JPH08330378A - 連続熱処理装置 - Google Patents
連続熱処理装置Info
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- JPH08330378A JPH08330378A JP13314095A JP13314095A JPH08330378A JP H08330378 A JPH08330378 A JP H08330378A JP 13314095 A JP13314095 A JP 13314095A JP 13314095 A JP13314095 A JP 13314095A JP H08330378 A JPH08330378 A JP H08330378A
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Abstract
行う。 【構成】 熱処理対象の基板2をカセット3内に複数収
容して、乾燥炉1内での基板の処理枚数を増やす。さら
にカセットは上下に積み重ね、それに1個ずつカセット
3cを追加して上方に押し上げることにより、カセット
1個分ずつカセットを移動させて所定高さ位置まで搬送
する。一方、上下に積み重ねたカセット群から1個ずつ
カセット3eを引き抜くことにより、カセットを下方に
移動させて搬送する。この構成により、発塵源を極力減
らして乾燥炉内を高清浄度に保つ。
Description
イ用ガラス基板,電子装置,部品,材料等に連続的な熱
処理を施す連続熱処理装置に関する。
連続的に熱処理する連続処理装置は図5に示すように、
乾燥炉1内で基板2を縦方向に搬送する上昇用搬送機構
30及び下降用搬送機構31と、上昇用搬送機構30か
ら下降用搬送機構31に基板2を移載するトラバース機
構11と、乾燥炉1の外部からガラス基板2を上昇側搬
送機構30に供給する基板搬入部30aと、下降側搬送
機構31から基板2を取り出す基板搬出部31aを有し
ており(特公昭63−52307号参照)、基板2を高
温度に保たれた乾燥炉1内で、上方への搬送,横方向へ
の移載,下方への搬送を行う間に熱処理を行うのが一般
であった。
板を連続的に熱処理を施す装置は図6,図7に示すよう
に、搬入口と搬出口を備えた乾燥炉1と、乾燥炉1の搬
入口から搬出口へ基板2を搬送する移動ビーム32及び
固定ビーム33と、搬入口側で基板を積載したカセット
を保持している搬入側カセットプラットホーム34と、
カセットから基板を取り出して移動ビーム32上に移載
する搬入側フォーク36と、乾燥炉1の搬出側に搬送さ
れた基板2の位置決め補正を行う位置補正部41と、位
置補正部41より基板2を取り出してカセットに供給す
る搬出側フォーク37と、熱処理が終了した基板2を収
納するカセットを保持する搬出側カセットプラットフォ
ーム35とを有しており、省スペースを実現するために
複数組の移動ビーム32と固定ビーム33で多くの基板
2の搬送を行うようになっている。このものは、横長の
乾燥炉1内で移動ビーム32が固定ビーム33上の基板
を受取1ピッチ分前進し、移動ビーム32は下降し、基
板2を固定ビーム33上に載せた後、所定ピッチ分後退
する動作を乾燥炉1内で繰返し、乾燥炉1内に基板2を
搬送しつつ熱処理を行うようにしていた。
板を連続的に熱処理する連続熱処理装置は図8に示すよ
うに、徐熱ゾーン,恒温ゾーン,徐冷ゾーンを有する乾
燥炉1と、4本の脚を有して基板2を載せるパレット4
0と、基板を移載されたパレットを最下段に供給し、多
段に重ねられたパレットを1パレット分上方に持ち上げ
るエレベータ38と、多段に積み重ねられたパレットの
最上段のパレットを取り出して下降するパレット移載部
39と、パレット40と基板2とを分離した後に空のパ
レットをエレベータ38に供給し、基板を搬出する移載
部41とを有しており(特開平4−279875号)、
基板を積載したパレットが乾燥炉内を下方から上方へ搬
送され、その間に徐熱ゾーン,恒温ゾーン,徐冷ゾーン
を通過し、熱処理を施させるようになっていた。
