KR930013809A - 액정표시장치의 제조방법 - Google Patents

액정표시장치의 제조방법 Download PDF

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    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
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Abstract

내용 없음

Description

액정표시장치의 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 액정표시장치의 박막트랜지스터가 형성된 스위칭 기판의 평면도.
제2도는 제1도의 선 A-A의 단면도.
제3a∼3e도는 이 발명에 따른 액정표시장치의 제조공정도이다.

Claims (7)

  1. 액정표시장치의 제조방법에 있어서, 절연기판상의 일측에 도전물질로 외부와의 전기적 연결을 위한 패드를 형성하는 공정과, 상기 절연기판상에 상기 패드와 소정부분 겹치도록 양극산화 가능한 도전물질로 게이트선을 형성하는 공정과, 상기 구조의 전표면에 절연층을 형성하는 공정과, 상기 패드 표면 및 패드와 겹친 게이트선 표면의 절연층이 보호되도록 감광막 패턴을 형성하는 공정과, 상기 감광막 패턴에 의해 노출된 절연층을 제거하여 게이트선을 노출시키는 공정과, 상기 노출된 게이트선을 소정두께 양극산화하여 양극산화막을 형성하는 공정과, 상기 감광막 패턴과 절연층을 제거하는 공정과, 외부와 전기적 연결을 위한 패드 부분을 제외한 게이트선 및 패드상에 게이트 절연막을 형성하는 공정과, 상기 게이트 절연막의 표면에 보호막을 형성하는 공정을 포함하는 액정표시장치의 제조방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 패드를 Cr, Ta, W 및 Ti로 이루어지는 군에서 선택되는 하나의 금속으로 형성되는 액정표시장치의 제조방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 게이트선을 Al 및 Al 합금으로 이루어지는 군에서 선택되는 하나의 금속으로 형성하는 액정표시장치의 제조방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 패드를 형성하는 도전물질을 상기 게이트선을 형성하는 도전물질보다 기계적 강도가 높은 도전물질로 이루어지는 군에서 선택되는 하나의 금속으로 형성되는 액정표시장치의 제조방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 절연층을 산화규소 및 질화규소로 이루어지는 군에서 선택되는 하나의 절연물질로 형성하는 액정표시장치의 제조방법.
  6. 제1항에 있어서, 상기 절연층을 산화규소 및 질화규소를 순차적으로 적층하여 형성하는 액정표시장치의 제조방법.
  7. 제1항에 있어서, 상기 절연층을 물리증착 또는 화학기상증착 방법으로 형성되는 액정표시장치의 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개되는 것임.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100527085B1 (ko) * 2001-05-30 2005-11-09 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 프린지 필드 스위칭 액정표시장치의 제조방법

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KR100527085B1 (ko) * 2001-05-30 2005-11-09 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 프린지 필드 스위칭 액정표시장치의 제조방법

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