KR20210016625A - 반사형 광학식 인코더 및 모터, 및 반사형 광학식 인코더의 제조 방법 - Google Patents

반사형 광학식 인코더 및 모터, 및 반사형 광학식 인코더의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

회전축(11)에 장착된 허브 부재(8)와, 허브 부재(8)에 접착제(19)에 의해 고정되는 동시에, 표면에 광의 반사율이 높은 고반사부(141)와 광의 반사율이 낮은 저반사부(142)로 구성되는 패턴(14)을 갖는 원형형의 스케일 판(5)을 구비하고, 허브 부재(8)의 외주부에 단차(23)가 마련되며, 스케일 판(5)의 외경은, 허브 부재(8)에 있어서의 스케일 판(5)과 허브 부재(8)의 접착면(17)의 최외주부에 있어서의 외경보다 크게 한다.

Description

반사형 광학식 인코더 및 모터, 및 반사형 광학식 인코더의 제조 방법
본원은 반사형 광학식 인코더 및 모터, 및 반사형 광학식 인코더의 제조 방법에 관한 것이다.
종래에 있어서는, 허브에 고정되는 디스크와, 디스크에 광을 조사하는 광원과, 디스크에서 반사된 광을 수광하는 수광 어레이를 갖는 인코더가 개시되어 있으며, 또한 디스크와 허브는 접착제에 의해 접착되어 있는 것이 개시되어 있다(특허문헌 1 참조).
일본 특허 공개 제 2014-130104 호 공보
일반적으로 반사형 광학식 인코더에 있어서는, 주로 광의 반사율이 높은 고반사부와 광의 반사율이 낮은 저반사부로 구성되는 패턴과, 그 표면측에 투광부와 수광부를 갖는다. 투광부로부터 나온 광을, 광의 반사율이 높은 고반사부와 광의 반사율이 낮은 저반사부로 구성되는 패턴으로 반사하고, 반사된 광의 광량의 차이를 수광부에서 검출하는 것에 의해 위치를 검출할 수 있다. 이들 고반사부와, 저반사부로 구성되는 패턴을 갖는 원형형의 스케일 판을 허브 부재에 고정하고, 이들을 모터의 회전축에 조립하는 것에 의해, 모터의 회전 각도 및 회전 속도를 검출할 수 있다. 고반사부와 저반사부로 구성되는 패턴을 갖는 원형형의 스케일 판을 허브 부재에 접착하는 것에 의해, 스케일 판은 허브 부재에 고정된다. 또한, 인코더의 전원을 껐을 때, 인코더 위치의 검지와 보존을 하기 위해서 배터리가 필요하다. 이에 대하여 허브 부재에 자성을 부가하고, 부근에 발전 소자를 배치하는 것에 의해, 허브 부재의 자력을 받아 발전 소자가 발전하고, 인코더 위치의 검출과 보존을 할 수 있게 된다. 따라서 배터리 및 배터리의 교환 작업을 없앨 수 있다.
이러한 반사형 광학식 인코더에 있어서는, 각도 검출 정밀도를 확보하고, 또한 소형화를 도모하기 위해, 패턴은 원형형의 스케일 판의 외주 부근에 배치할 필요가 있다. 또한, 접착제 경화시의 경화 수축에 의한 스케일 판의 변형 및 스케일 판이 고정된 허브 부재의 회전시의 진동이 검출 정밀도를 악화시킬 우려가 있다. 따라서, 스케일 판에 대해 패턴이 존재하는 위치는 접착 고정되어 있을 필요가 있다.
그 결과, 허브 부재에 스케일 판을 접착 고정할 때, 비어져 나온 접착제가 타고 올라와, 스케일 판의 표면을 오염시키는 일이 있다. 이 경우, 고반사부와 저반사부로 구성되는 패턴으로부터 반사되는 광의 광량의 차이가 변화하기 때문에, 모터의 회전 각도 및 회전 속도의 검출 정밀도를 악화시킨다는 문제점이 있었다.
