KR930006691B1 - 아르곤 가스정제용 초정제장치 및 정제방법 - Google Patents

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KR930006691B1 KR1019860005145A KR860005145A KR930006691B1 KR 930006691 B1 KR930006691 B1 KR 930006691B1 KR 1019860005145 A KR1019860005145 A KR 1019860005145A KR 860005145 A KR860005145 A KR 860005145A KR 930006691 B1 KR930006691 B1 KR 930006691B1
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수-찌 말코
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다이요 산소 가부시끼가이샤
가와구찌겐베에
사애스 게텔스 에스. 피. 에이.
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Abstract

내용 없음.

Description

아르곤 가스정제용 초정제장치 및 정제방법
제1도는 본 발명에서 사용되는 3원 게터 금속의 조성을 나타내는 조성표.
제2도는 내지 제10도는 본 발명의 다양한 실시예들을 보여주는 본 발명 장치를 수직으로 절단한 단면도.
제11도는 본 발명의 장치에서 아르곤 가스내의 수분 함량과 게터금속의 수명간의 관계를 나타내는 도표.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 인입구 2 : 배기구
3 : 외부동체 4 : 게터층
5 : 게터통 6 : 전열대
7 : 다공판 8 : 도선
9 : 아르곤가스 10 : 단자판
11 : 초정제 장치 12 : 단열재
13 : 지지판 14 : 상부 덮개
15 : 하부 완충부 16 : 상부완충부
17,18 : 온도계 19,20 : 피복부
21 : 전열기 22 : 열전기
23 : 외주벽 24 : 내주벽
25 : 외측 공간부 25' : 내측 공간부
26 : 다공질 내측벽 26' : 다공질 외측벽
27 : 플랜지 28 : 열교환기
29 : 이송관 30 : 가열 매개물의 인입구
31 : 가열 매개물의 배기구 33 : 가열 매개물의 인입구
34 : 가열매개물의 배기구 35 : 기밀통
36 : 세라믹 로드(Ceramic rod)
37, 38 : 도선 a,b,c,d,e,f,g,h,i : 도표상의 점
공기중에 약 1% 포함되어 있는 아르곤은 저온 분류(分溜)에 의하여 질소 및 산소와 분리되어, 액화 아르곤 또는 기체 아르곤으로 실린더내에 충전되어 시판되고 있다.
고급 불활성 가스인 아르곤은 금속의 열 처리가공, 반도체 기초재의 제조등에 있어서의 대기 가스로서 널리 사용되고 있으나, 초정밀 미세가공에 사용되는 경우에는, 가공 공정에 사용하기 직전에 더 한층 정제하여 불순물을 제거해서 고순도를 확보할 것히 요구되고 있다. 특허 공업공정에서 대량 사용하는 경우에는, 액화 아르곤믈 기화하여 배관을 통해서 가스를 방출하지만 기화한 아르곤 중에 포함된 질소, 산소, 수소, 이산화탄소, 일산화탄소, 물, 메탄 및 탄화수소류 등의 불순물을 여하히 신속 확실하게 제거할 수 있는가가 문제가 된다.
이러한 불순물을 제거하기 위하여, 아르곤 가스를 활성탄층이나, 활성 알루미나층 또는 비석 등의 분자체(Molecular sieve)능을 통과시킨 물, 이산화탄소, 탄화수소를 제거하는 단계와, 상기 가스를 섭씨 150도 내지 300도의 온도대에서 예열한 동(銅) 또는 니켈의 게터금속과 접촉시키는 단계의 두 단계를 함께 실시하거나, 이러한 두 단계읜 공정 후에 5-A형의 분자체에 5 내지 25기압의 압력으로 압축하여 접촉시키는 세번쩨 단계가 부가되어 잔류 질소, 산소, 수소 및 일산화 탄소를 제거하여 아르곤을 더윽 정제하는 방법이 제안되어 있고, 이를 발표한 알본 특허출원 공개 제107910/1984호 명세서에서는 다음 표에 열거된 불순물을 함유하는 아르곤 가스를,
Figure kpo00001
상기 상법으로 처리함으로써, 다음 표와 같은 조성으로 까지 정제되었다는 것을 명시하고 있다.
Figure kpo00002
상기 일본 특허출원 공개 제107910/1984호에 공개되어 있는 아르곤 가스정제 방법은 고순도의 아르곤 가스를 얻기 위한 우수한 방법이지만, 최근의 반도체 공업의 진보에 따라서 장래의 고 집적회로의 제조에 현재보다도 더욱더 정밀한 미세 가공이 요구되며, 따라서 더욱 고순도의 아르곤이 요구될 것이 예상되며, 이미 시험용의 고순도 아르곤 가스에 대해서는 실제로 강한 요청이 있다. 이 요청에 따라, 선행기술상의 불순물의 준위(10-6)에서 두 자리수만큼 더 저하(10-8)시키는 것이, 본 발명이 해결하고저 하는 기술적 과제이다.
상술한 바와 같이, 아르곤 가스를 정제하여 종래보다도 불순물 준위를 (10-6)정도에서 두 자리수 더 낮추는 방법에 대해서 철저하게 연구한 결과, 상기 동(銅) 또는 니켈등의 게터금속보다도 더욱 성능이 좋은 게터를 발견하고, 이 게터를 사용하여 아르곤 가스를 정제하는데 있어서 가장 효과적으로 실시할 수 있는 장치 및 방법을 발견하였다. 이리하여 본 발명이 완성되게 되었다.
본 발명의 장치는 외부동체에 정제할 아르곤 가스의 인입구와 정제된 아르곤 가스의 배기구를 설치하며, 상기 두 개구(開口)들 사이의 중간에 지르코늄-바나듐-철로 된 게터 합금으로 채운 하나 이상희 게터층을 배치하고. 상기 인입구로 들어간 아르곤 가스가 상기 게터층흘 통과한 후 상기 배기구로 나오도록 아르곤 가스의 유통로를 형성하며, 또 게터 합금의 작용 온도를 유지하기 위하여 외부동체내에 전열기를 두고, 상기 지르코늄-바나듐-철로 된 게터 합금의 중량 조성비는 3성분 조성표에 도시한 경우에, 다음의 각 비율의 점을 연결한 다각형(제1도)으로 표시되는 범위내에 있도록 한 것을 특징으로 하는 아르곤 가스의 초정제 장치이다.
