KR920018887A - 종형 열처리 장치에 있어서의 웨이퍼를 실어서 이송하는 방법 및 웨이퍼를 실어서 이송하는 기구를 가지는 종형 열처리장치 - Google Patents

종형 열처리 장치에 있어서의 웨이퍼를 실어서 이송하는 방법 및 웨이퍼를 실어서 이송하는 기구를 가지는 종형 열처리장치 Download PDF

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Abstract

내용 없음

Description

종형 열처리 장치에 있어서의 웨이퍼를 실어서 이송하는 방법 및 웨이퍼를 실어서 이송하는 기구를 가지는 종형 열처리장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 실시예에 관계된 종형 CVD장치의 주요부를 절결하여 그 전체 개요를 나타낸 도면.
제2도는 CVD장치의 카세트실, 실어서 이송하는 로보트실, 보트 로딩/언로딩실의 개요를 나타낸 평면 레이아우트 도면.
제3도는 웨이퍼 보트 및 보트 승강장치를 나타낸 사시도.

Claims (13)

  1. 프로세스튜브의 아래쪽에 보트 로딩/언로딩 챔버를 설치하여, 이 보트 로딩/언로딩 챔버내에 보트 승강수단을 준비하고, 상기 보트 로딩/언로딩 챔버에 연결되어 통하는 웨이퍼 반입반출 챔버를 설치하고, 이 웨이퍼 반입 반출 챔버내에 로봇수단을 준비하고, 상기 보트 승강수단 위에 보트를 재치하고, 보트를 스텝바이스텝으로 하강시켜서 상기 로보트 수단에 의하여 보트의 하단쪽으로 부터 차례로 웨이퍼를 보트에 로드하고, 보트에 쌓여진 웨이퍼를 상기 프로세서튜브내에서 열처리하고, 보트를 스텝바이스텝으로 상승시켜서, 상기 로보트 수단에 의하여 보트의 상단쪽으로부터 차례로 웨이퍼를 보트로부터 언로드하는 공정으로 이루어지는 종형열처리장치에 있어서의 웨이퍼를 실어서 이송하는 방법.
  2. 제1항에 있어서, 웨이퍼 반입반출 챔버에 연결되어 통하는 카세트 챔버를 설치하고, 이 카세트챔버내의 카세트로부터 웨이퍼를 상기 로봇 수단에 의하여 꺼내는 것으로 이루어지는 웨이퍼를 실어서 이송하는 방법.
  3. 제1항에 있어서, 웨이퍼 반입반출 챔버내에서 웨이퍼를 폴리얼라인하고, 이 뒤에 보트 로딩/언로딩 챔버내에 웨이퍼를 반입하는 것으로 이루어지는 웨이퍼를 실어서 이송하는 방법.
  4. 제1항에 있어서, 보트 로딩/언로딩 챔버내에 가스 분사수단을 준비하고, 이 가스 분사수단에 의하여 보트 및 웨이퍼에 가스를 내뿜어서 냉각하는 것으로 이루어지는 웨이퍼를 실어서 이송하는 방법.
  5. 제1항에 있어서, 보트 승강수단의 열변위를 검출하고, 열변위의 검출결과에 의거하여 보트 승강수단의 스텝바이스텝동작을 보정하는 것으로 이루어지는 웨이퍼를 실어서 이송하는 방법.
  6. 제1항에 있어서, 웨이퍼 보트에/로부터 로드/언로드 할때에, 웨이퍼 반입반출 챔버내를 대기압의 질소가스 분위기로 하는 웨이퍼를 실어서 이송하는 방법.
  7. 제1항에 있어서, 웨이퍼를 보트에/로부터 로드/언로드 할때에, 보트 로딩/언로딩 챔버내를 대기압의 질소가스 분위기로 하여 웨이퍼를 실어서 이송하는 방법.
  8. 제2항에 있어서, 웨이퍼를 보트에/로부터 로드/언로드 할때에, 카세트 챔버내를 대기압의 질소가스 분위기로 하는 웨이퍼를 실어서 이송하는 방법.
  9. 보트를 승강시키는 보트 승강수단을 갖추고, 프로세스튜브의 아래쪽에 설치된 보트 로딩/언로딩 챔버와, 웨이퍼를 바꿔 옮기는 로보트수단을 갖추고, 상기 보트 로딩/언로딩 챔버에 연결되어 통하는 웨이퍼 반입반출 챔버와, 상기 보트 승강수단이 스텝바이스텝으로 승강하도록 제어하는 제어수단과, 불활성가스를 상기 보트 로딩/언로딩 챔버내에 공급하는 가스공급수단과를 가지는 것으로 이루어지는 웨이퍼를 실어서 이송하는 기구를 가지는 종형 열처리 장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기 가스공급수단이, 보트 및 웨이퍼를 향하여 가스를 분사하는 가스분사관인 종형 열처리장치.
  11. 제9항에 있어서, 배기수단을 상기 보트 로딩/언로딩 챔버내에 배설하는 것으로 이루어지는 종형 열처리 장치.
  12. 제9항에 있어서, 배기수단을 상기 웨이퍼 반입반출 챔버내에 배설하는 것으로 이루어지는 종형 열처리 장치.
  13. 제9항에 있어서, 폴리얼라이먼트수단을 웨이퍼 반입반출 챔버내에 배설하는 것으로 이루어지는 종형 열처리 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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