KR870008659A - 공작기계의 열변위 보정장치 - Google Patents

공작기계의 열변위 보정장치 Download PDF

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Abstract

내용 없음

Description

공작기계의 열변위 보정장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1 도는 본 발명의 제 1의 실시예의 주요부를 표시하는 구성도. 제 2 도는 상기 실시예에 있어서 열변형의 예를 표시하는 측면도. 제 5 도는 본 발명의 제 2의 실시예의 주요부를 표시하는 구성도.

Claims (7)

  1. 공구를 설치하는 주축을 가지는 주축헤드를 승강 가능하게 장착하는 컬럼과, 피가공용 공작물을 설치하는 테이블을 구비한 형식의 공작기계에 있어서, 주축헤드의 주축근방에 설치되어서 광을 확산 방출하는 발광원과, 이 발광원과 격리 대향되어 배치되어 테이블에 설치되어서 발광원상을 결상시키는 렌즈와, 이 렌즈에 의해 결상된 발광원상의 위치변화를 검출하는 광점변위 검출기와, 이 광점변위 검출기에서의 신호를 증폭하는 증폭회로와, 이 증폭회로에서의 신호에 의해 테이블과 발광원과의 상대변위량을 연산하고 이 상대변위량에 의해 테이블과 주축과의 상대위치를 보정하는 제어장치를 구비한 것을 특징으로 하는 공작기계의 열변위 보정장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 발광원은 특정의 주파수로 점멸하는 발광원으로 되고, 상기 증폭회로는 상기 발광원의 점멸과 동일의 주파수성분만을 증폭하는 선택증폭회로와, 상기 발광원의 점멸과 동기관계에 있는 성분만을 정류하는 동기 정류회로를 구비한 것을 특징으로 하는 공작기계의 열변위 보정장치.
  3. 제 1 항 또는 2 항에 있어서, 상기 광점변위 검출기를 광점위치를 검출하는 검출면이 분할된 분할형 포토다이오드 광점변위 검출기로 한 것을 특징으로 하는 공작기계의 열변위 보정장치.
  4. 제 1 항 또는 2 항에 있어서, 상기 광점변위 검출기를, 광점위치를 검출하는 검출면이 분할되지 않는 연속형 포토다이오드 광점변위 검체기로 한 것을 특징으로 하는 공작기계의 열변위 보정장치.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항에 있어서, 상기 렌즈 및 상기 광점변위 검출기를 복수개 구비하고, 상기 테이블에 대한 상기 주축헤드를 승강방향의 축선의 경사를 연산 가능하게 한 것을 특징으로 하는 공작기계의 열변위 보정장치.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항의 어느 것에 있어서, 상기 제어장치는 상기 광점변위 검출기에서의 신호에 의해, 상기 테이블과 주축과의 상대변위량 및 상기 컬럼의 주축의 헤드의 승강방향의 축선의 경사를 연산가능, 또한 상기 테이블과 주축이 소정량의 상대이동을 행할 때는 상기 상대변위량 및 상기 대변위량의 상기 경사에 의한 변화분에 따라서 상기 소정량을 보정하고, 보정된 상기 소정량만큼 상기 테이블과 주축을 상대이동시키는 수치제어장치인 것을 특징으로 하는 공작기계의 열변위 보정장치.
  7. 제 1 항 내지 제 6 항의 어느 것에 있어서, 상기 공작기계에는 공작기계의 온도를 검출하는 온도검출수단이 설치되어 있고, 상기 제어장치는 상기 광점변위 검출기에서의 신호에 의해, 상기 테이블과 주축과의 상대변위량을 연산가능, 또한 상기 온도검출수단에 의해 검출되는 공작기계의 온도변화에 대응해서 상기 테이블과 주축과의 상대변위량이 연산가능하고, 상기 테이블과 주축이 소정량의 상대이동을 행할때는, 상기 광점변위 검출기에 의한 상대변위량과 상기 온도검출수단에 의한 상대변위량에 따라서 상기 소정량을 보정하고, 보정된 상기 보정량만큼 상기 테이블과 주축을 상대이동시키는 수치제어장치인 것을 특징으로 하는 공작기계의 열변위 보정장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019870002175A 1986-03-12 1987-03-11 공작기계의 열변위 보정장치 KR910007254B1 (ko)