가) 75% 지르로늄-20% 바나듐-5% 철(점 a),
나) 45% 지르코늄-20% 바나듐-35% 철(점 b)와
다) 45% 지르코늄-5o% 바나듐-5% 철(점 c)
본 발명의 방법은 정제할 아르곤 가스를 적절히 탈수 처리하여 함유 수분 농도를 1ppm 이하로 저하시킨 후, 그 저수분 아르곤 가스를 섭겨 20도 내지 400도의 은도로 유지한, 아래와 같은 조성외 지르코늄-바나듐-철로 된 게터 합금으로 충전한 게터 합금층을 통과시켜 아르곤 가스 중에 함유된 불순물을 흡착 제거함을 특징으로 하는 아르곤 가스의 초정제 방법이다.
지르코늄, 바나듐 및 철 등의 게터 합금의 조성비는 조성표에 도시하는 경우에, 다음의 각 비율의 점을 연결한 다각형(제1도)으로 표시되는 범위내의 것이 된다.
가) 75% 지르코늄-20% 바나듐-5% 철(점 a),
나) 45% 지르코늄-20% 바나듐-35% 철(점 b)화
다) 45% 지르코늄-50% 바나듐-5% 철(점 c)
본 발명에서 사용되는 지르코늄, 바나듐 및 철의 3성분조성 게터합금은 미국 특허 제4,312,669호에 기재 되어 있는 것일 수 있다.
게터금속이 특히 우수한 성능을 갖게되는 중량비 조성은 3성분의 중량비가 3성분 조성표(제1도)에 도시되는 경우, 다음의 각 비율의 점들을 연결한 다각형으로 표시되는 범위내에 드는 것이다.
가) 75% 지르코늄-20% 바나듐-5% 철(점 a),
나) 45% 지르코늄-20% 바나듐-35% 철(점 b)와
다) 45% 지르코늄-50% 바나듬-5% 철(점 c)
이러란 3성분 게터합금은 섭씨 20도 내지 400도, 양호하게는 섭씨 20도 내지 350도의 온도대내에서 수소를 발생하는 일 없이 물이나 수중기를 정량적으로 흡착하는 특성을 가지며, 또 보다 넓은 온도대에서 수소, 일산화탄소, 이산화탄소 및 기타 가스들을 흡착한다. 이러한 특성들이 본 발명의 아르곤 가스 초정제 장치에 유용하게 이릉될 수 있음을 발견하였다.
본 발명의 초 정제장치에 사용되는 3성분 게터 합금의 중량 조성비는 상기 특정 범위내에서 임의로 변경할 수 있으나, 게터 금속의 특성을 고려해서 가장 적당한 조성비를 선택, 사용하는 것이 좋다.
3성분 합금 중의 지르코늄 함량은 너무 많아도 안되고 너무 적어도 안된다. 그렇지 않으먼 합금이 수분을 흡착하는 사이에 수소를 발생하게 되고 또한 연해져서 분말로 변형시키는 것이 어렵게 될 것이다.
바나듐 함량도 너무 적어지면 안된다. 왜냐하면, 합금이 만족스러운 가스 흡착성능을 충분히 발휘할 수 없게 되기 때문이다. 철의 중량에 대한 바나듐의 중량비는 75% 내지 85% 범위인 겻이 바람직하다.
본 발명의 초 정제장치용 게터의 3성분 합금의 최적 조성비는 3성분 조성비를 3성분 조성표에 도시한 경우 다음 각 비율의 점들을 연결한 다각형(제1도)으로 표시되는 범위내에 드는 것일 수 있다.
라) 70% 지르코늄-25% 바나듐-5% 철(점 d),
마) 70% 지르코늄-24% 바나듐-6% 철(점 e),
바) 66% 지르코늄-24% 바나듐-10% 철(점 f),
사) 47% 지르코늄-43% 바나듐-10% 철(점 g),
아) 47% 지르로늄-45% 바나듐-8% 철(점 h)와
자) 50% 지르코늄-45% 바나듐-5% 철(점 i)
이러한 합금의 제조방법은 상술한 미국 특허명세서 제4,312,669호에 기재되어 있다. 이태리, 미라노의 SAES Getters S.P.A. 사가 제조 판매하는 제품을 사용하는 것도 바람직하다.
게터 합금으로서 금속간 화합물을 사응하는 것이 바람직하지만, 금속간 화합물은 미분화되기 결고 제조상 취급이 용이하며, 표면적이 크게 됨으로 활성도 커진다.
3성분 합금 게터는 정제하여야 할 아르곤 가스의 인입구와 정제된 가스의 배기구 사이를 연결하는 가스 유통로의 중간에 제공된 하나 이상의 게터층에 채워진다. 채워진 게터층 또는 복수의 게터층들은 게터를 그 작동 은도에 유지하기 위하여 외부동체에 부속해서 설치된 전열기와 더불어 본 발명의 아르곤 가스 초정제 장치를 구성한다. 정제하려는 아르곤 가스는 이 초정제 장치를 통하여 불순물을 게터에 접촉시켜 흡착 제거 하게 된다.
게터층에 사용되는 게터의 형상으로서는, 분말상 보다는 소립체(小粒體)인 것이, 게터층 내에서 가스가 흐를 수 있는 충분한 빈틈을 제공하는 것이 용이함으로 유리하다. 또, 게터가 크기가 일정하지 않는 작은 덩어리인 것보다는 일정한 크기의 소립체인 것이 게터층중의 공간율(VOID)을 일정하게 하기 쉽고 장치의 설계를 용이하게 하며, 좋은 성능을 재현시키기에 용이하다. 따라서, 게터는 분말상 또는 작은 덩어리 상일지라도 무방하지만, 아르곤 가스의 초정제 장치를 공업적으로 설계 제작하는 경우 합금 분말을 압축 가공해서 만든 소립체의 게터를 사용하는 것이 양호하다.
본 발명의 장치에서, 게터의 흡착 반응 온도를 유지하기 위한 전열기가 설치되지만, 본 발명의 양호한 실시상태들과 관련하여 다음에 설명되는 바와 같이 여러가지 형태를 처할 수 있다. 가열 방법은 전기 가열, 이중 벽구조내를 순환하는 가열 매개물의 사용에 의한 간접가열 등이 있다. 또, 가열 위치도 가스가 게터층 내에 들어가기 전의 예열부, 게터충전부의 주위 또는 내부 등에서 직절티 선정할 수 있다. 게터의 흡착 반응이 원활하게 진행되고 또 될 수 있는한 균일한 온도 분포가 되는 가열이 행해지는 것이 바람직하므로 가열 방법이나 가열 위치는 목적을 잘 달성할 수 있도록 필요에 따라서 여러가지로 조합할 수 있다.
