JPH11226335A - Ｌｓｘゼオライト上の吸着により不活性流体を精製する方法 - Google Patents

Ｌｓｘゼオライト上の吸着により不活性流体を精製する方法

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JPH11226335A
JPH11226335A JP10345028A JP34502898A JPH11226335A JP H11226335 A JPH11226335 A JP H11226335A JP 10345028 A JP10345028 A JP 10345028A JP 34502898 A JP34502898 A JP 34502898A JP H11226335 A JPH11226335 A JP H11226335A
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ダニエル・ガリー
Rene Lardeau
レネ・ラルドー
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Abstract

(57)【要約】 【課題】用いる上で単純であり、適正なコストである、
その主要不純物が実質的に存在しない不活性流体を得る
ための有効なプロセスを提供すること。 【解決手段】その不純物窒素（Ｎ2 ）、酸素（Ｏ2 ）、
二酸化炭素（ＣＯ2 ）、一酸化炭素（ＣＯ）および炭化
水素の少なくとも１種に対して、特にアルゴンまたはヘ
リウムである不活性流体を精製する方法であって、前記
不純物の少なくとも一部を１．１５以下のシリカ対アル
ミニウム比を有するＸゼオライトタイプの第１の吸着剤
を用いて除去し、多くとも１０ｐｐｂ、好ましくは多く
とも１ｐｐｂの不純物を含む精製された不活性流体を回
収する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、不活性流体、特に
アルゴンまたはヘリウムを精製するための方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】アルゴン、クリプトン、キセノンおよび
ヘリウムのような不活性流体は、電子産業においてます
ます用いられてきている。
【０００３】この理由のために、超純粋不活性流体、特
にアルゴンとヘリウム、すなわち、以下のタイプの不純
物、すなわち、酸素（Ｏ2 ）、一酸化炭素（ＣＯ）、窒
素（Ｎ2 ）、二酸化炭素（ＣＯ2 ）、水素（Ｈ2 ）およ
び炭化水素（メタンなど）のようなそれらが含む不純物
が実質的に存在しないものについて増大する需要があ
る。
【０００４】不活性流体の精製、特にその不純物窒素お
よび酸素に対する液体アルゴンまたはアルゴン気体の精
製を扱う多くの刊行物が存在し、その不純物は、正確に
は、酸素については１０００ｐｐｂまで、窒素について
は５００から２０００ｐｐｂの、それらが製造される方
式に応じて変化し得る濃度でアルゴン中に見出され得
る。
【０００５】以下の刊行物は特に引用され得る。すなわ
ち、ＪＰ−Ａ−５８１８７７７、ＪＰ−Ａ−５９２２３
２０３、ＪＰ−Ａ−７１３８００７、ＪＰ−Ａ−３１６
４４１０、ＪＰ−Ａ−５４６１０９１、ＡＵ−Ａ−６５
９７５９、ＵＳ−Ａ−５２０４０７５、ＥＰ−Ａ−６０
６８４８、ＵＳ−Ａ−５４１９８９１、ＵＳ−Ａ−５１
５９８１６、ＥＰ−Ａ−５１４１６３、ＵＳ−Ａ−４９
８３１９４およびＵＳ−Ａ−３９２８００４である。
【０００６】これらの刊行物によれば、アルゴン中に含
まれる不純物Ｎ2 およびＯ2 は一般的に、以下のタイプ
のゼオライト、すなわち、場合に応じてカチオンＬｉ、
Ｋ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｍｇなどのようなカチオンによ
り交換されるＸ、Ａ、モルデナイトまたはチャバザイト
上の吸着により除去される。
【０００７】しかしながら、不活性流体、特にアルゴン
を精製するためのこれらさまざまの方法は、もし一般的
にそれらが電子機器の分野において直接用いられ得る超
純粋流体を得るために適切でないとすれば、完全に満足
であるとはみなされ得ない。
【０００８】これは、電子産業の基準となる仕様は、ア
ルゴンの場合では、不純物Ｎ2 、Ｏ2 および炭化水素の
ようなすべてのその主要不純物が実質的に存在しない、
すなわち、前記不純物のそれぞれについて１ｐｐｂ台の
最大レベルを含む不活性流体を要求するからである。
【０００９】現在のところ、ほとんどの公知の方法は、
特にアルゴンについては、部分的に精製された不活性流
体、すなわち１００ｐｐｂを超える不純物、特にＮ2 お
よびＯ2 、および通常は１ｐｐｍを超えるＯ2 およびＮ
2 不純物を含むものを得ることを可能とするのみであ
る。
【００１０】しかしながら、その様なレベルの不純物は
電子機器の分野においては受容され得ない。と言うの
は、これらの不純物はプリント回路のような材料および
電子部品と反応し得るものであり、それらに損傷を引き
起こし得るものだからである。
【００１１】更に、その炭化水素不純物、特にメタン
（ＣＨ4 ）に対して、不活性流体を精製する問題は現在
まで解決されてこなかったかまたは完全には解決されて
こなかった。
【００１２】しかしながら、炭化水素タイプの不純物は
不活性流体、特にアルゴン、特に低温蒸留と工業的水素
の存在下での温熱触媒的脱酸素との組み合わせのプロセ
スを用いて製造されるアルゴン中に見出され、その水素
はしばしば、製造部位で実施される分析により示された
ような４００ｐｐｂまでであり得るレベルで、すなわち
酸素不純物のレベルと匹敵し得るレベルで痕跡量のＣＨ