본원은 상기와 같은 과제를 해결하기 위한 기술을 개시하는 것으로서, 스케일판 위의 패턴 위에 접착제가 부착되지 않도록 하여, 모터의 회전 각도 및 회전 속도의 검출 정밀도를 높일 수 있는 반사형 광학식 인코더 및 모터, 및 반사형 광학식 인코더의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본원에 개시되는 반사형 광학식 인코더는 회전축에 장착된 허브 부재와, 상기 허브 부재에 접착제에 의해 고정되는 동시에, 표면에 광의 반사율이 높은 고반사부와 광의 반사율이 낮은 저반사부로 구성되는 패턴을 갖는 원형형의 스케일 판과, 상기 스케일 판의 상기 표면에 광을 조사하는 투광부와, 상기 스케일 판에 마련된 상기 패턴에 있어서 반사된 반사광을 수광하는 수광부를 구비한 것으로서,
상기 허브 부재의 외주부에 단차가 마련되며, 상기 스케일 판의 외경은, 상기 허브 부재에 있어서의 상기 스케일 판과 상기 허브 부재의 접착면의 최외주부에 있어서의 외경보다 큰 것이다.
또한, 본원에 개시되는 반사형 광학식 인코더의 제조 방법은, 회전축에 장착된 허브 부재와, 상기 허브 부재에 접착제에 의해 고정되는 동시에, 표면에 광의 반사율이 높은 고반사부와 광의 반사율이 낮은 저반사부로 구성되는 패턴을 갖는 원형형의 스케일 판을 구비하고,
상기 허브 부재의 외주부에 단차가 마련되며, 상기 허브 부재의 외경인 상기 단차의 단부의 외경은 상기 스케일 판의 외경보다 크고, 상기 스케일 판의 외경은, 상기 허브 부재에 있어서의 상기 스케일 판과 상기 허브 부재의 접착면의 최외주부에 있어서의 외경보다 큰, 반사형 광학식 인코더의 제조 방법에 있어서,
상기 스케일 판을 금속의 롤재로부터 성형하는 공정과,
흡착면을 갖는 스케일 탑재 장치의 상기 흡착면에 상기 롤재로 성형된 상기 스케일 판을 흡착시키는 공정과,
상기 허브 부재의 상기 접착면에 상기 접착제를 도포하는 공정과,
상기 접착제가 도포된 상기 접착면으로부터 미리 정해진 거리만큼 이격된 위치에 상기 스케일 판을 상기 스케일 탑재 장치에 의해 이동시켜 상기 접착제를 압궤하는 공정과,
상기 접착제를 경화시키는 공정을 구비한 것이다.
본원에 개시되는 반사형 광학식 인코더 및 모터, 및 반사형 광학식 인코더의 제조 방법에 의하면, 허브 부재에 단차를 마련한 것에 의해, 허브 부재의 접착면과, 광의 반사율이 높은 고반사부와 광의 반사율이 낮은 저반사부로 구성되는 패턴을 갖는 원형형의 스케일 판 사이로부터 넘친 접착제가 허브 부재의 단차에 저류되어, 접착제가 단차를 갖는 허브 부재와 원형형의 스케일 판의 사이로부터 비어져 나오지 않는다. 따라서, 허브 부재에 스케일 판을 접착한 경우라도 패턴 위에 접착제가 부착되지 않고, 안정되게 모터의 회전 각도, 회전 속도를 검출할 수 있다.
도 1은 실시형태 1에 의한 반사형 광학식 인코더의 전체 구성을 도시하는 단면도이다.
도 2는 실시형태 1에 의한 반사형 광학식 인코더의 전체 구성을 도시하는 단면도이다.
도 3은 실시형태 1에 의한 스케일 판을 도시하는 평면도이다.
도 4a는 스케일 판을 도시하는 평면도이다.
도 4b는 스케일 판을 도시하는 평면도이다.
도 5는 실시형태 1에 의한 반사형 광학식 인코더의 제조 방법의 일 예를 도시하는 도면이다.
