JPH10180003A - 液体状態の不活性流体を水素および／または一酸化炭素不純物に対して精製する方法および装置 - Google Patents

液体状態の不活性流体を水素および／または一酸化炭素不純物に対して精製する方法および装置

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JPH10180003A
JPH10180003A JP9248897A JP24889797A JPH10180003A JP H10180003 A JPH10180003 A JP H10180003A JP 9248897 A JP9248897 A JP 9248897A JP 24889797 A JP24889797 A JP 24889797A JP H10180003 A JPH10180003 A JP H10180003A
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ダニエル・ガリ
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LAir Liquide SA pour lEtude et lExploitation des Procedes Georges Claude
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 水素および／または一酸化炭素不純物の少な
くとも一方に対して実質的に精製された液体状態の不活
性流体を得るための方法であって、非常に高純度な不活
性流体を得ることを可能にし、液体状態の不活性流体に
対して低温の温度において使用することができる方法を
提供する。 【解決手段】 水素および一酸化炭素不純物の少なくと
も一方を含む液体状態の不活性流体を前記不純物の少な
くとも一方に対して精製する方法であって、前記水素お
よび一酸化炭素不純物の少なくとも一方を吸着するため
に、精製すべき液体状態の流体を少なくとも１種の吸着
剤の粒子からなる少なくとも１つの床に通し、前記水素
および一酸化炭素不純物の少なくとも一方に対して実質
的に精製された液体状態の流体を回収することを特徴と
する方法。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液体状態の不活性
ガスをその水素（Ｈ2 ）および一酸化炭素（ＣＯ）不純
物の少なくとも一方に対して精製する方法および装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】窒素のような不活性ガス、およびヘリウ
ム、ネオン、クリプトン、キセノン、およびそれらの混
合物である希ガスは、多くの工業、特にエレクトロニク
ス工業において一般に使用されている。エレクトロニク
ス工業においては、より特に、前記不活性ガスができる
だけ純粋で、その不純物、特に水素および一酸化炭素が
除去されていることが要求されている。
【０００３】これらの不活性ガスは、通常、液化した後
に低温（ｃｒｙｏｇｅｎｉｃ）蒸留することによって生
成される。
【０００４】しかしながら、このようにして得られた液
化された不活性ガスには、通常、水素（Ｈ2 ）および一
酸化炭素（ＣＯ）のような不純物が、数１００ｐｐｂ
（体積で１０億部あたりの部）、または数ｐｐｍ（体積
で１００万部あたりの部）よりも一般に大きい割合で含
まれており、除去する必要がある。
【０００５】不活性流体を精製するための多くの方法が
従来技術より知られているが、それらは一般に、 −液体状態の不活性流体を精製するのには不適切である
か、 −または、精製するべき不活性流体の中に含まれるＨ2
および／またはＣＯ不純物に対して精製することが可能
でないか、 −または、精製する前に不活性流体を蒸発させる必要が
あるという複数の欠点または不利な点を有している。し
かしながら、そのＨ2 および／またはＣＯ不純物に対し
て実質的に精製された液体状態の不活性流体を得ること
が要求されたときに、精製すべき不活性流体を蒸発さ
せ、前記不活性ガスを精製し、そして得られた精製され
た不活性ガスを再液化するということを連続して行う必
要があるということは、特にエネルギー消費および使用
