KR940015536A - 액정 표시 장치의 칼라 필터 및 그 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 액정 표시 장치의 칼라 필터 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 특히 칼라 패턴을 형성하기 위해 칼라 레지스트를 이용한 마스크의 자동 얼라인 키 패턴을 형성하는 방법에 있어서, 기판 상의 크롬층을 형성하고 사진 식각 공정으로 제1얼라인 키패턴과 차광막을 형성하는 공정, 레드 칼라 레지스트와 산화방지막을 순차로 적층 형성하는 공정, 레드 칼라 패턴과 그린 칼라 레지스트의 얼라인 키 위치의 차광막 상에 제2얼라인 키패턴을 동시에 형성시키는 공정, 그린 칼라 레지스트와 산화방지막을 순차로 적층 형성하는 공정, 그린 칼라 패턴과 블루 칼라 레지스트의 얼라인 키 위치의 레드 칼라패턴 상에 제3얼라인 키 패턴을 동시에 형성시키는 공정, 블루 칼라 레지스트와 산화방지막을 순차로 적층 형성하는 공정 및 블루 칼라 패턴을 형성시키는 공정을 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
따라서, 상기한 본 발명의 방법에 의하면 레드 및 그린 칼라 패턴을 형성할 때 각각 그린 및 블루 칼라 레지스트의 얼라인먼트에 사용할 수 있게 칼라 레지스트를 이용한 얼라이 키패턴을 형성함으로써 얼라인 키 패턴 상부의 그린 및 블루 칼라 레지스트의 단차 경사면에서 반사되는 회절광을 이용하여 검출한 신호에 의해 자동 얼라인의 가능하다.

Description

액정 표시 장치의 칼라 필터 및 그 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제6도에서 제8도까지는 칼라 필터의 레드, 그린 및 블루칼라 패턴을 형성하기 위한 본 발명의 얼라인 키 패턴의 단면 형상을 도시하고 있다.

Claims (9)

  1. 크롬으로 이루어진 얼라인 키에 마스크를 얼라인 하여 레드 칼라 패턴이 형성되고, 그린 및 블루 칼라 레지스트의 패턴닝을 위해 레드 및 그린 칼라 레지스트로 이루어진 각각의 얼라인 키가 형성되고, 상기 얼라인 키 상의 그린 및 블루 칼라 레지스트와 상기 그린 및 블루 칼라 레지스트 상의 각각의 산화방지막의 경계면에서 레이저 빔에 의한 회절광이 유발될 수 있는 소정의 경사면이 구비된 것을 특징으로 하는 액정 표시용 칼라 필터.
  2. 제1항에 있어서, 상기 크롬으로 이루어진 얼라인 키와 포토리소그래피 기술을 이용하여 레드 칼라 패턴이 형성될때 그린 칼라 얼라인 키 위치에 레드 칼라 레지스트로 이루어진 얼라인 키가 동시에 형성되는 것을 특징으로 하는 액정 표시용 칼라 필터.
  3. 제2항에 있어서, 상기 레드 칼라 레지스트로 이루어진 얼라인 키와 프토리소그래피 기술을 이용하여 그린 칼라 패턴이 형성될때 블루 칼라 얼라인 키 위치에 그린 칼라 레지스트로 이루어진 얼라인 동시에 형성되는 것을 특징으로 하는 액정 표시용 칼라 필터.
  4. 칼라 패턴을 형성하기 위해 칼라 레지스트를 이용한 마스크의 자동 얼라인 키 패턴을 형성하는 방법에 있어서, 기판 상에 크롬층을 형성하고 사진 식각 공정으로 제1얼라인 키 패턴과 차광막을 형성하는 공정, 레드 칼라 레지스트와 산화방지막을 순차로 적층 형성하는 공정, 레드 칼라 패턴과 그린 칼라 레지스트의 얼라인 키 위치의 차광막 상에 제2얼라인 키 패턴을 동시에 형성시키는 공정, 그린 칼라 레지스트와 산화방지막을 순차로 적층 형성하는 공정, 그린 칼라 패턴과 블루 칼라 레지스트의 얼라인 키 위치의 레드 칼라패턴 상에 제3얼라인 키 패턴을 동시에 형성시키는 공정, 블루 칼라 레지스트와 산화방지막을 순차로 적층 형성하는 공정 및 블루칼라 패턴을 형성시키는 공정을 구비하여 이루어 지는 것을 특징으로 하는 액정 표시용 칼라 필터 제조 방법.
  5. 제4항에 있어서, 상기 제1얼라인 키에 단 파장 레이저 빔을 조사하고 반사광을 검출하여 상기 얼라인 키에 마스크를 얼라인하는 것을 특징으로 하는 액정 표시용 칼라 필터 제조 방법.
  6. 제4항에 있어서, 상기 제2얼라인 키 및 제3얼라인 키에 단파장 레이저 빔을 조사하고 얼라인 키 패턴 단자로 인한 상부 그린 및 블루 칼라 레지스트의 경사 단차를 이용하여 회절광을 검출하고 상기 얼라인 키에 마스크를 각각 얼라인하여 그린 칼라 및 블루 칼라 패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 액정 표시용 칼라 필터 제조 방법.
  7. 제4항에 있어서, 상기 제1얼라인 키는 크롬으로 구성되어 있는 것을 특징으로 한 액정 표시용 칼라 필터 제조 방법.
  8. 제4항에 있어서, 상기 제2얼라인 키는 레드 칼라 레지스트로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 액정 표시용 칼라 필터 제조 방법.
  9. 제4항에 있어서, 상기 제3얼라인 키는 그린 칼라 레지스트로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 액정 표시용 칼라 필터 제조 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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