JPS62213945A - 工作機械の熱変位補正装置 - Google Patents

工作機械の熱変位補正装置

Info

Publication number
JPS62213945A
JPS62213945A JP61053982A JP5398286A JPS62213945A JP S62213945 A JPS62213945 A JP S62213945A JP 61053982 A JP61053982 A JP 61053982A JP 5398286 A JP5398286 A JP 5398286A JP S62213945 A JPS62213945 A JP S62213945A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
displacement
light spot
light
machine tool
spindle
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP61053982A
Other languages
English (en)
Inventor
Kazuto Tomikawa
和人 富川
Hideo Fujie
藤江 秀雄
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shibaura Machine Co Ltd
Original Assignee
Toshiba Machine Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Machine Co Ltd filed Critical Toshiba Machine Co Ltd
Priority to JP61053982A priority Critical patent/JPS62213945A/ja
Priority to US07/023,252 priority patent/US4928019A/en
Priority to KR1019870002175A priority patent/KR910007254B1/ko
Publication of JPS62213945A publication Critical patent/JPS62213945A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q11/00Accessories fitted to machine tools for keeping tools or parts of the machine in good working condition or for cooling work; Safety devices specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q15/00Automatic control or regulation of feed movement, cutting velocity or position of tool or work
    • B23Q15/007Automatic control or regulation of feed movement, cutting velocity or position of tool or work while the tool acts upon the workpiece
    • B23Q15/18Compensation of tool-deflection due to temperature or force
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/0011Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight
    • G01B5/0014Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight due to temperature
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00Programme-control systems
    • G05B19/02Programme-control systems electric
    • G05B19/18Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
    • G05B19/404Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by control arrangements for compensation, e.g. for backlash, overshoot, tool offset, tool wear, temperature, machine construction errors, load, inertia
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00Program-control systems
    • G05B2219/30Nc systems
    • G05B2219/49Nc machine tool, till multiple
    • G05B2219/49219Compensation temperature, thermal displacement

