KR910015968A - 상부 자극 단부의 정렬을 위한 상부 자극 단부 형상을 가지는 박막 자기헤드 및 그 제조방법. - Google Patents

상부 자극 단부의 정렬을 위한 상부 자극 단부 형상을 가지는 박막 자기헤드 및 그 제조방법. Download PDF

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Abstract

내용 없음

Description

상부 자극 단부의 정렬을 위한 상부 자극 단부 형상을 가지는 박막 자기헤드 및 그 제조방법.
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1도는 판독/기록용 박막 자기헤드의 평면도, 제2도는 제1도의 박막 자기헤드의 측단면도, 제3도는 폴팁을 이온 밀링 기술로 정렬하기전에 있어서 선행기술의 폴 팁 구조체의 횡단면도.

Claims (27)

  1. 기판에 의해 운반되고 자기 기억매체상의 정보판독 및 기록용으로 사용되는 유형의 박막 자기헤드(트랜스듀서)내의 폴 텁 구조체 제조방법으로서 : 기판상에 하부 폴 팁을 증착시키는 단계;하부 폴 팁상에 절연 간극층을 증착시키는 단계; 절연 간극층상에 양성적 경사진 측면을 갖는 상부 폴 팁을 증착시키는 단계;상부 폴 팁상에 마스크를 증착시키는 단계; 및 폴 팁 구조체로부터 노출된 재료를 제거시키는 단계로 구성됨을 특징으로하는 폴 팁 구조체 제조방법.
  2. 제 1항에 있어서, 상부 폴 팁을 증착시키는 공정이 : 음성 포토레지스트를 증착시키는 단계; 방사선 마스크를 통해서 활성방사선에 음성 포토레지스트를 노출시키는 단계; 3차원적 양각이 음성 포토레지스트내에 형성되도록 음성 포토레지스트를 현상시키는 단계; 상부 폴팁을 형성하도록 음성 포토레지스트의 3차원적 양각내에 자기 재료를 증착시키는 단계; 및 음성 포트레지스트를 화학적 포토레지스트 에천트로서 에칭시키는 단계로 구성됨을 특징으로 하는 폴 팁 구조체 제조방법.
  3. 제 1항에 있어서, 부 폴 팁을 증착시키는 공정이 : 양성 포트레지시트를 증착시키는 단계; 3차원적 양각이 양성 포토레지스트내에 형성되도록 영상 반전 공정을 수행하는 단계; 상부 폴 팁을 형성하도록 양성 포토레지스트의 3차원적 양각내에 자기 재료를 증착시키는 단계; 및 3차원적 양각을 형성하도록 양성 포토레지스트를 제거시키는 단계로 구성됨을 특징으로 하는 폴 팁 구조체 제조방법.
  4. 제3항에 있어서, 영상 반전공정을 수행하는 공정이 : 양성 포토레지스트를 방사선 마스크를 통해서 방사선에 노출시키는 단계; 양서 포토레지스트를 베이킹하는 단계;양성 포토레지스트를 방사선에 범람노출(flood exposing)시키는 단계; 및 3차원적 양각을 형성하도록 양성 포토레지스트를 현상시키는 단계로 구성됨을 특징으로 하는 폴 팁 구조체 제조방법.
  5. 제1항에 있어서, 마스크가 양성적 경사측면을 갖는 양성 포토레지스트로 구성됨을 특징으로 하는 폴 팁 구조체 제조방법.
  6. 제5항에 있어서, 양성 포토레지스트의 양성적 경사측면이 상부 폴 팁의 양성적 경사측면과 거의 동일함을 특징으로 하는 폴 팁 구조체 제조 방법.
  7. 제 6항에 있어서, 양성 포토레지스트의 측면 및 상부 폴 팁의 측면이 확실하게 정렬되어 있음을 특징으로 하는 폴 팁 구조체 제조방법.
  8. 제1항에 있어서, 폴 팁 구조체로부터 노출된 재료를 제거시키는 공정이 이온밀링으로 구성됨을 특징으로 하는 폴 팁 구조체 제조방법.
  9. 제1항에 있어서, 상부 폴 팁의 두께가 약 1 미크론 내지 약 5미크론의 범위내에 있음을 특징으로 하는 폴 팁 구조체 제조방법.
  10. 제 1항에 있어서, 마스크의 두께가 약 1미크론 내지 약 7미크론의 범위내에 있음을 특징으로 하는 폴 팁 구조체 제조방법.
  11. 제 1항에 있어서, 절연 간극의 두께가 약 0.1미크론 내지 약 1 미크론의 범위내에 있음을 특징으로 하는 폴 팁 구조체 제조방법.
  12. 제 1항에 있어서, 하부 폴 팁의 두께가 약 1 미크론 내지 5미크론의 범위내에 있음을 특징으로 하는 폴 팁 구조체 제조방법.
  13. 제 1항에 있어서, 마스크의 두께는 약 1 미크론 내지 약 7미크론의 범위내에 있으며, 하부 폴 팁의 두께는 약 1 미크론 내지 약 5미크론의 범위내에 있음을 특징으로 하는 폴 팁 구조체 방법.