도 6은 실시형태 1에 의한 반사형 광학식 인코더의 제조 방법의 일 예를 도시하는 도면이다.
도 7은 실시형태 1에 의한 반사형 광학식 인코더의 제조 방법의 일 예를 도시하는 도면이다.
도 8은 실시형태 1에 의한 반사형 광학식 인코더의 제조 방법의 일 예를 도시하는 도면이다.
도 9는 실시형태 1에 의한 반사형 광학식 인코더의 제조 방법의 일 예를 도시하는 도면이다.
도 10은 실시형태 1에 의한 인코더부를 도시하는 단면도이다.
도 11은 도 10에 있어서의 A부 확대도이다.
도 12는 스케일 판 및 허브 부재의 단부를 도시하는 확대 단면도이다.
도 13은 실시형태 2에 의한 반사형 광학식 인코더에 있어서의 스케일 판 및 허브 부재의 단부를 도시하는 확대 단면도이다.
도 14는 실시형태 3에 의한 반사형 광학식 인코더에 있어서의 스케일 판 및 허브 부재의 단부를 도시하는 확대 단면도이다.
도 15는 실시형태 4에 의한 반사형 광학식 인코더에 있어서의 스케일 판 및 허브 부재의 단부를 도시하는 확대 단면도이다.
실시형태 1
이하 실시형태 1을 도면에 근거하여 설명한다. 도 1은 실시형태 1에 의한 반사형 광학식 인코더의 전체 구성을 도시하는 단면도이다. 반사형 광학식 인코더(1)는 모터(12)에 장착되어 있다. 또한, 반사형 광학식 인코더(1)는 모터(12)의 모터 회전축(13)에 접속된 회전축(11)과, 회전축(11)에 장착된 허브 부재(8)에 고정되는 원형형의 스케일 판(5)과, 광(6)을 조사하는 투광부(41)에서 반사광을 수광하는 수광부(42)와, 발전 소자(3)가 장착된 기판(2)과, 기판(2)을 장착한 하우징(9)과, 하우징(9)과 회전축(11)이 장착된 하우징(10)을 갖고 있다.
허브 부재(8)에는 자성이 부여되어 있다. 허브 부재(8)로의 자성의 부여 방법으로서, 허브 부재(8)의 이면에 자석(38)을 고정하는 것을 고려할 수 있다. 또한, 자석(38)을 원형형의 스케일 판(5)과 허브 부재(8) 사이에 배치하여도 좋다. 이 경우, 허브 부재(8)와 자석(38)을 고정하는 공정을 생략할 수 있기 때문에, 생산 효율의 향상을 도모할 수 있다. 또한, 자석(38)을 허브 부재(8)의 형으로 성형하는 것에 의해, 자석(38)이 허브 부재(8)의 기능을 갖기 때문에, 구성하는 부품 점수를 삭감할 수 있어서, 생산 효율을 향상시킬 수 있다. 또한, 허브 부재(8)로서 황동, 또는 스테인리스, 또는 탄소강 등의 금속의 예를 들면. 도 2에 도시하는 바와 같은 원통형 형상의 제 2 허브 부재(8B)를 자성의 제 1 허브 부재(8A)와 일체로 형성하고, 제 2 허브 부재(8B)를 거쳐서 회전축(11)과 제 1 허브 부재(8A)를 고정하는 것도 고려할 수 있으며, 이에 의해 허브 부재(8)의 강성을 높일 수 있다.
허브 부재(8)의 재료로서는, 플라스틱 재료 등에 자성 입자를 함유 후, 분산시켜 형성되는 것이 바람직하며, 사출 성형에 의해 허브 부재(8)를 용이하게 여러가지 형상으로 할 수 있다. 단, 허브 부재(8)는 플라스틱 재료 등에 자성 입자를 함유시켜 형성하는 것으로 한정되지 않으며, 페라이트, 알니코(alnico)(Al-Ni-Co), 또는 희토류로 형성하여도 좋다.