した従来の連続熱処理装置では、基板を枚葉にて処理し
ようとする場合、乾燥炉内で1枚ずつ搬送する機構が必
要である。そのような搬送機構を実現するために、ピッ
チ搬送方式が採用される場合が多い。このピッチ搬送方
式は、1回の動作で生じる搬送誤差が、動作の繰り返し
により、累積し拡大する特性を有しているため、1回の
ピッチ搬送動作は高精度で行われる必要がある。しかし
乾燥炉内は高温度100〜300℃に保持しなければな
らず、高精度な搬送機構を確立することは、極めて困難
なのが現実である。
触して搬送する装置では、基板と搬送機構部との接触時
に基板にキズ,接触痕等を与えてしまう可能性が高く、
このことは清浄度の高い熱処理を施す必要がある基板に
おいて発塵という問題を引き起こしてしまう。
送する機構の装置では、パレット同士が接触を繰り返し
たり、パレット内の負荷が変動し、滑りを生じたりして
パレットより塵埃が生じ、パレットそのものが発塵源と
なってしまうことがあった。一方、パレットは、熱処理
時間に比例して、炉内の枚数を増やさなければならず、
炉内におけるパレットの枚数が増えるということは、上
述したようにパレットが発塵源であることを考えると、
高清浄度を必要とする基板の熱処理には適した構造では
ない。
を可能にした連続熱処理装置を提供することにある。
め、本発明に係る連続熱処理装置は、乾燥炉と、カセッ
トと、上昇側テーブル及び下降側テーブルと、トラバー
サーと、上昇側エレベータと、下降側エレベータとを有
する連続熱処理装置であって、乾燥炉は、基板の搬入口
と搬出口とを有し、基板を熱処理する雰囲気を内部に備
えたものであり、カセットは、前記乾燥炉内で熱処理さ
れる基板を複数収容するものであり、上昇側テーブル及
び下降側テーブルは、前記乾燥炉内に収容された前記カ
セットを上下に積み重ねて保持するものであり、トラバ
ーサーは、前記上昇側テーブル上に保持された最上段の
カセットを前記下降側テーブル上の最上段のカセットに
積み重ねて移載するものであり、上昇側エレベータは、
基板が収納されたカセットを前記上昇側テーブル側に押
し上げて、該カセット上に前記上昇側テーブル上の最下
段のカセットを受け入れて新たなカセットを追加し、新
たに追加したカセットを前記上昇側テーブルの高さ位置
まで上昇させ、新たに追加したカセットを最下段のカセ
ットとして前記上昇側テーブルに支持させるものであ
り、下降側エレベータは、前記下降側テーブル上の最下
段のカセットを受け入れ、該カセットを下降させて前記
下降側テーブルから引き抜くものである。
は、前記乾燥炉の基板搬入口側と基板搬出口側とに設置
され、基板搬入口側の移載ロボットは、基板を1枚ずつ
前記カセット内に繰り入れるものであり、基板搬出口側
の移載ロボットは、基板を1枚ずつ前記カセットから繰
り出すものである。
ト移載機は、前記下降側エレベータ上の空カセットを前
記上昇側エレベータ上に移載するものである。
前記乾燥炉内とは異なる雰囲気を有し、前記乾燥炉の基
板搬入口側に設置されたものである。
前記乾燥炉内とは異なる雰囲気を有し、前記乾燥炉の基
板搬出口側に設置されたものである。
て、炉内での基板の処理枚数を増やす。さらにカセット
は上下に積み重ね、それに1個ずつカセットを追加して
上方に押し上げることにより、カセット1個分ずつカセ
ットを移動させて所定高さ位置まで搬送する。一方、上
下に積み重ねたカセット群から1個ずつカセットを引き
抜くことにより、カセットを下方に移動させて搬送す
る。この構成により、発塵源を極力減らして乾燥炉内を
高清浄度に保つ。
示す構成図である。
基本的構成として、乾燥炉1と、カセット3と、上昇側
テーブル6及び下降側テーブル10と、トラバーサー1
1と、上昇側エレベータ5と、下降側エレベータ8とを
有するものである。
1は、基板2の搬入口42と搬出口43とを有し、基板
2を熱処理する雰囲気を内部に備えたものであり、カセ
ット3は、乾燥炉1内で熱処理される基板2を複数収容
するようになっている。