する装置に関して重要な経済上の欠点を示すものである
ことが明らかである。
【０００６】従って、特許US-A-3,996,082において、ア
ルゴンを合成タイプＡゼオライトに通すことによって、
その酸素不純物に対してアルゴンガスを精製する方法が
説明されている。
【０００７】特許US-A-2,874,030においては、アルゴン
ガスをその酸素不純物に対して精製する方法が説明され
ており、この中で、過剰水素との触媒反応により酸素は
水に転化され、形成された水は続いて脱水手段を用いて
除去されている 特許出願EP-A-0,350,656においては、不活性ガスを、そ
の酸素、一酸化炭素、および水素不純物に対して精製す
る方法が説明されており、この中で、還元された銅を主
成分とする第１の触媒、次に、酸化された銅を主成分と
する第２の触媒の存在下で、１５０ないし２５０℃の温
度において触媒酸化させることにより、不活性ガス中に
存在する一酸化炭素（ＣＯ）および水素（Ｈ2 ）は除去
されて二酸化炭素ＣＯ2 および水Ｈ2 Ｏとなり、これら
はモレキュラーシーブタイプの吸着剤に周囲温度にて吸
着されることで、引き続いて除去される。
【０００８】このように、現存する方法は、どれも液体
状態の不活性流体、すなわち、（それらの泡立ち点を下
回る）低温の温度にて液化された不活性流体を、その水
素（Ｈ2 ）および／または一酸化炭素（ＣＯ）不純物に
対して精製することには適切でない。
【０００９】従って、液体状態の不活性流体を、そのＨ
2 および／またはＣＯ不純物に対して精製するための新
しい方法を開発することが必要である。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】すなわち、本発明の目
的は、その水素および／または一酸化炭素不純物の少な
くとも一方に対して実質的に精製された、例えば窒素ま
たは希ガスのような、液体状態の不活性流体を得るため
の方法であって、 −工業的に使用するのが容易で、また妥当なコストであ
り、 −多くても約１ｐｐｂ±１の水素および／または一酸化
炭素を含む非常に高純度な液体状態の不活性流体を得る
ことを可能にし、 −液体状態の不活性流体に対して、低温の温度、すなわ
ち通常−１８０℃を下回る温度において使用することが
でき、 −高価でないおよび／または容易に入手できる吸着剤を
使用し、 −および、精製すべき液状流体を精製する前に蒸発さ
せ、精製されたこの流体を次に再液化することを、必要
としない方法を提供することである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】従って、本発明は、水素
（Ｈ2 ）および一酸化炭素（ＣＯ）不純物の少なくとも
一方を含む液体状態の不活性流体を、前記不純物の少な
くとも一方に対して精製する方法であって、 ａ）液体状態の不活性流体に含まれる前記Ｈ2 およびＣ
Ｏ不純物の少なくとも一方を吸着するために、精製すべ
き液体状態の流体を少なくとも１種の吸着剤の粒子から
なる少なくとも１つの床に通し、 ｂ）前記Ｈ2 およびＣＯ不純物の少なくとも一方に対し
て実質的に精製された液体状態の不活性流体を回収する
ことを特徴とする方法からなる。
【００１２】前記粒子は、少なくとも１種の金属を含ん
でいることが好ましい。
【００１３】前記粒子は、少なくとも１種の担体に担持
された少なくとも１種の金属からなることが好ましい。
【００１４】前記金属は、白金（Ｐｔ）、パラジウム
（Ｐｄ）、ロジウム（Ｒｈ）およびイリジウム（Ｉｒ）
からなる群から選ばれることが好ましい。
【００１５】前記担体は、アルミナ、シリカ、ゼオライ
トおよび二酸化チタン（ＴｉＯ2 ）からなる群から選ば
れることが好ましい。
【００１６】本発明においては、吸着剤粒子はアルミナ
−タイプ担体に担持されたパラジウム（Ｐｄ）粒子であ
ることが、好ましい形態である。
【００１７】吸着剤粒子は、０．５ないし５重量％、好
ましくは２重量％のオーダーのパラジウム（Ｐｄ）を含
んでいることが好ましい。
【００１８】本発明に係る吸着剤粒子は、ロッド、顆粒
およびボールからなる群に含まれる形態である。
【００１９】本発明においては、吸着工程は、液体状態
の流体に対して、従って、その沸点以下の温度において