도 3은 실시형태 1에 의한 스케일 판을 도시하는 평면도이다. 도 3에 도시하는 바와 같이, 스케일 판(5)은 원형이며, 표면측에 투광부(41)로부터 조사된 광(6)을 높은 반사율로 반사하는 고반사부(141)와, 투광부(41)로부터 조사된 광(6)을 낮은 반사율로 반사하는 저반사부(142)로 구성되는 원형형의 패턴(14)을 갖고 있다. 이 패턴(14)에 있어서, 고반사부(141)와 저반사부(142)의 구성은 규칙적으로 나열하도록 하여도, 혹은 랜덤으로 나열하도록 하여도 좋다.
또한, 원형형의 패턴(14)의 내경측 또는 외경측에 패턴(14)과는 상이한 구성으로 고반사부와 저반사부가 형성된 다른 패턴을 마련하도록 하여도 좋다.
반사형 광학식 인코더(1)에서는, 회전축(11)의 회전시에 투광부(41)로부터 나온 광(6)을, 광의 반사율이 높은 고반사부(141)와 광의 반사율이 낮은 저반사부(142)로 구성되는 패턴(14)으로 반사하고, 반사된 광의 광량의 차이를 수광부(42)에서 검출하는 것에 의해, 회전 각도 및 회전 속도를 검출한다. 또한, 허브 부재(8)로부터 방출되는 자력의 방향의 변화에 의해 발전 소자(3)가 발전하는 것에 의해 기준 위치로부터의 회전한 수인 회전수를 검출한다. 회전축(11)은 모터(12)의 모터 회전축(13)과 함께 회전한다. 그 때문에, 반사형 광학식 인코더(1)는 회전축(11)의 회전 각도, 회전수, 회전 속도를 검출하는 것에 의해, 모터(12)의 모터 회전축(13)의 회전 각도, 회전수, 회전 속도를 검출할 수 있으며, 데이터로서 출력할 수 있다.
도 4a 및 도 4b는 스케일 판을 도시하는 평면도이며, 도 4a는 패턴을 중심으로부터 가까운 위치에 배치한 경우, 도 4b는 패턴을 중심으로부터 먼 위치에 배치한 경우를 도시하고 있다. 도 4b에 도시하는 바와 같이, 도 4a의 경우에 비해 패턴(14)을 회전축(11)의 회전 중심 P로부터 이격되는 방향 D로 배치하는 것에 의해, 광의 반사율이 높은 고반사부(141)와 광의 반사율이 낮은 저반사부(142)의 수를 증가시킬 수 있다. 이에 의해 분해 가능을 향상시킬 수 있기 때문에, 반사형 광학식 인코더(1)의 성능을 향상시킬 수 있다.
광의 반사율이 높은 고반사부(141)와 광의 반사율이 낮은 저반사부(142)로 구성되는 패턴(14)을 갖는 원형형의 스케일 판(5)은 허브 부재(8)에 접착하는 것에 의해 고정된다.
다음에 광의 반사율이 높은 고반사부(141)와 광의 반사율이 낮은 저반사부(142)로 구성되는 패턴(14)을 갖는 원형형의 스케일 판(5)과 허브 부재(8)의 접착 방법에 대해 이하 설명한다.
도 5 내지 도 9는 본 실시형태에 따른 반사형 광학식 인코더(1)의 제조 방법의 일 예를 도시하는 도면이다. 도 5에 있어서, 원형형의 스케일 판(5)은 두께 0.05㎜ 내지 0.2㎜의 금속의 롤재(15)로 성형된다. 금속으로서는, 스테인리스인 SUS303이어도, SUS304이어도 좋다. 또한, 사용하는 재료를 삭감하는 것에 의해, 염가로 패턴(14)을 갖는 원형형의 스케일 판(5)을 제조할 수 있기 때문에, 두께는 0.1㎜ 이하가 바람직하다. 원형형의 스케일 판(5)의 표면에는, 에칭 가공 등에 의해 반사율을 저하시키는 처리를 한 저반사부(142)와, 경면 가공 등에 의해 광의 반사율을 향상시키는 처리를 한 고반사부(141)로 구성되는 패턴(14)이 성형된다.
