KR970011944A - 액정 디스플레이 패널 및 그 제조 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 알루미늄(Al)과 탄탈륨(Ta)으로 게이트 전극을 이중 배선하고 상기 게이트 전극이 평탄하게 형성되도록 하여 저저항을 갖으며 단차가 존재하지 않도록 한 액정 디스플레이 패널 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 기판 위에 제1금속층 중 제2금속층을 차례로 적층하는 단계와; 상기 제2금속층을 사진 식각하는 단계와; 상기 제1금속층 중 제2금속층에 의해 가려진 부분을 제외한 부분을 전면 양극 산화하는 단계와; 상기 제2금속층을 양극산화하는 단계에 제조 공정에 의하여 이중 배선된 평탄화된 게이트 전극이 형성되는 것을 특징으로 한다.

Description

액정 디스플레이 패널 및 그 제조 방법

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제3도는 본 발명의 액정 디스플레이 패널을 나타낸 단면도이고,

제4도는 본 발명의 액정 디스플레이 패널의 제조 공정의 순서를 나타낸 단면도이다.

Claims (7)

1. 기판 위에 제1금속층과 제2금속층이 이중으로 패터닝되어 있는 게이트 전극과; 상기 게이트 전극의 상부에 형성되어 있는 산화 제2금속층과; 상기 기판 위에 상기 제2금속층이 형성되어 있지 않은 부분에 형성되어 있는 산화 제1금속층과; 상기 산화 제1금속층과 상기 산화 제2금속층의 상부에 형성되어 있는 절연막을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 디스플레이 패널.
2. 제1항에 있어서, 상기 제1금속층은 탄탈륨(Ta)이고, 상기 제2금속층은 알루미늄(Al)인 것을 특징으로 하는 액정 디스플레이 패널.
3. 제1항에 있어서, 상기 산화 제1금속층은 산화 탄탈륨(TaOx)이고, 상기 산화 제2금속층은 산화 알루미늄(Al₂O₃)인 것을 특징으로 하는 액정 디스플레이 패널.
4. 제1항에 있어서, 상기 절연막은 실리콘 질화막(SiNx)인 것을 특징으로 하는 액정 디스플레이 패널.
5. 기판 위에 제1금속층과 제2금속층을 차례로 적층하는 단계와; 상기 제2금속층을 사진 식각하여 게이트 전극을 형성하는 단계와; 상기 제1금속층 중 상기 제2금속층에 의해 가려진 부분을 제외한 부분을 전면 양극 산화하여 산화 제1금속층을 형성하는 단계와; 상기 산화 제1금속층 및 산화 제2금속층을 덮도록 절연막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 디스플레이 패널.
6. 제5항에 있어서, 상기 제1금속층은 탄탈륨(Ta)으로 형성하고, 상기 제2금속층은 알루미늄(Al)으로 형성하며, 탄탈륨과 알루미늄의 두께비를 1:2로 하는 것을 특징으로 하는 액정 디스플레이 패널의 제조 방법.
7. 제6항에 있어서, 상기 제2금속층의 두께는 힐룰 억제가 용이하도록 1500Å 이상으로 형성하는 것을 특징으로 하는 액정 디스플레이 패널의 제조 방법.

   ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.