  14. 제 1항에 있어서 마스크의 두께는 약 1미크론 내지 약 7미크론의 범위내에 있으며 절연 간극층의 두께는 약0.1미크론 내지 약1미크론의 범위내에 있으며, 하부 폴 팁의 두께는 약1미크론 내지 약 5 미크론의 범위내에 있음을 특징으로 하는 폴 팁 구조체 제조방법.
  15. 제 1항에 있어서, 마스크의 두께는 약 1 미크론 내지 약 7미크론의 범위내에 있으며, 절연 간극층의 두께는 약01미크론 내지 약1미크론의 범위내에 있으며, 하부 폴 팁의 두께는 약1미크론 내지 약5미크론의 범위내에 있으며, 절연 간극층은 알루미나로 구성되며, 하부 폴 팁은 니켈 철 합금으로 구성됨을 특징으로 하는 폴 팁 구조체 제조방법.
  16. 기판상에 하부 폴 팁을 증착시키는 단계;하부 폴 팁상에 절연 간극층을 증착시키는 단계;절연 간극층상에 양성적 경사진 측면을 갖는 상부 폴 팁을 증착시키는 단계;상부 폴 팁상에 마스크를 증착시키는 단계; 및 폴 팁 구조체로부터 노출된 재료를 제거시키는 단계로 구성된 제조방법으로 형성됨을 특징으로 하는 박막 자기헤드.
  17. 자기 기역매체상의 정보판독 및 기록용으로 사용되는 유형의 박막 자기헤드내의 폴 팁 구조체 제조방법으로서 : 비자성 기판상에 하부 폴 팁을 증착시키는 단계; 하부 폴 팁상에 절연 간극층을 증착시키는 단계; 제1표면 길이를 가지며 절연 간극층과 표면 인접 접촉을 하는 제 1표면과, 상부 폴 팁의 측면이 대체로 사다리꼴 형상을 갖도록 제1표면길이 보다 더 짧은 제 2표면 길이를 가지며 제 1표면으로부터 멀리 떨어져 위치되어 있는 제 2표면과로 구성된 절연 간극층상에서 상부 폴 팁을 증착시키는 단계로 구성됨을 특징으로 하는 폴 팁 구조체 제조방법.
  18. 제17항에 있어서, 마스크는 : 제 1표면 길이를 가지며 상부 폴 팁이 제 2표면과 표면 인접 접촉을 하는 제 1표면; 및 포토레지스트 마스크의 측면이 대체로 사다리꼴 형상을 갖도록 제1표면길이보다 더 짧은 제 2표면 길이 를 가지며 포토레지스트 마스크의 제 1표면으로부터 멀리 떨어져 위치되어 있는 제 2표면; 으로 구성됨을 특징으로 하는 폴 팁 구조체 제조방법.
  19. 제 17항에 있어서, 상부폴 팁의 두께가 약 1 미크론 내지 약 5미크론 범위내에 있음을 특징으로 하는 폴 팁 구조체 제조방법.
  20. 제 17항에 있어서, 마스크의 두께가 약 1 미크론 내지 약 7미크론의 범위내에 있음을 특징으로 하는 폴 팁 구조체 제조방법.
  21. 제17항에 있어서, 절연 간극층의 두께가 약 0.1미크론 내지 약 1 미크론의 범위내에 있음을 특징으로 하는 폴 팁 구조체 제조방법.
  22. 제 17항에 있어서, 하부 폴 팁의 두께가 약 1 미크론 내지 약 5 미크론의 범위내에 있음을 특징으로 하는 폴 팁 구조체 제조방법.
  23. 제 17항에 있어서, 마스크의 두께는 약 1 미크론 내지 약 77미크론의 범위내에 있으며, 하부 폴 팁의 두께는 약 1미크론 내지 약 5미크론의 범위내에 있음을 특징으로 하는 폴 팁 구조체 제조방법.
  24. 제 17항에 있어서, 마스크의 두께는 약 1미크론 내지 약 7미크론의 범위내에 있으며,절연 간극층의 두께는 약 0.1미크론 내지 약 1 미크론의 범위내에 있으며, 하부 폴 팁의 두께는 약 1미크론 내지 약 5미크론의 범위내에 있음을 특징으로 하는 폴 팁 구조체 제조방법.
  25. 제 17항에 있어서, 마스크의 두께는 약 1미크론 내지 약 7미크론의 범위내에 있으며, 절연 간극층의 두께는 약0.1미크론 내지 약 1미크론의 범위내에 있으며, 하부 폴 팁의 두께는 약 1미크론 내지 약5미크론의 범위내에 있으며 절연 간극층은 알루미나로 구성되며, 하부 폴 팁은 니켈 철 합금으로 구성됨을 특징으로 하는 폴 팁 구조체 제조방법.
  26. 비자성기판상에 하부 폴 팁을 증착시키는 단계; 하부 폴 팁상에 절연 간극층을 증착시키는 단계 : 제1표면 길이를 가지며 절연 간극층과 표면 인접 접촉을 하는 제 1표면과, 상부 폴 팁의 측면이 대체로 사디리꼴 형상을 갖도록 제 1표면길이보다 더 짧은 제 2표면 길이를 가지며 제 1 표면으로부터 멀리 떨어져 위치되어 있는 제 2표면과로 구성된 절연 간극층상에서 상부 폴 팁을 증착시키는단계; 및 마스크를 상부 폴 팁의 제 2표면상에 증착시키는 단계로 구성된 제조방법으로 형성됨을 특징으로 하는 박막 자기 헤드.
  27. ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개되는 것임.
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