行われることが好ましい形態である。
【００２０】精製すべき液体状態の流体は、液体窒素、
液体アルゴンおよび液体ヘリウムからなる群から選ばれ
ることが好ましい。
【００２１】ある場合には、液体状態の前記不活性流体
を、その酸素不純物に対して精製することも必要であ
り、または望ましい。この場合、他の態様として、本発
明に係る方法は、酸素Ｏ2 不純物を吸着する目的で、少
なくとも第２の吸着剤の粒子からなる少なくとも１つの
床に、液体状態の不活性流体を通す補助工程を含む。少
なくとも第２の吸着剤の粒子からなる少なくとも１つの
床に酸素を吸着させるこの補助工程は、前記工程ａ）の
前におよび／または後にくる。
【００２２】言い換えれば、液体状態の不活性流体から
酸素不純物を除去することは、Ｈ2および／またはＣＯ
不純物を除去する前に、および／またはそれ以後に、所
望する通りに行うことができる。
【００２３】第１の態様として、第２の吸着剤の粒子
は、酸素（Ｏ2 ）不純物を選択的に吸着する。
【００２４】第２の態様として、第２の吸着剤の粒子
は、酸素（Ｏ2 ）不純物、ならびにＣＯおよびＨ2 不純
物の少なくとも一方を吸着する。
【００２５】第２の吸着剤の粒子は、例えばホプカライ
トのような多孔質の金属酸化物からなる群から選ばれた
粒子であることが好ましい。
【００２６】本発明は、また、Ｈ2 およびＣＯ不純物の
少なくとも一方を含む液体状態の不活性流体を、前記不
純物の少なくとも一方に対して精製するための装置であ
って、Ｈ2 およびＣＯ不純物の少なくとも一方を吸着す
る目的で、精製すべき液体状態の不活性流体の供給源、
および少なくとも１種の吸着剤の粒子からなる少なくと
も１つの床を含む少なくとも１つの反応器を含み、前記
供給源は少なくとも１つの反応器に接続されていること
を特徴とする装置に関する。
【００２７】少なくとも１つの前記反応器は、少なくと
もＯ2 不純物を吸着する目的で、少なくとも１種の吸着
剤の粒子からなる少なくとも１つの床をさらに備えてい
ることが好ましい。
【００２８】
【発明の実施の形態】本発明に係る装置を、図面を参照
して詳細に説明する。
【００２９】図１は、そのＨ2 およびＣＯ不純物の少な
くとも一方に対して精製すべき、ここでは液体窒素であ
る液体状態の不活性流体の供給源を含み、この供給源は
液体窒素を含む貯蔵タンク１から構成される本発明に係
る装置を示す。前記液体窒素の供給源１は、導管１ａを
介して、吸着ゾーン２に接続されており、この吸着ゾー
ン２は、少なくとも１つの反応器を、また好ましくは、
ここで示したように、液体窒素に含まれる酸素を補助的
に吸着する目的で第１の吸着剤床３ａ、３ｂを、また、
Ｈ2 およびＣＯ不純物の少なくとも一方を吸着する目的
で、第１の床３ａ、３ｂの下流側に配置された第２の吸
着剤床５ａ、５ｂを、それぞれが含む２つの反応器４
ａ、４ｂを含んでいる。
【００３０】液体窒素に含まれるＯ2 不純物（および多
少のＣＯ）を補助的に除去することが可能な、例えばホ
プカライトのような吸着剤床を上流側に供給すること
で、Ｈ2 および／またはＣＯ不純物を除去するための
（Ｐｄ／Ａｌ2 Ｏ3 ）吸着剤床を、それが急速に飽和す
ることを防ぐことにより保存することが、従って、ま
た、所定の時間間隔の間の再生フェーズの数を減らすこ
とが可能となる。
【００３１】精製後、そのＨ2 、ＣＯおよび／またはＯ
2 不純物に対して精製された液体窒素は、導管２ａ、２
ｂを通して、それが使用される現場（図示せず）または
精製された液体窒素を貯蔵するための場所６へ送られ
る。
【００３２】図１に示した通り、液体窒素中のＨ2 およ
びＣＯ不純物を吸着して除去する目的で例えばアルミナ
担体に担持されたパラジウムのような吸着剤を、および
液体窒素に含まれるＯ2 不純物および恐らくは多少のＣ
Ｏを補助的に除去するために第１の吸着剤の上流側に配
置された例えばホプカライトタイプの吸着剤のような他
の吸着剤を、それぞれが含む２つの反応器４ａ、４ｂを
使用することが好ましい。２つの反応器を使用すること
で、それらを交互に動作させることが可能となり、つま
り、反応器の一方を精製に使用している間に、他方を再
生することができる。
【００３３】再生は、例えば以下の手順を用いて、通常
