DE69723635T2

DE69723635T2 - Entfernung von H2 und/oder CO Verunreinigungen aus einem inerten, flüssigen Fluidum

Info

Publication number: DE69723635T2
Application number: DE69723635T
Authority: DE
Inventors: Daniel Gary
Original assignee: Air Liquide SA; LAir Liquide SA a Directoire et Conseil de Surveillance pour lEtude et lExploitation des Procedes Georges Claude
Current assignee: Air Liquide SA; LAir Liquide SA pour lEtude et lExploitation des Procedes Georges Claude
Priority date: 1996-09-16
Filing date: 1997-09-10
Publication date: 2004-06-03
Anticipated expiration: 2017-09-11
Also published as: CN1182052A; JPH10180003A; TW442315B; KR19980024588A; US5874007A; EP0829292A1; DE69723635D1; SG65017A1; EP0829292B1; FR2753391B1; FR2753391A1

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Befreiung eines in flüssigem Zustand vorliegenden inerten Fluids von mindestens einer seiner Verunreinigungen Wasserstoff (H₂) und Kohlenmonoxid (CO).
Inertgase, wie z. B. Stickstoff und die Edelgase, nämlich Helium, Neon, Argon, Krypton, Xenon und deren Gemische, sind in zahlreichen Industriezweigen gebräuchlich, insbesondere in der Elektronikindustrie. Insbesondere in letzterem Industriezweig müssen die Inertgase möglichst rein und insbesondere frei von ihren Verunreinigungen Wasserstoff und Kohlenmonoxid sein.
Diese Inertgase werden in der Regel durch Tieftemperaturdestillation nach Verflüssigung hergestellt.
Die so erhaltenen verflüssigten inerten Fluide enthalten als Verunreinigungen im allgemeinen Wasserstoff (H₂) und Kohlenmonoxid (CO) in Anteilen, die im allgemeinen über einigen hundert ppb (Volumenteile pro Milliarde) oder gar einigen hundert ppm (Volumenteile pro Million) liegen und entfernt werden müssen.
Aus dem Stand der Technik ist eine Reihe von Verfahren zur Reinigung von inerten Fluiden bekannt, die jedoch im allgemeinen mit mehreren Nachteilen behaftet sind, nämlich:

– sie sind nicht für eine Reinigung von inerten Fluiden in flüssigem Zustand ausgelegt,
– oder sie erlauben keine Befreiung von den in dem zu reinigenden inerten Fluid enthaltenen Verunreinigungen H₂ und/oder CO,
– oder sie erfordern eine Verdampfung des inerten Fluids vor seiner Reinigung. Es ist jedoch leicht einzusehen, daß die Tatsache, daß man zur Herstellung eines im flüssigen Zustand vorliegenden inerten Fluids, das von seinen Verunreinigungen H₂ und/oder CO weitgehend befreit ist, nacheinander das zu reinigende inerte Fluid verdampfen, das inerte Gas reinigen und dann das erhaltene gereinigte inerte Gas wieder verflüssigen muß, einen großen wirtschaftlichen Nachteil darstellt, insbesondere bezüglich Energiekosten und zu verwendenden Gerätschaften.