본 발명의 장치에서의 게터층은 외부동체내에 설치, 게터를 직접 채우도록 구조할 수 있으나, 게터층은 게터 물질로 채워진 하나 이상의 게터통(CARTRIDGE)으로 구성되고, 게터통이 용이하게 교환될 수 있도록 착탈 가능하게 외부동체내에 맞추어지게 된것도 양호한 실시양태이다. 본 발명에 의한 게터재는 화학변화를 수반하는 화학 흡착에 의해서 불순물을 함유한 아르곤 가스로부터 불순물 가스를 흡착 제거한다.
그러므로, 게터 성분들은 화학양론적으로 소모되어 일정한 수명을 가지며, 일정기간 사용후 게터를 새것으로 바꾸지 않으며 아르곤 가스를 초정제하는 목적을 달성할 없게 된다. 그러므로 초정제 장치를 게터로 채워진 외부동체와 같이 단일체로 칠급하여, 적당한 때에 장치를 전체적으로 바꿀 수 있다. 그 대신으로 게터통내에 게터를 채울 수도 있고 적시에 게터통을 외부도체로부터 떼어내어 교환할 수도 있고, 특히 용량이 다른 장치의 경우에는 게터통을 사용하는 것이 더 실용적이다.
게터통으로는 가스의 흐름을 용이하게 하도록 다공질의 금속용기를 사용하는것이 바람직하다. 본 발명의 초정제 장치는 포함된 불순물 각 성분을 각각 (0.01ppm 이하 정도로 정제하는 것을 목적으로 하고 있으므로, 정제된 가스가 접촉하게 되는 장치의 내벽부분은, 가스 흉착이 최소화되도록 표면이 치밀하고 매끄럽게 연마된 금속으로 만들며 부식에 의해서 분말이 생기는 일이 없는 것이 좋다. 그러한 금속 재료의 예로는 스테인레스 강과, 하스텔로이(Hastelloy), 인코로이 및 (Incoloy) 모넬 금속(Monel metal)등의 합금 등을 들 수 있으나, 이것들에 한정되는 것은 아니며 상기의 조건에 적합한 금속 재료이면 그밖의 것도 적절히 선택, 사용할 수 있다. 또, 상기의 금속재료는 금속 재료로부터 방출되는 가스의 양을 줄이기 위해 사용하기 전에 "열기 건조(Baking)" 또는 가열 처리할 수 있다.
상술한 바와 같이, 정제된 아르곤 가스와 접촉하게 되는 장치의 내주벽의 재료는 가스흡착을 최소화하기 위하여 치밀하고 매끄럽게 연마된 표면을 갖는 것이 좋다. 연마된 표멈의 평활도(平活度)로 수치적으로 표시하며, 아르곤 가스와 접촉하는 내주벽 표면의 조성도(粗性度)는 내주벽면의 평균 높이(Ra)를 중심선으로 해서[일본 공업규격(JIS) 0601-1970] 0.5um 이하, 양호하게는 0-25um 이하인 것이 바람직하다. 이 수치는 임계치는 아니지만, 신뢰 할만한 한계 수치로써 권장된다.
연마된 내주벽의 재료는 게터통으로부터 흘러 나오는 가스가 접촉하게 되는 부분에 사용되는 것이 유익하지만, 게터통을 통과하는 가스가 접촉하는 부분에 사용할 수도 있는 것은 물론이다. 대개의 경우에 연마된 재료를 게터통 통과 후에 가스가 접촉하게 되는 부분에만 사용하는 것은 오히려 불편하다. 표면을 연마하고 열기건조함으로써, 새 장치 일지라도 순도가 높은 가스를 일정비율로 얻기까지의 시간을 대폭 단축시킬 수 있다.
그 이전에, 본 발명의 장치에 있어서 기술적 문제를 해결하기 위한 수단은 상술한 바와 같이 여러가지로 그 실시 상태를 바꿀 수 있다. 그러므로 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것이 아니라 본 발명의 취지와 범위를 이탈하지 않는 한도에서 각종의 변형이 가능하다.
본 발명의 방법에서의 탈수 처리는 다음과 같은 근거로 이루어진다. 불순 아르곤 가스 중에 함유된 불순물 중 수분의 양은 다른 불순물의 함유 수준보다 압도적으로 높다.
따라서 수분의 제거에 중점을 두었을 때 게터의 수명 즉, 아르곤 가스 초정제 장치의 수명이 현저히 연장될 것이며, 환언하면 정제 아르곤 가스의 양이 비약적으로 증대될 것이다. 본 발명의 실시에 지장을 주지 않는 한 공지된 탈수 기술의 어느 것을 사용해도 좋다. 예를들면, 합성 비석의 분자체에 의한 흡착, 알루미나겔에 의한 흡착, 오산화 인에 의한 흡착, 섭씨-160도 이하의 저온에서의 동결, 섭씨-140도 이하의 저온에서의 실리카겔, 활성탄 또는 기타 흡착제에 의한 흡착 등에 의해서 탈수 처리를 할 수 있다. 제11도는 정제하려는 가스내의 수분 함량과 게터의 수명과의 관계를 도시한 것이다. 가스내의 수분 함량이 클 때에는 초정제 전에 탈수하여, 가급적이면 수분량을 1ppm 이하로 하는 것이 양호하다.
함유 수분의 양을 1ppm 이하로 조절하기 위하여, 본 장치는 다음과 같이 작동되도록 설계한다. 수분의 양을 연속적으로 측정할 수 있는 수분계를 사용하여, 탈수 처리된 아르곤 가스 중의 수분의 준위를 자동적으로 감시하고, 탈수처리 후의 아르곤 중의 수분의 양이 점차 상승하여 1ppm에 접근하면, 1ppm에 달하기 전에 탈수 처리 장치를 스위치 온하여 아르곤 가스가 게터층내에 들어가기전에 아르곤 가스 중의 수분량이 1ppm 이하에서 유지되도록 한다. 수분의 양을 연속, 자동적으로 검사하기에 적합한 분석 장치로서는 예를 들면, 서독의 Endressund Hauser Gmbh 사의 수분계, "ENDRESS-HAUSER HYGROLOG, WMY 170" 및 "-WMY370"(상품명), 미국 Panametrics Inc. 사의 "PANAMETRICS Hygrometer, Model 2100" V "-Model 700", 및 "-System I"(상품명), 및 다른 미국회사 E. I. Du Pont de Nemours ＆ Co. 의 "Du Pont 510 Moisture Analyzer"(상품명)등이 있으며, 이것과 동등 또는 그 이상의 성능을 갖는 다른 분석기기를 사용할 수 있다. 이러한 수분계는 정제 후의 아르곤 가스중의 수분 함유량을 측정하고 검사하는데 사용될 수 있으며, 그 분석치는 게터의 흡착 능력 저하를 판단하는 자료로써, 초정제 장치를 교환 하거나 게터가 채워진 게터통의 교체 시기를 결정하는데 이용될 수 있다.
