KR980003744A - 액티브 매트릭스 액정표시장치의 제조방법 및 액티브 매트릭스 액정표시장치 - Google Patents

액티브 매트릭스 액정표시장치의 제조방법 및 액티브 매트릭스 액정표시장치 Download PDF

Info

Publication number
KR980003744A
KR980003744A KR1019960023296A KR19960023296A KR980003744A KR 980003744 A KR980003744 A KR 980003744A KR 1019960023296 A KR1019960023296 A KR 1019960023296A KR 19960023296 A KR19960023296 A KR 19960023296A KR 980003744 A KR980003744 A KR 980003744A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
liquid crystal
crystal display
insulating film
display device
layer
Prior art date
Application number
KR1019960023296A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100229609B1 (ko
Inventor
김정현
박성일
Original Assignee
구자홍
Lg 전자주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 구자홍, Lg 전자주식회사 filed Critical 구자홍
Priority to KR1019960023296A priority Critical patent/KR100229609B1/ko
Priority to DE19712233A priority patent/DE19712233C2/de
Priority to US08/826,804 priority patent/US6100954A/en
Priority to FR9703615A priority patent/FR2746961B1/fr
Priority to GB9706354A priority patent/GB2311653B/en
Priority to JP9152097A priority patent/JPH1041519A/ja
Priority to US08/872,368 priority patent/US6211928B1/en
Publication of KR980003744A publication Critical patent/KR980003744A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100229609B1 publication Critical patent/KR100229609B1/ko

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
    • G02F1/1362—Active matrix addressed cells
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F2201/00—Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00
    • G02F2201/40—Arrangements for improving the aperture ratio

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)

Abstract

본 발명의 액티브 매트릭스 액정표시장치의 제조방법은 투명기판 위에 스위칭 소자인 TFT(8)를 형성하는 공정과, 이 TFT(8)위에 SiNx, SiOx등의 무기절연막 즉, BCB등의 유기절연막과 SiNx, SiOx등의 무기절연막 즉, 26a, 26b, 26c를 연속적층하여 3층 구조의 절연막을 갖는 보호막(26)을 형성하는 공정과, 이 보호막(26)위에 소스버스선 등과 중첩되도록 화소전극을 형성하는 공정율 포함함으로써 TFT가 안정적인 특성을 갖도록 하며 화면의 깜박임이 발생하지 않는 높은 개구율의 액티브 매트릭스 액정표시장치를 제조할 수 있다.

Description

액티브 매트릭스 액정표시장치의 제조방법 및 액티브 매트릭스 액정표시장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제4도는 본 발명의 액티브 매트릭스 액정표시장치의 일부 평면도.
제5도 제4도의 V-V선을 절단하여 나타내는 본 발명의 액티브 매트릭스 액정표시장치의 제1기판(3)의 제조공정 단면도.
제6도는 제4도의 V-V선을 절단하여 나타내는 본 발명의 액티브 매트릭스 액정표시장치의 제1기판(3)의 제조공정 단면도.

Claims (20)

  1. 게이트버스라이에서 분기하는게이트전극, 반도체층, 오믹접촉층, 데이타버스라인에서 분기하는 소스/드레인전극과, 보호막, 화소전극을 포함하는 액정표시장치의 제조방법에 있어서; 상기 보호막은 무기절연막과 유기절연막과 무기절연막을 적층하여 형성하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 화소전극은 상기 데이타버스라인에 선택적으로 중첩되도록 상기 보호막 위에 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 화소전극은 상기 게이트버스라인의 이웃하는 게이트버스라인과 상기 데이타버스라인에 선택적으로 중첩되도록 상기 보호막 위에 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 반도체층을 형성하기 전에 상기 화소전극을 형성하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 반도체층을 형성한 후에 상기 화소전극을 형성하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
  6. 제1항에 있어서, 상기 반도체층과 오믹접촉층 사이에 에치스토퍼층이 더 포함되어 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
  7. 제1항에 있어서, 상기 무기절연막은 적어도 한층 이상의 무기절연막으로 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법
  8. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 유기절연막은 유전율이 3.0 이하인 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
  9. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 유기절연막은 BCB, PFCB 중 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
  10. 제8항에 있어서, 상기 유기절연막은 감광성 유기물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
  11. 게이트버스라인에서 분기하는 게이트전극, 반도체층, 오믹접촉층, 데이타버스라인에서 분기하는 소스/드레인전극과, 보호막과, 화소전극을 포함하는 액정표시장치에 있어서, 상기 보호막은 무기절연막과 유기절연막과 무기절연막을 적층하여 형성하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  12. 제11항에 있어서, 상기 화소전극은 상기 데이타버스라인에 선택적으로 중첩되도록 상기 보호막 위에 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  13. 제12항에 있어서, 상기 화소전극은 상기 데이타버스라인의 이웃하는 게이트버스라인과 상기 데이타버스라인에 선택적으로 중첩되도록 상기 보호막 위에 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시소지.
  14. 제12항에 있어서, 상기 반도체층을 형성하기 전에 상기 화소전극을 형성하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  15. 제11항에 있어서, 상기 반도체층을 형성한 후에 상기 화소전극을 형성하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  16. 제11항에 있어서, 상기 반도체층과 오믹접촉층 사이에 에치스토터층이 더 포함되어 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  17. 제11항에 있어서, 상기 무기절연막은 적어도 한층 이상의 무기절연막으로 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  18. 제11항 내지 제17항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 유기절연막은 유전율에 3.0 이하인 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  19. 제11항 내지 제17항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 유기절연막은 BCB, PFCB 중 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  20. 제18항에 있어서, 상기 유기절연막은 감광성 유기물질을 포함하는 것을 특징으로 한 액정표시장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960023296A 1996-03-26 1996-06-24 액티브 매트릭스 액정표시장치의 제조방법 및 액티브매트릭스액정표시장치 KR100229609B1 (ko)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019960023296A KR100229609B1 (ko) 1996-06-24 1996-06-24 액티브 매트릭스 액정표시장치의 제조방법 및 액티브매트릭스액정표시장치
DE19712233A DE19712233C2 (de) 1996-03-26 1997-03-24 Flüssigkristallanzeige und Herstellungsverfahren dafür
US08/826,804 US6100954A (en) 1996-03-26 1997-03-25 Liquid crystal display with planarizing organic gate insulator and organic planarization layer and method for manufacturing
FR9703615A FR2746961B1 (fr) 1996-03-26 1997-03-25 Substrat a transistor pour un dispositif d'affichage a cristal liquide et son procede de fabrication
GB9706354A GB2311653B (en) 1996-03-26 1997-03-26 Liquid crystal display and method for manufacturing the same
JP9152097A JPH1041519A (ja) 1996-03-26 1997-03-26 液晶表示装置の製造方法及びその製造方法による液晶表示装置
US08/872,368 US6211928B1 (en) 1996-03-26 1997-06-10 Liquid crystal display and method for manufacturing the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019960023296A KR100229609B1 (ko) 1996-06-24 1996-06-24 액티브 매트릭스 액정표시장치의 제조방법 및 액티브매트릭스액정표시장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR980003744A true KR980003744A (ko) 1998-03-30
KR100229609B1 KR100229609B1 (ko) 1999-11-15