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Families Citing this family (35)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0452908A (ja) * 1990-06-20 1992-02-20 Fanuc Ltd 工具変形量補正方式
US5196713A (en) * 1991-08-22 1993-03-23 Wyko Corporation Optical position sensor with corner-cube and servo-feedback for scanning microscopes
US5172002A (en) * 1991-08-22 1992-12-15 Wyko Corporation Optical position sensor for scanning probe microscopes
US5164602A (en) * 1991-08-23 1992-11-17 Westinghouse Electric Corp. Machine guidance system utilizing fiber optics
IL99346A (en) * 1991-08-30 1996-05-14 Israel Aircraft Ind Ltd Boresight system and calibration method
GB2266142B (en) * 1992-04-15 1996-09-25 Butler Newall Ltd Improvements in or relating to methods and control systems for registering a datum position between two relatively movable components of a machine tool
DE4243393C2 (de) * 1992-12-21 1995-04-06 Agie Ag Ind Elektronik Vorrichtung und Verfahren zum elektroerosiven Schneiden
IT1264104B1 (it) * 1993-03-29 1996-09-10 Mikron Spa Macchina dentatrice.
DE19531676C1 (de) * 1995-08-29 1996-11-14 Hesse Gmbh Vorrichtung zum Führungstoleranzausgleich bei Mehrachsenpositionierern
US5650852A (en) * 1996-03-08 1997-07-22 The Boeing Company Temperature-compensated laser measuring method and apparatus
US6681145B1 (en) * 1996-06-06 2004-01-20 The Boeing Company Method for improving the accuracy of machines
CN1221500B (zh) * 1996-06-06 2013-06-05 波音公司 改进精度的机床系统及其方法
US6286055B1 (en) * 1996-11-07 2001-09-04 Okuma Corporation Error correction apparatus for NC machine tool
US5949685A (en) * 1997-06-03 1999-09-07 The Boeing Company Real-time orientation of machine media to improve machine accuracy
JP3413068B2 (ja) * 1997-08-19 2003-06-03 オークマ株式会社 工作機械の熱変位推定方法
JP2003285249A (ja) * 2002-03-27 2003-10-07 Mori Seiki Co Ltd 工作機械の精度解析装置
US7071480B2 (en) * 2003-06-13 2006-07-04 Voith Paper Patent Gmbh Sensor with alignment self compensation
JP2008296316A (ja) * 2007-05-30 2008-12-11 Ihi Corp 工作機械及びその使用方法
DE102007041827B4 (de) * 2007-09-03 2018-06-21 Siemens Aktiengesellschaft Werkzeugmaschine
JP5452973B2 (ja) * 2009-04-28 2014-03-26 富士機械製造株式会社 撮像装置及びその撮像装置を備える切削機械
JP5418272B2 (ja) * 2010-02-15 2014-02-19 株式会社ジェイテクト 工作機械の熱変位補正方法および熱変位補正装置
JP2012086326A (ja) * 2010-10-21 2012-05-10 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 工作機械の熱変位補正システム
PL2472216T3 (pl) 2010-12-30 2014-01-31 Hexagon Metrology Spa Maszyna do pomiaru współrzędnych
JP5502912B2 (ja) * 2012-01-19 2014-05-28 ファナック株式会社 工作機械の熱変位補正装置
JP5462296B2 (ja) * 2012-02-13 2014-04-02 ファナック株式会社 工作機械の暖機運転制御装置
JP6174906B2 (ja) * 2013-05-23 2017-08-02 中村留精密工業株式会社 機械の自己診断及び機械精度の補正方法
JP5698798B2 (ja) * 2013-06-24 2015-04-08 ファナック株式会社 熱変位量補正機能を有する工作機械
CN103823991B (zh) * 2014-03-11 2017-01-18 华中科技大学 一种考虑环境温度的重型机床热误差预测方法
JP6238819B2 (ja) * 2014-03-31 2017-11-29 シチズン時計株式会社 工作機械
KR20170058334A (ko) * 2015-03-17 2017-05-26 도시바 기카이 가부시키가이샤 공작 기계
US10215531B2 (en) * 2016-04-20 2019-02-26 The United States Of America, As Represented By The Secretary Of The Navy Testing system for optical aiming systems with light emitter systems including testing system for thermal drift and related methods
CN110035867B (zh) * 2016-12-08 2020-07-28 三菱电机株式会社 数控装置
CN107436247B (zh) * 2017-09-11 2020-08-28 安徽理工大学 一种数控机床床身热变形临界点测量实验装置及确定方法
JP6603288B2 (ja) * 2017-10-25 2019-11-06 ファナック株式会社 工作機械の切削液供給装置
TW201923501A (zh) * 2017-11-17 2019-06-16 財團法人資訊工業策進會 控制系統及其方法

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5761902A (en) * 1980-09-30 1982-04-14 Anritsu Corp Measuring device of displacement
US4453085A (en) * 1981-05-11 1984-06-05 Diffracto Ltd. Electro-optical systems for control of robots, manipulator arms and co-ordinate measuring machines
US4602163A (en) * 1981-05-11 1986-07-22 Pryor Timothy R Electro-optical systems for control of robots, manipulator arms and co-ordinate measuring machines
DE3320163A1 (de) * 1983-06-03 1984-12-13 Prüftechnik Dieter Busch + Partner GmbH & Co, 8045 Ismaning Vorrichtung zum feststellen von fluchtungsfehlern hintereinander angeordneter wellen
JPS6088306A (ja) * 1983-10-20 1985-05-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光学センサ
JPS60207742A (ja) * 1984-03-30 1985-10-19 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 工作機械の機上計測補正装置
GB8616431D0 (en) * 1986-07-05 1986-08-13 Renishaw Plc Locating co-ordinates of object

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JPS62213945A (ja) 1987-09-19
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