achse mit hoher Genauigkeit ermittelt werden.
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Wenn nun der Versatz des Punkts von der optischen Achse bekannt ist,
dann kann die Entfernung zd aus dieser Information ermittelt werden. Die Technik,
die verwendet wird, um zd zu bestimmen, beinhaltet, daß der Lichtpunkt auf dem Objekt
13 bei jeder Messung über die optische Achse verschoben wird. Die Verschiebebewegung,
die durch die akustooptische Ablenkstufe 21 (Fig.2) bewirkt wird, erzeugt eine Ablenkung
des Punkts um etwa 2 mm. Dies entspricht einer Bewegung des Schnittpunkts des Strahls
mit der optischen Achse (Brennpunkt f in der Richtung der optische Achse in einer
Entfernung von etwa 45 mm). Wenn die Objektoberfläche genügend nahe zu dem Brennpunkt
ist, wird der Lichtpunkt auf der Oberfläche 12 während seiner Bewegung an einer
Stelle auf der optischen Achse liegen.
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Der Ablenkwinkel, der dazu benötigt wird, daß der Punkt die optische
Achse erreicht, wird gespeichert und dazu verwendet, den Wert zd zu erhalten.
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In der Praxis kann die oben erwähnte Messung von z d dadurch ausgeführt
werden, daß der Ablenkwinkel einen gewissen Bereich dadurch überstreicht, daß die
Ansteuerspannung der Ablenkstufe 21 einen entsprechenden Bereich überstreicht. Der
doppelzellige Detektor 15 wird nur dazu verwendet, anzuzeigen, wann die Intensitäten
auf den beiden Hälften der Doppelzelle gleich sind und zwar dadurch, daß ein Auslösesignal
erzeugt wird, welches dazu verwendet wird, den genauen Wert der Ansteuert spannung
der Ablenkstufe in diesem Augenblick auszulesen. Die Spannung wird in Verbindung
mit dem Wert von zd gebracht und der letztere kann aus diesem Spannungswert berechnet
werden.
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Der Grund für die Verwendung der beiden Strahlen a und b wird nun
näher beschrieben. Wie bereits erwähnt, werden die Fehler infolge einer schlechten
Ausrichtung der optischen Systeme enthaltenden Linsen beseitigt, wenn zwei Strahlen
verwendet werden, um zd zu bestim.en. In Fig. 4 ist eine vergrößerte Darstellung
der Situation am Brennpunkt f und an der Oberfläche 12 des Objekts 13 dargestellt.
Der dargestellte Strahl a bedeutet die Mittellinie des Strahls a in dem Augenblick,
wenn die Doppelzelle ihren Auslöseimpuls abgibt. In ähnlicher Weise bedeutet der
Strahl e die Mittellinie des Strahls d in dem Augenblick seiner Belegung, wenn die
Doppelzelle ein Auslösesignal abgibt. Die gestrichelten Linie a', bV bedeuten die
Positionen der Strahlen a und b in dem Fall, daß sie nicht abgelenkt werden. Auf
diese Weise erzeugt die akustooptische Ablenkung die Differenz zwischen a.und a'
und für den Strahl b die Differenz zwischen b und b'. Dann ist die Entfernung z
d unmittelbar durch den Eingangsspannungswert der akustooptischen Ablenkstufe gegeben.
Weiterhin kann aus Fig. 4 entnommen werden, daß eine vorgegebene Ablenkung, die
erforderlich ist, um dem Strahl a einen definierten Wert zd zu geben, einem gleichen
aber entgegengesetzten Wert für den Strahl b
entspricht. Auf diese
Weise kann der Wert von z auch durch d Ermitteln der Differenz der a- und b-Ablenkungen
und durch Division durch zwei erhalten werden. Wenn nun kleine Fehler in den Meßwerten
der Ablenkungen der Strahlen a und b enthalten sind, bleiben diese Fehler, wenn
sie gleich sind, unberücksichtigt, falls die Differenz verwendet wird, um z zu berechnen.
Auch werden alle Fehler in den Nullablenkungsrichtungen (Strahlen a', b') beseitigt,
wenn die Differenz der entsprechenden Spannungswerte verwendet wird, vorausgesetzt,
daß die Fehler für die Strahlen a und b dieselben sind.
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In Fig. 5 sind die elektrischen Signale gezeigt, die für die oben
beschriebene Messung von z d relevant sind. Die oberste Kurve ist die Spannung Um,
die die Frequenz des akustooptischen Modulators bestimmt. Somit erzeugt ein Spannungswert
den Strahl a und der andere Spannungswert den Strahl b. Die nächste Kurve zeigt
die Eingangsspannung Ud des Ansteuerkreises für die akustooptische Ablenkstufe.
Die Spannung ist eine lineare Sägezahnfunktion, die einen vorgegebenen Spannungsbereich
überstreicht, der einem bestimmten Winkelbereich entspricht.