So wird in der US-A-3,996,082 ein Verfahren zur Befreiung von gasförmigem Argon von seiner Verunreinigung Sauerstoff beschrieben, bei dem man das Argon über einen synthetischen Zeolith vom Typ A leitet.
In der US-A-2,874,030 wird ein Verfahren zur Befreiung von gasförmigem Argon von seiner Verunreinigung Sauerstoff beschrieben, bei dem der Sauerstoff durch katalytische Reaktion mit einem Wasserstoffüberschuß in Wasser umgewandelt wird; das gebildete Wasser wird dann mit Hilfe eines Dehydratisierungsmittels entfernt.
Außerdem wird in der Patentanmeldung EP-A-0 350 656 ein Verfahren zur Befreiung eines Inertgases von seinen Verunreinigungen Sauerstoff, Kohlenmonoxid und Wasserstoff beschrieben, bei dem die Abtrennung des im Inertgas vorhandenen Kohlenmonoxids (CO) und Wasserstoffs (H₂) durch katalytische Oxidation bei einer Temperatur zwischen 150°C und 250°C in Gegenwart eines ersten Katalysators auf Basis von reduziertem Kupfer und dann eines zweiten Katalysators auf Basis von oxidiertem Kupfer unter Bildung von Kohlendioxid CO₂ und Wasser H₂O und anschließende Abtrennung des Kohlendioxids und des Wassers durch Adsorption an einem Molekularsieb-Adsorptionsmittel bei Umgebungstemperatur erfolgt.
Die FR-A-2 668 140 lehrt ein Verfahren zur Herstellung von ultrareinem Stickstoff, bei dem man CO und H₂ katalytisch in CO₂ und H₂O umwandelt, die dann an Metallteilchen abgetrennt werden.
Somit eignet sich keines dieser bestehenden Verfahren zur Befreiung von in flüssigem Zustand vorliegenden inerten Fluiden von ihren Verunreinigungen Wasserstoff (H₂) und/oder Kohlenmonoxid (CO), d. h. bei kryogener Temperatur (unterhalb ihres Blasenpunkts) verflüssigten inerten Fluiden.
In der EP-A-662 595 wird darüber hinaus ein Verfahren zur Reinigung von flüssigem Stickstoff vorgeschlagen, bei dem man die Verunreinigungen H₂, CO und O₂ an einem Adsorptionsmittel vom Typ ausgetauschter oder nicht ausgetauscher Zeolith oder poröses Metalloxid, insbesondere Hopcalit, adsorbiert.
Es ist daher notwendig, neue Verfahren zu entwickeln, mit denen man in flüssigem Zustand vorliegende inerte Fluide von ihren Verunreinigungen H₂ und/oder CO befreien kann.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist daher die Bereitstellung eines Verfahrens, mit dem man ein in flüssigem Zustand vorliegendes, von mindestens einer seiner Verunreinigungen Wasserstoff und/oder Kohlenmonoxid weitgehend befreites inertes Fluid, wie Stickstoff oder Edelgase, erhalten kann,

– das vom technischen Standpunkt aus leicht anzuwenden ist und vertretbare Kosten aufweist,
– mit dem man ein im flüssigen Zustand vorliegendes inertes Fluid sehr hoher Reinheit, d. h. mit höchstens ungefähr 1 ppb ± 1 Wasserstoff und/oder Kohlenmonoxid, erhalten kann,
– das bei für die in flüssigem Zustand vorliegenden inerten Fluide kryogenen Temperaturen, nämlich bei Temperaturen von im allgemeinen weniger als –180°C, angewandt werden kann,
– bei dem preiswerte und/oder leicht zugängliche Adsorptionsmittel verwendet werden und
– bei dem keine vorherige Verdampfung des zu reinigenden flüssigen Fluids mit späterer Wiederverflüssigung des gereinigten Fluids erforderlich ist.

Gegenstand der Erfindung ist daher ein Verfahren zur Befreiung eines in flüssigem Zustand vorliegenden inerten Fluids, das mindestens eine der Verunreinigungen Wasserstoff (H₂) und Kohlenmonoxid (CO) enthält, von mindestens einer dieser Verunreinigungen, bei dem man:

a) das zu reinigende, in flüssigem Zustand vorliegende Fluid zur Adsorption mindestens einer der Verunreinigungen H₂ und CO, die in dem in flüssigem Zustand vorliegenden inerten Fluid enthalten sind, über mindestens eine Schüttung von Teilchen aus mindestens einem Adsorptionsmittel leitet, wobei die Adsorption an einem flüssigen Fluid bei einer Temperatur kleiner gleich dem Siedepunkt des Fluids vorgenommen wird; und
b) das in flüssigem Zustand vorliegende, von mindestens einer der Verunreinigungen H₂ und CO weitgehend befreite inerte Fluid zurückgewinnt, dadurch gekennzeichnet, daß die Teilchen aus mindestens einem auf mindestens einem Träger geträgerten Metall bestehen, wobei das Metall aus der Gruppe bestehend aus Platin (Pt), Palladium (Pd), Rhodium (Rh) und Iridium (Ir) stammt und der Träger aus der Gruppe bestehend aus Aluminiumoxid, Siliciumoxid, Zeolithen und Titandioxid (TiO₂) stammt.