Family

ID=19463104

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019960023296A KR100229609B1 (ko) 1996-03-26 1996-06-24 액티브 매트릭스 액정표시장치의 제조방법 및 액티브매트릭스액정표시장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100229609B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101065828B1 (ko) * 2003-11-25 2011-09-20 한국항공우주산업 주식회사 항공기 온도 조절 감지기 출력 신호 측정 장치

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101065828B1 (ko) * 2003-11-25 2011-09-20 한국항공우주산업 주식회사 항공기 온도 조절 감지기 출력 신호 측정 장치

Also Published As

Publication number Publication date
KR100229609B1 (ko) 1999-11-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR970011964A (ko) 액정표시장치 및 그 제조방법
KR950019870A (ko) 신호 라인과 픽셀 전극 사이의 단락 회로를 방지할 수 있는 액정표시(lcd) 장치 및 이의 제조 방법
KR970011970A (ko) 액정표시장치 구조 및 제조방법
KR970016712A (ko) 액정표시장치 및 그 제조방법
KR970062778A (ko) 전기 광학 장치 및 그 제조 방법
KR930006477A (ko) 액정표시장치 및 그 제조방법
KR970076040A (ko) 액티브 매트릭스 액정표시장치의 제조방법 및 액티브 매트릭스 액정표시장치
KR970022459A (ko) 액정표시장치
KR970066697A (ko) 액티브 매트릭스형 액정 디스플레이 장치 및 그의 제조 방법
KR940001457A (ko) 박막트랜지스터 및 능동 매트릭스 액정표시장치
KR970076033A (ko) 액정표시장치의 제조방법
KR960035118A (ko) 액정표시장치
KR980003745A (ko) 액정표시장치의 제조방법 및 액정표시장치의 구조
KR980003744A (ko) 액티브 매트릭스 액정표시장치의 제조방법 및 액티브 매트릭스 액정표시장치
KR980003740A (ko) 액정표시장치의 제조방법 및 액정표시장치의 구조
KR970071099A (ko) 액정표시소자
KR980003743A (ko) 액티브 매트릭스 액정표시장치의 제조방법 및 액티브 매트릭스 액정표시장치
KR980003734A (ko) 액티브 매트릭스 액정표시소자의 제조방법 및 그 구조
KR970054526A (ko) 박막트랜지스터-액정표시장치 및 그 제조방법
KR970075984A (ko) 액티브매트릭스기판의 제조방법 및 그 방법에 의해 제조되는 액티브매트릭스기판
KR960042175A (ko) 복수 개의 채널 영역을 가진 박막 트랜지스터가 형성되어 있는 액정 디스플레이 패널 및 그 제조 방법
KR100232180B1 (ko) 액정 표시 소자
KR950012754A (ko) 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 및 그의 제조 방법
KR960042169A (ko) 액정표시소자의 저장축전기 형성방법 및 구조
KR970071094A (ko) 액정표시소자의 구조 및 액정표시소자의 제조방법

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130619

Year of fee payment: 15

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140630

Year of fee payment: 16

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150728

Year of fee payment: 17

EXPY Expiration of term