8は、乾燥炉1内に収容されたカセット3を上下に積み
重ねて保持するものであり、トラバーサー11は、上昇
側テーブル6上に保持された最上段のカセット3aを下
降側テーブル10上の最上段3bのカセットに積み重ね
て移載するようになっている。
れたカセット3cを上昇側テーブル6側に押し上げ、カ
セット3c上に上昇側テーブル6上の最下段のカセット
3dを受け入れて新たなカセット3cを追加し、新たに
追加したカセット3cを上昇側テーブル6の高さ位置ま
で上昇させ、新たに追加したカセット3cを最下段のカ
セットとして上昇側テーブル6に支持させるようになっ
ている。一方、下降側エレベータ8は、下降側テーブル
10上の最下段のカセット3eを受け入れ、カセット3
eを下降させて下降側テーブル10から引き抜くように
なっている。
について説明する。図1において、乾燥炉1は、対向す
る側壁の下部側に基板搬入口42と基板搬出口43とが
設けられ、内部が基板2の熱処理に最適な雰囲気になっ
ている。
側テーブル6と下降側テーブル10とが設置されてい
る。上昇側テーブル6と下降側テーブル10とは、基板
搬入口42と基板搬出口43の位置より若干高い位置に
設置され、各テーブル6,10は、左右に開閉する2本
の腕6a,6a,10a,10aを有し、開いた状態の
2本の腕6a,6a,10a,10a間をカセット3が
上方又は下方に擦り抜けることが可能であり、閉じた2
本の腕6a,6a,10a,10aでカセット3の底部
を支えるようになっている。
下に積み重ねられたカセット3間に2本の腕6a,6
a,10a,10aを差し込み可能にするため、カセッ
ト3の底部に突起物3fが下方に突き出て設けられてお
り、また内部の対向する内側壁には、基板2の対向縁を
受け入れる溝が設けられ、この溝により基板2を上下に
複数受け入れて収容するようになっている。
レベータ5が昇降可能に設けられ、下降側テーブル10
の下方には下降側エレベータ8が昇降可能に設けられて
いる。各エレベータ5,8は、サセプタ5a,8aでカ
セット3の底面を支えてカセット3を昇降させるように
なっている。
載ロボット4,7は、乾燥炉1の基板搬入口42側と基
板搬出口43側とに設置され、基板搬入口42側の移載
ロボット4は、基板2を1枚ずつ吸着してカセット3c
内に繰り入れるものであり、基板搬出口43側の移載ロ
ボット7は、基板2を1枚ずつ吸着してカセット3eか
ら繰り出すようになっている。
カセット移載機9は、下降側エレベータ8上の空カセッ
ト3gを上昇側エレベータ5上に移載するようになって
いる。
空のカセット3cが設置されている状態からの動作につ
いて説明する。移載ロボット4は、乾燥炉1の基板搬入
口42側に搬送された基板2を真空吸着等の固定方式に
より把持し、これを基板搬入口42から乾燥炉1内に挿
入し、空のカセット3c内に差し込む。この基板2は、
対向縁がカセット3cの溝に受け入れられてカセット3
c内に収容される。上昇側エレベータ5は、基板2がカ
セット3c内に差し込まれる毎にカセット3cの溝のピ
ッチ分だけカセット3cを上昇させる。
着して同様な動作によりカセット3c内に差し込む。以
下の動作を繰り返して行い、カセット3c内に複数の基
板2を上下に配置して収容する(図3(a),
(b))。
きに、移載ロボット4による基板2のカセット3c内へ
の移載が停止される。この停止動作に伴って上昇側エレ
ベータ5が起動し、カセット3cを上方に押し上げ、カ
セット3cの上面に、テーブル6上の積層された最下段
のカセット3dを支える。この動作が完了すると、上昇
側テーブル6の2本の腕6a,6aが左右に開き、最下
段カセット3dの保持が開放される。このとき、積層し
たカセット群3a,3,3d,3cは上昇側エレベータ
5に一時的に支えられ、2本の腕6a,6aが開いた
後、上昇側エレベータ5は積層カセット群3a,3,3
d,3cを一時的に保持し、これらを上方に上昇させ、
新たに追加した最下段のカセット3cを2本の腕6a,
6aに支えられる高さ位置まで押し上げる。このとき、