Nach einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung handelt es sich bei den Adsorptionsmittelteilchen um auf einem Aluminiumoxidträger geträgerte Palladiumteilchen (Pd-Teilchen).
Vorteilhafterweise enthalten die Adsorptionsmittelteilchen 0,5 bis 5 Gew.-% Palladium (Pd) und vorzugsweise etwa 2 Gew.-%.
Die erfindungsgemäßen Adsorptionsmittelteilchen liegen vorzugsweise in Form von Stäbchen, Granulat oder Kügelchen vor.
Vorzugsweise wählt man das zu reinigende, in flüssiger Form vorliegende Fluid aus der Gruppe bestehend aus flüssigem Stickstoff, flüssigem Argon und flüssigem Helium aus.
In bestimmten Fällen ist es notwendig oder wünschenswert, das in flüssigem Zustand vorliegende inerte Fluid von seiner Verunreinigung Sauerstoff zu befreien. In diesem Fall umfaßt das erfindungsgemäße Verfahren gemäß einer anderen Ausführungsform einen zusätzlichen Schritt, bei dem man das in flüssigem Zustand vorliegende inerte Fluid zur Adsorption der Verunreinigung Sauerstoff O₂ über mindestens eine Schüttung von Teilchen aus mindestens einem zweiten Adsorptionsmittel leitet. Dieser zusätzliche Schritt der Adsorption von Sauerstoff an mindestens einer Schüttung von Teilchen aus mindestens einem zweiten Adsorptionsmittel wird vor oder nach dem Schritt a) durchgeführt.
Mit anderen Worten kann die Abtrennung der Verunreinigung Sauerstoff aus dem in flüssigem Zustand vorliegenden inerten Fluid wahlweise vor und/oder nach der Abtrennung der Verunreinigungen H₂ und/oder CO durchgeführt werden.
Nach einer ersten Ausführungsform adsorbieren die Teilchen aus dem zweiten Adsorptionsmittel selektiv die Verunreinigung Sauerstoff (O₂).
Nach einer zweiten Ausführungsform adsorbieren die Teilchen aus dem zweiten Adsorptionsmittel die Verunreinigung Sauerstoff (O₂) und mindestens eine der Verunreinigungen CO und H₂.
Vorzugsweise werden die Teilchen aus dem zweiten Adsorptionsmittel aus der Gruppe bestehend aus porösen Metalloxiden, wie Hopcalit, ausgewählt.
Die vorliegende Erfindung betrifft auch eine Vorrichtung zur Befreiung eines in flüssigem Zustand vorliegenden inerten Fluids, das mindestens eine der Verunreinigungen H₂ und CO enthält, von mindestens einer dieser Verunreinigungen, dadurch gekennzeichnet, daß sie eine Quelle eines zu reinigenden, in flüssigem Zustand vorliegenden inerten Fluids und mindestens einen Reaktor enthält, welcher mindestens eine Schüttung von Teilchen aus mindestens einem Adsorptionsmittel für die Adsorption von mindestens einer der Verunreinigungen H₂ und CO enthält, wobei die Quelle mit dem mindestens einen Reaktor verbunden ist.
