KR960002487A - 반도체 소자의 콘택홀 단면형상 관측방법 - Google Patents
반도체 소자의 콘택홀 단면형상 관측방법 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 반도체 소자의 콘택홀 단면형상(profile)을 관측(monitoring)하는 방법에 관한 것으로, 형성된 콘택홀의 단면형상을 정확히 관측하기 위하여 웨이퍼의 임의의 부분에 콘택홀의 패턴이 반쪽만 형성되는 관측용 패턴을 형성하므로써 식각된 단면형상이 포지티브 경사(positive slope)인지 네가티브 경사(negative slope)인지 관측가능하며, 콘택홀 저면이 완전히 식각되었는지 인-라인(in line)에서 CD(Critical Demension) SEM 상으로 관측할 수 있는 콘택홀 단면형상 관측방법에 관한 것이다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2A도 내지 제2D도는 본 발명에 의한 반도체 소자의 콘택홀 단면형상을 관측하기 위한 패턴형성 단계를 도시한 소자의 단면 사시도.
Claims (2)
- 반도체 소자의 콘택홀 단면형상을 관측하는 방법에 있어서, 콘택홀 반쪽면만 설계된 마스크(15)를 사용하여 감광막(14)을 패턴화한 후 인-라인에서 CD SEM상으로 패턴화된 감광막(14)의 단면형상 및 식각상태를 관측하고, 상기 패턴화된 감광막(14)을 식각장벽층으로 하여 절연층(3)에 반쪽의 콘택홀(16)을 형성한 후 인-라인에서 CD SEM상으로 콘택홀(16)의 단면형상 및 식각상태를 관측하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 콘택홀 단면형상 관측방법.
- 제1항에 있어서, 상기 반쪽의 콘택홀(16)은 소자에서 요구되는 회로와 관계없는 스크라이브 라인상에 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 콘택홀 단면형상 관측방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019940013510A KR960002487A (ko) | 1994-06-15 | 1994-06-15 | 반도체 소자의 콘택홀 단면형상 관측방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019940013510A KR960002487A (ko) | 1994-06-15 | 1994-06-15 | 반도체 소자의 콘택홀 단면형상 관측방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR960002487A true KR960002487A (ko) | 1996-01-26 |
Family
ID=66685750
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019940013510A KR960002487A (ko) | 1994-06-15 | 1994-06-15 | 반도체 소자의 콘택홀 단면형상 관측방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR960002487A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100807044B1 (ko) * | 2006-08-24 | 2008-02-25 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 반도체 장치 제조 공정 검사 방법 |
-
1994
- 1994-06-15 KR KR1019940013510A patent/KR960002487A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100807044B1 (ko) * | 2006-08-24 | 2008-02-25 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 반도체 장치 제조 공정 검사 방법 |
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