2本の腕6a,6aが閉じて最下段のカセット3cの底
部にあてがわれ、積層したカセット群3a,3,3d,
3cは上昇側テーブル6に保持される。このように新た
なカセット3cが追加される毎に、各段のカセット3
a,3,3dは1個のカセット分の高さだけ上方に押し
上げられ、結果として上方に搬送されることとなる(図
3(b),(c))。
カセット3aがトラバーサー11に把持される高さ位置
まで押し上げられて搬送されると、トラバーサー11が
起動して最上段のカセット3aを把持し、これを横移動
させて下降側テーブル10に保持されて積層した最上段
のカセット3b上に載置される。この場合、下降側テー
ブル10上の最上段にトラバーサー11からのカセット
3aを受け入れるように1個分のスペースを確保するよ
うにしている(図3(b),(c))
されると、下降側エレベータ8が下降側テーブル10上
の最下段のカセット3eの底部を支える高さ位置まで上
昇し、下降側エレベータ8は、最下段のカセット3eを
一時保持する高さ位置に停止する。この状態で下降側テ
ーブル10の2本の腕10a,10aが左右に開き、カ
セット3eから開放される。このとき、下降側エレベー
タ8は、下降を開始し、2本の腕10a,10a間にカ
セット3eを擦り抜けさせて下降し、下方に移動する。
これにより下降側テーブル10上のカセット群3b,3
はそれぞれカセット1個分だけ下方に搬送される。
3eが下降側エレベータ8により下降されると、2本の
腕10a,10aが閉じ、新たに最下段に搬送されたカ
セットの底面に2本の腕10a,10bがあてがわれ、
積層したカセット群3b,3,3eは下降側テーブル1
0上に保持される。
10から引き抜かれたカセットは基板搬出口43内に臨
み、移載ロボット7により1枚ずつ基板2が乾燥炉1に
搬出される。
gは、空カセット移載機5により下降側エレベータ8か
ら取り外されて上昇側エレベータ5上に移し替えられる
(図3(c))。
れ、基板の熱処理が乾燥炉1内で迅速に行われる。
内に基板を複数収納して基板の搬送を行うため、乾燥炉
内での処理枚数を増やすことができる。
を積層して、これらを上方に押し上げる又は下方に押し
下げることにより行われるため、搬送機構を簡素化する
ことができ、さらに搬送時にカセットと搬送系とが擦れ
合うことがなく、搬送系の動作で生じる発塵を極力抑え
ることができる。
カセットへの出入時だけであるため、基板への損傷を極
力避けることができるという利点がある。
示す構成図である。
燥炉1の基板搬入口42と基板搬出口43とを拡大して
シャッタ21,22を設け、シャッタ21,22を介し
て、乾燥炉1内の雰囲気とは異なる雰囲気をもつ乾燥炉
14,15を乾燥炉1に接続して設け、かつ乾燥炉1
4,15にシャッタ22,23を設け、乾燥炉14にカ
セットを搬入するためのローダー16と、乾燥炉15か
らカセットを搬出するためのアンローダー17とを設置
し、カセット単位で基板を乾燥炉1の基板搬入口42,
基板搬出口43から搬出入させ、また乾燥炉14,15
を予備乾燥炉として使用するようにしたものである。
収納される。ローダー16はコンベア部を有し、外部よ
り基板を受け取ってカセット3内に搬送する。
基板が満杯となったカセットをシャッタ20が開いた乾
燥炉14内に搬送し、シャッタ20,21を閉じて一定
時間経過後、乾燥炉14内のカセットをカセット移載機
18により乾燥炉1内のエレベータ5上に載せる。シャ
ッタ20とシャッタ21は、カセット移載機18が経過
する毎に開閉動作を行う。
り供給されたカセットをテーブル6上の最下段のカセッ
トとして追加するため上昇する。テーブル6は新たに追
加されたカセットの底部を支える。
のカセット群の最上段のカセット3aを下降側テーブル
10上のカセット3b上に移載を行うための動作を行
う。テーブル10は下降側カセット群を支えるととも
に、エレベータ8が上昇して最下段のカセットを受け取
るために2本の腕10a,10aを開閉させる。エレベ
ータ8はテーブル10よりカセットを受け取るために上