の方法で行われる： −加熱された窒素ガスを使用して吸着器を徐々に、少な
くとも約２００℃の温度にまで、大気圧のもとで加熱す
る； −２００℃の温度にまで加熱された、例えば２％Ｈ2 ／
Ｎ2 混合物のような還元混合物を、反応器へ導入する
（補助工程：ホプカライト−Ｐｄ／Ａｌ2 Ｏ3 の２種類
の床があるときのみ）； −水素Ｈ2 のどんな残留痕跡も除去するために、加熱さ
れた窒素ガスを使用して反応器をフラッシュする（補助
工程：ホプカライト−Ｐｄ／Ａｌ2 Ｏ3 の２種類の床が
あるときのみ）； −吸着器を冷却して次の精製サイクルに向けて用意する
ために、周囲温度の窒素ガスを使用して反応器をフラッ
シュする。
【００３４】再生回路（詳しくは図示せず）は、特に、
再生ガスを供給するための導管７ａおよびヒーター７を
含む；反応器４ａ、４ｂは、恐らく消音器が装着された
空気抜き８を介して、大気と連絡することができる。
【００３５】図１において、精製すべき液体窒素の供給
源は、貯蔵タンク１の形態で示されている。
【００３６】しかしながら、このように示すことで決し
て本発明が限定されるものではなく、液体状態の不活性
流体の供給源という用語は、反応器または複数の反応器
に精製すべき液体状態の前記流体を供給する、例えばタ
ンカー、供給導管、バッファーコンパートメントまたは
低温蒸留カラムなどのいかなる手段をも示すことを意図
している。
【００３７】
【実施例】本発明に係る方法の効率を、本発明の実施例
により説明するが、これに限られるものではない。
【００３８】以下の実施例において、少なくともそのＨ
2 およびＣＯ不純物に対して精製すべき液体状態の不活
性流体は液体窒素からなり、使用された吸着剤はアルミ
ナタイプの担体に担持されたパラジウムタイプである
（Ｐｄ／Ａｌ2 Ｏ3 ）。
【００３９】一酸化炭素ＣＯおよび水素Ｈ2 不純物の量
は、トレース・アナリティカル（ＴＲＡＣＥ ＡＮＡＬ
ＹＴＩＣＡＬ）社から販売されているＲＧＡ３クロマト
グラフを用いて測定され、このアナライザーの検出限界
は、一酸化炭素に対して１ｐｐｂ±１（体積で１０億部
あたりの部）のオーダー、水素に対して５ｐｐｂ±１の
オーダーである。
【００４０】（実施例１）本発明に係る方法の効率を実
証するために、約０．７５ｐｐｍの水素および０．６５
ｐｐｍの一酸化炭素を、アルミナタイプの担体に担持さ
れたパラジウムタイプの吸着剤によって精製した。
【００４１】この目的のために使用した装置は、上述し
たものと同様である。
【００４２】連続したテストを行った。テストを以下の
表Ｉに示す。
【００４３】テスト１およびテスト２に対する作業条件
は、アルミナ−タイプ担体上に含浸させたパラジウムの
量を除いて、同じである。つまり、テスト１は、テスト
２で使用した吸着剤よりも４倍多いパラジウムを含む吸
着剤を用いて行った。
【００４４】精製は、外部冷却源によって−１８７℃の
オーダーの温度にまで過冷却された液体窒素に対して、
約８絶対バール（８．１０5 Ｐａ）の圧力のもとで行っ
た（窒素の泡立ち温度は約−１７２．６℃である）。
【００４５】精製スループットは、約３２ｍ3 （標準温
度および圧力（ＳＴＰ））／時であり、接触時間、つま
り分子が吸着床を横切るのに要した時間は、約２分間で
ある。
【００４６】得られた結果を下表Ｉに示す：
【表１】 Ｎ．Ｄ．：検出されず（≦１ｐｐｂ±１のＣＯ；≦５ｐ
ｐｂ±１のＨ2 ）、 ｐｐｍ ：体積で１００万部あたりの部、 ｐｐｂ ：体積で１０億部あたりの部、 ＮＭ ：測定せず。
【００４７】上表Ｉに示した結果より、以下のことが示
される。
【００４８】−アルミナ担体上に担持されたパラジウム
タイプの吸着剤により、液体窒素を、そのＨ2 およびＣ
Ｏ不純物に対して１ｐｐｂ（体積で１０億部あたりの１
部）を下回る閾値にまで精製することが可能である； −アルミナ担体上に担持されたパラジウムタイプの吸着
剤の吸着度は、貴金属（前記担体上に含浸させたパラジ
ウム）の量に比例する。実際、テスト２の吸着剤（０．
５％Ｐｄ／Ａｌ2 Ｏ3 ）のパラジウム含有量の４倍のパ
ラジウムを含むテスト１の吸着剤（２％Ｐｄ／Ａｌ2 Ｏ
3 ）によって、液体窒素をそのＨ2 およびＣＯ不純物に