아르곤 가스중에 함유되는 수분 이외의 불순물의 검출에는 Nichiden-ANELVA 주식회사(일본 주재)제의 극소량 가스 분석계(고 감도 연속 분석용 mass-filter형 질량 분석계 TE-36OB)를 사용할 수 있으며, 그 분석치는 게터의 성능 저하를 판정하는 자료로서, 초정제 장치의 교환 또는 게터가 채워진 게터통의 교체시기를 결정하는데 이용된다.
이러한 분석치로써 불순물을 성분별로 상한(上限) 준위를 미리 정해두고 이 준위를 넘을 때에는 자동적으로 장치를 교환하도록 정제 시스템을 만들어 놓는 것이 좋고, 이러한 장치에서 최후에 배기되는 아르곤 가스는 잘 정제된 것일 수 있다.
탈수 처리한 아르곤 가스를 지르코늄-바나듐-철의 합급으로 된 게터층에 통과시켜 불순물을 흡착 제거 하기 위해서, 반응온도가 섭씨 20도 내지 400도의 온도대로 유지된다. 섭씨 20도 이하의 온도에서는 불순물이 게터층 표면에 흡착되지만, 게터층 내부로 확산되지 안고, 게터층의 기능이 충분히 발휘되지 않고 표면만의 포화 상태로 실제상 흡착이 정지되는 결점이 있다. 섭씨 20도 내지 400도의 온도대에서는 게터의 흡착 능력이 충분히 발휘되고 불순물은 게터층 내부에 까지 확산됨으로 게터의 겉보기 수명이 연장된다.
한편, 섭씨 400도 이상의 온도대에서는, 수소가 다른 불순물과 비교해서 평형 흡착압이 높으므로 일단 흡착된 수소가 탈착 될 수 있으며, 반응 온도를 섭씨 400도 이상으로 설정하는 것은 바람직하지 않다.
상기의 온도범위 섭씨 20도 내지 400도 중에서 가장 양호한 것은 섭씨 220도 내지 380도의 온도대이다. 이 온도대에서는 흡착율도 논고 불순물가스가 게터층 내부로의 확산이 충분히 이루어지는 반면 수소의 탈착 가능성도 없이 가장 권장되는 반응 온도대이다.
본 발명의 아르곤 가스 초정제 장치는 재래식으로 정제된 아르곤 가스를 더 한층 높은 순도로 초정제하는 데 적합하고, 아르곤 가스를 본 장치에 통과시켜 정제함으로써 그 중에 함유된 산소, 일산화탄소, 이산화탄소, 질소, 수소, 탄화수소, 물 등의 불순물 준위를 각각 0.01ppm 이하로 저하시킬 수 있다. 그러므로 종래의 정제 장치로는 성취할 수 없었던 아르곤 가스를 고순도로 정제하는 초정제장치를 제작하게 된것이다.
또, 본 발명의 방법에 의해서 불순물이 섞인 아르곤 가스내의 수분량을 적당히 탈수 처리하여 1ppm 이하로 내린 후, 탈수 처리된 가스를 본 발명의 초정제 장치로 정제함으로써, 본 발명의 아르곤 가스 초정제 장치에 사용된 게터의 수명이 현저히 증대하고, 아르곤 가스의 정제량이 상당히 증가될 수 있다. 다음에는 본 발명을 그 실시상태들과 관련하여 하기에 더 상세하게 설명한다.
본 발명의 아르곤 가스의 초정제장치에 대한 실시는 제2도 내지 제10도에 예시되어 있다.
제2도에는 아르곤 가스의 초정제장치가 단면으로 도시되어 있는데, 그 아르곤 가스의 초정제장치는 아르곤 가스 인입구(1)가 외부동체(3)의 상단부 부근에 개설되어 있고 아르곤 가스 배기구(2)는 외부동체(3)의 하단부 부근에 개설되어 있으며, 스테인레스 강관(일본 공업규격 JIS G3448에 따른 SUS 304TP)으로 만들어져 있는 외부동체(3)로 구성하여 있으며, 그 외부동체(3)는 모든 바깥둘레가 단열재(12)호 피복되어 있고, 상부 덮개(14)는 외부동체(3)의 상단부에 끼워맞춤이 되어 있는데, 외부동체(3)의 내측인 공간부(25)내에는 전열기(6)가 상부덮개(14)를 관통해서 인입되어 있고, 전열기(6)의 하부인 상부 완충부(16)와 하부완충부(15) 사이에 형성되어 있는 공간부에는 게터층(4)이 채워져 있으며, 외부동체f3)의 내주벽(24)과 외주벽(23)에 안전하게 체결되고 다공판(7) 뿐만 아니라 게터층(4)을 차례로 지지하고 있는 지지판(13)에 의하여 유지되어 있는 다공판(7)으로 구성하여 있다.
사용된 게터는 SAES Getters S.P.A 사에 의해서 제조 판매하고 있는 24-25% 중량비의 바나듐과 5-6% 중량비의 철과 63-73%의 지르코늄을 합금한 3원 합금 게터로서, 3mm의 직경과 4mm의 높이로 이루어진 주상소립체(柱狀小粒體)이다.
하부 완충부(15)와 상부 완충부(16)는 직경이 4mm의 작은 구형체(球形體) 알루미나가 약 5Cm의 높이로 채워진 층으로 구성되어 있으며, 이들 상하완충부(16)(15)는 게터층(4)을 거쳐서 흐르는 아르곤 가스의 어떠한 고르지 못한 흐름을 수정하게 되고, 게터층(4)을 이루고 있는 미세한 입자들이 흐트러지는 것을 방지할 수 있으며, 그리고 온도의 배온(配溫)을 균일화한다.