Vorzugsweise enthält der mindestens eine Reaktor außerdem mindestens eine Schüttung von Teilchen aus mindestens einem Adsorptionsmittel für die Adsorption von mindestens der Verunreinigung O₂.
Eine erfindungsgemäße Vorrichtung wird nun anhand der beigefügten Figur näher erläutert.
Die beigefügte einzige Figur zeigt eine erfindungsgemäße Vorrichtung mit einer Quelle eines von mindestens einer seiner Verunreinigungen H₂ und CO zu befreienden, in flüssigem Zustand vorliegenden inerten Fluids, hier flüssigem Stickstoff, die aus einem flüssigen Stickstoff enthaltenden Speicherbehälter 1 besteht. Die Flüssigstickstoffquelle 1 ist über eine Leitung 1a mit einer Adsorptionszone 2 verbunden, die mindestens einen Reaktor und vorzugsweise, wie hier dargestellt, zwei Reaktoren 4a, 4b, die jeweils eine Schüttung 3a, 3b eines ersten Adsorptionsmittels für die zusätzliche Adsorption des in dem flüssigen Stickstoff enthaltenen Sauerstoffs und eine der ersten Schüttung 3a, 3b nachgeordnete Schüttung 5a, 5b eines zweiten Adsorptionsmittels für die Adsorption mindestens einer der Verunreinigungen H₂ und CO enthalten, enthält.
Durch die Bereitstellung einer stromaufwärtigen Schüttung eines Adsorptionsmittels, wie Hopcalit, das zur zusätzlichen Abtrennung der in dem flüssigen Stickstoff enthaltenen Verunreinigung O₂ (und eines Teils des CO) befähigt ist, kann man die für die Abtrennung der Verunreinigungen H₂ und/oder CO vorgesehene Adsorptionsmittelschüttung (Pd/Al₂O₃) vor einer zu schnellen Sättigung schützen und dadurch die Zahl der Regenerationsphasen über einen gegebenen Zeitraum verringern.
Nach der Reinigung wird der von seinen Verunreinigungen H₂, CO und/oder O₂ befreite flüssige Stickstoff über eine Leitung 2a, 2b seinem nicht gezeigten Einsatzort oder einem Ort 6 zur Speicherung von gereinigtem flüssigem Stickstoff zugeführt.
Wie in der Figur dargestellt, verwendet man vorzugsweise zwei Reaktoren 4a, 4b, die jeweils ein Adsorptionsmittel, wie auf einem Aluminiumoxidträger geträgertes Palladium, für die adsorptive Abtrennung der Verunreinigungen H₂ und CO aus dem flüssigen Stickstoff und ein anderes, stromaufwärts des ersten Adsorptionsmittels angeordnetes Adsorptionsmittel, wie ein Hopcalit-Adsorptionsmittel, für die zusätzliche Abtrennung der in dem flüssigen Stickstoff enthaltenen Verunreinigung O₂ und gegebenenfalls eines Teils des CO enthalten. So ist es möglich, die beiden Reaktoren abwechselnd zu fahren, d. h. während einer der Reaktoren im Reinigungsmodus arbeitet, kann der andere regeneriert werden.
Die Regeneration erfolgt auf übliche Art und Weise, beispielsweise gemäß folgender Vorschrift:

