KR950024289A - 재순환 냉각제를 사용하는, 온도 제어기 및 방법 - Google Patents

재순환 냉각제를 사용하는, 온도 제어기 및 방법 Download PDF

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Abstract

작업단말 및 작업단말의 작업매체의 온도를 소정의 온도에 조정하는 온도 제어장치와 방법이다. 온도 제어장치는 열교환기 따위의 냉갗 비이클, 냉각제 온도 센서와 제어장치, 매니폴드 따위의 유체 냉각제의 원천, 재순환 펌프, 유량 조절기와 히터를 함유하고 냉각제를 작업단말에 순환시키는 유로, 유량 조절기와 히터를 측통시키는 측로 밸브, 및 작업단말 온도 센서와 제어장치로 이루어져 있다. 작업단말온도 제어장치는 냉각제의 온도가 작업단말에 대하여 희망온도 이하가 되게 히터와 측로 밸브의 작동을 제어하며, 따라서 과냉각을 피하는 한편 급속한 순간적 대응을 성취하는 것이다. 냉각제 온도 제어장치와 작업단말 온도 제어장치는 온도 제어 컴퓨터에 속해도 좋으며. 따라서 많은 수의 상이한 작동 시퀀스를 제공하는 것이다.

Description

재순환 냉각제를 사용하는, 온도 제어기 및 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 온도가 제어되는 하나의 가능적 작업단말(workststion)의 사시도이다.

Claims (27)