4 タイプの不純物を含み、その酸素は、窒素とともに、
アルゴンの主要汚染物質であるとみなされる。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】従って、本発明の目的
は、用いる上で単純であり、適正なコストであって、そ
の主要不純物、すなわちＯ2 、Ｎ2 および炭化水素が実
質的に存在しない、すなわち多くとも約１ｐｐｂの前記
不純物を含む、特にアルゴンである不活性流体を得るた
めの、好ましくはＰＳＡ（圧力スイング吸着）またはＴ
ＳＡ（温度スイング吸着）プロセスである有効なプロセ
スを提供することである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】従って、本発明は、不純
物の少なくとも一部を、１．１５以下であるシリカ対ア
ルミニウム比を有するＸゼオライトタイプの第１の吸着
剤を用いて除去し、多くとも１０ｐｐｂの不純物を含む
精製された不活性流体を回収する、その不純物窒素（Ｎ
2 ）、酸素（Ｏ2 ）、二酸化炭素（ＣＯ2 ）、一酸化炭
素（ＣＯ）および炭化水素の少なくとも１種に対して不
活性流体を精製するための方法に関する。その様なゼオ
ライトは通常は、ＬＳＸ（低シリカＸ）ゼオライトと称
される。
【００１５】
【発明の実施の形態】個々の場合に応じて、本発明の方
法は１以上の以下の特徴を具備し得る。すなわち、 −フォージャサイトタイプのＸゼオライトは、１．１０
以下、好ましくは１台のシリカ対アルミニウム比を有す
る。
【００１６】−吸着剤は、同一の性質または異なる性質
の少なくとも１０％、好ましくは少なくとも５０％の金
属カチオンを含むＸまたはＬＳＸゼオライトである。
【００１７】−カチオンは、アルカリ金属（Ｌｉ、Ｋな
ど）、アルカリ土類金属（Ｃａ、Ｓｒ、Ｍｇなど）およ
び遷移金属（Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕ、Ｚｎなど）またはそれ
らの混合物からなる群から選択され、好ましくはＣａま
たはＡｇカチオンから選択される。
【００１８】−Ｏ2 不純物の少なくとも一部は、多孔性
金属酸化物および場合に応じて交換されたクリノプティ
ロライトから選択される第２の吸着剤を用いて除去され
る。
【００１９】−不純物は、−１８７℃ないし−１３５
℃、好ましくは−１８６℃ないし−１４６℃の温度で除
去される。
【００２０】−Ｘゼオライトは少なくとも７０％、好ま
しくは７５％から９５％のカルシウムカチオンを含む。
【００２１】−Ｘゼオライトは５％から９５％のカルシ
ウムカチオンおよび９５％から５％のリチウムカチオ
ン、好ましくは８０％から９５％のリチウムカチオンを
含む。
【００２２】−ゼオライトは更に、カリウムおよび／ま
たはナトリウムカチオン、好ましくは０％から１０％の
カリウムカチオンおよび／または１％から２０％のナト
リウムカチオンを含む。
【００２３】−不純物は１０5 Ｐａないし３×１０6 Ｐ
ａ、好ましくは１０5 Ｐａないし１．７×１０6 Ｐａの
圧力で除去される。
【００２４】−前記第１の吸着剤および第２の吸着剤は
同一の吸着装置に導入される。
【００２５】−多くともほぼ１ｐｐｂの不純物を含む精
製された不活性流体が回収される。
【００２６】−不活性流体はアルゴン、ネオン、クリプ
トン、キセノン、ヘリウムなどから選択される。
【００２７】−それは、不活性気体および／または還元
性気体混合物で少なくとも１種の吸着剤を再生する工程
を含む。
【００２８】従って、吸着装置がＬＳＸゼオライトの床
のみを含むとき、周囲温度のまたは１００℃ないし２０
０℃の温度に加熱された窒素のような不活性気体を用い
てこの床の再生を実施することが可能であり、続いて、
周囲温度で精製されたアルゴンで最終的なフラッシング
をするかまたは加熱される。逆に、吸着装置が更に、ホ
プカライトのような金属酸化物粒子の床を含むとき、そ
のときは、例えば窒素における２％水素のような水素を
含む気体混合物のような還元性流体でそれらをフラッシ
ングすることによりそのホプカライト粒子の再生を実施
することもまた適切であり、続いてアルゴンで最終的な
フラッシングをする。
【００２９】しかしながら、還元性気体によるその様な
フラッシングが実施されるとき、その固有の特性、すな
わち、特に交換されたＬＳＸゼオライトの選択性および
吸着能力を損なうことを回避するために、この還元性気
体と、銀または銅のような遷移金属で交換されるＬＳＸ
ゼオライトとの間の接触を回避するかまたは最小化する
ために注意が払われるべきである。このことをなすため
に、意図が向流において再生することであるときは、交
換されたＬＳＸゼオライトの床の下流に還元性気体を導
入することが好ましく、または逆に、ＵＳ−Ａ−４５７
９７２３において記載されている様に、特に２つの床の
間に便宜上位置するパージを補助として並流再生が実施
されるとき、ＬＳＸゼオライトの床との接触に至る前に
それを抽出する。
【００３０】好ましくは、本発明は、例えば、その沸点
より約３０℃高い温度を有する極めて低い温度での２相
性液体アルゴンまたはアルゴン気体の精製に適用され
る。
【００３１】本発明は、精製される流体を供給するため
の手段および少なくとも１種の吸着剤の少なくとも１基
の粒子の床を含む少なくとも１基の吸着装置を具備する
前述のプロセスを実施することを可能とするプラントに
もまた関する。
【００３２】第１の態様において、吸着装置は、少なく
ともＣＨ4 およびＮ2 不純物を除去することを意図した
ＬＳＸタイプの吸着剤の少なくとも１基の第１の床およ
びＯ2 不純物の少なくとも一部を除去することを意図し
