KR950026037A - 박막트랜지스터 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 박막트랜지스터에 관한 것으로, 게이트전극으로 Cr을 사용하고 게이트절연막으로 SiN막을 사용하는 박막트랜지스터구조에서 게이트절연막 증착후 Cr식 각시 Cr표면에 CrN막이 형성되어 Cr에천트에 식각이 되지 않는 문제를 해결하기 위한 것이다.
본 발명은 게이트금속으로 Cr을 사용하고 게이트절연막으로 SiN막을 사용하고 등전위 금속이 게이트금속 형성시 동시에 형성되는 박막트랜지스터에 있어서, 게이트금속인 Cr과 게이트절연막인 SiN막 사이에 비정질실리콘층이 수십 A 두께로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터를 제공한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 박막트랜지스터 단면구조도,
제4도는 본 발명에 의한 박막트랜지스터 제조방법을 도시한 공정순서도.
Claims (1)
- 게이트금속으로 Cr을 사용하고 게이트절연막으로 SiN막을 사용하고 등전위 금속이 게이트금속 형성시 동시에 형성되는 박막트랜지스터에 있어서, 게이트금속인 Cr과 게이트절연막인 SiN막 사이에 비정질실리콘층이 수십 A 두께로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019940003135A KR950026037A (ko) | 1994-02-22 | 1994-02-22 | 박막트랜지스터 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019940003135A KR950026037A (ko) | 1994-02-22 | 1994-02-22 | 박막트랜지스터 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR950026037A true KR950026037A (ko) | 1995-09-18 |
Family
ID=66689526
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019940003135A KR950026037A (ko) | 1994-02-22 | 1994-02-22 | 박막트랜지스터 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR950026037A (ko) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100547823B1 (ko) * | 1998-08-14 | 2006-04-12 | 삼성전자주식회사 | 스위치드 이더넷 특정 용도 집적 회로 설계 검증을 위한 매체접근 제어와 호스트 프로세서 사이의 동기화 방법 |
| KR100561653B1 (ko) * | 1996-09-21 | 2007-08-16 | 코닌클리케 필립스 일렉트로닉스 엔.브이. | 크롬질화물로이루어진전극을포함하는전자장치및그제조방법 |
| KR101319037B1 (ko) * | 2011-04-19 | 2013-10-17 | 홍익대학교 산학협력단 | 비정질 실리콘 박막의 결정화 방법 및 다결정 실리콘 박막 트랜지스터 |
-
1994
- 1994-02-22 KR KR1019940003135A patent/KR950026037A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100561653B1 (ko) * | 1996-09-21 | 2007-08-16 | 코닌클리케 필립스 일렉트로닉스 엔.브이. | 크롬질화물로이루어진전극을포함하는전자장치및그제조방법 |
| KR100547823B1 (ko) * | 1998-08-14 | 2006-04-12 | 삼성전자주식회사 | 스위치드 이더넷 특정 용도 집적 회로 설계 검증을 위한 매체접근 제어와 호스트 프로세서 사이의 동기화 방법 |
| KR101319037B1 (ko) * | 2011-04-19 | 2013-10-17 | 홍익대학교 산학협력단 | 비정질 실리콘 박막의 결정화 방법 및 다결정 실리콘 박막 트랜지스터 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| WITN | Withdrawal due to no request for examination |