설명된 실시상태에서는 상하 완충부(16)(15)를 형성하는데 있어서, 작은 입자로 된 알루미나를 사용하고 있지만, 소형의 스테인레스 강구(鋼球)나 스테인레스 강철체와 같은 미세격자(微細格子)를 적층하여 대신 사용할 수도 있다. 또한, 상하 완충부(16)(15)는 반드시 사용하지는 않아도 되고, 상하 완충부(16)(15)가 없는 실시예는 다음에 설명하기로 한다.
상하 완중부(16)(15)의 윗부분에는 각기 온도계(18)(17)를 수용하고 있는 피복부(29)(19)가 깊숙히 매립되어 있다. 크로멜(Chromel)이나 알루멜(Alumel)로 이루어진 열전대(熱電對)(22)가 온도계(17)(18)로 사용된다.
정제하려는 아르곤 가스(9)는 전열기(6)에 의해 가열되어 인입구(1)에서 용기내로 도입되어서, 상부완충부(16)를 통과한 그곳에서부터 일정한 흐름으로 게터층(4)을 통과하여 흡착으로 인하여 가스에 포함되어 있는 불순물이 없어진다. 이와 같이 정제된 가스는 다공판(7)을 통과하여 배기구(2)에서 용기 밖으로 배기된다.
제3도 내지 제10도에서는 본 발명의 또 다른 실시예를 도시하였다. 이들 각 도면에서 동일한 부분들은 동일한 부호를 부여하였으며, 그 설명에 대해서도 생략하거나 간략하게 하였다.
제3도에는 외부동체(3)의 바깥둘레에 전열선(21)이 감겨져 있는 것과 열전대(22)가 전열기(21)의 온도를 측정하기 위하여 설치되어 있는 것을 제외하고는 제2도의 실시예와 같은 동일한 구조의 초정제장치가 도시되어 있다. 이러한 부분적인 변형은 게터층(4)에 대한 온도조절을 용이하게 한다.
제2도와 제3도의 실시예에서는 게터층(4)이 외부동체(3)내에 직접적으로 채워지지만, 게터층(4)은 분리되어 단독으로 제공될 수도 있다. 제4도에는 게터층(4)과 상하완충부(16)(15)가 그 상하완충부(16)(15)의 상단부와 하단부에 설치되어 있는 다공판(7)과 같이 외부동체(3)의 원통 내측에 수용된 게터통(5)의 장치가 도시되어 있다. 일정기간 사용한 다음에는 상부덮개(14)를 제거해서 게터통(5)을 꺼내어서 새로운 게터통으로 교체할 수 있다. 이렁게 함으로써 제2도 및 제3도의 장치 보다 더 능률적인 작업을 가능케 한다.
제5도에는 초정제 장치(11)의 또 다른 실시예가 도시되어 있는데, 외부동체(3)가 내주벽(24), 외주벽(23)으로 이루어진 이중벽체의 구조로 되어 있다. 내주벽(24)과 외주벽(23)과의 사이에 형성되어 있는 공간부(25)에는 통로가 개설되어 있는데 그 통로를 거쳐서 스팀과 같은 가열매개물이 가열매개물 인입구(30)로 들어가서 가열매개물 배기구(31)로 관류한다.
내주벽(24)에 의하여 형성된 게터통(5)의 외측공간부(25)에는 게터층(4)을 포함하는 게토통(5)이 수용되어 있으며, 전열기(6)의 전열선이 게터층(4)내에 매립되어 있다.
전열기(6)는 도선(8)들(한개만 도시되어 있다)과 단자판(10)을 통하여 도시되어 있지 아니한 외부의 전원과 접속되어 있다. 게터통(5)은 지지판(13)에 의하여 원통형 공간을 형성하면서 지지되는 다공질의 내외측벽(26)(26')을 형성하고 있다.
외부동체(3)의 내주벽(24)은 그 하단부에서 플랜지(27)가 부착된 저면판에 접촉이 되어 있으며, 저면판을 통하여 질소 가스인입구(1)의 인입관과 배기구(2)의 배기관이 길게 뻗어있다.
배기구(2)의 배기관은 게터통(5)을 지지하는 역할도 한다.
정제하려는 아르곤 가스(9)는 인입구(1)를 통하여 게터통의 외측공간부(25)로 급기가 되어서, 그곳에서 적절한 온도로 가열된 연후에 정제하기 위하여 다공질의 외측벽(26')을 거쳐서 게터층(4) 내측으로 인입되며, 정제된 가스는 게터층의 내측공간부(25') 내측으로 관류한 다음에 배기구(2)를 거쳐서 배기하게 된다.
제6도에는 초정제장치(11)에 대한 또 다른 실시예가 도시되어 있다. 외부동체(3)도 2중벽으로 구성하여 있으며, 그 2중벽 사이에 형성되어 있는 공간부에서 가열 매개물을 순환할 수 있도록 하기 위하여 인입구(30)에서는 가열매개물이 도입되고 배기구(31)에서는 배기가 됨으로써 온도 조절이 가능하다. 내주벽(24) 내측에는 다공질의 내외측벽(26)(26') 사이에 게터층(4)으로 채워져 있는 게터통(5)이 배치되어 있다.
게터통(5)의 양쪽 측면에는 도신(8)을 통하여 외부의 전원에 연결되어 있는 전열기(6)가 매설되어 있다. 불순물이 포함된 아르곤 가스(9)는 인입구(1)로 급기되어서 가열 매개물에 의하여 예열되고, 전열기(6)에 의하여 일정한 온도로 유지된 게터층(4)을 통과 함으로써 정제되며, 그 다음에 배기구(2)를 통하여 배기된다.
제7도에는 초정제장치(11)에 대한 또 다른 실시예가 도시되어 있다. 원통형의 외부형의 외부동체(3)는 상부와 하부의 판(도시되어 있지 않음)으로 게터통(5)을 지지한다. 게터통(5)은 도선(8)과 연결된 전열기(6)를 포함하고 게터층(4)은 상부와 하부의 다공판(7)이나 상부와 하부의 완충부(16)(15)사이에 헝성되어 있는 공간부 내에 채워지며, 전열기(6)는 게터층(4)래에 매립되어 있다. 제8도는 본 발명에 의한 또다른 초정제장치(11)를 도시한 것이다. 하나의 내측 원통부가 외부동체(3)의 내측에 제공되어 있는데, 그 외부동체(3)는 외주벽(23)과 내주벽(24)으로 형성되어 있으며 단열재(12)가 그 외주벽(23)과 내주벽(24)과의 사이에 형성되어 있는 공간부에 채워진다. 게터층(4)이 내측 원통부와 외부동체(3)와의 사이에 형성된 공간부에 채워져 있으며, 세라믹 로드(Ceramic rdo)(36)의 바깥둘레에 감겨져있는 전열기(6)는 2. 내측 원통부 중앙의 공간내에 끼워진다. 정제하려는 아르곤 가스(9)는 인입구(1)에서 게터통(5) 내로 들어가서 게터층(1)을 통과하게되고, 정제된 질소 가스(9)는 배기구(2)에서 게터통(5)밖으로 배기된다.