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Automatic Control Of Machine Tools (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、工作機械の熱変形による加工誤差を補正する
熱変位補正装置に係り、一般的な工作機械に利用可能で
ある。
〔背景技術とその問題点〕
一般に、フライス盤やマシニングセンタのように、工具
を取り付ける主軸を有する主軸ヘッドと、この主軸ヘッ
ドを昇降可能に装備するコラムと、前記工具により加工
される被加工用工作物を取り付けるテーブルとを備えた
形式の工作機械においては、加工誤差を生じる主な原因
は、工具を取り付けた主軸とテーブルとの相対位置関係
が変化することによる相対的な変位である。この変位は
、前記主軸とテーブルとの間に介在する工作機械の主要
構造部分である主軸ヘッド、コラム、ベッド、サドル、
テーブル、ボールねじ等において、温度分布の不均一等
により、各部分が不均一に熱膨張し、まちまちに伸び、
そり、ひずみを生じること、さらにこれらが重複して顕
著となることによる。
従来より、このような加工誤差の発生を防止するために
、熱変形発生原因である熱源そのものに対する対策や、
熱変形を測定してこれを補正する対策等が講じられてい
る。前者の例としては、発熱部分または温度上昇する部
分に温度管理された潤滑油を循環させて熱を吸収し、温
度上昇を抑制してやる方法や、加工の際の温度で精度が
保たれるよう設計し、実際に加工に入る前に予め慣らし
運転を行うといった方法があるが、このような方法では
、ある範囲内の熱変位を抑制するための手段としては有
効であっても、熱変位の問題を根本的に解決するもので
はない、すなわち、機械が大型化すればするほどわずか
な温度変化でも機械の加工精度に大きく影うし、機械の
温度や温度勾配を加工精度に影響しない程度に一定に保
ことは不可能である。また、温度変化をできるだけ小さ
くしようとすればするほど、正確な温度制御’A iZ
Zや大容量の熱変換器等が必要となり、高価である。
一方、後者の例としては、電気水準器を用いてコラムの
熱変形量を検出し、これに応じて主軸位置の誤差成分を
補正する方法があるが、電気水準器は機械本体外の基準
である重力方向を基準としており、このため複数個の水
準器が必要で、演算処理が複雑となり、さらには主軸位
置により、そのつど補正量を換算する必要がある。また
、コラム内に基準板を設け、基準板とコラムとの偏差を
差動トランスを用いて検出し、主軸位置を補正する方法
があるが、コラム内に基準板を設けているために構造が
複雑化し、しかも基準板と差動トランス検出子が常時接
触して摺動するため、加工中の検出子の摩擦による検出
値の誤差が発生する恐れがある。
また、後者の改良として、特公昭60−8117号公報
に示されたように、光学装置を用いて変位置を検出する
事により、検出精度の向上ならびに構造の筒略化となる
補正装置を提供し、また、上記変位量を加熱装置で強制
的に矯正するようにしたものがある。これは、コラムの
傾きにより生しるコラムでの変位を補正するため、コラ
ムの中心線上の所定の位置に、゛前記発光源とこの発光
源に隔離対向されて配置された反射鏡と、コラム基部側
でコラム中心軸線と直交するコラム基準面上に配置した
光点変位検出器と、前記発光源による光束が反射鏡で反
射された反射光の変位量を前記光点変位検出器で検出し
、この変位信号を入力として基準面から主軸位置までの
コラムの変位量を算出する演算装置と、この演算装置の
出力信号と数値制御装置の信号とを受けてテーブル位置
を移動修正し、主軸位置を補正する補正回路とで構成さ
れた工作機械の熱変位補正装置である。しかし、このよ
うなコラムのみの変形による変位量を求めて補正を行っ
ても、加工誤差を生じる前記主要構造部分の一部分を補
正するのに過ぎず、加工誤差の改善には充分なものでは
なかった。
〔発明の目的〕
本発明の目的は、工作機械の主軸とテーブルとの相対位
置関係の変位量を直接検出し、この検出した変位に基づ
いて主軸とテーブルとの相対位置関係をより正確に補正
可能な工作機械の熱変位補正装置を提供することにある
〔問題点を解決するための手段および作用〕本発明にお
いては、工作機械の主軸ヘッドの主軸近傍に、光を拡散
放出する発光源を設け、テーブルの前記発光源と隔離対
向される位置に、発光源からの光により発光源像を結像
させるレンズと、このレンズにより結像された発光源像
の位置変化を検出する光点変位検出器とを設け、さらに
この光点変位検出器からの信号を増幅する増幅回路と、
この増幅回路からの信号によりテーブルと発光源との相
対変位量を演算し、この相対変位量によりテーブルと主
軸との相対位置関係を補正させる制御装置とを設ける。
本発明は、このような構成により、主軸へラドの主軸近
傍に設けられた発光源からの光がレンズを通して結像す
る発光源像を光点変位検出器で検出する。ここで、テー
ブルに対して主軸が変位した際には、主軸近傍である発
光源も同様に変位し、この発光源による発光源像の変位
に伴って変化する光点変位検出器からの微弱な信号は、
増幅回路で増幅されて制御装置に送られ、発光源とレン
ズとの距離とレンズと光点変位検出器との距離の比に基
づいて、発光源像の変位量から発光源の変位量すなわち
テーブルに対する主軸の相対変位量を演算し、所定の補
正を行う。本発明は、このようにして前記目的を達成し
、前記問題点を解決するものである。
〔実施例〕
本発明の実施例を図面を用いて説明する。なお、以下に
示す各実施例において同一もしくは相当する構成部分に
ついては同一符号を用い、説明を省略あるいは簡略にす
る。
第1図ないし第4図には、本発明に基づく第1の実施例
が示されている。
本実施例の工作機械の要部を示す第1図において、床面
に固定されたベッドl上には、コラム2が立設されてい
るとともに、ベッドl上面を移動可能なテーブル3が設
けられている。
前記コラム2は、上下に昇降可能な主軸へラド4を備え
、この主軸へラド4は、工具15を取付可能で、主軸へ
ラド4内に設けられた図示しないモータ等の駆動源によ
り回転駆動される主軸5を備えている。
前記テーブル3は、被加工用工作物13を取付可能で、
ベッドl内に設けられたサーボモータ6により図示しな
いボールねじ軸等を介して駆動されてベッドl上面の所
定範囲内の任意の位置に移動可能であり、前記主軸ヘッ
ド4の上下方向の動きとあわせてテーブル3上に取付け
られた被加工用工作物13と前記主軸5に取付けられた
工具15との相対位置を任意に設定して三次元の工作が
可能とされている。
一方、前記主軸ヘッド4の主軸5近傍の一部には、光を
拡散放出する発光源7が設けられ、テーブル3側面の発
光源7と隔離対向される位置には、発光源7からの光に
より発光源像を結像させるレンズ8と、このレンズ8に
より結像された発光源像の位置変化を検出可能な光点変
位検出器9とを備えた受光筒18が設けられている。前
記光点変位検出器9は、光点変位検出器9からの信号を
増幅可能な増幅回路10を介して制御装置11に接続さ
れている。前記制御装置11は、前記サーボモータ6お
よび操作盤あるいはNC装置等の動作指令装置に接続さ
れており、この動作指令装置からの指令に基づいてサー
ボモータ6を動作させてテーブル3を移動させ、前記工
作機械の加工動作を行わせることが可能とされている。
さらに、制御ll装置211は、増幅回路10で増幅さ