– allmähliches Erhitzen des Adsorbers mit heißem gasförmigem Stickstoff, d. h. auf eine Temperatur von ungefähr 200°C, und bei Normaldruck;
– Eintragen eines auf eine Temperatur von 200°C erhitzten reduzierend wirkenden Gemischs, wie eines Gemischs aus 2% H₂ und N₂, in den Reaktor (zusätzlicher Schritt: nur bei Vorliegen einer Hopcalit-Pd/Al₂O₃-Doppelschüttung);
– Spülen des Reaktors mit heißem gasförmigem Stickstoff zur Entfernung jeglicher Restspuren von Wasserstoff H₂ (zusätzlicher Schritt: nur bei Vorliegen einer Hopcalit-Pd/Al₂O₃-Doppelschüttung);
– Spülen des Reaktors mit gasförmigem Stickstoff bei Umgebungstemperatur zum Abkühlen des Adsorbers und zur Vorbereitung des Adsorbers auf den nächsten Reinigungszyklus.

Der nicht näher gezeigte Reinigungskreislauf enthält insbesondere eine Leitung 7a zur Zuführung des Regenerationsgases und eine Heizeinrichtung 7; die Reaktoren 4a und 4b können über gegebenenfalls mit Schalldämpfern versehene Luftschächte 8 mit der Atmosphäre verbunden sein.
In der Figur ist die Quelle von zu reinigendem flüssigem Stickstoff in Form eines Speicherbehälters 1 dargestellt.
Diese Darstellung soll jedoch die Erfindung in keiner Weise einschränken, da unter Quelle von inertem Fluid in flüssigem Zustand jedes Mittel zu verstehen ist, mit dem dem oder den Reaktoren das zu reinigende, in flüssigem Zustand vorliegende Fluid zugeführt werden kann, wie ein Tankwagen, eine Versorgungsleitung, ein Pufferbehälter oder eine Tieftemperaturdestillations- Säule.
Die Leistungsfähigkeit des erfindungsgemäßen Verfahrens wird nun anhand von Ausführungsbeispielen demonstriert, die die Erfindung aber nicht einschränken sollen.
In den nachstehenden Beispielen besteht das von mindestens einer seiner Verunreinigungen H₂ und CO zu befreiende, in flüssigem Zustand vorliegende inerte Fluid aus flüssigem Stickstoff, und als Adsorptionsmittel dient auf einem Aluminiumoxidträger geträgertes Palladium (Pd/Al₂O₃).
Die Bestimmung der Mengen der Verunreinigungen Kohlenmonoxid CO und Wasserstoff H₂ erfolgte mit einem Chromatographen RGA3 von der Firma Trace Analytical mit einer Nachweisgrenze von 1 ppb ± 1 (Volumenteile pro Milliarde) für Kohlenmonoxid und 5 ppb ± 1 für Wasserstoff.
BEISPIEL 1:
Zur Demonstration der Leistungsfähigkeit des erfindungsgemäßen Verfahrens wurde flüssiger Stickstoff mit etwa 0,75 ppm Wasserstoff und 0,65 ppm Kohlenmonoxid an auf Aluminiumoxidträger geträgertem Palladium als Adsorptionsmittel gereinigt.
Die hierfür verwendete Vorrichtung entspricht der oben beschriebenen.
Es wurden zwei aufeinanderfolgende Tests durchgeführt, die in der nachstehenden Tabelle I aufgeführt sind:
Die Arbeitsbedingungen für Test 1 und Test 2 sind mit Ausnahme der Menge von auf dem Aluminiumoxidträger imprägniertem Palladium gleich. So wurde Test 1 mit einem Adsorptionsmittel durchgeführt, das viermal so viel Palladium enthielt wie das in Test 2 verwendete Adsorptionsmittel.
Die Reinigung wurde bei einem Druck von ungefähr 8 bar absolut (8·10⁵ Pa) an flüssigem Stickstoff durchgeführt, der über eine externe Kältequelle auf eine Temperatur von etwa –187°C unterkühlt worden war (die Blasentemperatur von Stickstoff beträgt ungefähr –172,6°C).
Der Reinigungsdurchsatz beträgt etwa 32 Nm³/h, und die Kontaktzeit, d. h. die Zeit, die ein Molekül zum Durchqueren der Adsorptionsmittelschüttung braucht, beträgt etwa zwei Minuten.
Die erhaltenen Ergebnisse sind in der nachstehenden Tabelle I aufgeführt:
TABELLE I
Aus den in obiger Tabelle I aufgeführten Ergebnissen geht hervor, daß:

