KR950012754A - 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 및 그의 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은, 종래의 액정 표시 장치용 박막트랜지스터에서의 게이트-소스 간의 단락 및 오믹 접촉 상의 문제점을 제거하고, 박막트랜지스터의 구조를 단순화하여 제조 공정 중 소오되는 마스크 수를 줄이며. 또한 화소의 밀도 및 개구율이 증가하고 게이트 신호지연이 감소한 액정 표시장치용 박막트랜지스터를 제공하기 위한 것이다. 본 발명은 소스/드레인 전극과 게이트 전극 사이에 제2게이트 절연막을 형성하고 이 게이트 절연막이 또한 캐패시터의 유전층으로서 작용하는 박막트랜지스터를 제조함으로써 이루어진다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도(a)는 본 발명의 박막트랜지스터 제조 공정을 나타내는 단면도.
제3도(b)는 본 발명의 소스/드레인 접합을 나타내는 단면도.
제3도(c)는 본 발명의 파막트랜지스터의 배열을 나타내는 평면도.
Claims (7)
- 유리 기판, 상기 유기 기판 위에 형성된 화소 전극, 상기 유기 기판 및 부분적으로 상기 화소 전극 위에 형성된 소스/드레인 전극, 상기 유리 기판 및 부분적으로 상기 소스/드레인 전극 위에 형성된 비정질 실리콘막, 상기 비정질 실리콘 위에 형성된 제1게이트 절연막, 상기 제1게이트 절연막 위에 형성되고. 상기 소스/드레인 전극과 상기 화소 전극위에 형성된 제2게이트 절연막 및 상기 제1게이트 절연막의 바로 위에 배치하도록 상기 제2게이트 절연막 위에 형성된 게이트 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터.
- 제1항에 있어서, 상기 소스/드레인 전극이 팔라듐(Pb)으로 형성하는 액정 표시 장치용 박막트랜지스터.
- 제1항에 있어서, 상기 게이트 전극이 알루미늄(Al)으로 형성되는 액정 표시 장치용 박막트랜지스터.
- 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 제2게이트 절연막이 SiO2또는 TaOx으로 형성되는 액정 표시 장치용 박막트랜지스터.
- 유리 기판 위에 화소 전극을 형성하는 단계, 상기 유리 기판 및 부분적으로 상기 화소 전극 위에 소스/드레인 전극을 형성하기 위하여 팔라듐막을 형성하는 단계, 상기 유리 기판 및 부분적으로 상기 팔라듐막위에 비정질 실리콘막을 형성하는 단계, 상기 비정질 실리콘막 위에 제1게이트 절연막으로서 SiNx막을 형성하는 단계, 상기 SiNx막, 부분적으로 상기 팔라듐막 및 상기 화소 전극 위에 제2게이트 절연막을 형성하는 단계, 상기 제1게이트 절연막의 바로 위에 배치하도록 상기 제2게이트 절연막 위에 게이트 전극을 형성하는 단계 및, 200℃내지 350℃에서 열처리하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 제조방법.
- 제5항에 있어서, 상기 화소 전극이 투명 전도막 ITO(indium tin oxide)이고, 상기 제2게이트 절연막은 SiO2또는 Ta0x이며, 상기 게이트 전극은 Al인 액정 표시 장치용 박막트랜지스터 제조 방법.
- 액정 표시 장치용의 상부 게이트형 박막트랜지스터에 있어서, 소스/드레인막과 게이트 전극 사이에 제2게이트 절연막을 포함하며. 상기 제2게이트 절연막이 캐패시터의 유전층으로 되는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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|---|---|---|---|
| KR1019930021158A KR970000469B1 (ko) | 1993-10-13 | 1993-10-13 | 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 및 그의 제조 방법 |
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| KR1019930021158A KR970000469B1 (ko) | 1993-10-13 | 1993-10-13 | 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 및 그의 제조 방법 |
Publications (2)
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| KR950012754A true KR950012754A (ko) | 1995-05-16 |
| KR970000469B1 KR970000469B1 (ko) | 1997-01-11 |
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ID=19365719
Family Applications (1)
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| KR1019930021158A KR970000469B1 (ko) | 1993-10-13 | 1993-10-13 | 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 및 그의 제조 방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970000469B1 (ko) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100341655B1 (ko) * | 1993-09-17 | 2002-11-05 | 상꾜 가부시키가이샤 | 제초조성물 |
| KR20020089982A (ko) * | 2001-05-25 | 2002-11-30 | 주식회사 현대 디스플레이 테크놀로지 | 액정표시소자 패널의 제조방법 |
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1993
- 1993-10-13 KR KR1019930021158A patent/KR970000469B1/ko not_active IP Right Cessation
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| KR100341655B1 (ko) * | 1993-09-17 | 2002-11-05 | 상꾜 가부시키가이샤 | 제초조성물 |
| KR20020089982A (ko) * | 2001-05-25 | 2002-11-30 | 주식회사 현대 디스플레이 테크놀로지 | 액정표시소자 패널의 제조방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR970000469B1 (ko) | 1997-01-11 |
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