KR870000239A - 아르곤가스의 초정제장치 및 정제방법 - Google Patents

Abstract

내용 없음

Description

아르곤가스의 초정제장치 및 정제방법

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제2도 제5도 제10도는 각각 본 발명의 장치의 실시상태의 종단면도임.

Claims (11)

1. 외용기에 정제되어야 할 아르곤가스의 입구와 정제된 아르곤가스의 출구를 설치하며, 상기 두 개구들 사이 중간에 지르코늄-바나듐-철로 된 게터합금을 충전한 적어도 하나의 게터실을 배치하고, 상기 입구로 들어간 아르곤가스가 상기 게터실을 통과한 후 상기 출구로 나오도록 아르곤가스의 유로를 형성하며, 또 게터합금을 작동시키는 온도를 유지하기 위하여 외용기내에 가열장치를 두고, 지르코늄-바나듐-철로 되는 게터합금의 중량비 조성을 3성분 도표에 도시한 경우에, 다음에 기재하는 각점을 묶는 다각형(제1도)으로 표시되는 범위내에 있도록 한 것을 특징으로 하는 아르곤가스의 초정제장치.

   가) 75% 지르코늄-20% 바나듐-5%철

   나) 45% 지르코늄-20% 바나듐-35%철

   다) 45% 지르코늄-50% 바나듐-5%철
2. 청구범위 제1항에 있어서, 상기 게터실에 사용될 상기 게터합금이 분말상의 지르코늄-바나듐-철합금을 압축 가공함으로서 제조되는 펠릿상인 것을 특징으로 하는 초정제장치.
3. 청구범위 제1항에 있어서, 상기 게터합금의 중량구성이, 3성분의 중량비가 3성분조성 도표에 도시한 경우에 다음에 기재하는 각점을 묶는 다각형으로 표시되는 범위내에 있는 것을 특징으로 하는 초정제장치.

   다) 70% 지르코늄-25% 바나듐-5%철

   라) 70% 지르코늄-24% 바나듐-6%철

   마) 66% 지르코늄-24% 바나듐-10%철

   바) 47% 지르코늄-43% 바나듐-10%철

   사) 47% 지르코늄-45% 바나듐-8%철

   아) 50% 지르코늄-45% 바나듐-5%철
4. 청구범위 제1항에 있어서, 상기 게터실이 상기 게터합금으로 충전된 적어도 하나의 카아트리지로 구성되고, 상기 카아트리지는 세것으로 용이하게 교환될 수 있도록 상기의 용기내에 착탈가능하게 실시되어 있음을 특징으로 하는 초정제장치.
5. 청구범위 제4항에 있어서, 각각의 상기 카아트리지가 상기 게터합금으로 충전된 유공금속용기로 구성되어 있음을 특징으로 하는 초정제장치.
6. 청구범위 제1항에 있어서, 상기 게터실을 통과함으로서 정제된 아르곤가스가 접촉하게 되는 장치재료는, 가스와 접촉하는 내벽표면이 중심선 평균높이[일본공업규격(JIS)B 0601-1970]로 환산하여 0.5μm 이하의 표면거칠기(Ra)까지 연마되어 있는 재료로 되어 있음을 특징으로 하는 초정제장치.
7. 정제하여야 할 아르곤가스를, 수분함량 1ppm 이하로 적당히 탈수 처리한 후, 그 저수분 아르곤가스를 20°내지 400℃의 온도로 유지된, 하기 중량조성의 지르코늄-바나듐-철로 된 게타합금으로 충전된 게터층을 통과시킴으로서 불순물을 흡착 제거시키는 것을 특징으로 하는 아르곤가스의 초정제방법, 게터합금의 중량조성, 3성분의 중량비를 3성분조성 도표에 도시한 경우에, 다음에 기재하는 각점을 묶는 다각형(제1도)으로 표시되는 범위내의 것.