対して、約１３時間の間、一貫して１ｐｐｂ未満にまで
精製することができている。一方、テスト２の吸着剤に
よっては、液体窒素をそのＨ2 およびＣＯ不純物に対し
て、上記継続時間の４分の１の間のみ、つまり３時間を
わずかに上回る間、効率的に精製することができてい
た； −精製している時間に渡る効率およびコンシステンシー
は、担持された貴金属量の増加に伴って増加する。実際
上は、つまり工業的には、担持される貴金属の使用すべ
き量は、吸着器の設計容積（これは、窒素流と吸着剤と
の間の一貫した接触時間を可能にするために、最小限の
吸着剤の高さを守ることが必要だからである）、液体窒
素に含まれる除去すべき不純物の量、および再生工程を
行う前に精製することが望ましい液体窒素の体積に依存
する。従って、２％のオーダーのパラジウム含有量の方
が、０．５％の含有量よりも一般的に好ましい；しかし
ながら、４％の含有量は必ずしも望ましくない； −数時間の精製の後（例えば我々のテストでは、２％Ｐ
ｄ／Ａｌ2 Ｏ3 のタイプの吸着剤の場合、約１３時間の
後）に、吸着剤を再生する必要がある。これは、数時間
の精製の後に吸着剤が徐々に飽和することが観察され、
不純物が漏出することを防ぐためにそれを再生する必要
があるからである。
【００４９】本発明に係る液体状態の不活性流体を精製
するための方法は、液体状態の前記不活性ガスを、その
Ｈ2 および／またはＣＯ不純物に対して１ｐｐｂの閾値
にて精製することを可能にするため、全く満足できるも
のである。
【００５０】（実施例２）上で見たように、吸着効率は
使用する吸着剤、特に担体に担持される金属の量に依存
する。
【００５１】上記実施例１で示したテスト１および２
は、アルミナタイプの担体に担持されたパラジウムタイ
プの吸着剤を使用して行った；テスト１および２で使用
したこの吸着剤の特徴を下表IIに示す。
【００５２】
【表２】
【００５３】テスト１および２は、パラジウムを担持し
たアルミナ球のみを使用して行ったが、他のタイプの担
体、金属および／または吸着剤の形態も、本発明の範囲
内にある。
【００５４】すなわち、使用することができる他の貴金
属には、白金、ロジウムおよびイリジウムが含まれる。
【００５５】同様に、アルミナ−タイプ担体が好ましい
が、例えばシリカ、ゼオライトまたは二酸化チタン（Ｔ
ｉＯ2 ）タイプの担体のような他のタイプの担体も、本
発明の範囲内で使用することができる。
【００５６】吸着剤は、ボール、顆粒またはロッドの形
態でも良い。
【００５７】本発明は液体状態の不活性流体に関する
が、ここで説明した方法は、非常に冷たい、つまり−１
３０℃ないし−１７０℃の範囲の温度の不活性ガスを精
製するためにも使用することができる。しかしながら、
非常に冷たいさまざまな不活性ガスに対して行ったテス
トによって、１ｐｐｂの閾値が達成されず、Ｈ2 および
ＣＯ不純物がほとんど即座に漏出する、不完全な従って
不満足な精製が実証されている。
【００５８】さまざまな不活性ガスに対して行われたこ
れらのテストにより、不活性ガスを精製するための既知
の方法は、液体状態の不活性流体を精製することには明
らかに不適当であるが、逆の場合もまた同様に不適当で
あることが、さらに確認されている。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る装置を示す概略図。
【符号の説明】
１…貯蔵タンク、 １ａ、２ａ、２ｂ、７ａ…導管、 ２…吸着ゾーン、 ３ａ、３ｂ…第１の吸着剤床、 ４ａ、４ｂ…反応器、 ５ａ、５ｂ…第２の吸着剤床、 ６…液体窒素貯蔵場所、 ７…ヒーター、 ８…空気抜き。

Claims (18)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 水素（Ｈ2 ）および一酸化炭素（ＣＯ）
    不純物の少なくとも一方を含む液体状態の不活性流体
    を、前記不純物の少なくとも一方に対して精製する方法
    であって、 ａ）前記Ｈ2 およびＣＯ不純物の少なくとも一方を吸着
    するために、精製すべき液体状態の流体を少なくとも１
    種の吸着剤の粒子からなる少なくとも１つの床に通し、 ｂ）前記Ｈ2 およびＣＯ不純物の少なくとも一方に対し
