KR950033595A - 칼라필터 및 액정표시장치의 제조방법 - Google Patents

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다메유끼 스즈끼
아끼라 구보
요시가쯔 오까다
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미야사끼 료헤이
신또 도료 가부시끼가이샤
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Abstract

본 발명은, (a)투명기판상에 투명도전층을 형성시키고, (b)상기 투명도전층에 차광성 재료를 함유하는 포지티브형 포토레지스트 조성물을 도포하여 차광성 포토레지스트층을 형성시키고, (c)상기 포토레지스트층을, 소정 패턴을 갖는 포토마스크를 개재하여 노광한 후, 현상하여 회로상태로 형성시키고, (d)상기 회로상태의 포토레지스트층의 간극에 노출된 투명도전 층을 에칭제거하여, 투명도전층을 하층으로 하고 상기 포토레지스트층이 이의 상층을 구성하는, 회로상태의 적층이 형성된 기판을 얻고, (e)상기 기판을, 소정 패턴을 갖는 포토마스크를 개재하여 노광한 후, 현상하여 적층의 상층을 구성하는 상기 포토레지스트층을 세편상으로 형성하고, 필요에 따라, 이렇게 형성된 세편상의 상기 포토레지스트층을 가열처리 및/또는 광조사처리하고, (f)상기 기판상에 차광성 재료를 함유하는 광경화성 수지조성물을 도표하여 차광성 수지층을 형성시키고, (g)상기 기판의 뒷면에서 노광, 현상하여 상기 차광성 수지층의 미노광 부분을 제거하고, (h)상기 (g)공정에 있어서의 차광성 수지층의 미노광 부분의 제거와 함께, 또는 이의 제거후에, 상기 (e)공정에서 세편상으로 형성시킨 포토레지스트층을 제거하여 투명도전층의 표면을 노출시키고, (i)열 또는 광경화성 수지재료를 사용하는 전착에 의해 노출된 세편상의 투명도전층상에 착색층을 형성시키는 것을 특징으로 하는, 세편상의 착색층을 가지며, 이의 간극에 차광성 도포막을 갖는 칼라필터의 제조하는 방법과 이 방법으로 칼라필터를 사용하여 액정표시장치를 제조하는 방법을 제공한다.
본 발명의 방법에 의해 얻어지는 칼라필터는 착색이 선명하여, 광학특성이 우수하여, 이것을 사용하여 고화질의 액정표시장치를 제조할 수 있다.

Description

칼라필터 및 액정표시장치의 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 각 공정에서 형성되는 형상을 갖는 기판의 단면모식도이고, 제2도는 본 발명의 각 공정에서 형성되는 형상을 갖는 기판의 평면모식도이다.

Claims (4)

  1. (a)투명기판상에 투명도전층을 형성시키고, (b)상기 투명도전층상에 차광성 재료를 함유하는 포지티브형 포토레지스트 조성물을 도포하여 차광성 포토레지스트층을 형성시키고, (c)상기 포토레지스트층을, 소정 패턴을 갖는 포토마스크를 개재하여 노광한 후, 현상하여 회로상태로 형성시키고, (d)상기 회로상태의 포토레지스트층의 간극에 노출된 투명도전층을 에칭제거하여,투명도전층을 하층으로 하고 상기 포토레지스트층이 이의 상층을 구성하는, 회로상태의 적층이 형성된 기판을 얻고, (e)상기 기판을, 소정 패턴을 갖는 포토마스크를 개재하여 노광한 후, 현상하여 적층의 상층을 구성하는 상기포토레지스트층을 세편상으로 형성하고, 필요에 따라, 이렇게 형성된 세편상의 상기 포토레지스트층을 가열처리 및/또는 광조사처리하고, (f)상기 기판상에 차광성 재료를 함유하는 광경화성 수지조성물을 도포하여 차광성 수지층을 형성시키고, (g)상기 기판의 뒷면에서 노광, 현상하여 상기 차광성 수지층의 미노광 부분을 제거하고, (h) 상기 (g)공정에 있어서의 차광성 수지층의 미노광 부분제거와 함께, 또는 이의 제거후에, 상기 (e)공정에서 세편상으로 형성시킨 포토레지스트층을 제거하여 투명도전층의 표면을 노출시키고, (i)열 또는 광경화성 수지재료를 사용하는 전착에 의해 노출된 세편상의 투명도전층상에 착색층을 형성시키는 것을 특징으로 하는, 세편상의 착색층을 가지며, 이의 간극에 차광성 도포막을 갖는 칼라필터의 제조방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 (e)공정에서 세편상의 상기 포토레지스트층을 가열처리 및/또는 광조사처리하는 것을 특징으로 하는 칼라필터의 제조방법.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 (i)공정에서 광경화성 수지재료를 사용하여 전착을 행하는 것을 특징으로 하는 칼라필터의 제조방법.
  4. 제1항 내지 제3항중의 어느 한 항에 따른 방법으로 제조된 칼라필터를 사용하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950003831A 1994-03-07 1995-02-27 칼라필터 및 액정표시장치의 제조방법 KR950033595A (ko)

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JP6462494 1994-03-07
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