たホプカライトタイプの吸着剤の１基の第２の床を含
む。
【００３３】異なる性質の吸着剤の２つの床は、個々の
場合に応じて、単に格子により分離される一方で互いに
上下に設置され得るものであり、または代わりに、何も
ない空間により互いから離間され得る、すなわち、ゼオ
ライトが遷移金属で交換されるとき、刊行物ＵＳ−Ａ−
４５７９７２３において表される様に、所定の高さまた
は再分布（ｒｅｄｉｓｔｒｉｂｕｔｉｏｎ）ゾーンを有
する。
【００３４】第２の態様において、吸着装置は、ＬＳＸ
およびホプカライトタイプの吸着剤粒子の混合物を含む
単一の床を含む。
【００３５】有利には、金属フィルターまたはセラミッ
クフィルターのような機械的ろ過手段が、吸着剤ビーズ
の摩擦／摩耗により作り出される微粒子またはダストを
保持するようにそれぞれの吸着装置の下流に配置され
る。
【００３６】本発明の方法およびプラントは特にアルゴ
ンである超純粋不活性流体を得ることを可能とし、それ
はその不純物が実質的に存在せず、電子産業の仕様に見
合う、すなわち、約１ｐｐｍ未満の前記不純物を含む。
【００３７】本発明は、これから、例示として与えられ
るがいかなる限定も含意しない例を補助として説明され
るであろう。
【００３８】図２は、本発明による方法を実施すること
が可能な、液体アルゴンのような液体状態における不活
性流体を精製するための装置を表す。
【００３９】より正確には、図２はここでは純粋でない
液体アルゴンである精製される不活性流体を含むタンカ
ーを示し、そのタンカー１は本発明による流体精製装置
に出口ホース１’を経由して接続される。ホース１’か
ら前記装置への流体の移動は、弁Ｖ１により制御され
る。
【００４０】図２における装置は、純粋でない液体アル
ゴンが精製される吸着装置２を具備し、その吸着装置２
は、酸素タイプの不純物の少なくとも一部を除去するこ
とを意図する、ホプカライトのような多孔性金属酸化物
の第１の床３および多孔性金属酸化物の第１の床３によ
り保持されない不純物を除去することを意図するＬＳＸ
ゼオライトの第２の床４を含む。床３および４は再分布
ゾーン５により分離される。すなわち、床３および４は
前記再分布ゾーン５に対応して互いからの所定の距離で
配置される。
【００４１】吸着装置２において精製された液体アルゴ
ンは次いで、ラインを経由して、吸着装置２において位
置する吸着剤粒子の摩擦摩耗の結果現れ得るダストおよ
び微粒子を除去することを意図するここでは焼結された
金属であるろ過手段７に排出される。
【００４２】液体アルゴンが可能的には含み得るダスト
が除去された超純粋液体アルゴンは次いで、ラインを経
由して、ユーザー部位１０に運ばれるかまたは、もし適
切であれば貯蔵容器９において貯蔵される。
【００４３】通常、タンカー１を荷おろしするのを始め
る前に、ホース１’および弁Ｖ１、Ｖ２およびＶ３の間
に位置するライン区画を大気１１および１３にパージす
るように注意が払われる。
【００４４】吸着剤が再生されるとき、採用される手順
は以下の例において記載されるものである。すなわち、
例えば、容器９から採取された気化された液体アルゴ
ン、または貯蔵容器１２から採取された液体窒素もしく
は窒素気体のような１００℃を超える温度での不活性流
体流でＬＳＸゼオライト床４をフラッシュする。前記不
活性流体は、それがその中のＬＳＸゼオライト床４を再
生するために吸着装置２に導入される前にヒーター８に
おいて１００℃を超える温度に加熱される。
【００４５】更に、ホプカライト床は水素と窒素との気
体混合物（２％水素を有する）のような還元性流体を用
いて再生される。水素は、貯蔵容器６から採取され、次
いで適切なタップ１４により再分布ゾーン５のレベルで
吸着装置２に導入され、次いでＬＳＸゼオライト装填物
から溶出される不活性流体と混合される。
【００４６】前記ホプカライト床が再生されるとき、還
元気体（Ｈ2 ／Ｎ2 ）とＬＳＸゼオライト床との間の接
触は可能な限り回避される。
【００４７】２つの床３および４は向流で再生されるこ
とが注意されるべきである。パージ流体は、ラインおよ
びパージ手段１１およびＶ３を経由して大気に排出され
る。
【００４８】２つの吸着材床４および３が再生された
後、吸着装置２は、容器９から採取される気化された液
体アルゴンで向流においてそれをフラッシュすることに
より精製可能な状態に回復される。
【００４９】その部分として、図３は、図３におけるプ
ラントがＬＳＸタイプのゼオライトの単一の床４’のみ
を含む吸着装置２を具備するということ以外は、図２に
おけるものと実質的に同一の工業的プラントを表す。
【００５０】更に、タップライン１４、分布ゾーン５お
よび水素源６はもはやこの場合には存在しないことが見
られ得る。
【００５１】装置の他の部分は図２におけるものと実質
的に同一であるので、それらは以下で再び説明されない
であろう。
【００５２】図２および３は液体形態におけるアルゴン
を精製するための装置に関するけれども、同様のまたは
同一の装置は、例えば、液体、気体または２相形態にお
けるアルゴンまたは特にヘリウムのような別の不活性流
体を精製するために製造され得るであろう。
【００５３】従って、１以上の熱交換器が吸着装置２と
弁Ｖ１との間に組み込まれ得るものであり、これらの熱
交換器は、アルゴン気体を精製する意図がある場合にお
いて液体アルゴンを気化し、このようにして、続いて吸
着装置２において精製されるであろうアルゴン気体を得
ることが意図される。
【００５４】その上、吸着装置の１つが製造相、すなわ
ち精製相にある一方で、他方は再生相にあるように並行
して操作する、１基ではなく、２基以上の吸着装置２を