– man mit auf Aluminiumoxidträger geträgertem Palladium als Adsorptionsmittel flüssigen Stickstoff von seinen Verunreinigungen H₂ und CO bis zu einem Schwellenwert von weniger als 1 ppb (Volumenteil pro Milliarde) befreien kann;
– die Adsorptionskapazität des als Adsorptionsmittel dienenden, auf Aluminiumoxidträger geträgerten Palladiums zur Edelmetallmenge (auf dem Träger imprägniertes Palladium) proportional ist. So kann man nämlich mit dem Adsorptionsmittel aus Test 1 (2% Pd/Al₂O₃), das viermal so viel Palladium enthält wie das Adsorptionsmittel aus Test 2 (0,5% Pd/Al₂O₃) flüssigen Stickstoff über einen Zeitraum von etwa 13 Stunden konstant und bis zu einem Gehalt von weniger als 1 ppb von seinen Verunreinigungen H₂ und CO befreien, wohingegen man mit dem Adsorptionsmittel aus Test 2 flüssigen Stickstoff nur über ein Viertel dieser Dauer, d. h. etwas mehr als 3 Stunden, effizient von seinen Verunreinigungen H₂ und CO befreien kann;
– die Effizienz und Konstanz der Reinigung im zeitlichen Verlauf mit zunehmender Menge an geträgertem Edelmetall zunimmt. In der Praxis, d. h. vom technischen Standpunkt aus, hängt die zu verwendende Menge an geträgertem Edelmetall vom Auslegungsvolumen des Adsorbers (man muß nämlich eine Adsorptionsmittel-Mindesthöhe einhalten, um eine kohärente Kontaktzeit zwischen dem Stickstoffstrom und dem Adsorptionsmittel zu ermöglichen), der abzutrennenden Menge an Verunreinigungen in dem flüssigen Stickstoff und dem Volumen an flüssigem Stickstoff, das vor der Durchführung eines Regenerationschritts gereinigt werden soll, ab. So ist im allgemeinen ein Palladiumgehalt von etwa 2% gegenüber einem Gehalt von 0,5% bevorzugt; ein Gehalt von 4% wird jedoch nicht unbedingt empfehlenswert sein;
– man das Adsorptionsmittel nach einigen Stunden Reinigung regenerieren muß (beispielsweise in unserem Test im Fall eines Adsorptionsmittels vom Typ 2% Pd/Al₂O₃ nach etwa 13 Stunden). Nach einigen Stunden Reinigung stellt man nämlich eine fortschreitende Sättigung des Adsorptionsmittels fest, welches gereinigt werden muß, damit die Verunreinigungen nicht durchbrechen.

Das erfindungsgemäße Verfahren zur Reinigung eines in flüssigem Zustand vorliegenden inerten Fluids ist somit voll und ganz zufriedenstellend, da damit eine Befreiung des in flüssigem Zustand vorliegenden Inertgases von seinen Verunreinigungen H₂ und/oder CO bis zu einem Schwellenwert von 1 ppb erzielt werden kann.
BEISPIEL 2:
Wie aus Obigem schon hervorgeht, hängt die Effizienz der Adsorption von dem verwendeten Adsorptionsmittel und insbesondere von der Menge des auf dem Träger geträgerten Metalls ab.
Die in obigem Beispiel 1 angeführten Tests 1 und 2 wurden mit auf einem Aluminiumoxidträger geträgertem Palladium als Adsorptionsmittel durchgeführt; die Eigenschaften der in den Tests 1 und 2 verwendeten Adsorptionsmittel sind nachstehend in Tabelle II aufgeführt.
TABELLE II
Die Tests 1 und 2 wurden zwar einzig mit Aluminiumoxidkügelchen als Palladiumträger durchgeführt, jedoch liegen auch andere Arten von Trägern, Metallen und/oder Adsorptionsmittelformen im Schutzbereich der vorliegenden Erfindung.
So kann man als andere Edelmetalle auch Platin, Rhodium und Iridium verwenden.
Wenngleich Aluminiumoxid als Träger bevorzugt ist, kann man ganz analog im Rahmen der vorliegenden Erfindung auch andere Trägerarten verwenden, beispielsweise Siliciumoxid, Zeolith oder Titanoxid (TiO₂).
Das Adsorptionsmittel kann in Form von Kügelchen, Granulat oder Stäbchen vorliegen.
Wenngleich die vorliegende Erfindung in flüssigem Zustand vorliegende inerte Fluide betrifft, kann das hier beschriebene Verfahren auch zur Reinigung von sehr kalten Inertgasen, d. h. bei einer Temperatur im Bereich von –130°C bis –170°C, dienen. An verschiedenen sehr kalten Inertgasen durchgeführte Tests zeigten jedoch nur eine partielle und somit wenig zufriedenstellende Reinigung, bei der der Schwellenwert von 1 ppb nicht erreicht werden konnte und die Verunreinigungen H₂ und CO praktisch sofort durchbrachen.
Diese letzteren Tests an verschiedenen Inertgasen bestätigen darüber hinaus, daß die bekannten Verfahren zur Reinigung von Inertgasen offensichtlich auf die Reinigung von in flüssigem Zustand vorliegenden inerten Fluiden nicht anwendbar sind und umgekehrt.

