KR960014412A - 표면의 수분 제거 및 안정화 방법 - Google Patents

표면의 수분 제거 및 안정화 방법 Download PDF

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KR960014412A
KR960014412A KR1019950036988A KR19950036988A KR960014412A KR 960014412 A KR960014412 A KR 960014412A KR 1019950036988 A KR1019950036988 A KR 1019950036988A KR 19950036988 A KR19950036988 A KR 19950036988A KR 960014412 A KR960014412 A KR 960014412A
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aryl
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마크 파인 스티븐
데이비드 존슨 앤드류
질리스 랜건 존
Original Assignee
윌리엄 에프. 마쉬
에어 프로덕츠 앤드 케미칼스, 인코오포레이티드
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Abstract

본 발명은 전자 부품 제조 설비의 고순도 가스의 운송용 금속회로와 같이, 표면으로부터 수분을 제거하고 수분의 재흡착을 막도록 상기 금속 표면을 안정화시키는 방법에 관한 것이다. 상기 수분 제거 및 안정화는 일반식 RaSiXbYcZd의 조성(상기식 중, a=1-3;6, c 및 d는 각각 0-3이고 a+b+c+d=4; R은 1개 이상의 유기 기이고; X, Y 또는 Z중의 적어도 하나는 쉽게 가수분해될 수 있는 실리콘에의 결합을 가짐)의 건조제를 사용하여 개선할 수 있다. 상기 수분 제거 및 안정화는 65℃이상, 주위 온도 이상에서 수행된다.

Description

표면의 수분 제거 및 안정화 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (15)

  1. 약 14.7psig 이상의 압력에서 일반식 RaSiXbYcZd의 조성(상기식 중, a=1-3;6, c 및 d는 각각 0-3이고 a+b+c+d=4; R은 1개 이상의 유기 기이고; X, Y 및 Z는 각각 수소, 할로겐, 알콕시, 아민 또는 -N(H)Si(R3)이고, 단, X, Y 또는 Z 중의 하나 이상은 쉽게 가수분해될 수 있는 실리콘과의 결합을 가짐)을 갖는 건조제를 함유하는 담체 가스의 흐름과 표면을 접촉시켜서 흡착된 수분을 표면으로부터 제거하고 그 표면을 안정화시켜서 수분이 재흡착되는 것을 막는 단계를 포함하는, 수분이 흡착되어 있는 표면상의 수분 제거 및 수분 안정화 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 유기 기는 알킬, 알케닐, 알키닐, 아릴, 알킬-, 알케닐-, 또는 알키닐-치환된 아릴, 아릴 치환된 알킬-, 알케닐- 또는 알키닐- 및 그 혼합물로 이루어진 군으로부터 선택되는 방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 건조제는 하기 일반식의 조성인 방법 :
    상기식 중 R은 알킬, 알케닐, 알키닐, 아릴, 알킬-, 알케닐-, 또는 알키닐-치환된 아릴, 아릴 치환된 알킬-, 알케닐- 또는 알키닐- 및 그 혼합물이며, a는 1-3이다.
  4. 제3항에 있어서, R은 메틸, 에틸, 비닐, 프로필, 부틸, 펜탄, 헥실, 시클로헥실, 페닐 또는 그 혼합물인 방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 건조제는 하기 일반식의 조성인 방법.
    상기식 중 R은 알킬, 알케닐, 알키닐, 아릴, 알킬-, 알케닐-, 또는 알키닐-치환된 아릴, 아릴 치환된 알킬-, 알케닐- 또는 알키닐- 및 그 혼합물이며, X는 플루오르, 브롬, 염소, 요오드 또는 그 혼합물이며, a, b 및 c는 각각 1-2이며, a+b+c=4이다.
  6. 제5항에 있어서, R은 메틸, 에틸, 비닐, 프로필, 부틸, 펜탄, 헥실, 시클로헥실, 페닐 또는 그 혼합물인 방법.
  7. 제1항에 있어서, 상기 건조제는 하기 일반식의 조성을 갖는 방법.
    상기식 중 R 및 R′는 알킬, 알케닐, 알키닐, 아릴, 알킬-, 알케닐-, 또는 알키닐-치환된 아릴, 아릴 치환된 알킬-, 알케닐- 또는 알키닐- 및 그 혼합물이며, a는 1-3이다.
  8. 제7항에 있어서, R 및 R′는 각각 메틸, 에틸, 비닐, 프로필, 부틸, 펜탄, 헥실, 시클로헥실, 페닐 또는 그 혼합물인 방법.
  9. 제1항에 있어서, 상기 건조제는 하기 일반식의 조성을 갖는 방법 :
    상기식 중, R은 알킬, 알케닐, 알키닐, 아릴,알킬-, 알케닐-, 또는 알키닐-치환된 아릴, 아릴치환된 알킬-, 알케닐- 또는 알케닐 - 및 그 혼합물이다.
  10. 제9항에 있어서, R은 메틸, 에틸, 비닐, 프로필, 부틸, 펜탄, 헥실, 시클로헥실, 페닐 또는 그 혼합물인 방법.
  11. 제1항에 있어서, 건조제를 함유하는 담개 가스와 상기 흐름을 약 65℃이하의 온도에서 상기 표면과 접촉시키는 방법.
  12. 제1항에 있어서, 상기 표면은 금속 표면인 방법.
  13. 제12항에 있어서, 상기 금속 표면은 강철인 방법.
  14. 제12항에 있어서, 상기 금속 표면은 고순도 가스 운송 장치의 내부 파이프인 방법.
  15. 하기 (a) 및 (b) 단계를 포함하여, 수분이 흡착된 고순도 가스 파이프 내표면의 수분을 제거하고 안정화 시키는 방법; (a) 0.1부피% 이하의 수분 함량을 갖는 비활성 가스로 상기 파이프를 퍼즈하는 단계; 및 (b)상기 표면을 약 14.7pasig 이상 및 약 65℃이하의 온도에서 일반식 RaSiXbYcZd의 조성(상기식 중, a=1-3; b, c 및 d는 각각 0-3이고 a+b+c+d=4; R은 1개 이상의 유기 기이고; X, Y 및 Z는 각각수소, 할로겐, 알콕시, 아민 또는 -N(H)Si(R3)이고 단, X, Y 또는 Z중의 적어도 하나는 쉽게 가수분해될 수 있는 실리콘과의 결합을 가짐)을 갖는 건조제를 함유하는 담체가스의 흐름과 접촉시켜서 상기 표면으로부터 습착된 수분을 제거하고 그 표면을 안정화시켜서 수분의 재흡착을 막는 단계.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950036988A 1994-10-25 1995-10-25 표면의 수분 제거 및 안정화 방법 KR960014412A (ko)

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