제8도는 또다른 실시예를 도시한 것으고 제4도에 도시된 초정제장치에 대한 부분적인 변형이며, 정제된 아르곤 가스(9)의 열을 회수하기 위한 장치라는 특징이 있다. 정제하려는 아르곤 가스(9)는 정제장치의 동체 하부에 설치되어 있는 열교환기(28)로 들어가서, 배기가스와 열교환을 하게되며, 그와 같이 예열된 가스는 단열재(12)로 바깥둘레가 환착되어 있는 이송관(29)을 거척서 상부의 인입구(1)를 통하여 게터층(4)내로 이동하게 된다. 정제된 가스는 열교환기(28)내에서 냉각된 다음에 배기구(2)에서 배기된다.
10도에는 다른 실시예가 도시되어 있다. 외부동체(3)는 2중벽체의 원통형으로 구성되어 있고, 가열매개물은 인입구(33)에서 원통형의 2중벽체들 사이에 형성된 공간부 내로 도입하게 되어서 배기구(34)에서 배기하게 된다. 외부동체(3)의 내측에는 기밀통(35)이 배치되어 있다. 기밀통(35)내에 형성되어 있는 공간부는 복수의 다공판(7)에 의하여 수평상으로 구획되어 있으며, 복수의 게터층(4)은 각각 상하로 이루어져있는 한쌍의 다공판(7)에 의하여 헝성된 공간부들 중에서 하나씩 걸려서 가득 채워져 있다. 게터층(4)에는 각 게터층(4)마다 전열기(6)가 매립되어 있으며, 도선(37)(38)을 통하여 급전하게 된다. 정제하러는 질소 가스(9)는 인입구(1)로 유입되어 정제된 다음에 배기구(2)로 배기하게 된다.
이제, 특정한 금속으로 조성된 게터합금을 사용한 본 발명의 실시예를 설명하기로 한다.
실시예들에서 가스 분석용으로 사용한 기구는 다음과 같다.
가스 분석기구 : 가스 크로마토 그래프-질량분석계, TE-360형 (Anelva Corp. 제조)
수분계 : 습도계, 700형(Panametric Co, 제조)
표면 조도계(表面粗度計) : Surfeorder, 55-3H형(Kosaka Laboratory Co.,Ltd. 제조)
[실시예 1]
중량비가 70%의 지르코늄과 5.4%의 철과 24-6%의 바나듐으로 조성되고 50㎛ 내지 250㎛ 크기의 입자로 되어 있는 증발되지 않는 분말 게터 합금을 제2도에 도시된 아르곤 가스용 초정제장치 내에 채워넣는다. 스테인레스 강관(상품지정번호, SUS 304)은 그 외경이 21.7mm이고, 내경은 17.5m이며, 그 길이는 350mm이다. 게터금속으로 채워져있는 강관의 길이는 알루미나 구체(球體)로 이루어진 상부와 하부의 완충부(16)(15)의 높이 각 5cm를 포함해서 200mm이다. 불순물이 포함된 아르곤가스(9)는 섭씨 25도의 온도와 6kg/cm2의 압력(게이지) 및 0.17ℓ/min.의 유속으로 초정제장치(11) 내측으로 도입된다. 아르곤 가스(9)는 섭씨 350도로 유지된 증발성이 없는 게터층(4)을 통콰해서 배기구(2)로 부터 4kg/cm2(게이지)의 압력으로 배기되는데, 불순물 준위는 질소가스가 관류하기 시작한지 40분 후에 여러가지 가스에 대해서 측정한다. 그 결과 표 1을 얻었다.
[표 1]
Figure kpo00003
배기구(2)에서 가스중의 불순물 준위는 1030시간 동안 일정하였다.
[실시예 2]
실시예 1외 게터 합금과 동일한 조성물과 동일한 크기의 입자를 지니고 있는 중발성이 없는 게터 합금을 압축해서 직경 3㎜와 높이 4㎜의 소립체(小粒體)를 만들었다. 그 소립체들은 제3도에 도시된 초정제장치(11) 내측에 가득 채워넣게 된다. 스테인레스 강관(SUS 304)은 외경이 89.1mm이고 내경은 83.1mm이며, 그 길이는 660mm로 되어 있다. 게터금속의 소림체로 채워진 강관의 길이는 185mm이고 상부와 하부의 완충부(알루미나 구체로된)(16)(15)은 두께는 각 5Cm의 층 높이로 형성되어 있다. 불술물이 포함된 아르곤 가스(9)는 섭씨 25도의 온도와 4kg/cm2(게이지)의 압력 및 12ℓ/min의 유속으로 초정계장치(11) 내측으로 도입되었다. 불순물이 포함된 아르곤 가스(9)는 나선형의 저항 전열기(6)에 의하여 섭씨350도의 온도로 유지된 증발성이 얼는 게터층(4)을 통과하여 배기구(2)로 부터 3.95kg/cm2(게이지)의 압력으로 배기되는데, 여러가지 가스에 대한 불순물의 준위는 아르곤 가스(9)가 흐르기 시작 한 지 40분 후에 측정 되었다. 그 결과로 얻어진 것은 표 2에 표시된 것과 같다.
[표 2]
Figure kpo00004
배기구(2)에서의 가스의 불순물 준위는 760시간 동안 일정하였다.
[실시예 3]
실시예 3은 물의 불순물 준위가 5ppm이 아닌 1ppm이라는 점을 제외하고는 상기 실시예 2와 동일하게 한 것이다.
그 결과로 표 3을 얻었다.
[표 3]
Figure kpo00005
* 메탄계 탄화수소의 불순물 준위는 유입구에서 휴입되는 가스에 탄화수소를 의도적으로 추가함으로써 측정된 것이다.
배기구(2)에서외 불순물 준위는 2670시간 동안 불변 이었다.