Claims

Verfahren zur Befreiung eines in flüssigem Zustand vorliegenden inerten Fluids, das mindestens eine der Verunreinigungen Wasserstoff (H₂) und Kohlenmonoxid (CO) enthält, von mindestens einer dieser Verunreinigungen, bei dem man: a) das zu reinigende, in flüssigem Zustand vorliegende inerte Fluid zur Adsorption mindestens einer der Verunreinigungen H₂ und CO über mindestens eine Schüttung von Teilchen aus mindestens einem Adsorptionsmittel leitet, wobei die Adsorption an einem flüssigen Fluid bei einer Temperatur kleiner gleich dem Siedepunkt des Fluids vorgenommen wird; b) ein in flüssigem Zustand vorliegendes, von mindestens einer der Verunreinigungen H₂ und CO weitgehend befreites Fluid zurückgewinnt, dadurch gekennzeichnet, daß die Adsorptionsmittelteilchen aus mindestens einem auf mindestens einem Träger geträgerten Metall bestehen, wobei das Metall aus der Gruppe bestehend aus Platin (Pt), Palladium (Pd), Rhodium (Rh) und Iridium (Ir) stammt und der Träger aus der Gruppe bestehend aus Aluminiumoxid, Siliciumoxid, Zeolithen und Titandioxid (TiO₂) stammt.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Adsorptionsmittelteilchen aus auf einem Aluminiumoxidträger geträgertem Palladium bestehen.
Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Adsorptionsmittelteilchen einen Palladiumgehalt von 0,5 bis 10 Gew.-% und vorzugsweise zwischen 1 und 5% aufweisen.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Adsorptionsmittelteilchen in Form von Stäbchen, Granulat oder Kügelchen vorliegen.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß man das von mindestens einer der darin enthaltenen Verunreinigungen H₂ und CO zu befreiende, in flüssiger Form vorliegende inerte Fluid aus der Gruppe bestehend aus flüssigem Stickstoff, flüssigem Argon und flüssigem Helium auswählt.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß man das in flüssigem Zustand vorliegende inerte Fluid zur Adsorption mindestens der in dem in flüssigem Zustand vorliegenden inerten Fluid enthaltenen Verunreinigung Sauerstoff (O₂) über mindestens eine Schüttung von Teilchen aus mindestens einem zweiten Adsorptionsmittel leitet.
Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß man den Schritt der Adsorption der Verunreinigung Sauerstoff an dem zweiten Adsorptionsmittel vor oder nach dem Schritt a) der Adsorption mindestens einer der Verunreinigungen H₂ und CO durchführt.
Verfahren nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Teilchen aus dem zweiten Adsorptionsmittel die in dem zu reinigenden, in flüssigem Zustand vorliegenden inerten Fluid enthaltenen Verunreinigung O₂ selektiv adsorbieren.
Verfahren nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Teilchen aus dem zweiten Adsorptionsmittel die Verunreinigung O₂ und mindestens eine der Verunreinigungen CO und H₂ adsorbieren.
Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß man das zweite Adsorptionsmittel aus der Gruppe bestehend aus porösen Metalloxiden auswählt.
Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß das zweite Adsorptionsmittel vom Hopcalit-Typ ist.