れた光点変位検出器9からの信号に基づいて前記テーブ
ル3と主軸5との相対変位量を演算しておき、動作指令
装置からの指令によりサーボモータ6を介してテーブル
3を移動させる際には、移動量に前記相対変位量を加減
して、テーブル3と主軸5との相対位置関係を補正可能
とされている。なお、前記発光源7、レンズ8、光点変
位検出器9、増幅回路IOおよび制御装置11により熱
変位補正装置12が+14成される。
このように構成された本実施例においては、加工動作の
際に、切削等の加工に伴う摩擦熱等の発熱あるいはモー
タ等の駆動源からの発熱により、例えば第2図に示すよ
うに、実線で示される正常な状態から、破線で示される
熱変形を生した状態へと変形を生じ、被加工用工作物1
3が取付けられたテーブル3と工具15が取付けられた
主軸5との相対位置関係には、テーブル3と主軸5との
間に介在するヘッド1、コラム2および主軸へソド4に
生じる熱変形の累積により変位が生じる。
ここで、熱変位補正装置12においては、第3図に示す
ようにテーブル3と主軸5との相対位置関係が正常な場
合には、発光源7からの光は受光筒18人射し、レンズ
8によって光点変位検出器9の中心位置に発光源像を結
像させる。このとき、発光源7とレンズ8との距離L0
と、レンズ8と光点変位検出器9との距離L1 との間
には、レンズ8の焦点距離をFとして という関係にある。一方、第4図に示すように、熱変形
を生じてテーブル3と主軸5との相対位置関係に変位D
0が生じた場合には、光点変位検出器9に結像される発
光源像は前記中心位置から変位り、を生じる。このとき
、変位D0と変位D1との間には という関係があり、変位DI と距ML0および距1i
ILl とを得ることにより変位D0を知ることができ
る。すなわち、光点変位検出器9は変位り。
に相当する出力信号を増幅回路lOに送る。この増幅回
路lOは、一般に微弱な光点変位検出器9からの出力信
号を増幅し、制御装置11に出力する。このとき、増幅
装置10においては、光の強さによる見かけ上の光点位
置変化の防止や、周囲からの光の蒲れ込みによる誤信号
あるいは電気的な雑音信号等の影響を防止のための前処
理等を行ってもよい、一方、制御装置11は、増幅回路
10からの1δ号によりテーブル3と主軸5との相対変
位量としての前記変位D0を演算し、前記動作指令装置
からの指令に応じてテーブル3を移動させる際に、この
テーブル3の移動を前記相対変位量に基づいて加減する
ことにより、テーブル3と主軸5との相対位置を補正を
行う。
以上のような本実施例によれば、被加工用工作物13を
取り付けるテーブル3に設けられた光点変位検出!S9
と、工具15を取り付ける主軸5近傍に設けられた発光
源7との相対位置の変位D0を光学的に測定して演算す
ることにより、前記相対変位量を直接検出することが可
能となる。また、この相対変位量に基づいて前記相対位
置を補正してやることにより精密かつ確実な補正が可能
となり、より精度の高い加工が可能となるという効果が
ある。なお、本実施例においては、レンズ8および光点
変位検出器9は受光筒18内に収められてテーブル3に
取り付けられており、外光の侵入による光点変位検出器
9の誤動作や発光源像の検比精度の低下を防止できると
いう効果がある。
前記第1の実施例に対し、第5図および第6図に示す第
2の実施例は、発光源7を点滅する光源とし、外光の侵
入による誤動作等を防止するものである。
第5図において、特定周波数の同期信号を出力する発振
回路21には、発光源駆動回路22が接続され、この発
光源駆動回路22により前記同期信号に従って前記特定
の周波数で発光源7が点滅される。ここで、発光源7か
らの光はレンズ8により光点変位検出器9に発光源像を
結像させ、光点変位検出器9はこの発光源像の変位に応
じた信号を増幅回路20に出力する。増幅回路20は、
光点変位検出器9からの微弱な出力信号を増幅する前置
増幅回路23と、この前置増幅回路23の出力信号のう
ち、前記特定の周波数成分のみを選択的に増幅する選択
増幅回路24と、この選択増幅回路24からの出力信号
のうち、発振回路21から送られる前記同期信号と時間
的に同期関係にある成分のみを整流し、制御1 装TZ
 11に出力する同期整流回路25とを備えている。
このように構成された増幅回路20を備えた本実施例に
おいては、第6図(a)に示すような同期信号に従って
発光源7を点滅させる。ここで、発光[7に変位D0が
生じた際の光点変位検出器9からの出力信号は、発光源
7を点滅させない場合には第6図(b)に示すようなも
のであるが、発光源7を点滅させた場合で外光の侵入が
ない場合には第6図(C)に示すようなものとなる。こ
のとき、例えば第6図(d)に示すような出力13号を
光点変位検出器9に生じさせる外光の侵入がある場合に
は、光点変位検出器9からの出力(3号は第6図<e>
に示すようなものとなるが、前記選択増幅回路24によ
り前記同期信号に相当する特定の周波数成分のみを選択
的に増幅して第6図(「)に示すような出力信号とし、
さらに同期整流回路25により前記同期信号と時間的に
同期関係にある成分のみを整流して第6図(g)に示す
ような出力信号とする。このため、制御装置11におい
て演算して変位D1を求めれば、この変位り、は変位D
0と比例関係となり、外光の侵入がある場合でも変位D
1から変位D0を正確に演算することができ、前記第1
の実施例の効果に加え、外光の影響を防止して、より確
実な補正を行うことができるという効果がある。
前記第1および第2の実施例に対し、第7図に示す第3
の実施例においては、発光源像19の光点位置を検出す
る検出面が分割された分割型フォトダイオード光点変位
検出器として、2つのフォトダイオード31.32を備
えた光点変位検出器39を用い、この光点変位検出器3
9からの出力を処理する増幅演算回路30として、前置
増幅回路33.34と減算回路35と加算回路36と除
算回路37とを備えた構成とする。なお、その他の構成
は、前記第1の実施例と同じとする。
このような本実施例においては、例えばフォトダイオー
ド31.32が並ぶ方向をX方向として、発光源7から
の光がレンズ8を通して光点変位検出器39上に結像す
る発光源像19の前記X方向の位置によって変化するフ
ォトダイオード31゜32からの出力信号は、各々前置
増幅回路33゜34で増幅される。ここで、前置増幅回
路33からの出力をXl、前置増幅回路34からの出力
をx2とすれば、減算回路35においては出力X1から
出力X2を減じた出力(XI   Xg )が算出され
、加算回路36においては出力X+  と出力×2とを
加えた出力(XI  + xx )が算出される。
このとき、フォトダイオード31.32の出力差に基づ
く前記出力(XI   Xi )は、一般に発光源像1
9のX方向の変位に比例しているが、発光源像19が同
じ位置にあってもレンズ8を通して入射する元旦の増減
により変化することがある。
このため、除算回路37においては、入射光の(,8量
に基づく前記出力(Xl+X2)で前記出力(Xt  
 Xi)を割ることにより、フォトダイオード31.3
2の出力差の割合として、入射光猾の多少に拘わらず常
に同じ条件で発光源像19の位置を示す出力(XI  
+Xz )/ (x+  −xz )を算出し、こ、れ
を制御装置i!11に送ってテーブル3位置の補正を行
う。このような本実施例によれば、レンズ8を通して入
射する光量が変化した際であっても、発光源像19の正
確な位置を検出することができ、より正確な補正を行う
ことができる。
