DE3926015A1 - Verfahren zur feinreinigung von gasen - Google Patents
Verfahren zur feinreinigung von gasenInfo
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Classifications
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Feinreinigung
von Gasen durch Adsorption an Gettern nach dem Oberbe
griff des Anspruchs 1.
Feinreinigung bedeutet hierbei die Erzeugung von
Reinstgasen bis hin zur 7.0 - Klasse und deren Ab
füllung in Druckgasbehältern. In einem Gas der 7.0 -
Klasse beträgt die Summe aller Verunreinigungen
höchstens 0,1 ppm.
Nach dem Stand der Technik erfolgt die Feinreinigung
solcher Gase durch Adsorption an Gettern, die aus
Legierungen von Zirkon-Eisen, Zirkon-Vanadium-Eisen
oder Zirkon-Aluminium bestehen. Die Adsorptions
temperatur liegt zwischen 350 und 600°C, die Adsorp
tionsdrücke betragen einige bar. Derartige Reinigungs
verfahren sind insbesondere für Stickstoff und Edel
gase beschrieben in den deutschen Offenlegungsschrif
ten 36 21 013 und 36 21 014. Die auf solche Weise ge
reinigten Gase werden anschließend mit Hilfe von Kom
pressoren in die Druckgasbehälter abgefüllt. Die
Innenoberfläche der Druckgasbehälter, also der Druck
gasflaschen aus Aluminium oder Stahl, wird nach ver
schiedenen Verfahren gereinigt und behandelt, so daß
nur möglichst geringe Wechselwirkungen zwischen der
Innenoberfläche und dem abgefüllten Gas auftreten, die
hohe Gasreinheit also über einen langen Zeitraum ge
währleistet wird. Mit diesem Verfahren lassen sich
Reinstgase der Klasse 7.0 herstellen, jedoch ist anzu
streben, auch innerhalb dieser Reinheitsklasse Gase
mit möglichst wenig Verunreinigungen zu erhalten.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, bei
einem Verfahren zur Feinreinigung von in Druckgasbe
hälter abzufüllenden Gasen durch Adsorption an Gettern
die Reinheit der abgefüllten Gase zu erhöhen.
Ausgehend von dem im Oberbegriff des Anspruches 1 be
rücksichtigten Stand der Technik ist diese Aufgabe er
findungsgemäß gelöst mit den im kennzeichnenden Teil
des Anspruches 1 angegebenen Merkmalen.
Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den
Unteransprüchen angegeben.
Das erfindungsgemäße Verfahren geht also von der bis
her üblichen Feinreinigung von Gasen durch Adsorption
an Gettern aus, erfindungsgemäß findet die Adsorption
jedoch bei solchen Drücken statt, die den Abfüll
drücken in den Druckgasbehältern entsprechen. Dadurch
wird die Verwendung eines Kompressors auf der Reinsei
te, also nach dem Passieren des Adsorbers, vermieden.
Dieser Kompressor ist eine mögliche Quelle für die Re
kontamination des Produktgases mit Verunreinigungen.
Das erfindungsgemäße Verfahren erfordert die Verwen
dung eines Adsorbers mit einem Gehäuse aus Stahl, wel
ches mit den genannten Temperaturen und Drücken be
lastet werden kann. Der Getter wird in Form von
Pellets, Granulat oder Pulver in das Gehäuse gefüllt.
Die Beheizung erfolgt elektrisch durch auf dem Adsor
bergehäuse befestigte elektrische Heizleiter.
Claims (3)
1. Verfahren zur Feinreinigung von Gasen durch Adsorp
tion an Gettern, bestehend aus Legierungen von
Zirkon-Eisen, Zirkon-Vanadium-Eisen oder Zirkon-
Aluminium, bei Temperaturen zwischen 350° und
600°C, dadurch gekennzeichnet, daß die Adsorption
bei Drücken bis zu 230 bar stattfindet.
2. Verfahren und Anspruch 1 zur Feinreinigung von
Edelgasen, dadurch gekennzeichnet, daß die
Adsorption an Gettern aus einer Zirkon-Vanadium-
Eisen-Legierung oder Zirkon-Aluminium-Legierung er
folgt.
3. Verfahren nach Anspruch 1 zur Feinreinigung von
Stickstoff, dadurch gekennzeichnet, daß die Ad
sorption an Gettern aus einer Zirkon-Eisen-
Legierung erfolgt.
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