有することもまた可能である。
【００５５】
【実施例】以下の実施例において、分析はＡＰＩＭＳタ
イプ（大気圧イオン質量分光分析）の分析装置で実施さ
れ、その検出しきい値は以下のようである。すなわち、
ＣＯについては約０．０５ｐｐｂ、ＣＨ4 については約
０．０１ｐｐｂ、Ｏ2 については約０．００５ｐｐｂ、
ＣＯ2 については約０．００１ｐｐｂおよびＮ2 につい
ては約１ｐｐｂ。
【００５６】実施例１ アルゴン気体は、低温空気蒸留とデオキソ法とを組み合
わせるハイブリッドプロセスにより製造される。
【００５７】この方式で製造されたアルゴン気体の分析
では、それは、不純物として約３５０ｐｐｂのＣＨ4 、
１４００ｐｐｂのＮ2 および４００ｐｐｂのＯ2 を含む
ことを示す。次いで、それは、２００ｐｐｂのＣＯで人
工的に汚染される。
【００５８】ついで、純粋でないアルゴン気体は、前記
純粋でないアルゴンを、以下のものを連続的に通過させ
ることにより精製に供される。すなわち、 −カルシウムで９０％まで交換され、Ｓｉ／Ａｌ比＝１
を有するＬＳＸゼオライト（ＣａＬＳＸ）の第１の床
で、少なくともＣＨ4 、Ｎ2 およびＣＯ不純物を保持す
ることが意図された第１の床。
【００５９】−Ｏ2 不純物を除去するためのホプカライ
トの第２の床。
【００６０】この精製は、ほぼ−１６０℃および７×１
０5 Ｐａ台の圧力で実施される。
【００６１】２つの吸着材床は、同一の吸着装置または
ボトルの中に配置される。
【００６２】この方式で精製されたアルゴンは回収さ
れ、再分析され、その結果は、そのＣＨ4 、Ｎ2 、ＣＯ
およびＯ2 不純物のアルゴンにおけるレベルは多くとも
ほぼ１ｐｐｂであることを示す。
【００６３】実施例２ 実施例２は、それが液体アルゴンで実施され、ボトル、
すなわち吸着装置が、この時は異なる性質の吸着剤粒子
の混合物（ＬＳＸ／ホプカライト混合物）からなる単一
の床を含むということ以外は実施例１と同様である。
【００６４】この事例において、精製温度は−１６３℃
であり、圧力は７×１０5 Ｐａである。
【００６５】得られた結果は実施例１におけるものと同
一であり、したがって、上記不純物について液体アルゴ
ンまたはアルゴン気体の精製における本発明の方法の有
効性を例証する。
【００６６】実施例３ この実施例は実施例２と同様であるがしかし、以下の不
純物、すなわち、５００ｐｐｂのＯ2 、２００ｐｐｂの
ＣＯおよび５００ｐｐｂのＣＨ4 を含む超冷却液体クリ
プトンの精製に関する。
【００６７】汚染された液体クリプトンは、前記クリプ
トンを２重床（ＬＳＸ＋ホプカライト）を通過させるこ
とにより、−１５３℃の温度および７×１０5 Ｐａの圧
力で精製される。
【００６８】２ｐｐｂ未満のＯ2 、ＣＯおよびＣＨ4 を
含むクリプトンが回収される、すなわち、用いられる分
析装置の検出しきい値を下回る不純物の量である（Ｏ2
についてはＯＳＫタイプの分析装置ならびにＣＯおよび
ＣＨ4 についてはＲＧＡ５分析装置：検出しきい値は２
ｐｐｂ未満）。
【００６９】実施例４ 超冷却液体アルゴンが、−１８５℃台の温度および８×
１０5 Ｐａの圧力で精製される。
【００７０】精製されていないアルゴン、すなわち、精
製前のアルゴンは、ほぼ１００ｐｐｂのＣＯ、５００ｐ
ｐｂのＯ2 、１００ｐｐｂのＣＯ2 、５００ｐｐｂのＣ
Ｈ4および２０００ｐｐｂのＮ2 を含む。
【００７１】精製プロセスは、カルシウムカチオンで９
０％まで交換されたＬＳＸゼオライトの床およびホプカ
ライト床、すなわち銅と酸化マンガンの混合物を用い
る。２つの床は同一の吸着装置に組み込まれるがしか
し、図２において表されているように再分布ゾーンとし
ての約１０ｃｍの高さにより分離される。
【００７２】得られた結果は図１において表され、それ
は、縦軸上に、精製後の液体アルゴンにおいて含まれる
Ｎ2 、ＣＯ2 、Ｏ2 、ＣＯおよびＣＨ4 不純物（ｐｐｂ
として）のレベル（Ｃ）を与え、横軸上に、精製プロセ
スの持続時間（Ｔ）（時間として）を与える。
【００７３】本発明の方法が、少なくとも連続して５時
間にわたって液体アルゴンにおいてほぼ１ｐｐｂ台の不
前記純物のレベルを保証することは明らかに理解し得る
ことであり、このことは、電子産業の仕様と完全に合致
する。
【００７４】実施例５ 試験は実施例４におけるものと同一の条件下で実施さ
れ、ほぼ２００ｐｐｂのＣＯ、１０００ｐｐｂのＯ2 、
１０００ｐｐｂのＣＨ4 、１００ｐｐｂのＣＯ2および
４０００ｐｐｂのＮ2 を含む液体アルゴンで実施され、
実施例４におけるように、多くともほぼ１ｐｐｂの前記
不純物を含む精製された液体アルゴンを導いた。
【００７５】実施例６ 精製後、実施例４および５で用いられた吸着装置は以下
の方式で、２００から２５０℃の温度および大気圧で再
生に供せられた。すなわち、 ａ）窒素のような不活性気体で吸着材床をフラッシュ
し、 ｂ）金属酸化物を還元するためにＨ2 ／Ｎ2 混合物（２
％Ｈ2 ）でホプカライト床をフラッシュし、 ｃ）残留水素をパージするために窒素のような不活性気
体でフラッシュし、 ｄ）吸着装置を冷却し、再状態調整するためにすでに精
製されたアルゴン気体でフラッシュする。
【００７６】ＬＳＸゼオライトのみが用いられるとき、
ＬＳＸゼオライトの床は、不活性流体でフラッシュし、
場合によってはアルゴン気体で最終フラッシュをし、パ
ージする間に、例えば周囲温度のような低温および大気
圧で再生され得ることが注意されるべきである。
【図面の簡単な説明】
【図１】アルゴン精製の結果得られた不純物レベルを示
すグラフ図表である。
【図２】本発明によるアルゴンを精製するための装置を