なお、前記第3の実施例の変形として、第8図に示すよ
うな第4の実施例においては、4つのフォトダイオード
31A、31B、32A、32Bを備えた光点変位検出
器39Aと、前記増幅演算回路30を2系統分備えた増
幅演算回路30Aとを用いれば、前記X方向だけでなく
これに直交するY方向についても同時に、発光源像19
の正確な位置を検出することができる。
前記第3および第4の実施例においては、光点位置を検
出する検出面が分割されたフォトダイオード光点変位検
出器を用いたが、第9図ないし第11図に示す第5の実
施例においては、光点位置を検出する検出面が分割され
ない連続型フォトダイオード光点変位検出器として、連
続型のPINフォトダイオード41を備えた光点変位検
出器49を用いる。なお、増幅演算回路30およびその
他の構成は第3の実施例と同しである。
第9図において、光点変位検出器49はPINフォトダ
イオード41を受光面として備え、このPINフォトダ
イオード41は1層42の表面にP形抵抗層43を形成
され、また、裏面にNJ!144を形成されており、さ
らに、P形抵抗層43の両端部には互いに距離W0をお
いて各々電極45゜46が設けられ、NJi44の中央
位置には共通電極47が設けられている。ここで、前記
発光t7.7からの光がレンズ8を通して結像する発光
源像19の中心が、前記P型抵抗層の電極45から電極
46に向かって距離W1の位置にあるならPINフォト
ダイオード41および共通電極47には電流!。が流れ
る。このとき、例えば距離WIが間隔W0のちょうど半
分すなわち発光源像19が光点変位検出器49の中央位
置にある場合には、電極45.46に流れる電流1. 
、+z はそれぞれ1+=Iz=I。/2で等しいが、
発光源像19が前記中央位置から変位を生した場合には
、電極45には電流 が流れ、電極45と電極46とから各々とり出しつる出
力信号は、発光源像19の前記中央位置からの変位D+
  =Wo /2  WIに応じて出力差を生じる。
第10図において、光点変位検出器49の電極45.4
6は、各々前記増幅演算回路30の前置増幅回路33.
34に接続され、以下前記第3の実施例と同様な演算に
より、入射光量の変化に拘わらず発光源像19の正確な
位置を検出することが可能となる。さらに、本実施例に
よれば、連続型のPINフォトダイオード41を用いる
ことにより、発光源像19の中心位置を検出するため、
第3の実施例に示したような分割型のフォトダイオード
31を用いた場合に比べてより正確かつ発光源像19の
寸法に影舌を受けないという効果がある。
なお、前記第5の実施例の変形として、第11図に示す
ような第6の実施例においては、PINフォトダイオー
ド41Aの4辺に各々4つの電極45A、45B、46
A、46Bを備えた光点変位検出器49Aと、前記第4
の実施例と同様な増幅演算回路30Aとを用いれば、発
光源像19の中心位置の変位をX方向、Y方向の直交す
る2方向に対して同時に検出することができる。
前記第1ないし第6の実施例においては、レンズ8およ
び光点変位検出器9を1mづつ用い、主軸ヘッド4が前
記(1)式の関係を満足する位置にあるときの光点変位
検出器9の変位D1によりテーブル3と主軸5との水平
方向の相対変位10゜を算出して補正を行ったが、第1
2図ないし第14図に示す第7の実施例においては、レ
ンズおよび光点変位検出器を複数組用い、異なる位置に
おけるテーブル3と主軸5との相対変位量を検出して主
軸ヘッド4の昇降方向の軸線の傾きを演算し、主軸ヘッ
ド4の移動に伴うテーブル3と主軸5との変位の変化を
考慮してより正確な補正を可能とする。
第12図および第13図において、2つの発光源71.
72は、主軸ヘッド4の主軸5近傍に、間隔L0をおい
て設けられ、2個のレンズ81゜82および光点位置検
出器91.92は、テーブル3の側面に、前記発光源7
1.72の各々に対向するよう設けられており、レンズ
81と光点変位検出器91との距離はLll、レンズ8
2と光点変位検出器92との距翻はLetとされている
このような本実施例においては、第12図に示すように
、発光源71とレンズ81との距離がり。1である位置
に主軸ヘッド4があるとき、光点変位検出器91には発
光源像が結像し、その変位D11からテーブル3と主軸
5との相対変位量り。
が算出される。一方、第13図に示すように、発光源7
2とレンズ82との距離がLetである位置に主軸へラ
ド4があるとき、光点変位検出器92には発光源像が結
像し、その変位D1!からテーブル3と主軸5との相対
変位量 が算出される。このとき、第14図に示すように、これ
らの変位DO+ +  D 6 zおよび各検出位置の
距離(Lo+  Log)により、主軸ヘッド4の昇降
方向の軸fIAのf頃き Lo+  I−o冨 が算出できる。このため、例えば、第2図に実線で示さ
れる熱変形のない状態での軸線の傾きθ。
を検出しておき、運転に伴い、第2図に破線で示された
熱変形を生じた状態での軸線の傾きθ1 を検出し、熱
変形による軸線の傾きの変化■Δθ=θ0−θ、を計算
することにより、主軸へラド4の昇降に伴うテーブル3
と主軸5との相対変位1の増減を検出することができ、
テーブル3と主軸5の相対位置を主軸へ7ド4の昇降に
伴ってさらに細かく補正することにより、一層正確に補
正できるとシ1う効果がある。さらに、前記検出位置を
2つに限らず、3つ以上設ければ、主軸ヘッド4の上下
の位置に応じてさらに正確な補正が可能となる。
なお、前記第7の実施例の変形として、第15図および
第16図に示すよう°な第8の実施例においては、レン
ズ81と光点変位検出2ii91との1組と、レンズ8
2と光点変位検出2392との1組とを、各々の光軸を
直交させてテーブル3側面に配置し、前記交点には各々
の光軸と45度をなすハーフミラ−70を設け、このハ
ーフミラ−70により主軸5近傍に設けられた1つの発
光源7か、らの光を透過光と反射光とに分配し、レンズ
81゜−82を介して光点変位検出器91.92に発光
源像を結像させるように構成すれば、前記(5)式によ
り距離Llll+  Logおよび変位り、から変位D
o1を算出し、前記(6)式により距t%1ILoz、
  Letおよび変位D1□から変位り。2を算出し、
前記(7)式により軸線の傾きθ。、θ1を算出できる
ので、前記第7の実施例と同様の効果が得られるほか、
発光源7が1つでよ<、簡略化できるとともに、前記発
光源71.72の間隔L0によって生じる誤差をなくす
こともできるという効果がある。
前記第7および第8の実施例においては2mの発光源?
1,72)レンズ81.82および光点変位検出器91
.92によりコラム2の傾きを検出可能としたが、第1
7図に示す第9の実施例においては、制御装置11とし
ての数値制御装置110を設け、前記2組の光点変位検
出器91,92の出力に基づいてコラム2の傾きを演算
し、前記テーブル3と主軸5との相対変位量の補正をよ
り正確に行うことを可能とする。
第17図において、光点変位検出器91.92は、前記
第7または第8の実施例と同様の構成により各々異なる
主軸ヘッド4位置での発光源像の変位D o 1 、 
 D @ zを出力可能に設けられており、これらの光
点変位検出器91.92は各々増幅器101.102を
介して数値制御装置110に接続されている。
この数値制御装置110は、増幅器101.1O2に接
続されたセレクタ111と、A/D変換器112を介し
てセレクタillに接続されたバッファユニット113
