KR940016475A - 반사 및 굴절 광학 시스템 및 이를 이용한 투사 노광장치 - Google Patents

반사 및 굴절 광학 시스템 및 이를 이용한 투사 노광장치 Download PDF

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Abstract

본 발명의 반사 및 굴절 광학 장치는 편광빔 분할기, 오목거울, 렌즈 그룹 및 1/4장판을 포함하고 있으며, 편광빔 분할기로부터 나오는 S-편광빔 광을 원편광된 광으로 변화시키기 위해 추가적인 파장판이 제공된다.

Description

반사 및 굴절 광학 시스템 및 이를 이용한 투사 노광장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1 도는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 장치의 제조를 위한 축소된 투사노광 장치의 개략도, 제 2 도는 반도체 장치 제조 공정의 흐름도(flow chart), 제 3 도는 웨이퍼 공정을 상세히 설명한 흐름도.

Claims (24)

  1. 이미지면 쪽으로부터 순서대로 배치된 편광빔 분할기, 1/4파장판 및 반사 거울을 포함하고, 물체면으로부터나온 빔은 상기 편광빔 분할기 및 상기 1/4파장판을 거쳐 상기 반사 거울에 투사되고, 투사된 빔은 상기 반사 거울에 의해 반사되어 상기 1/4파장판 및 상기 편광빔 분할기를 거쳐 이미지면에 투사되는 이미지 형성 광학시스템에 있어서, 상기 빔 분할기로부터 나오는 빔의 편광면을 변화시키기 위하여 상기 편광빔 분할기와 상기 이미지면 사이에 배치된 편광면 변화 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 이미지 형성 광학 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 반사 거울이 오목 거울을 포함하는 것을 특징으로 하는 이미지 형성 광학 시스템.
  3. 제1 항에 있어서, 상기 물체면과 상기 편광빔 분할기 사이에 배치된 제 1 렌즈 그룹과 상기 편광빔 분할기와 상기 이미지면 사이에 배치된 제 3 렌즈 그룹을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이미지 형성 광학 시스템.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 제 1 렌즈 그룹의 상기 물체면으로부터 나오는 빔을 평행빔으로 전환시켜 상기 편광빔 분할기에 투사시키는 것을 특징으로 하는 이미지 형성 광학 시스템.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 편광빔 분할기와 상기 반사 거울 사이에 배치된 제2 렌즈 그룹을 더 포함하고, 상기 제 2 렌즈 그룹은 상기 편광빔 분할기로부터 나오는 평행빔을 발산빔으로 전환시켜 상기 반사 거울로 향하게 하는 것을 특징으로 하는 이미지 형성 광학 시스템.
  6. 제 3 항에 있어서, 상기 편광면 변화 수단이 상기 편광빔 분할기와 상기 제 3 렌즈 그룹 사이에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 이미지 형성 광학 시스템.
  7. 제 1 항에 있어서, 상기 편광면 변화 수단이 상기 편광빔 분할기로부터 나오는 빔을 원면 빔으로 변환시키기 위한 1/4파장판을 포함하는 것을 특징으로 하는 이미지 형성 광학 시스템.
  8. 제 1 항에 있어서, 상기 편광면 변화 수단이 상기 편광빔 분할기로부터 나오는 빔을 원하는 방향으로 편광되는 직선 편광으로 변환시키기 위한 1/2파장판을 포함하는 것을 특징으로 하는 이미지 형성 광학 시스템.
  9. 제 1 항에 있어서, 조명광이 물체면에 비스듬히 투사되는 것을 특징으로 하는 이미지 형성 시스템.
  10. 제 1 항에 있어서, 위상 변이 마스크가 물체면 상에 배치된 것을 특징으로 하는 이미지 형성 시스템.