    て実質的に精製された液体状態の流体を回収することを
    特徴とする方法。
  2. 【請求項２】 前記吸着剤粒子は、少なくとも１種の金
    属を含んでいることを特徴とする請求項１記載の方法。
  3. 【請求項３】 前記吸着剤粒子は、少なくとも１種の担
    体に担持された少なくとも１種の金属からなることを特
    徴とする請求項１または２記載の方法。
  4. 【請求項４】 前記金属は、白金（Ｐｔ）、パラジウム
    （Ｐｄ）、ロジウム（Ｒｈ）およびイリジウム（Ｉｒ）
    からなる群から選ばれることを特徴とする請求項２また
    は３記載の方法。
  5. 【請求項５】 前記担体は、アルミナ、シリカ、ゼオラ
    イトおよび二酸化チタン（ＴｉＯ2 ）からなる群から選
    ばれることを特徴とする請求項３記載の方法。
  6. 【請求項６】 前記吸着剤粒子はアルミナ−タイプ担体
    に担持されたパラジウム（Ｐｄ）粒子からなることを特
    徴とする請求項１ないし５いずれか１項記載の方法。
  7. 【請求項７】 前記吸着剤粒子は、０．５ないし１０重
    量％、好ましくは１ないし５重量％のパラジウム（Ｐ
    ｄ）含有量を有することを特徴とする請求項６記載の方
    法。
  8. 【請求項８】 前記吸着剤粒子は、ロッド、顆粒または
    ボールの形態であることを特徴とする請求項１ないし７
    いずれか１項記載の方法。
  9. 【請求項９】 吸着工程が、沸点以下の温度にまで加熱
    された液状流体に対して行われることを特徴とする請求
    項１記載の方法。
  10. 【請求項１０】 そのＨ2 およびＣＯ不純物の少なくと
    も一方に対して精製すべき液体状態の流体は、液体窒
    素、液体アルゴンおよび液体ヘリウムからなる群から選
    ばれることを特徴とする請求項１ないし９いずれか１項
    記載の方法。
  11. 【請求項１１】 液体状態の前記不活性ガスに含まれる
    少なくとも酸素（Ｏ2 ）不純物を吸着する目的で、少な
    くとも第２の吸着剤の粒子からなる少なくとも１つの床
    に、液体状態の不活性流体を通す工程を含むことを特徴
    とする請求項１ないし１０いずれか１項記載の方法。
  12. 【請求項１２】 第２の吸着剤に酸素を吸着させる工程
    は、Ｈ2 およびＣＯ不純物の少なくとも一方を吸着する
    工程ａ）の前におよび／または後にくることを特徴とす
    る請求項１１記載の方法。
  13. 【請求項１３】 第２の吸着剤の粒子は、精製すべき液
    体状態の不活性流体に含まれるＯ2 不純物を選択的に吸
    着することを特徴とする請求項１１または１２記載の方
    法。
  14. 【請求項１４】 第２の吸着剤の粒子は、Ｏ2 不純物、
    ならびにＣＯおよびＨ2 不純物の少なくとも一方を吸着
    することを特徴とする請求項１２または１３記載の方
    法。
  15. 【請求項１５】 第２の吸着剤の粒子は、多孔質の金属
    酸化物からなる群から選ばれた粒子であることを特徴と
    する請求項１４記載の方法。
  16. 【請求項１６】 第２の吸着剤の粒子は、ホプカライト
    タイプであることを特徴とする請求項１５記載の方法。
  17. 【請求項１７】 Ｈ2 およびＣＯ不純物の少なくとも一
    方を含む液体状態の不活性流体を、前記不純物の少なく
    とも一方に対して精製するための装置であって、 精製すべき液体状態の不活性流体の供給源、 Ｈ2 およびＣＯ不純物の少なくとも一方を吸着する目的
    で、少なくとも１種の吸着剤の粒子からなる少なくとも
    １つの床を含む少なくとも１つの反応器を備え、 前記供給源は、少なくとも１つの前記反応器に接続され
    ていることを特徴とする装置。
  18. 【請求項１８】 少なくとも１つの前記反応器は、少な
    くともＯ2 不純物を吸着する目的で、少なくとも第２の
    吸着剤の粒子からなる少なくとも１つの床をさらに備え
    ることを特徴とする請求項１７記載の装置。
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