패턴(14)에는 허브 부재(8)의 중심 위치와의 위치 관계를 조정하기 위해, 패턴(14)의 내경측, 또는 외경측에 원형형의 얼라인먼트 패턴(143)을 갖는다. 패턴 원형형의 스케일 판(5)은 금속의 롤재(15)로부터 성형하고 있기 때문에, 원형형의 스케일 판(5)에는 반경 0.5㎜ 이하의 휨이 발생하고 있다. 광의 반사율이 높은 고반사부(141)와 광의 반사율이 낮은 저반사부(142)로 구성되는 패턴(14)을 갖는 원형형의 스케일 판(5)은 유리판, 또는 수지판의 표면에 금속을 증착하여 구성할 수도 있다. 또한, 패턴(14)의 최외주부(14E)의 외경(도 3의 E2)은 허브 부재(8)의 접착면(17)의 최외주부(17E)에 있어서의 외경(도 11 참조)보다 작게 되어 있다. 원형형의 패턴(14)을 갖는 원형형의 스케일 판(5)을 허브 부재(8)에 접착했을 때, 원형형의 패턴(14)이 배치되어 있는 원형형의 스케일 판(5)의 이면이 허브 부재(8)의 접착면(17)에 접착제(19)로 고정된다.
도 6 내지 도 9는 접착 방법을 도시하는 단면도이다. 도 6에 있어서, 허브 부재(8)의 접착면(17)에 디스펜서(18)로 접착제(19)를 도포한다. 다음에 도 7에 도시하는 바와 같이, 원형형의 스케일 판(5)을 스케일 탑재 장치(100)에 흡착시켜, 허브 부재(8)의 상방에 배치한다. 이 때 원형형의 스케일 판(5)을 흡착하고, 스케일 탑재 장치(100)의 흡착면(101)에 밀착시키는 것에 의해, 원형형의 스케일 판(5)의 성형시에 발생한 휨을 저감시킬 수 있다. 그 후 도 8에 도시하는 바와 같이, 원형형의 스케일 판(5)의 얼라인먼트 패턴(143)의 중심 위치를 센서(21)에서 검출하고, 허브 부재(8)의 중심 위치에 맞추도록 원형형의 스케일 판(5)을 이동시킨다. 센서(21)에 의한 중심 위치의 검출로서는, 카메라에 의한 화상 처리가 바람직하다.
또한, 원형형의 스케일 판(5)의 이면으로부터 허브 부재(8)의 접착면(17)까지의 거리가 미리 정해진 거리인 0.03㎜ 내지 0.25㎜가 되는 위치에 이동시킨다. 이 때, 원형형의 스케일 판(5)은 접착제(19)를 압궤하면서 이동한다. 그 후, 도 9에 도시하는 바와 같이, 접착제(19)를 경화시키는 것에 의해, 광의 반사율이 높은 고반사부(141)와 광의 반사율이 낮은 저반사부(142)로 구성되는 패턴(14)을 갖는 원형형의 스케일 판(5)을 허브 부재(8)에 고정한다. 여기에서 사용되는 접착제의 경화 방식으로서는, 가열 경화형, 자외선 경화형, 경화제 혼합형, 혐기성 경화형(anaerobic curing type), 감압형, 열용융형, 또는 이들 경화 방식이 복합된 접착제를 사용할 수 있다. 접착제의 취급 및 경화에 필요로 하는 시간이 짧은 것, 또한, 경화 방법의 간편함의 관점에서, 자외선 경화형, 또는 다른 경화형과 자외선 경화형의 복합된 접착제의 사용이 바람직하다. 이에 의해, 스케일 판(5)을 허브 부재(8)에 신속하게 접착시킬 수 있다.
이상의 접착 방법에 의해 허브 부재(8)에 고정된 원형형의 스케일 판(5), 회전축(11), 투광부(41), 수광부(42), 발전 소자(3)가 장착된 기판(2), 하우징(9), 하우징(10)을 조합하는 것에 의해, 반사형 광학식 인코더(1)를 조립할 수 있다.