  11. 제 1 항 내지 제1항 중 어느 한항의 이미지 형성 광학 시스템을 이용하여 기판상에 원형(原形)패턴을 투사시키기 위한 투사 노광 장치.
  12. 제 1 항 내지 제10항 중 어느 한 항의 이미지 형성 광학 시스템을 이용하여 기판상에 원형(原形)의 장치 패턴을 투사시키는 것을 특징으로 하는 마이크로 장치를 제조하기 위한 장치 제조방법.
  13. 제 1 항에 있어서, 상기 반사 거울은 오목 거울로 구성되고, 제 1 렌즈 그룹은 상기 물체면과 상기 편광빔 분할기 사이에 제공되고, 제 3 렌즈 그룹은 상기 편광빔 분할기와 상기 이미지면 사이에 제공되고, 상기 편광면 변화 수단은 상기 편광 빔 분할기에서 나오는 빔을 원편광 빔으로 변화시켜주는 1/4파장판으로 구성되는 것을 특징으로 하는 이미지 형성 광학 시스템.
  14. 제13항에 있어서, 상기 제 1 렌즈 그룹은 상기 물체면으로부터 나오는 빔을 상기 편광빔 분할기에 투사될 평행빔으로 변환시키고, 제 2 렌즈 그룹은 상기 편광 빔 분할기로부터 나오는 평행빔을 상기 반사 거울에 투사될 발산빔으로 변환시키기 위하여 상기 편광빔 분할기와 상기 반사 거울 사이에 제공되는 것을 특징으로 하는 이미지 형성 광학 시스템.
  15. 제13항에 있어서, 상기 편광면 변화 수단은 상기 편광빔 분할기와 상기 제 3 렌즈 그룹 사이에 제공되는 것을 특징으로 하는 이미지 형성 광학 시스템.
  16. 제13항에 있어서, 상기 물체면 상에 배치된 위상 변이 마스크를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이미지 형성 광학 시스템.
  17. 제13항에 있어서, 상기 물체면이 비스듬히 투사되는 조명광으로 조명되는 것을 특징으로 하는 이미지 형성 광학 시스템.
  18. 제 1 항에 있어서, 상기 반사 거울은 오목 거울로 구성되고, 제 2 렌즈 그룹은 상기 물체면과 상기 편광빔 분할기 사이에 제공되고, 제 3 렌즈 그룹은 상기 편광 빔 분할기와 상기 이미지면 사이에 제공되고, 상기 편광면 변화 수단은 상기 편광 빔 분할기로부터 나오는 빔을 원하는 방향으로 편광되는 직선 편광빔으로 변화시켜주는 1/2 파장판으로 구성되는 것을 특징으로 하는 이미지 형성 광학 시스템.
  19. 제18항에 있어서, 상기 제 1 렌즈 그룹은 상기 물체면으로부터 나오는 빔을 상기 편광빔 분할기로 투사될 평행빔으로 변환시키고, 제 2 렌즈 그룹은 상기 편광 빔 분할기로부터 나오는 평행빔을 상기 반사 거울에 투사될 발산빔으로 변환시키기 위하여 상기 편광빔 분할기와 상기 반사 거울 사이에 제공되는 것을 특징으로 하는 이미지 형성 광학 시스템.
  20. 제18항에 있어서, 상기 편광면 변화 수단은 상기 편광빔 분할기와 상기 제 3 렌즈 그룹 사이에 제공되는 것을 특징으로 하는 이미지 형성 광학 시스템.
  21. 제18항에 있어서, 상기 물체면 상에 배치된 위상 변이 마스크를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이미지 형성 광학 시스템.
  22. 제18항에 있어서, 상기 물체면이 비스듬히 투사되는 조명광으로 조명되는 것을 특징으로 하는 이미지 형성 광학 시스템.
  23. 기판상에 원형(原形) 패턴을 투사하기 위한 투사 노광 장치에 있어서, 상기 원형 패턴은 제13항 내지 제22항 중 어느 한 항의 이미지 형성 광학 시스템을 통하여 상기 기판상에 투사되는 것을 특징으로 투사 노광 장치.
  24. 장치 패턴을 갖는 원형(原形)과 기판을 이용하여 마이크로 장치를 제조하는 방법에 있어서, 상기 원형의 장치 패턴을 제13항 내지 제22항 중 어느 한항의 이미지 형성 광학 시스템을 통하여 상기 기판상에 투사 및 전환시키는 것을 특징으로 하는 마이크로 장치의 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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