  1. 작업단말 및 작업단말의 작업매체의 온도를 소정의 온도에 조정하는 온도 제어장치로서. 작업단말의 온도를 사정하는 작업단말 온도 감지 수단, 상기 소정의 온도 이하의 온도에 유체 냉각제를 유지하는 유체 냉각체의 원천과 수단, 상기 원천으로부터 작업단말에 통해 송출하는 유로를 함유하여 작업단말과 그 안의 작업매체의 온도를 조정하는 냉각제 순환 수단, 작업단말과 작업매체를 상기 소정의 온도에 유지하도록 작업단말에 공급 되는 냉각제를 상기 소정의 온도와 거의 같은 온도에 가열하는 유로의 냉각제 히터, 그리고 히터와 그의 가열 조절을 제어하고, 작업단말과 상기 소정의 온도 간에 사실상의 차가 존재하는 한 상기 히터에 의한 가열을 감소시키며, 또 상기 차가 감소하는데 따라 그리고 작업단말 온도가 상기 소정의 온도를 거의 성취하는데 따라 상기 히터에 의한 가열을 증대시키는 제어수단, 로 이루어지는 온도 제어장치.
  2. 제1항에 있어서. 유로의 냉각제의 흐름을 조절하는 수단을 더 함유하는, 온도 제어장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 흐름 조절 수단과 상기 히터와를 측통시키는 수단을 더 함유하며, 상기 제어 수단이 상기 측통 수단을 제어하는, 온도 제어장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 제어수단이 온도 제어 컴퓨터이고, 그 컴퓨터의 프로그램이 상기 히터와 상기 측로 수단을 제어하는, 온도 제어장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 온도 제어장치가 복수의 작업단말과 그 안의 작업매체의 온도를 제어하는, 온도 제어장치.
  6. 작업단말 및 작업단말의 작업매체의 온도를 소정의 온도에 조정하는 온도 제어장치로서, 작업단말, 작업단말의 온도를 사정하는 작업단말 온도 감지수단, 상기 소정의 온도 이하의 온도에 유체 냉각제를 유지하는 유체 냉각체의 원천과 수단, 상기 원천으로부터 작업단말을 통해 송출하는 유로를 함유하여 작업단말과 그 안의 작업매체의 냉각을 야기하는 냉각제 순환수단, 작업단말과 작업 매체를 상기 소정의 온도에 유지하도록 작업단말에 공급 되는 냉각제를 상기 소정의 온도와 거의 같은 온도에 가열하는 유로의 냉각제 히터, 그리고 히터와 그의 가열 조절을 제어하고, 작업단말과 상기 소정의 온도 칸에 사실상의 차가 존재하는 한 상기 히터에 의한 가열을 감소시키며, 또 상기 차가 감소하는데 따라 그리고 작업단말 온도가 상기 소정의 온도를 거의 성취하는데 따라 상기 히터에 의한 가열을 증대시키는 제어수단, 로 이루어지는 온도 제어장치.
  7. 제6항에 있어서, 유로의 냉각제의 유량을 조절하는 수단을 더 함유하는, 온도 제어장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 유량 조절 수단과 상기 히터와를 측통시키는 수단을 더 함유하며, 상기 제어수단이 상기 측통 수단을 제어하는, 온도 제어장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 제어수단이 온도 제어 컴퓨터이고, 그 컴퓨터의 프로그램이 상기 히터와 상기 측통 수단을 제어하는, 온도 제어장치.
  10. 제6항에 있어서, 상기 작업단말이 온도가 조절되게 될 웨이퍼를 지지하는 냉각판을 함유하는 온도 제어장치.
  11. 제6항에 있어서. 상기 작업단말은 냉각될 한 축을 둘러 싸는 원통형 칼러로 이루어져 있고, 상기 축은 일단이 전동 모터에 접속되고 있으며, 상기 축은 상기 모터로부터의 상기 축 말단의 단에 척(chuck)을 가지고 있어, 상기 척은 온도가 조정되게 될 웨이퍼를 지지하는, 온도 제어장치.
  12. 제6항애 있어서, 상기 작업단말이, 통과하는 유체의 온도를 조절하는 액체 대 액체의 열교환기로 이루어져 있는 온도 제어장치.
  13. 제6항에 있어서, 상기 작업단말이 윗 구획실, 아랫 구획실, 및 상기 욋 구획실을 상기 아랫 구획실과 격리하는 냉각판을 가진 모듈로 이루어지고, 상기 모듈이 상기 윗 구획실과 상기 아랫 구획실에있는 재료의 온도를 조절하는 온도 제어장치.
  14. 제6항에 있어서, 상기 온도 제어장치가 복수의 작업단말 및 그 안의 작업매체의 온도를 제어하는, 온도 제어장치.