とを備えており、バッファユニット113は検出用I1
0ユニット114内に設けられており、検出用I10ユ
ニット114の要求に応じて書き込み、あるいは読み出
し動作可能とされている。
前記検出用110ユニソ)114は、演算処理装置11
5およびセレクタ111に接続されており、演算処理装
置115の要求に応じて、適宜セレクタ111に切換指
令を送ってセレクタ111で選択される(3号を切換可
能、かつバッファユニット113内にセレクタ111で
選択されてA/D変換器112で符号化された信号を保
持可能とされている。
前記演算処理装置115は、マイクロプロセッサあるい
は小型コンピュータ等でありζデータメモリ116およ
びプログラムメモリ117を備えているとともに、制御
用I10ユニット118を介して前記サーボモータ6に
接続されている。この演ゴγ処理VZ115は、プログ
ラムメモリ117内に保持されたプログラムに基づいて
所定の処理を行い、検出用110ユニソ)114および
制御用I10ユニット118等の動作を制御するととも
に、バッファユニット113およびデータメモリ116
内に保持されたデータを用いて所定の演算を行い、演算
結果に応じて制御用I10ユニット118に制御信号を
出力してサーボモータ6を制御可能とされている。
なお、制御用!10ユニ7ト118には操作盤あるいは
NC装置等の図示しない動作指令装置が接続され、制御
用I10ユニット118は、前記動作指令装置からの指
令によりサーボモータ6を動作させ、前記工作機械の基
本的な動作を行わせることが可能とされている。
このような本実施例においては、数値制御装置110の
動作は次に示すようなものである。なお、以下の各動作
は、プログラムとしてプログラムメモリ117内に記憶
された手順に従って動作する演算処理装置115の制御
のもとで実行される。
数値制御装置110は、稼動開始時など前記工作機械に
熱変形が生じていない状態で、予め基準となるテーブル
3と主軸5との相対変位量を測定しておく。
まず、第12図あるいは第15図に示すように発光源7
1とレンズ81との距離がり。lであるときのテーブル
3と主軸5との相対変位量り、を検出する。I10ユニ
ット114は演算処理装置115からの指令に基づいて
セレクタ111を光点変位検出器91側に切り換え、光
点変位検出’JN 91で検出され、増幅回路101を
経てA/D変換25112で符号化された信号をバッフ
ァユニット113に保持する。ここで、演算処理装置1
15は、バッフアユシソl−113内に保持された内容
およびプログラムメモリ117に記憶された(5)弐に
基づく手順によりテーブル3と主軸5との相対変位fi
t D o +を算出し、データメモリ116に保存す
る。
次に、第13図あるいは第16図に示すように発光[7
2とレンズ82との距離がL112であるときのテーブ
ル3と主軸5との相対変位fl D O2を検出する。
I10ユニット114は演算処理装置115からの指令
に基づいてセレクタ111を光点変位検出器92側に切
り換え、光点変位検出器92で検出され、増幅回路10
2を経てA/D変換’JSl 12で符号化された信号
をバッファユニット113に保持する。ここで、演算処
理装置115は、バッファユニット113内に保持され
た内容およびプログラムメモリ117に記憶された(6
)式に基づく手順によりテーブル3と主軸5との相対変
位1i D o tを算出し、データメモリ116に保
存する。このように検出された相対変位jlD。I+D
O!を第18図に示す。
第18図において、Y軸は主軸ヘッド4の昇降方向、X
軸はテーブル3の移動方向であり、D Ol +Dot
はX軸方向に測られたテーブル3と主軸5との相対変位
量、LoはY軸の原点からレンズ位置までの距離である
一方、数値制御袋Tl110は、運転に伴ない前記工作
機械に熱変形が生じた際には、定期的あるいは精密加工
の前など補正が必要な都度、テーブル3と主軸5との相
対変位量を測定し、コラム2の傾きを補償する補正量を
算出する。
まず、前記熱変形のないときと同様の手順により、発光
、1IiX71とレンズ81との距離がLOIのときの
テーブル3と主軸5との相対変位EI D :+ +、
および発光′tA72とレンズ82との距離がり。2の
ときの°テーブル3と主軸5との相対変位fft D 
s zを検出し、各々データメモリ116に保存する。
このように検出された前記相対変位量D3++  03
*を第19図に示す。
ここで、予め測定しておいた熱変形のない状態での相対
変位flj D o + 、  D o zと熱変形を
生じた状態での相対変位量D ! + 、  D 1!
とを比較し、各測定位置での相対変位量の増加分 D+  = Ds+  Do+       (8)D
z=D、l□−Dog       (9)を算出する
。このとき、熱変形に伴って増加した軸線の傾きは、第
20図に示すような直線の傾きで表され、この直線は次
式で表される。
=A  −X+Da                
    (10)D +     D z 一方、数値制御装置110がX軸方向に補正しようとす
る際の所望の最小補正量をΔX(例えば0.0011.
m )とした場合、このΔXに対応するY軸方向の補正
基準1ΔYは、 ΔY=Δ−ΔX       (11)であり、現在の
Y軸位置Ltに対応すZ、 SF軸方向の固定的補正■
D、は(10)式に基づきDt −5・LL+Do  
   (12)として求まる。これらの(直はデータメ
モリ116内に記憶され、補正動作の際に参照される。
数値制御装置110は、以上のように補正基準量ΔYお
よび固定的補正it Dtを算出した後、以下の手順で
熱変形によるテーブル3と主軸5との相対変位の補正を
行う。
まず、前記算出後の最初の移動において、移動指令に基
づくX軸方向の移動・量から固定的補正量DLを差し引
いて移動を行い、テーブル3と主軸5との座標系の基本
的な補正を行う。
以後、移動によりY軸方向の位置し、の変化分が補正基
準量ΔYの整数倍の距離となるたびに、コラム2の軸線
の傾きによる主軸へラド4の昇降に伴う相対変位の補正
を行う、すなわち、主軸ヘッド4が上昇する際、つまり
前記LLが増加する方向に移動する際に、位置Ltの変
化分が補正基準量ΔYの整数倍の距離となるたびにX軸
方向の位置し、から最小補正量ΔXを減算する。一方、
主軸ヘッド4が下降する際、つまり前記LLが減少する
方向に移動する際に、位置LLの変化分が補正基準量Δ
Yの整数倍の距離となるたびにX軸方向の位置LLに最
小補正量ΔXを加算する。
以上のように、本実施例によれば、数値制御装面110
は前記工作機械の動作の際に動作量を補正して動作を行
うことにより、熱変形が生じた状態でのテーブル3と主
軸5の相対変位量を補正して正確な動作を行うことがで
きる。
また、本実施例によれば、工作機械のコラム2の軸線の
傾きを検出し、主軸へラド4の昇降にともなうテーブル
3と主軸5の相対変位量の変化に対応して、より正確な
補正を行うことができるという効果がある。
前記第9の実施例においては、数値制御装置110に接
続された2&[lの光点変位検出器91,92を設けた
が、第10の実施例においては、第21図に示すように
、光点変位検出器9の他に、前記工作機械に温度検出手
段としての温度検出センサ21を設け2.交点変位検出
器9に基づいて行う補正に、従来からの温度を検知して
工作機械の温度上昇に基づいて行う補正により補完的な
補正を行い、テーブル3と主軸5との相対位置の正確な
補正を行う。