도 10은 인코더부를 도시하는 단면도이며, 도 11은 도 10에 있어서의 A부 확대도로서, 스케일 판 및 허브 부재의 단부 확대도이다. 도 11에 도시하는 바와 같이, 허브 부재(8)는 외주부에 단차(23)를 갖고 있다. 원형형의 스케일 판(5)과 허브 부재(8)의 접착에 있어서, 이 단차(23)의 단부(24)의 외경은 패턴(14)을 갖는 원형형의 스케일 판(5)의 외경(E1)(도 3 참조)보다 커지도록 구성한다. 이에 의해, 도 11에 도시하는 바와 같이, 접착제(19)를 원형형의 스케일 판(5)으로 압궤했을 때에, 접착면(17)으로부터 넘친 접착제(19)가 단차(23)에 저류되기 때문에, 원형형의 스케일 판(5)으로부터의 접착제(19)의 비어져 나옴을 방지할 수 있다. 또한, 접착면(17)의 최외주부(17E)에 있어서의 외경은 패턴(14)의 최외주부(14E)의 외경(E2)(도 3 참조)보다 크다. 또한, 도 11로부터 명확한 바와 같이, 스케일 판(5)의 외경(E1)은 접착면(17)의 최외주부(17E)에 있어서의 외경보다 크다.
도 12는 단차를 마련하지 않는 경우의 스케일 판 및 허브 부재의 단부를 도시하는 확대 단면도이다. 도 12에 있어서는, 패턴(14)을 갖는 원형형의 스케일 판(5)과 허브 부재(8)의 사이로부터 접착제(19)가 비어져 나와, 패턴(14)에 부착되는 것을 회피하기 위해, 패턴(14X)를 원형형의 스케일 판(5)의 회전 중심에 가까운 방향(B)으로 이동시켜 배치할 필요가 생긴다(14Y). 이에 대하여 도 11에 도시하는 바와 같은 구조에 있어서는, 광의 반사율이 높은 고반사부(141)와 광의 반사율이 낮은 저반사부(142)로 구성되는 패턴(14)을, 회전 중심으로부터 먼 위치에 배치할 수 있다. 이에 의해, 회전 각도, 회전 속도를 검출할 수 있는 분해 가능을 향상시킬 수 있기 때문에, 반사형 광학식 인코더(1)의 성능을 향상시킬 수 있다.
또한, 허브 부재(8)의 외경을 스케일 판(5)의 외경보다 크게 하는 것에 의해, 허브 부재(8)에 대해 스케일 판(5)의 위치를 조정하여 조립하는 경우에, 스케일 판(5) 및 허브 부재(8)의 외주를 둘러싸도록 배치되어 있는 하우징(9)과 허브 부재(8)의 간극을 안정적으로 작게(0.1㎜ 이하) 하는 것이 가능해진다. 또한, 허브 부재(8)의 측면에 접착제가 비어져 나오지 않기 때문에, 안정되게 허브 부재(8)와 하우징(9)의 간극을 작게(0.1㎜ 이하) 할 수 있다. 따라서, 회전축(11) 및 허브 부재(8)의 이면으로부터 발생한 이물이 원형형의 스케일 판(5)의 상면의 패턴(14)에 부착되는 것을 방지할 수 있기 때문에, 반사형 광학식 인코더(1)의 신뢰성이 향상된다. 또한, 허브 부재(8)를 크게 하는 것에 의해, 허브 부재(8)에 부여하는 자성을 높일 수 있다. 따라서, 외란에 강한 안정된 자력을 발전 소자(3)에 인가할 수 있어서, 충분한 발전량을 확보할 수 있기 때문에, 반사형 광학식 인코더(1)의 신뢰성이 향상된다.