   가) 75% 지르코늄-20% 바나듐-5%철

   나) 45% 지르코늄-20% 바나듐-35%철

   다) 45% 지르코늄-50% 바나듐-5%철
8. 청구범위 제7항에 있어서, 저수분함량의 아르곤가스가 220°내지 380℃의 온도로 유지된 상기 게터합금층을 유통함을 특징으로 하는 방법.
9. 가) 가스입구와 가스출구를 갖는 외용기

   나) 가스입구로부터 가스출구까지 연장되며, 그 사이에 액체가 유통할 수 있도록 된 외용기내외 가스유로

   다) 가스유로내에서 가스입구와 가스출구 사이에 배치되어 있는 게터실

   라) 지르코늄-바나듐-철의 중량비로 된 3성분조성 도표에 도시된 경우에, 다음에 기재하는 각점을 묶는 다각형 범위내에 놓이는 조성을 갖는 지르코늄-바나듐-철의 합금으로 된 게터실내에 충전된 개터재료.

   가) 75% 지르코늄-20% 바나듐-5%철

   나) 45% 지르코늄-20% 바나듐-35%철

   다) 45% 지르코늄-50% 바나듐-5%철

   마) 게터재료를 가열하고, 게터재료가 불순물함유 아르곤가스로부터 불순물을 선택적으로 흡착할 수 있는 온도에 게터재료를 유지하기 위한 가열수단으로 구성되는 불순물함유 아르곤가스를 정제하기 위한 초정제장치.
10. 청구범위 제9항에 있어서, 게터재료가 지르코늄-바나듐-철의 중량비로 된 3성분조성 도표에 도시한 경우에 다음에 기재하는 각점을 묶는 다각형 범위내에 있는 조성을 갖는 지르코늄-바나듐-철의 합금으로 되어 있음을 특징으로 하는 초정제장치.

    다) 70% 지르코늄-25% 바나듐-5%철

    라) 70% 지르코늄-24% 바나듐-6%철

    마) 66% 지르코늄-24% 바나듐-10%철

    바) 47% 지르코늄-43% 바나듐-10%철

    사) 47% 지르코늄-45% 바나듐-8%철

    아) 50% 지르코늄-45% 바나듐-5%철
11. 가) a) 가스입구와 가스출구를 갖는 외용기

    b) 와가스입구로부터 가스출구까지 연장되며, 그 사이에 액체가 유동할 수 있도록 된 외용기내의 가스유로

    c) 가스유로내에서 가스입구와 가스출구 사이에 배치되어 있는 게터실

    d) 지르코늄-바나듐-철의 중량비로 된 3성분조성 도표에 도시된 경우에 다음에, 기재하는 각점을 묶는 다각형 범위내에서 놓이는 조성을 갖는 지르코늄-바나듐-철의 합금으로 된 게터실내에 충전된 게터재료.

    가) 75% 지르코늄-20% 바나듐-5%철

    나) 45% 지르코늄-20% 바나듐-35%철

    다) 45% 지르코늄-50% 바나듐-5%철

    e) 게터재료를 가열하고, 게터재료가 불순물함유 아르곤가스로부터 불순물을 선택적으로 흡착할 수 있는 온도에 게터재료를 유지하기 위한 가열수단으로 구성되는 초정제장치를 제공.

    나) 게터재료를 200°내지 350℃의 온도에 유지

    다) 불순물함유 아르곤가스를 가스입구로부터 초정제장치의 외용기내로 도입

    라) 불순물함유 아르곤가스를 초정제장치내의 게터재료와 접촉시켜, 정제된 아르곤가스를 제조하기 위하여 불순물함유 아르곤가스로부터 불순물을 흡착 제거

    마) 가스출구로부터 초정제장치내에 존재하는 정제된 아르곤가스를 수집하는, 단계들로 구성되는, 1ppm 이하의 수분함량을 갖는 불순물함유 아르곤가스를 초정제하는 방법.

    ※ 참고사항:최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.