従来より、工作機械の熱変位は温度上昇とある程度比例
関係にあることから、工作機械の本体の温度上昇を検出
し、この温度上昇により工作機械の座標系を移動させて
補正を行うことが行われているが、この温度上昇は機械
運転条件、切削剤等の熱的影響や、機械の置かれた環境
条件により変化するため、不確定要素が大きい、第22
図に示すように、このような温度上昇に基づく補正は、
一般に、温度上昇に伴い不確実性が増す特性を持ってお
り、この温度上昇もと熱変位量xの関係は以下の直線式
で表される。
x=B t +C(13) つまり、工作機械の熱変位を温度のみで予測すると、関
係を求める条件が第22図における信頼性下限に近い状
態であったり、信頼性下限に近い状態での機械の運転条
件や環境である場合など、第23図に示すような範囲に
ばらつき、誤差を生じて正確さを失う。
一方、光点変位検出器9によるテーブル3と主軸5の相
対変位量を検出し補正する方法によれば、工作機械温度
上昇に拘わりなく補正を行うことができる。しかし、光
点変位検出器9による補正においては、第24図のよう
に、検出および補正を行った直後には非常に正確である
が、時間の経過とともにその誤差が大きくなるため、仕
上げ等の精度を必要とする加工の直前には、毎回検出お
よび補正を行う必要があった。
このため、本実施例においては、第21図゛に示すよう
に、増幅回路10を介して数値側?3′II装置110
に接続された交点変位検出器9を設けるとともに、前記
工作機械に取り付けられた温度検出手段としての温度検
出センサ21を設け、この温度検出センサ21を増幅回
路22を介して数値制御装置110に接続する。なお、
数値制御装置110は、前記第9の実施例と同様の構成
を備えており、筒略化のためここでは説明を省略する。
なお、以下の各動作は、プログラムとしてプログラムメ
モリ117内に記憶された手順に基づき、演算処理装置
115により実行される。
このような本実施例においては、精密加工に際して、あ
るいは適宜行われる光点変位検出器9によるテーブル3
と主軸5の相対変位量の検出および補正により基本的な
補正を行う。このとき、数値制御装置110はセレクタ
111を光点変位検出器9側とし、前述した所定の演算
により前記相対変位量を算出する。一方、光点変位検出
器9による検出の時刻から次の光点変位検出器9による
検出の時刻までの間は、時間の経過に従って次第に誤差
が増加するが、このとき、数値制御装置110はセレク
タ111を温度検出センサ21側とし、温度検出センサ
21で検出された温度に基づいて補正を行う、すなわち
、数値制御袋rlIIOは、前記光点変位検出器9によ
る検出の際に工作機械の温度を予め測定しておき、時間
の経過とともに温度検出センサ21で検出される温度の
変化を計算し、この温度変化に応じて所定の演算を行い
、補正を行って第25図に示すように誤差の範囲を限定
する。
このように、本実施例によれば、交点変位検出器9によ
る検出および補正の動作の時間的な間隔を長くしても誤
差を小さく抑えることができ、交点変位検出器9による
検出および補正の動作の頻度を減らして工作機械の作業
時間を増し、作業効率を向上できるという効果がある。
なお、前記実施例においては、温度検出センサ21で検
出される温度変化に応じた補正は所定の演算によるとし
たが、これは予めデータメモリ116等に温度に応じた
標準補正値をデータテーブルとして記憶しておき、随時
読み出すとしてもよい。
以上の前記各実施例においては、検出したテーブル3と
主軸5との相対変位量に基づき、サーボモータ6により
テーブル3をWA動じて水平方向の移動の際の移動量を
加減することにより、テーブル3と主軸5との相対変位
量を補正するとしたが、主軸5を備えたコラム2が移動
して加工を行う型式の工作機械においては、サーボモー
タ6によりコラム2を移動させる際に補正を加えればよ
く、要するに、テーブル3と主軸5との相対位置を補正
できればよい。
また、レンズ8,81.82および交点変位検出2″&
9,91.92の取り付は位置はテーブル3の側面に限
らず、テーブル3表面にうめ込むなどとしてもよく、被
加工用工作物13の取り付けや加工作業に支障をきたさ
ないようにテーブル3に固定された位置であればよい。
このように、本発明は前記各実施例に限定されるもので
はなく、要するに、主軸5近傍に設けられた発光源7と
、テーブル3に設けられて発光ag7からの光により発
光源像を結像させるレンズ8と、このレンズ8により結
像された発光源像の位置変化を検出する光点変位検出器
9とにより、テーブル3と主軸5との相対位置関係の変
位を光学的に直接検出し、増幅回路10等および制御装
置11により変位量を演算し、この変位量に基づいて工
作機械の加工動作を補正するということである。
〔発明の効果〕
以上のように、本発明の工作機械の熱変位補正装置によ
れば、工作機械の主軸とテーブルとの相対位置関係の変
位量を直接検出し、この変位量に基づいて主軸とテーブ
ルとの相対位置関係をより正確に補正することができる
という効果がある。
【図面の簡単な説明】
第112Iは本発明の第1の実施例の要部を示す構成図
、第2図は前記実施例における熱変形の例を示す側面図
、第3図は前記実施例における正常時の光路を示す図、
第4図は前記実施例における熱変形時の光路を示す図、
第5図は本発明の第2の実施例の要部を示す構成図、第
6図は前記第2の実施例における各部の信号出力と時間
との関係を示す図、第7図は本発明の第3の実施例を示
す構成図、第8図は本発明の第4の実施例を示す構成図
、第9図は本発明の第5の実権例に用いる光点変位検出
器を示す断面図、第10図は前記第5の実施例を示す構
成図、第11図は本発明の第6の実施例を示す構成図、
第12図は本発明の第7の実施例の検出状態を示す図、
第13図は前記第7の実施例の他の検出状態を示す図、
第14図は前記第7の実施例の原理を示す図、第15図
は本発明の第8の実施例の検出状態を示す図、第16図
は前記第8の実施例の他の検出状態を示す図、第17図
は本発明の第9の実施例を示す構成図、第18図は前記
第9の実施例における熱変形がないときの検出状態を示
す図、第19図は前記第9の実施例における熱変形があ
るときの検出状態を示す図、第20図は前記第9の実施
例における熱変形によるコラムの傾きを示す図、第21
図は本発明の第10の実施例を示す構成図、第22図は
前記第10の実施例における温度上昇と熱変形の関係を
示す図、第23図は前記第10の実施例における時間と
熱変形の関係を示す図、第24図は前記第10の実施例
における光点変位検出器による、熱変位の補正を示す図
、第25図は前記第10の実施例における光点変位検出
器と温度検出センサの組み合わせによる熱変位の補正を
示す囚である。 2・・・コラム、3・・・テーブル、4・・・主軸ヘッ
ド、5・・・主軸、?、71.72・・・発光源、8.
81゜82・・・レンズ、9,39.39A、49.4
9A。 91.92・・・光点変位検出器、10,20.2OA
、101.102・・・増幅回路、11・・・制御装置
、12・・・熱変位補正装置、13・・・被加工用工作
物、15・・・工具、19・・・発光源像1.21・・
・温度検出手段である温度検出センサ24・・・選択増
幅回路、25・・・同期整流回路、30.30A・・・
増幅演算回路、31.31A、31B、32.32A、
32B・・・分割された検出面であるフォトダイオード
、41.41A・・・分割されない検出面であるPTN
フォトダイオード、110・・・数値制御°装置。