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Die dritte Kurve zeigt die Spannungsdifferenz U=UD1 - UD2 zwischen
den beiden Hälften der Doppelzelle. Wenn der Lichtpunkt des reflektierten Lichts
die Linie überstreicht, die die beiden Detektorhälften voneinander trennt, geht
die Spannungsdifferenz schnell gegen Null. Damit erzeugt der Nulldurchqang ein genaues
Auslösesignal. Die unterste Kurve zeigt das Ausgangssignal Ut des Positionsdetektors
der linearen Verschiebeeinrichtung, die ein Galvanometer enthält. In dem Augenblick,
wenn der Nulldurchgang auftritt, wird der Spannungswert Uda der akustooptischen
Ablenkstufe und auch der Spannungswert Uta der linearen Verschiebeposition ausgelesen.lVahrend
der zwei ten Hälfte des Meßzyklus werden die entsprechenden Spannungswerte Udb und
Utb für den Strahl b ausgelesen. Diese vier db tb Spannungen werden in einem Analog-Digital-Umsetzer
in digitale Zahlen umgesetzt. Damit werden für jede z-Messung vier digitale
Zahlen
dem Computer zugeführt, der für die Berechnungen der Entfernungswerte z verwendet
wird.
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Eine zusätzliche Bemerkung muß über die Messuna selbst gemacht werden.
Es ist erforderlich, daß die Linse derart bewegt wird, daß der Brennpunkt f höchstens
4 mm von der Oberfläche 12 des Objekts 13 entfernt ist. Nur dann werden zwei genaue
Nulldurchgangssignale erreicht, jeweils einer für einen Strahl, so daß eine zuverlässige
Messung erreicht wird. Nun ist es genau der Wert zd, der die Entfernung des Brennpunkts
von der Oberfläche 12 des Objekts 13 angibt. Damit wird für den aktuellen Wert von
zd eine Information gebraucht, die so neu wie möglich ist. Zusätzlich wird auch
für den Fall, daß zd größer als 4 mm ist, eine Information für den Wert zd benötigt,
die so zuverlässig wie möglich ist. Dies macht die Anzeige des Werts von zd in allen
Fällen erforderlich und insbesondere ist das Vorzeichen von zd von Interesse, um
die lineare Verschiebeeinrichtung in die richtige Richtung zu verschieben, um die
Position der verschiebbaren Linse einzustellen.
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Das Erfordernis, das den Wert des Vorzeichens von z betrifft, wird
in der folgenden Weise erfüllt. Die lichtempfindliche Fläche des doppelzelligen
Detektors wird so groß gewählt, daß seit dann, wenn die akustooptische Ablenkung
das Bild des Lichtpunkts nicht an die Grenzlinie zwischen den beiden Hälften der
Doppelzelle bringen kann, genug Licht vorhanden sein wird, daß bei einer Hälfte
des Detektors erkannt wird, um eine zuverlässige Angabe über das Vorzeichen von
zd machen zu können. In ähnlicher Weise wird das Licht des anderen Strahls auf die
andere Hälfte der Doppelzelle fassen. Dann ist während des Meßzyklus für den Strahl
a eine Unausgewogenheit in einer bestimmten Richtung in der Spannungsdifferenz VD1-VD2
der Doppelzelle vorhanden und für den Strahl b ist eine Unausgewogenheit in der
entgegengesetzten Richtung vorhanden.
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Somit ermöglichen die Vorzeichen dieser beiden Unausgewogenheiten
und die Information, daß die beiden Lichtpunkte nicht über die Grenzlinie zwischen
den beiden Hälften der Doppelzelle hinausgehen, der Elektronik, abzuleiten, daß
ein großes Zd und ein definiertes Vorzeichen vorhanden sind. Dann wird die Elektronik
damit beginnen, die lineare Verschiebeeinrichtung mit einer größtmöglichen Geschwindigkeit
in diejenige Richtung zu verschieben, in der der Entfernungsfehler korrigiert wird.
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Wenn die Linse genügend bewegt wurde, daß die Nulldurchgänge auftreten,
zeigt das System zd genauer an. Der Wert z wird zeigt d dann verwendet, um die lineare
Verschiebeeinrichtung anzusteuern und ein guter Servovorgang steht dann für den
Versuch, Zd auf Null einzustellen, zur Verfügung.
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Für die Steuerung der Meßanordnung ist eine Elektronik vorgesehen,
wie sie durch die Einheit 17 in Fig. 1 dargestellt ist.
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Die Elektronikeinheit ist für die Steuerung des akustooptischen Modulators,
der akustooptischen Ablenkstufe und die lineare Verschiebeeinrichtung vorgesehen.
Darüberhinaus ist diese Einheit mit dem doppelzelligen Detektor verbunden, um die
Auslösesignale mit den Nulldurchgängen zu empfangen und mit dem Computer, der in
Fig. 1 als Einheit 24 dargestellt ist.
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Wie bereits oben erwähnt, erhält der Computer eine Information in
Form von Spannungswerten und der Ansteuereinheit der akustooptischen Ablenkstufe
für die Berechnung der Entfernung zd und eine Information in Form von Spannungswerten
und der Ansteuereinheit fi;r die lineare 57erschiebeeinrichtung, die die Entfernung
zt darstellt. Dann berechnet der Computer die Entfernung z als Summe von z d und
Zt Die Elektronik kann verschiedenartig ausgebildet sein und ein geeigneter Computer
kann aus einer Vielzahl von auf dem Markt verfügbaren Computern ausgewählt werden.
Eine genaue Beschreibung der Elektronik und der Computereinheit wird nicht für erforderlich
angesehen.