[실시예 4]
소립체는 실시예 2와 동일하게 제조하며, 제4도의 게더통(5)내에 넣었다. 게터통(5)의 외경은 80mm 내경은 78mm 길이는 244mm이었다. 소립체는 실시예 2와 동일량을 사용하였다. 게터통(5)은 (그 길이가 719mm인 것을 제외하고는)실시예 2와 동일한 원통 내에 넣었다. 불순한 아르곤 가스는 실시예 2와 동일한 유입구에서의 압력, 온도, 유속으로 초정제 장치(11)내를 관류하게 된다. 그리고 게터통(5)은 섭씨 350도로 유지되었다. 배기구외 가스 압력과 가스의 조성은.아르곤 가스가 관류하기 시작한 지 40분 만에 실시예 2에서와 동일해졌다. 그 결과 또 다시 배기구 가스의 불순물 준위는 930시간 동안 불변하였다.
[실시예 5]
이 실시예에서는 원통체의 안쪽둘레에 대한 조성도(粗性度)는 Ra=0.5㎛(표준 Ra=2.5㎛)이며, 스테인레스 강관제의 배기구(2)의 배관은 9.5mm의 외경과 7.5mm의 내경 및 안쪽 둘레는 RA=0.2㎛의 조성도로 되어 있는 것을 재외하고는 모든점에서 실시예 2의 절차를 따른다. 표 4에 나타난 결과는 아르곤 가스가 흐르기 시작한 지 40분 후에 얻어진 것이다.
[표 4]
Figure kpo00006
배기구(2)에서의 질소 가스에 대한 불순물의 준위는 760시간 동안 불변하였다.
[실시예 6]
본 실시예는 정제하려는 아르곤 가스를 외경 89.1mm, 내경 83.1mm, 길이 830mm에 분자체 5-A형을 사용하여 500mm의 층까지 채운 스테인레스강관(SUS 304)으로 된 원통을 구성하는 건조층을 통해서 처음으로 관류시킴으로써 아르곤 가스 중의 수증기 함략홀 0.6ppm이하로 감소시키는 점을 제외하고는 실시예 5와 동일하다. 건조층으로 부터 배기되는 배기구(2)압력, 즉 초정제장치(7)로 인입되는 인입구(1) 압력은 3.7㎏/㎠(게이지)이고, 초정에 장치(Ⅱ)의 배기구 압력은 3.7㎏/㎠(계이지)이었다. 본 실시예의 블순물 준위는 아르곤을 관류시킨 지 40분 만에 측정된 것이다.
그 결과로 표 5를 얻었다.
[표 5]
Figure kpo00007
배기구(2) 가스의 불순물 준위는 2670시간 동안 불변하였다.
온도에 따른 다양한 결과를 얻고자 게터 금속의 온도를 상이하게 한 점을 제외하고 실시예 6의 과정과 동일하게 실시하였고, 그 결과로 표 6을 얻은 것이다.
[표 6]
Figure kpo00008
상기 표에서, 우수한 정제효과는 섭써 20도에서 400도 사이의 온도대, 특히 섭써 200도에서 400도 사이의 온도대에서 볼 수 있었다.
[실시예 7,8,9 및 10]
소립체는 표 7에 도시된 조성비에 따라서 입자의 크기가 50-250㎛(평균 : 150㎛)인 비증발성 게터 분말을 압축하여 직경 3mm, 길이 4mm되도록 제조하였다. 동일 구조를 갖는 초정제 장치(11)내에 실시예 2와 동일한 방법으로 상기 소립체들을 채워넣었다. 불순성분이 섞인 아르곤 가스를 섭써 25도, 유입구 압력4㎏/㎠(게이지), 그리고 유속12ℓ/min로 초정제 장치(11)내에 도입 하였다.
불순물이 섞일 아르곤 가스를 나선형의 저항 전열기를 이용해서 섭써 350도로 유지한 비증발성 게터층에 관류시키고 배기구에서 압력 3.95㎏/㎠(게이지)으로 배기한다. 불순물 준위는 아르곤 가스를 관류 시킨지 40분 후에 측정하였고 그 결과로 표 7를 얻었다.
[표 7]
Figure kpo00009
배기구의 불순물 준위는 상기 표에 나타난 대로 장시간 동안 일정하였다.

Claims (11)

  1. 외부동체(3)에 정제하려는 아르곤 가스의 인입구(1)와 정제된 아르곤 가스(9)의 배기구(2)를 설치하며, 상기 두 개구들 사이의 중간에 지르코늄-바나듐-철의 게터합금으로 채운 하나 이상의 게터층(4)을 배치하고, 인입구(1)로 들어간 아르곤 가스(9)가 상기 게터층(4)을 통과한 후 배기구(2)로 나오도록 아르곤 가스(9)의 유통로를 형성하며, 또 게터합금을 작용 시키는 온도를 유지하기 위하여 외부동체(3)내에 전열기(6)를 두고, 지르코늄-바나듐-철로 된 게터합금의 조성비를 3성분 조성표에 도시한 경우에 가) 75% 지르코늄-20% 바나듐-5%철(점a), 나) 45% 지르코늄-20% 바나듐-35% 철(점b)와 다) 45% 지르코늄-50% 바나듐-5% 철(점c)의 각 점을 연결한 다가형 (제1도)으로 표시되는 범위 내에 있도록 하는 것을 특징으로 하는 아르곤 가스 정제용 초정제 장치.
  2. 제1항에 있어서, 게터층(4)에서 사용되는 게터합금이 분말형태의 지르코늄-바나듐-철의 합금을 압축 가공함으로써 제조되는 소립체(小粒體)형태인 것을 특징으로 하는 초정제 장치
  3. 제1항에 있어서, 게터 합금의 조성비를 3성분 조성표얘 도시한 경우에, 라) 70% 지르코늄-25% 바나듐-5% 철(점d), 마) 70% 지르코늄-24% 바나듐-6% 철(점e), 바) 66% 지르코늄-24% 바나듐-10% 철(점f), 사) 47% 지르코늄-43% 바나듐-10% 철(점g), 아) 47% 지르코늄-45% 바나듐-8% 철(점h), 자) 50% 지르코늄-45% 바나듐-5% 철(점i)외 각 점을 연결하는 다각헝으로 표시되는 범위 내에 있음을 특징으로 하는 아르곤 가스 정제용 초정제장치.