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)工具を取り付ける主軸を有する主軸ヘッドを昇降
    可能に装備するコラムと、被加工用工作物を取り付ける
    テーブルとを備えた形式の工作機械において、 主軸ヘッドの主軸近傍に設けられて光を拡散放出する発
    光源と、この発光源と隔離対向されて配置されテーブル
    に設けられて発光源像を結像させるレンズと、このレン
    ズにより結像された発光源像の位置変化を検出する光点
    変位検出器と、この光点変位検出器からの信号を増幅す
    る増幅回路と、この増幅回路からの信号によりテーブル
    と発光源との相対変位量を演算しこの相対変位量により
    テーブルと主軸との相対位置を補正する制御装置とを備
    えたことを特徴とする工作機械の熱変位補正装置。
  2. (2)特許請求の範囲第1項において、前記発光源は特
    定の周波数で点滅する発光源とされ、前記増幅回路は、
    前記発光源の点滅と同一の周波数成分のみを増幅する選
    択増幅回路と、前記発光源の点滅と同期関係にある成分
    のみを整流する同期整流回路とを備えたことを特徴とす
    る工作機械の熱変位補正装置。
  3. (3)特許請求の範囲第1項または第2項において、前
    記光点変位検出器を、光点位置を検出する検出面が分割
    された分割型フォトダイオード光点変位検出器としたこ
    とを特徴とする工作機械の熱変位補正装置。
  4. (4)特許請求の範囲第1項または第2項において、前
    記光点変位検出器を、光点位置を検出する検出面が分割
    されない連続型フォトダイオード光点変位検出器とした
    ことを特徴とする工作機械の熱変位補正装置。
  5. (5)特許請求の範囲第1項ないし第4項のいずれかに
    おいて、前記レンズおよび前記光点変位検出器を複数組
    備え、前記テーブルに対する前記主軸ヘッドの昇降方向
    の軸線の傾きを演算可能としたことを特徴とする工作機
    械の熱変位補正装置。
  6. (6)特許請求の範囲第1項ないし第5項のいずれかに
    おいて、前記制御装置は、前記光点変位検出器からの信
    号により、前記テーブルと主軸との相対変位量および前
    記コラムの主軸ヘッドの昇降方向の軸線の傾きを演算可
    能、かつ前記テーブルと主軸とが所定量の相対移動を行
    う際には、前記相対変位量および前記相対変位量の前記
    傾きによる変化分に応じて前記所定量を補正し、補正さ
    れた前記所定量だけ前記テーブルと主軸とを相対移動さ
    せる数値制御装置であることを特徴とする工作機械の熱
    変位補正装置。
  7. (7)特許請求の範囲第1項ないし第6項のいずれかに
    おいて、前記工作機械には工作機械の温度を検出する温
    度検出手段が設けられており、前記制御装置は、前記光
    点変位検出器からの信号により、前記テーブルと主軸と
    の相対変位量を演算可能、かつ前記温度検出手段により
    検出される工作機械の温度変化に対応して前記テーブル
    と主軸との相対変位量を演算可能であり、前記テーブル
    と主軸とが所定量の相対移動を行う際には、前記光点変
    位検出器による相対変位量と前記温度検出手段による相
    対変位量とに応じて前記所定量を補正し、補正された前
    記所定量だけ前記テーブルと主軸とを相対移動させる数
    値制御装置であることを特徴とする工作機械の熱変位補
    正装置。
JP61053982A 1986-03-12 1986-03-12 工作機械の熱変位補正装置 Pending JPS62213945A (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61053982A JPS62213945A (ja) 1986-03-12 1986-03-12 工作機械の熱変位補正装置
US07/023,252 US4928019A (en) 1986-03-12 1987-03-09 System for compensatively correcting for displacements due to heat in machine tools
KR1019870002175A KR910007254B1 (ko) 1986-03-12 1987-03-11 공작기계의 열변위 보정장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61053982A JPS62213945A (ja) 1986-03-12 1986-03-12 工作機械の熱変位補正装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS62213945A true JPS62213945A (ja) 1987-09-19