表す。
【図３】ＬＳＸタイプのゼオライトの単一の床のみを含
む吸着装置２を具備する本発明によるアルゴンを精製す
るための装置を表す。
【符号の説明】
１…タンカー １’…ホース ２…吸着装置 ３…第１の床 ４…第２の床 ５…再分布ゾーン ７…ろ過手段 ８…ヒーター ６，９，１２…貯蔵容器 １０…ユーザー部位 １１，１３…大気 １４…タップ Ｖ１，Ｖ２，Ｖ３…弁
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 レネ・ラルドー フランス国、91160 ソールクス・レ・シ ャルトルー、リュ・サディ・カルノ 144

Claims (14)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 その不純物窒素（Ｎ2 ）、酸素
    （Ｏ2 ）、二酸化炭素（ＣＯ2 ）、一酸化炭素（ＣＯ）
    および炭化水素の少なくとも１種について不活性流体を
    精製する方法であって、前記不純物の少なくとも一部を
    １．１５以下のシリカ対アルミニウム比を有するＸゼオ
    ライトタイプの第１の吸着剤を用いて除去し、多くとも
    １０ｐｐｂの不純物を含む精製された不活性流体を回収
    することを特徴とする不活性気体を精製する方法。
  2. 【請求項２】 Ｘゼオライトが１．１０以下、好ましく
    は１台のシリカ対アルミニウム比を有することを特徴と
    する請求項１記載の方法。
  3. 【請求項３】 吸着剤が、少なくとも１０％、好ましく
    は少なくとも５０％の同一の性質または異なる性質のカ
    チオンを含むＸまたはＬＳＸゼオライトであることを特
    徴とする請求項１および２のいずれか１項記載の方法。
  4. 【請求項４】 カチオンが、カルシウム、銀、銅、スト
    ロンチウム、バリウム、リチウム、金、亜鉛、カリウ
    ム、ナトリウム、マグネシウムまたはそれらの混合物か
    らなる群から選択されることを特徴とする請求項１から
    ３のいずれか１項記載の方法。
  5. 【請求項５】 Ｘゼオライトが少なくとも７０％、好ま
    しくは７５％から９５％のカルシウムカチオンを含むこ
    とを特徴とする請求項１から４のいずれか１項記載の方
    法。
  6. 【請求項６】 Ｘゼオライトが５％から９５％のカルシ
    ウムカチオンおよび９５％から５％のリチウムカチオ
    ン、好ましくは８０％から９５％のリチウムカチオンを
    含むことを特徴とする請求項１から４のいずれか１項記
    載の方法。
  7. 【請求項７】 ゼオライトが更に、カリウムおよび／ま
    たはナトリウムカチオン、好ましくは０％から１０％の
    カリウムカチオンおよび／または１％から２０％のナト
    リウムカチオンを含むことを特徴とする請求項５および
    ６のいずれか１項記載の方法。
  8. 【請求項８】 Ｏ2 不純物の少なくとも一部が、多孔性
    金属酸化物および場合に応じて交換されたクリノプティ
    ロライトから選択される第２の吸着剤を用いて除去され
    ることを特徴とする請求項１から７のいずれか１項記載
    の方法。
  9. 【請求項９】 不純物が−１８７℃ないし−１３５℃の
    温度で除去されることを特徴とする請求項１から８のい
    ずれか１項記載の方法。
  10. 【請求項１０】 不純物が１０5 Ｐａないし３×１０6
    Ｐａの圧力で除去されることを特徴とする請求項１から
    ９のいずれか１項記載の方法。
  11. 【請求項１１】 前記第１の吸着剤および第２の吸着剤
    が同じ吸着装置に導入されることを特徴とする請求項１
    から１０のいずれか１項記載の方法。
  12. 【請求項１２】 多くともほぼ１ｐｐｂの不純物を含む
    精製された不活性流体が回収されることを特徴とする請
    求項１から１１のいずれか１項記載の方法。
  13. 【請求項１３】 不活性流体がアルゴン、ネオン、クリ
    プトン、キセノンおよびヘリウムから選択されることを
    特徴とする請求項１から１２のいずれか１項記載の方
    法。
  14. 【請求項１４】 不活性気体および／または還元性気体
    で少なくとも１種の吸着剤を再生する工程を具備するこ
    とを特徴とする請求項１から１３のいずれか１項記載の
    方法。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20150125978A (ko) * 2013-03-01 2015-11-10 프랙스에어 테크놀로지, 인코포레이티드 액체상 극저온 흡착을 통한 아르곤의 정제

Families Citing this family (34)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2782507B1 (fr) * 1998-08-21 2000-09-29 Air Liquide Procede de fabrication de particules de zeolite x echangee par des cations metalliques
FR2792220B1 (fr) * 1999-04-19 2001-06-15 Air Liquide Procede psa mettant en oeuvre un adsorbant a resistance intrinseque favorable a la cinetique d'adsorption