  4. 제1항에 있어서, 게터층(4)이 게터 합금으로 채워지는 하나 이상의 게터통(5)으로 구성되고, 게터통(5)은 새 것으로 용이하게 교환될 수 있도록 외부동체(3)에 착탈 가능하게 설치되어 있음을 특징으로 하는 아르곤 가스 정제용 초정제 장치.
  5. 제4항에 있어서, 각 게터통(5)은 게터 합금으로 채워진 다공질의 금속 용기로 구성되어 있음을 특징으로 하는 아르곤 가스 정제용 초정제장치.
  6. 제1항에 있어서, 게터층(4)을 관류함으로써 정제되는 아르곤 가스(9)가 접촉하게 되는 본 장치의 재료는 가스와 접촉하는 내주벽의 벽면의 평균높이를 중심선으로 해서, 이를 기준으로 [일본 공업 규격(JIS)B 0601-1970] 0.5㎛ 이하의 표변 조성도(表面粗性度)(Ra)까지 연마되어 있음을 특징으로 하는 아르곤가스 정제용 장치.
  7. 정제하려는 아르곤 가스(9)중에 포함된 수분의 양을 1ppm이하로 적절히 탈수 처리한 후에 섭써 20도 내지 400도의 온도대로 유지되는 지르코늄-바나듐-철의 게터합금에서 그 3성분 조성비를 3성분 조성표에 도시하는 경우에, 가) 7% 지르코늄-25% 바나듐-5% 철(점a), 나) 45% 지르코늄-20% 바나듐-35% 철(점b), 다) 45% 지르코늄-50% 바나듐-5% 철(점c)의 각 점을 연결한 다각형(제1도)으로 표시되는 범위 내의 조성비를 갖고, 게터합금이 게터층(4)에 채워지고 게터층(4)을 관류함으로써 불순물을 흡착, 제거하는 것을 특징으로 하는 아르곤 가스 정제용 초정제 방법.
  8. 제7항에 있어서, 수분 함량이 낮은 아르곤 가스가 섭씨 220 내지 380도의 온도로 유지된 상기 게터 합금층을 관류함을 특징으로 하는 아르곤 가스 정제용 초정제 방법.
  9. 가) 가스 인입구(1)와 가스 배기구(2)를 갖는 외부동체(3)와, 나) 가스 인입그(1)로 부터 가스 배기구(2)까지 연장되면서 그 사이에 액체가 유통할 수 있도록 된 외부동체(3)내의 가스 유통로와, 다) 가스 유통로 내에서 가스 인입구(1)와 가스 배기구(2)사이에 배치되어 있는 게터층(4)고, 라) 지르코뮤-바나듐-철의 3원 합금 조성표에 도시된 경우에, a) 75% 지르코늄-20% 바나듐-5% 철(점a), b) 45% 지르코늄-20% 바나듐-35% 철(점b), c) 45% 지르코늄-50% 바나듭-5% 철(점c)의 각 점을 연결하는 다각형 범위내에 놓이는 조성비를 갖는 지르코늄-바나듐-철의 3원 합금으로 되고 게터층(4)내에 채워진 게터재와, 마) 게터재를 가열하고, 게터재가 불순물 가스를 함유한 아르곤 가스로부터 불순물 가스를 선택적으로 흡착할 수 있는 온도로 게터재를 유지하기 위한 전열기(6)로 구성되는 불순물 가스를 함유한 아르곤 가스의 정제용 초정제 장치.
  10. 제9항에 있어서, 게터재가 지르코늄-바나듐-철의 3원 합금 조성비가 조성표에 도시된 경우에 다) 70% 지르코늄-25% 바나듐-5% 철(점d), 라) 70% 지르코늄-24% 바나듐-6% 철(점e), 마) 66% 지르코늄-24% 바나듐-10% 철(점f), 바) 47% 지르코늄-43% 바나듐-10% 철(점g), 사) 47% 지르코늄-45% 바나듐-8% 철(점h), 아) 50% 지르코늄-45% 바나듐-5% 철(점i)의 각 점을 연결하는 다각형 범위 내에 있는 조성비를 갖는 지르코늄-바나듐-철의 합금으로 되어 있음을 특징으로 하는 아르곤 정제용 초정제 장치.
  11. 가) a) 가스 인입구(1)와 가스 배기구(2)를 갖는 외부동체(3)와, b) 가스 인입구(1)로 부터 가스 배기구(2)까지 연장되면서 그 사이에 액체가 유통할 수 있도록 된 외부동체(3)내의 가스 유통로와, c) 가스 유통로 내에서 가스 인입구(1)와 가스 배기구(2)사이에 배치되어 있는 게터층과, 4) 지르코늄-바나듐-철의 3원 합금 조성표에 도시된 경우에, 나) 75% 지르코늄-20% 바나듐-5% 철(점a), 나) 45% 지르코늄-20% 바나듐-35% 철(점b), 다) 45% 지르코늄-50% 바나듐-5% 철(점c)의 각 점을 연결하는 다각형 범위 내에 놓이는 조성비를 갖는 지르코늄-바나듐-철의 3원 합금므로 되고 게터층(4)내에 채워진 게터재와, e) 게터재를 가열하고, 게터재가 불순물 가스를 함유한 아르곤 가스로부터 불순물 가스를 선택적으로 흡착할 수 있는 온도로 게터재를 유지하기 위한 전열기(6)로 구성되는 초정제 장치를 제공하고, 나) 게터재를 섭씨 200도 내지 350도의 온도로 유지하며, 다) 불순물을 함유한 아르곤 가스를 가스 인입구(1)로 부터 초정제 장치(11)의 외부동체(3)내로 도입하고, 라) 불순물을 함유한 아르곤 가스를 초정제 장치(11)내의 게터재와 접촉시켜, 정제된 아르곤 가스를 제조하기 위하여 불순물을 함유한 아르곤 가스로 부터 불순물을 흡착 제거하여, 마) 가스 배기구(2)를 통해서 초정제 장치(11) 내에 존재하는 정제된 아르곤 가스를 수집하는 단계들로 구성되는, 수분 함량이 1ppm이하인 불순물을 함유한 아르곤 가스 정제용 초정제 방법.
KR1019860005145A 1985-06-28 1986-06-26 아르곤 가스정제용 초정제장치 및 정제방법 KR930006691B1 (ko)

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JP60-140629 1985-06-28
JP140629 1985-06-28
JP60140629A JPS623008A (ja) 1985-06-28 1985-06-28 アルゴンの超精製装置、並びに精製方法

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