Family

ID=12957827

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP61053982A Pending JPS62213945A (ja) 1986-03-12 1986-03-12 工作機械の熱変位補正装置

Country Status (3)

Country Link
US (1) US4928019A (ja)
JP (1) JPS62213945A (ja)
KR (1) KR910007254B1 (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008296316A (ja) * 2007-05-30 2008-12-11 Ihi Corp 工作機械及びその使用方法
WO2011099599A1 (ja) * 2010-02-15 2011-08-18 株式会社ジェイテクト 工作機械の熱変位補正方法および熱変位補正装置
KR20140138063A (ko) * 2013-05-23 2014-12-03 나카무라 토메 세이미쓰고교 가부시키가이샤 기계의 자기 진단 및 기계 정밀도의 보정 방법
JP2015196201A (ja) * 2014-03-31 2015-11-09 シチズンホールディングス株式会社 工作機械

Families Citing this family (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0452908A (ja) * 1990-06-20 1992-02-20 Fanuc Ltd 工具変形量補正方式
US5196713A (en) * 1991-08-22 1993-03-23 Wyko Corporation Optical position sensor with corner-cube and servo-feedback for scanning microscopes
US5172002A (en) * 1991-08-22 1992-12-15 Wyko Corporation Optical position sensor for scanning probe microscopes
US5164602A (en) * 1991-08-23 1992-11-17 Westinghouse Electric Corp. Machine guidance system utilizing fiber optics
IL99346A (en) * 1991-08-30 1996-05-14 Israel Aircraft Ind Ltd Boresight system and calibration method
GB2266142B (en) * 1992-04-15 1996-09-25 Butler Newall Ltd Improvements in or relating to methods and control systems for registering a datum position between two relatively movable components of a machine tool
DE4243393C2 (de) * 1992-12-21 1995-04-06 Agie Ag Ind Elektronik Vorrichtung und Verfahren zum elektroerosiven Schneiden
IT1264104B1 (it) * 1993-03-29 1996-09-10 Mikron Spa Macchina dentatrice.
DE19531676C1 (de) * 1995-08-29 1996-11-14 Hesse Gmbh Vorrichtung zum Führungstoleranzausgleich bei Mehrachsenpositionierern
US5650852A (en) * 1996-03-08 1997-07-22 The Boeing Company Temperature-compensated laser measuring method and apparatus
WO1997046925A1 (en) * 1996-06-06 1997-12-11 The Boeing Company Method for improving the accuracy of machines
US6681145B1 (en) * 1996-06-06 2004-01-20 The Boeing Company Method for improving the accuracy of machines
EP0879676A4 (en) * 1996-11-07 2002-01-16 Okuma Machinery Works Ltd ERROR CORRECTION DEVICE FOR NUMERICALLY CONTROLLED MACHINE TOOL
US5949685A (en) * 1997-06-03 1999-09-07 The Boeing Company Real-time orientation of machine media to improve machine accuracy
JP3413068B2 (ja) * 1997-08-19 2003-06-03 オークマ株式会社 工作機械の熱変位推定方法
JP2003285249A (ja) * 2002-03-27 2003-10-07 Mori Seiki Co Ltd 工作機械の精度解析装置
US7071480B2 (en) * 2003-06-13 2006-07-04 Voith Paper Patent Gmbh Sensor with alignment self compensation
DE102007041827B4 (de) * 2007-09-03 2018-06-21 Siemens Aktiengesellschaft Werkzeugmaschine
JP5452973B2 (ja) * 2009-04-28 2014-03-26 富士機械製造株式会社 撮像装置及びその撮像装置を備える切削機械
JP2012086326A (ja) * 2010-10-21 2012-05-10 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 工作機械の熱変位補正システム
ES2435919T3 (es) * 2010-12-30 2013-12-26 Hexagon Metrology S.P.A. Máquina de medición de coordenadas
JP5502912B2 (ja) * 2012-01-19 2014-05-28 ファナック株式会社 工作機械の熱変位補正装置
JP5462296B2 (ja) * 2012-02-13 2014-04-02 ファナック株式会社 工作機械の暖機運転制御装置
JP5698798B2 (ja) * 2013-06-24 2015-04-08 ファナック株式会社 熱変位量補正機能を有する工作機械
CN103823991B (zh) * 2014-03-11 2017-01-18 华中科技大学 一种考虑环境温度的重型机床热误差预测方法
CN107206562B (zh) * 2015-03-17 2020-06-16 东芝机械株式会社 机床
US10215531B2 (en) * 2016-04-20 2019-02-26 The United States Of America, As Represented By The Secretary Of The Navy Testing system for optical aiming systems with light emitter systems including testing system for thermal drift and related methods
JP6180688B1 (ja) * 2016-12-08 2017-08-16 三菱電機株式会社 数値制御装置
CN107436247B (zh) * 2017-09-11 2020-08-28 安徽理工大学 一种数控机床床身热变形临界点测量实验装置及确定方法
JP6603288B2 (ja) * 2017-10-25 2019-11-06 ファナック株式会社 工作機械の切削液供給装置
TW201923501A (zh) * 2017-11-17 2019-06-16 財團法人資訊工業策進會 控制系統及其方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5761902A (en) * 1980-09-30 1982-04-14 Anritsu Corp Measuring device of displacement
JPS6088306A (ja) * 1983-10-20 1985-05-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光学センサ
JPS60207742A (ja) * 1984-03-30 1985-10-19 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 工作機械の機上計測補正装置

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4602163A (en) * 1981-05-11 1986-07-22 Pryor Timothy R Electro-optical systems for control of robots, manipulator arms and co-ordinate measuring machines
US4453085A (en) * 1981-05-11 1984-06-05 Diffracto Ltd. Electro-optical systems for control of robots, manipulator arms and co-ordinate measuring machines
DE3320163A1 (de) * 1983-06-03 1984-12-13 Prüftechnik Dieter Busch + Partner GmbH & Co, 8045 Ismaning Vorrichtung zum feststellen von fluchtungsfehlern hintereinander angeordneter wellen
GB8616431D0 (en) * 1986-07-05 1986-08-13 Renishaw Plc Locating co-ordinates of object

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5761902A (en) * 1980-09-30 1982-04-14 Anritsu Corp Measuring device of displacement
JPS6088306A (ja) * 1983-10-20 1985-05-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光学センサ
JPS60207742A (ja) * 1984-03-30 1985-10-19 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 工作機械の機上計測補正装置

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008296316A (ja) * 2007-05-30 2008-12-11 Ihi Corp 工作機械及びその使用方法
WO2011099599A1 (ja) * 2010-02-15 2011-08-18 株式会社ジェイテクト 工作機械の熱変位補正方法および熱変位補正装置
JP2011161614A (ja) * 2010-02-15 2011-08-25 Jtekt Corp 工作機械の熱変位補正方法および熱変位補正装置
KR20140138063A (ko) * 2013-05-23 2014-12-03 나카무라 토메 세이미쓰고교 가부시키가이샤 기계의 자기 진단 및 기계 정밀도의 보정 방법
JP2014226754A (ja) * 2013-05-23 2014-12-08 中村留精密工業株式会社 機械の自己診断及び機械精度の補正方法
JP2015196201A (ja) * 2014-03-31 2015-11-09 シチズンホールディングス株式会社 工作機械

Also Published As

Publication number Publication date
US4928019A (en) 1990-05-22
KR870008659A (ko) 1987-10-20
KR910007254B1 (ko) 1991-09-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS62213945A (ja) 工作機械の熱変位補正装置
US8545145B2 (en) Spindle inclination detector and machine tool including the same
JP4840144B2 (ja) 位置決め装置及び位置決め方法
US20130223946A1 (en) System for correcting thermal displacement of machine tool
US8152422B2 (en) Control method for a machine tool with numerical control
US4919575A (en) Apparatus for compensating for the thermal displacement of the main spindle of a machine tool
JPWO2013073317A1 (ja) 工作機械
JP2006281420A (ja) Nc工作機械の熱変位補正方法
CN108255129A (zh) 一种工件抛光检测方法
WO2011052441A1 (ja) 工作機械および変位計測器
US8845247B2 (en) Thermal compensation system for a milling machine
CN108088388A (zh) 一种工件抛光检测装置
JP7009326B2 (ja) 工作機械の数値制御装置
KR20120069056A (ko) 공작기계의 공구계측을 이용한 열변위 보정장치 및 방법
JP3394972B2 (ja) 自動工作機械
JP3101072B2 (ja) Nc工作機械における刃先の経時変位補正装置
JP2544790B2 (ja) 工作機械送り系の位置決め誤差の補正方法および装置
WO2015063912A1 (ja) 位置決め精度の設定方法、位置決め精度設定装置および位置決め精度の設定プログラム
JPH0123041B2 (ja)
US20120243956A1 (en) Machine tool
CN103302509B (zh) 带有机载测定功能的加工装置
TWI466753B (zh) 動態變形自動修正裝置
JPH08229774A (ja) 工作機械の変形補正加工法
JP2014153223A (ja) 計測装置
JP5400190B2 (ja) 位置決め精度の設定方法、位置決め精度設定装置および位置決め精度の設定プログラム