FR2800995B1 (fr) * 1999-10-05 2002-01-04 Ceca Sa Adsorbants zeolitiques, leur procede d'obtention et leur utilisation pour la decarbonation de flux gazeux
US6302943B1 (en) * 1999-11-02 2001-10-16 Air Products And Chemicals, Inc. Optimum adsorbents for H2 recovery by pressure and vacuum swing absorption
DE60120819T2 (de) * 2000-04-04 2007-06-28 Tosoh Corp., Shin-Nanyo Verfahren zur adsorptiven Trennung von Kohlendioxid
US6596256B1 (en) * 2000-08-28 2003-07-22 The Boc Group, Inc. Synthesis of low silicon sodium X zeolite
US6824590B2 (en) * 2000-11-07 2004-11-30 Air Products And Chemicals, Inc. Use of lithium-containing fau in air separation processes including water and/or carbon dioxide removal
US6500235B2 (en) * 2000-12-29 2002-12-31 Praxair Technology, Inc. Pressure swing adsorption process for high recovery of high purity gas
US6432170B1 (en) * 2001-02-13 2002-08-13 Air Products And Chemicals, Inc. Argon/oxygen selective X-zeolite
RU2205059C1 (ru) * 2001-10-15 2003-05-27 Общество с ограниченной ответственностью "Акела-Н" Способ отделения газовых примесей от газовых смесей
MXPA02011336A (es) * 2001-11-19 2003-05-26 Air Prod & Chem Proceso y adsorbente para la recuperacion de cripton y xenon de una corriente liquida o de gas.
US6658894B2 (en) 2001-11-19 2003-12-09 Air Products And Chemicals, Inc. Process and adsorbent for the recovery of krypton and xenon from a gas or liquid stream
JP3572548B2 (ja) * 2002-05-24 2004-10-06 日本酸素株式会社 ガス精製方法及び装置
FR2863909B1 (fr) * 2003-12-22 2006-05-26 Ceca Sa Methode de purification de flux gazeux pollue par co2 et hydrocarbure(s) et/ou oxyde(s) d'azote par adsorbant zeolitique agglomere
US7452407B2 (en) * 2006-02-28 2008-11-18 Air Products And Chemicals, Inc. Production of carbon monoxide-free hydrogen and helium from a high-purity source
US8535414B2 (en) * 2010-09-30 2013-09-17 Air Products And Chemicals, Inc. Recovering of xenon by adsorption process
US9457337B2 (en) 2013-03-01 2016-10-04 Praxair Technology, Inc. Adsorbent composition for argon purification
US9644890B2 (en) * 2013-03-01 2017-05-09 Praxair Technology, Inc. Argon production method and apparatus
US9676629B2 (en) 2015-06-09 2017-06-13 Praxair Technology, Inc. Helium enhanced heat transfer in adsorptive liquid or gas phase argon purification processes
US10012438B2 (en) 2015-07-31 2018-07-03 Praxair Technology, Inc. Method and apparatus for argon recovery in a cryogenic air separation unit integrated with a pressure swing adsorption system
