KR960007482A - 미세 유형의 네사 유리막으로 피복된 유리기재의 제조 방법 - Google Patents

미세 유형의 네사 유리막으로 피복된 유리기재의 제조 방법 Download PDF

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도시오 미나미가와
조지 마츠무라
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고지마 미츠노부
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Abstract

본 발명은 하기 3단계로 이루어진 네사 유형의 유리막으로 피복된 유리 기재를 제조하는 방법에 관한 것이다; 1단계)유리 기재상에 광저항물질을 피복하여 광저항막을 형성하고, 그 막을 마스크를 통해 전자기파에 노출시킨 후, 그 광저항물질을 현상하여 유리 기재상에 유형화된 광저항막을 형성시키는 단계; 2단계) 상기 유리기재의 전체표면에 네사 유리막을 형성시켜서 유형화된 광저항막을 제공하는 단계; 3단계)유형화된 광저항막과 그 위의 네사 유리막을 상기 유리 기재로부터 함께 제거하여 유리 기재위에 유형화된 네사 유리막을 잔류시키는 단계.

Description

미세 유형의 네사 유리막으로 피복된 유리기재의 제조 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (6)

  1. 하기 3단계로 이루어진 유형화된 네사 유리막으로 피복된 유리 기재를 제조하는 방법; 1단계)유리 기재상에 광저항물질을 피복하여 광저항막을 형성하고, 그 막을 마스크를 통해 전자기파에 노출시킨 후, 그 광저항물질을 현상하여 유리 기재상에 유형화된 광저항막을 형성시키는 단계; 2단계) 상기 유리기재의 전체표면에 네사 유리막을 형성시켜서 유형화된 광저항막을 제공하는 단계; 3단계)유형화된 광저항막과 그 위의 네사 유리막을 상기 유리 기재로부터 함께 제거하여 유리 기재위에 유형화된 네사 유리막을 잔류시키는 단계.
  2. 제1항에 있어서, 상기 유리 기재는 표면 위에 실리카 피복물을 갖는 방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 네사 유리막은 상기 제2단계에서 화학적 증기 증착법에 의해 유리 기재 위에 형성시키는 방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 네사 유리막은 상기 제2단계에서 화학적 증기 증착법에 의해 유리 기재 위에 형성시키되, 이때 안티몬 트클로라이드 또는 트리플루오로아세트산을 함유하는 디메틸틴 디클로라이드 또는 모노메틸틴 트리클로라이드의 용액을 증기화시켜서 수득한 증기를 가열된 유리 기재위에 분출시켜서 유리 기재 상에 네사 유리막을 형성시키는 방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 광저항물질은 양성 타입으로서 전자기파에 노출시킨 후 알칼리 수용액에 의해 현상되는 것인 방법.
  6. 제4항에 있어서, 상기 전자기파는 자외선인 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950025242A 1994-08-18 1995-08-17 미세패턴의네사유리막으로피복된유리기판의제조방법 KR100329022B1 (ko)

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