  15. 작업단말 및 작업단말의 작업매체의 온도를 소정의 온도에 조정하는 온도 제어장치로서, 유체 냉각제의 원천, 냉각 비이클, 주 냉각제 온도 섄서 그리고 유체 냉각제의 온도를 검출하여 상기 소정의 온도 이하의 온도에 유체 냉각제를 유지하는 주 냉각제온도 제어장치, 유로, 복귀로, 그리고 유체 냉각제의 상기 원천으로부터 유체 냉각제를 받아들이어 작업단말에 유체 냉각제를 제공하며 작업단말 및 그 안의 작업매체의 냉각을 야기하는 재순환 펌프, 작업단말의 온도를 감지하여 조절하는 작업단말 온도 세서와 작업단말 온도 제어장치, 작업단말차 작업매체를 상기 소정의 온도에 유지하드록, 작업단말에 공급되는 냉각제를 상기 소정의 온도와 거의 같은 온도에 가열하기 위하여, 상기 작업단말 온도 제어장치에 응답하는, 상기 유로의 냉각제 히터, 히터와 그의 가열 조절을 제어하고, 작업단말과 상기 소정의 온도 간에 사실상의 차가 존재하는 한 상기 히터에 의한 가열을 감소시키며, 또 상기 차가 감소하는데 따라 그리고 작업단말 온도가 상기 소정의 온도를 거의 성취하는데 따라 상기 히터에 의한 가열을 증대시키는 제어수단, 작업단말과 상기 소정의 온도 간에 사실상의 차가 존재하는 한 상기 히터에 의한 가열을 감소시키며, 또 상기 차가 감소하는데 따라 그리고 작업단말 온도가 상기 소정의 온도를 거의 성취하는데 따라 상기 히터에의 한 가열을 증대시키는, 상기 작업단말 온도 제어장치, 상기 유로를 통해 냉각제의 희망유량을 유지하는, 상기 유로의 유량조절기, 및 상기 히터와 상기 유량 조절기 양자를 측통시키어, 비온난 냉각제의 흐름을 증대된 유량으로 작업단말에 제공하며, 상기 작업단말 온도 조정장치에 응답하는 측로 밸브, 로 이루어지는 온도 제어장치.
  16. 제15항에 있어서, 상기 주 냉각제 온도 제어장치와 상기 작업단말 온도 조정장치가 온도 제어 컴퓨터 인 온도 제어장치.
  17. 제15항에 있어서, 상기 온도 제어장치가 복수의 작업단말 및 그 안의 작업매체의 온도를 제어하는 온도 제어장치.
  18. 작업단말 및 작업단말의 작업매체의 온도를 소정의 온도에 조정하는 온도 제어장치로서, 작업단말, 유체 냉각제의 원천, 냉각 비이클, 주 냉각제온도 센서 그리고 유체 냉각제의 온도를 검출하여 상기 소정의 온도 이하의 온도에 유체 냉각제를 유지하는 주 냉각제 온도 제어장치, 유로, 복귀로, 그리고 유체 냉각제의 상기 원천으로부터 유체 냉각제를 받아들이어 작업단말에 유체 냉각제를 제공하며 작업단말 및 그 안의 작업 매체의 냉각을 야기하는 재순환 펌프, 작업단말의 온도를 감지하여 조절하는 작업단말 온도 세서와 작업단말 온도 제어장치, 작업단말과 작업매체를 상기 소정의 온도에 유지하도록, 작업단말에 공급되는 냉각제를 상기 소정의 온도와 거의 같은 온도에 가열하기 의하여, 상기 작업단말 온도 제어장치에 응답하는, 상기 유로의 냉각제 히터, 히터와 그의 가열 조절을 제어하고, 작업단말과 상기 소정의 온도 간에 사실상의 차가 존재하는 한 상기 히터에 의한 가열을 감소시키며, 또 상기 차가 감소하는데 따라 그리고 작업단말 온도가 상기 소정의 온도를 거의 성취하는데 따라 상기 히터에 의한 가열을 증대시키는 제어수단, 작업단말과 상기 소정의 온도 간에 사실상의 차가 존재하는 한 상기 히터에 의한 가열을 감소시키며, 또 상기 차가 감소하는데 따라 그리고 작업단말 온도가 상기 소정의 온도를 거의 성취하는데 따라 상기 히터에 의한 가열을 증대시키는, 상기 작업단말 온도 제어망치, 상기 유로를 통해 냉각제의 희망유량을 유지하는, 상기 유로의 유량 조절기, 및 상기 히터와 상기 히터와 상기 유량 조절기 양자를 측통시키어, 비온난 냉각제의 흐름을 증대된 유량으로 작업단말에 제공하며, 상기 작업단말 온도 조정장치에 응답하는 측로 밸브, 로 이루어지는 온도 제어장치.
  19. 제18항에 있어서, 상기 작업단말이, 온도가 조절되게 될 웨이퍼를 지지하는 냉각판을 함유하는 온도 제어장치.
  20. 제18항에 있어서, 상기 작업단말이, 냉각시켜질 한 축을 둘러싸는 원통형 칼러로 이루어져 있고, 상기 축은 일단이 전동 모터에 접속돼 있으며, 상기 축이 상기 모터로부터의 상기 축 말단의 단에 척을 가지고 있어, 상기 척은 온도가 조정되개 될 웨이퍼를 지지하는, 온도 제어장치.
  21. 제18항에 있어서, 상기 작업단말이, 통과하는 유체의 온도를 조절하는 액체 대 액체의 열교환기로 이루어져 있는 온도 제어장치.
  22. 제18항에 있어서, 상기 작업단말이, 윗 구획실, 아랫 구획실, 및 상기 윗 구획실을 상기 아랫 구획실과 격리하는 냉각판을 가진 모듈로 이루어지고, 상기 모들이 상기 윗 구휙실과 상기 아랫 구획실에 있는 재료의 온도를 조절하는 온도 제어장치.
  23. 제18항에 있어서. 상기 주 냉각제 온도 제어장치와 상기 작업단말 온도 제어장치가 온도 제어 컴퓨터 인 온도 제어장치.
  24. 제18항에 있어서. 상기 온도 제어장치가 복수의 작업단말 및 그 안의 작업매체의 온도를 제어하는 온도 제어장치.
  25. 작업단말 및 작업단말의 작업매체를 소정의 온도에 정확히 냉각하는 과정으로서, 소정의 온도 이하의 온도의 유체 냉각제의 수단에 의해, 작업단말의 온도가 소정의 온도에 접근하는 때 까지 작업단말의 온도를 급격히 낮추기, 및 작업단말에 흐르는 냉각제에, 소정의 온도가 성취될 때 까지 냉각제의 속도를 느리게하는 식으로, 열을 이끌어들이기, 의 단계들로 이루어지는 냉각과정.
  26. 제25항에 있어서, 복수의 작업단말의 온도가 제어되는, 냉각과정.
  27. ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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