US10018413B2 (en) 2015-07-31 2018-07-10 Praxair Technology, Inc. Method and apparatus for increasing argon recovery in a cryogenic air separation unit integrated with a pressure swing adsorption system
US10012437B2 (en) 2015-07-31 2018-07-03 Praxair Technology, Inc. Method and apparatus for argon recovery in a cryogenic air separation unit integrated with a pressure swing adsorption system
US10066871B2 (en) 2015-07-31 2018-09-04 Praxair Technology, Inc. Method and apparatus for argon rejection and recovery
CN105181841A (zh) * 2015-09-08 2015-12-23 中国人民解放军63653部队 仪器化氙气快速纯化系统装置
US9925514B2 (en) 2016-02-22 2018-03-27 Air Products And Chemicals, Inc. Modified chabazite adsorbent compositions, methods of making and using them
US20170239641A1 (en) 2016-02-22 2017-08-24 Air Products And Chemicals, Inc. Modified Chabazite Adsorbent Compositions, Methods of Making and Using Them
US9669349B1 (en) 2016-02-22 2017-06-06 Air Products And Chemicals, Inc. Modified chabazite adsorbent compositions, methods of making and using them
CN107486146B (zh) * 2017-09-06 2020-10-23 洛阳建龙微纳新材料股份有限公司 一种混合阳离子LiCa-LSX分子筛制法及应用
US11262125B2 (en) 2018-01-02 2022-03-01 Praxair Technology, Inc. System and method for flexible recovery of argon from a cryogenic air separation unit
CN108114566B (zh) * 2018-02-09 2024-03-15 大连华邦化学有限公司 具有快速再生功能的气体纯化器
FR3087670B1 (fr) * 2018-10-26 2020-10-23 Air Liquide Procede de conditionnement d'un recipient comprenant un materiau granulaire
WO2021043441A1 (de) 2019-09-05 2021-03-11 Linde Gmbh Verfahren und anlage zur reinigung eines kryogen verflüssigten gases
US12077434B2 (en) 2022-02-08 2024-09-03 Air Products And Chemicals, Inc. Method for producing high purity hydrogen
US11945721B2 (en) 2022-02-08 2024-04-02 Air Products And Chemicals, Inc. Method for producing high purity hydrogen

Family Cites Families (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2810454A (en) * 1953-12-24 1957-10-22 Union Carbide Corp Argon purification
GB809168A (en) * 1956-08-29 1959-02-18 British Oxygen Co Ltd Purification of argon
US3535074A (en) * 1965-10-29 1970-10-20 Hitachi Ltd Method and apparatus for purifying crude inert gases
GB1446201A (en) * 1973-01-08 1976-08-18 Air Prod & Chem Purification of inert gases
SU516410A1 (ru) * 1973-12-06 1976-06-05 Ленинградский технологический институт холодильной промышленности Способ очистки аргона
US4054428A (en) * 1976-05-03 1977-10-18 Hankison Corporation Method and apparatus for removing carbon monoxide from compressed air