下動を行う。カセット移載機18はエレベータ8よりカ
セットを受け取り、乾燥炉15内で一定時間停止した
後、アンローダー17上にカセットを載せる。シャッタ
22,シャッタ23はカセット移載機19の通過に連動
して開閉動作を行う。アンローダー17はカセットの下
段より基板を払出すためにコンベア部を有しており、ま
た基板を1枚ずつ出す毎にカセットを1ピッチずつ下降
させる動作も行う。空カセット移載機24はアンローダ
ー17上で基板の払出しを終えた空カセットを取り出
す。この取り出された空カセットはローダー16上に供
給される。
できる。乾燥炉14,乾燥炉15も同様に、内部を一定
温度に保つことができるが、乾燥炉1とは異なる温度に
も対応できる。基板を約200℃以上の高温で熱処理を
行う場合、約200℃以上に保たれている雰囲気に基板
を投入する前に、乾燥炉14の内部を約100℃で保持
し、一旦そこに基板を放置することにより基板の温度を
徐々に上げることができる(徐熱ゾーン)。また、乾燥
炉15の内部も約100℃に設定し、これを徐冷ゾーン
とすることで、基板の温度を徐々に下げることができ
る。急熱・急冷により基板が受けるダメージが懸念され
る場合に、この徐熱ゾーン及び徐冷ゾーンを設けること
で、基板の効果的な熱処理が可能である。また実施例1
で示した搬送方式をほぼ乾燥炉1内に所有しているため
に、実施例1に示したメリットを生かすことがでる。
セットに収納して乾燥炉内を搬送することにより熱処理
を行うため、搬送機構の簡素化を実現できる。また基板
が乾燥炉内に搬入されて搬出される間での間の搬送動作
回数についても、極力低減することができる。さらに、
縦型搬送方式は、乾燥炉の小型化を可能とする機構であ
り、ひいては装置全体の省スペースを図ることができ
る。
搬送する従来技術との比較を以下に示す。前工程から基
板が1分間隔で1枚ずつ供給され、基板1枚当りの熱処
理時間が70分間必要な場合を例にとる。この場合、従
来技術,本発明の両者とも乾燥炉内に70枚の基板を収
容することとなる。基板を1枚ずつ搬送する場合、1枚
の基板が乾燥炉内に供給されてから搬出されるまでの間
に搬送動作は1分毎に計70回行われるが、本発明では
10枚の基板をまとめて収納できるカセットを使用する
ことにより、乾燥炉内の搬送動作は10分(1つのカセ
ットが基板で満杯になるに要する時間)の間隔で計7回
に低減することができる。このような搬送機構の簡素
化,搬送動作回数の低減、さらに基板に直接接触しない
機構を採用したことにより、装置内に存在する発塵源を
大幅に削減できる。これにより、基板を塵埃による汚染
から守り、良好な熱処理を施すことができる。
である。
Claims (5)
- 【請求項1】 乾燥炉と、カセットと、上昇側テーブル
及び下降側テーブルと、トラバーサーと、上昇側エレベ
ータと、下降側エレベータとを有する連続熱処理装置で
あって、 乾燥炉は、基板の搬入口と搬出口とを有し、基板を熱処
理する雰囲気を内部に備えたものであり、 カセットは、前記乾燥炉内で熱処理される基板を複数収
容するものであり、 上昇側テーブル及び下降側テーブルは、前記乾燥炉内に
収容された前記カセットを上下に積み重ねて保持するも
のであり、 トラバーサーは、前記上昇側テーブル上に保持された最
上段のカセットを前記下降側テーブル上の最上段のカセ
ットに積み重ねて移載するものであり、 上昇側エレベータは、基板が収納されたカセットを前記
上昇側テーブル側に押し上げて、該カセット上に前記上
昇側テーブル上の最下段のカセットを受け入れて新たな
カセットを追加し、新たに追加したカセットを前記上昇
側テーブルの高さ位置まで上昇させ、新たに追加したカ
セットを最下段のカセットとして前記上昇側テーブルに
支持させるものであり、 下降側エレベータは、前記下降側テーブル上の最下段の
カセットを受け入れ、該カセットを下降させて前記下降
側テーブルから引き抜くものであることを特徴とする連
続熱処理装置。 - 【請求項2】 移載ロボットを有し、 該移載ロボットは、前記乾燥炉の基板搬入口側と基板搬
