KR970054457A - 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판 및 그 제조 방법 - Google Patents
액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판 및 그 제조 방법 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 공정 횟수를 1매 줄여 6매 마스크를 사용하여 알루미늄막과 ITO막이 직접 접촉하지 않아 수율을 높일 수 있고 제조 비용을 낮추는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법에 관한 것이다. 기판 위에 도전막인 알루미늄을 적층하고 제1마스크를 이용하여 사진 식각하여 제1패드 금속층을 형성한 후, 크롬으로 제2패드 금속층을 형성한다. 제2패드 금속층인 크롬을 제2마스크를 사용하여 오버 식각한다. 양극 산화하기 위해 입힌 포토 레지스트를 재용융시킨 후 제1패드 금속층 및 게이트 전극인 알루미늄층을 양극 산화시킨다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 게이트 패드부를 나타낸 단면도.
Claims (8)
- 기판 위에 제1도전막을 적층하고 제1마스크를 이용하여 제1게이트 패드 금속층 및 게이트 배선을 형성하는 제1단계, 상기 제1게이트 패드 금속층 위에 제2도전막을 적층한 다음, 제2마스크를 이용하여 양극 산화를 위한 포토 레지스트 패턴을 형성하는 제2단계, 상기 포토 레지스트 패턴을 마스크로하여 상기 제2도전막을 상기 포토 레지스트 아래로 오버 식각하여 제2게이트 패드 금속층을 형성하는 제3단계, 양극 산화하기 위해 상기 포토 레지스트를 재용융시켜 상기 포토 레지스트가 상기 제2패드 금속층을 덮도록 하는 제4단계, 노출된 상기 제1게이트 패드 금속층 및 상기 게이트 배선을 양극 산화시키는 제5단계, 절연막 비정질 실리콘막을 차례로 적층한 후 제3마스크를 사용하여 상기 비정질 실리콘막을 식각하여 액티브막을 형성하는 제6단계, 제3도전막을 적층한 후 제4마스크를 사용하여 데이터 배선을 형성하는 제7단계, 보호막을 적층한 후 제5마스크를 사용하여 상기 절연막과 함께 식각하여 상기 제2게이트 패드 금속층을 노출시키는 컨택홀을 형성하는 제8단계, 투명 도전 물질을 적층한 후 제6마스크를 사용하여 화소 전극 및 제3게이트 패드 금속층을 형성하는 제9단계를 포함하는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법.
- 제1항에서, 상기 제1도전막은 알루미늄으로 형성하는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법.
- 제1항 또는 제2항에서, 상기 제2도전막은 크롬으로 형성하는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법.
- 제2항에서, 상기 투명 도전 물질은 ITO인 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법.
- 기판 위에 도전 물질로 형성되어 있는 제1게이트 패드 금속층, 상기 제1게이트 패드 금속층의 일부를 덮고 있으며 상기 기판 위에 접하도록 도전 물질로 형성되어 있는 제2게이트 패드 금속층, 상기 제2게이트 패드 금속층 위에 투명 도전 물질로 형성되어 있는 제3패드 금속층으로 이루어진 게이트 패드부를 포함하는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판.
- 제5항에 있어서, 상기 제1게이트 패드 금속층은 알루미늄으로 형성되어 있는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판.
- 제5항 또는 제6항에서, 상기 제2게이트 패드 금속층은 크롬으로 형성되어 있는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판.
- 제5항에서, 상기 제3게이트 패드 금속층은 ITO로 형성되어 있는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950049313A KR970054457A (ko) | 1995-12-13 | 1995-12-13 | 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판 및 그 제조 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950049313A KR970054457A (ko) | 1995-12-13 | 1995-12-13 | 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판 및 그 제조 방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970054457A true KR970054457A (ko) | 1997-07-31 |
Family
ID=66593914
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950049313A KR970054457A (ko) | 1995-12-13 | 1995-12-13 | 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판 및 그 제조 방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970054457A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100303443B1 (ko) * | 1998-10-29 | 2002-09-27 | 삼성전자 주식회사 | 액정표시장치용박막트랜지스터기판및그제조방법 |
-
1995
- 1995-12-13 KR KR1019950049313A patent/KR970054457A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100303443B1 (ko) * | 1998-10-29 | 2002-09-27 | 삼성전자 주식회사 | 액정표시장치용박막트랜지스터기판및그제조방법 |
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