GB1572968A (en) * 1978-05-31 1980-08-06 Air Prod & Chem Method of purifying crude argon
JPS6140807A (ja) * 1984-08-03 1986-02-27 Hitachi Ltd アルゴンガスの精製方法および装置
US5174979A (en) * 1989-10-06 1992-12-29 Uop Mixed ion-exchanged zeolites and processes for the use thereof in gas separations
US5100447A (en) * 1990-08-30 1992-03-31 The Boc Group, Inc. Argon recovery from partial oxidation based ammonia plant purge gases
US5125934A (en) * 1990-09-28 1992-06-30 The Boc Group, Inc. Argon recovery from argon-oxygen-decarburization process waste gases
US5106399A (en) * 1991-02-25 1992-04-21 Union Carbide Industrial Gases Technology Corporation Argon purification system
US5152813A (en) * 1991-12-20 1992-10-06 Air Products And Chemicals, Inc. Nitrogen adsorption with a Ca and/or Sr exchanged lithium X-zeolite
AU659759B2 (en) * 1992-10-01 1995-05-25 Boc Group, Inc., The Purification of argon by cryogenic adsorption
US5268023A (en) * 1992-10-05 1993-12-07 Air Products And Chemicals, Inc. Nitrogen adsorption with highly Li exchanged X-zeolites with low Si/Al ratio
US5601634A (en) * 1993-09-30 1997-02-11 The Boc Group, Inc. Purification of fluids by adsorption
NZ264478A (en) * 1993-09-30 1996-10-28 Boc Group Inc Argon purification using temperature swing adsorption: liquid argon passed through adsorption bed at temperature between the bubble point and dew point
FR2714618B1 (fr) * 1993-12-31 1996-05-24 Air Liquide Procédé et dispositif pour la préparation d'azote liquide de haute pureté.
US5464467A (en) * 1994-02-14 1995-11-07 The Boc Group, Inc. Adsorptive separation of nitrogen from other gases
IL112027A (en) * 1994-02-14 1999-03-12 Boc Group Inc A method for separating nitrogen from other gases
DE19528188C1 (de) * 1995-08-01 1996-12-05 Bayer Ag Verfahren zur Adsorption von Stickstoff aus Gasgemischen mittels Druckwechseladsorption mit Zeolithen
FR2749004B1 (fr) * 1996-05-24 1998-07-10 Air Liquide Procede pour la purification de melanges gazeux a base d'hydrogene utilisant une zeolithe x echangee au lithium
FR2749575B1 (fr) * 1996-06-07 1998-07-10 Air Liquide Procede et dispositif de preparation d'azote liquide de haute purete
US5868818A (en) * 1996-08-08 1999-02-09 Tosoh Corporation Adsorbent for air separation, production method thereof, and air-separation method using it

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20150125978A (ko) * 2013-03-01 2015-11-10 프랙스에어 테크놀로지, 인코포레이티드 액체상 극저온 흡착을 통한 아르곤의 정제

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