出口側とに設置され、基板搬入口側の移載ロボットは、
基板を1枚ずつ前記カセット内に繰り入れるものであ
り、 基板搬出口側の移載ロボットは、基板を1枚ずつ前記カ
セットから繰り出すものであることを特徴とする請求項
1に記載の連続熱処理装置。 - 【請求項3】 空カセット移載機を有し、 該空カセット移載機は、前記下降側エレベータ上の空カ
セットを前記上昇側エレベータ上に移載するものである
ことを特徴とする請求項1に記載の連続熱処理装置。 - 【請求項4】 予備乾燥炉を有し、 該予備乾燥炉は、前記乾燥炉内とは異なる雰囲気を有
し、前記乾燥炉の基板搬入口側に設置されたものである
ことを特徴とする請求項1に記載の連続熱処理装置。 - 【請求項5】 予備乾燥炉を有し、 該予備乾燥炉は、前記乾燥炉内とは異なる雰囲気を有
し、前記乾燥炉の基板搬出口側に設置されたものである
ことを特徴とする請求項1又は4に記載の連続熱処理装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13314095A JP2639375B2 (ja) | 1995-05-31 | 1995-05-31 | 連続熱処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13314095A JP2639375B2 (ja) | 1995-05-31 | 1995-05-31 | 連続熱処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08330378A true JPH08330378A (ja) | 1996-12-13 |
JP2639375B2 JP2639375B2 (ja) | 1997-08-13 |
Family
ID=15097690
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13314095A Expired - Fee Related JP2639375B2 (ja) | 1995-05-31 | 1995-05-31 | 連続熱処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2639375B2 (ja) |
Cited By (5)
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---|---|---|---|---|
WO2003054868A1 (de) * | 2001-12-20 | 2003-07-03 | Steag Hamatech Ag | Trägervorrichtung für substrate |
JP2007067375A (ja) * | 2005-08-05 | 2007-03-15 | Tokyo Electron Ltd | 加熱・冷却処理装置、基板処理装置および基板処理方法 |
WO2011101798A1 (en) * | 2010-02-18 | 2011-08-25 | Dynamic Micro Systems | Stackable substrate carriers |
KR101284100B1 (ko) * | 2011-09-06 | 2013-07-10 | 오성엘에스티(주) | 인라인 타입의 큐어 장치 |
JP2018048792A (ja) * | 2016-09-23 | 2018-03-29 | 東京エレクトロン株式会社 | 減圧乾燥システム、および減圧乾燥方法 |
-
1995
- 1995-05-31 JP JP13314095A patent/JP2639375B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2639375B2 (ja) | 1997-08-13 |
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