이상과 같이 본 실시형태에 의하면, 허브 부재(8)에 단차(23)를 마련한 것에 의해, 허브 부재(8)의 접착면과, 광의 반사율이 높은 고반사부(141)와 광의 반사율이 낮은 저반사부(142)로 구성되는 패턴(14)을 갖는 원형형의 스케일 판(5)의 사이로부터 넘친 접착제(19)가 허브 부재(8)의 단차(23)에 저류되고, 접착제(19)가 단차(23)를 갖는 허브 부재(8)와 원형형의 스케일 판(5)의 사이로부터 비어져 나오지 않는다. 따라서, 허브 부재(8)에 스케일 판(5)을 접착한 경우라도 패턴(14) 위에 접착제(19)를 부착하지 않고, 안정되게 모터(12)의 회전 각도, 회전 속도를 검출할 수 있다.
또한, 허브 부재(8)의 외경을 스케일 판(5)의 외경보다 크게 하는 것에 의해, 허브 부재(8)에 대해 스케일 판(5)을 위치 조정하여 조립하는 경우에 안정되게 하우징(9)과 허브 부재(8)의 간극을 작게(0.1㎜ 이하) 하는 것이 가능해져, 이물에 의한 패턴(14)의 오염을 방지할 수 있다.
또한, 허브 부재(8)의 외경을 크게 하는 것에 의해, 자력을 확보할 수 있어서, 발전 소자(3)와의 사이에 거리가 있는 경우, 또한 외란이 있는 경우라도 충분한 발전량을 확보할 수 있다. 따라서, 염가로 패턴판을 제작할 수 있게 된다.
실시형태 2
도 13은 실시형태 2에 의한 반사형 광학식 인코더에 있어서의 스케일 판 및 허브 부재의 단부를 도시하는 확대 단면도이다. 또한, 반사형 광학식 인코더의 기본 구성, 및 그 제조 방법은 실시형태 1과 마찬가지이다.
본 실시형태에 있어서는, 도 13에 도시하는 바와 같이, 단차(23)의 단부(24)에 있어서의 접착면(17)을 갖는 방향 C로 볼록부(30)를 마련한 것이다. 자외선 경화형의 접착제(19)를 사용하는 경우, 볼록부(30)가 접착면(17)보다 상방향으로 높으면, 접착제(19)에 자외선을 조사하는 것이 곤란해진다. 즉, 접착제(19)의 미경화부가 발생하여, 접착 강도의 저하가 염려된다. 그 때문에 접착제(19)에 효율적으로 자외선을 조사하기 위해, 단차(23)의 단부(24)에 있어서의 볼록부(30)의 높이는 접착면(17)보다 낮은 것이 바람직하다.
원형형의 스케일 판(5)의 접착시에 있어서, 허브 부재(8)가 경사져 설치되어 있는 경우, 접착면(17)으로부터 비어져 나온 접착제(19)가 단차(23)에 저류되지만, 시간의 경과와 함께 허브 부재(8)가 경사져 있는 방향으로 접착제(19)가 유동할 가능성이 있다. 즉, 접착제(19)가 허브 부재(8)로부터 비어져 나올 가능성이 있다. 그래서, 단차(23)의 단부(24)에 볼록부(30)를 마련하는 것에 의해, 허브 부재(8)가 경사져 장치 위에 설치되고, 원형형의 스케일 판(5)과 허브 부재(8)의 사이로부터 비어져 나온 접착제(19)가 시간 경과와 함께 유동하여도, 단차(23)에 있어서의 볼록부(30)에서 접착제(19)의 흐름이 멈추기 때문에, 허브 부재(8)로부터 접착제(19)가 비어져 나오는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 반사형 광학식 인코더(1)를 안정적으로 생산할 수 있다.
실시형태 3
도 14는 실시형태 3에 의한 반사형 광학식 인코더에 있어서의 스케일 판 및 허브 부재의 단부를 도시하는 확대 단면도이다. 또한, 반사형 광학식 인코더의 기본 구성 및 그 제조 방법은 실시형태 1과 마찬가지이다.
본 실시형태에 있어서는, 도 14에 도시하는 바와 같이, 허브 부재(8) 및 스케일 판(5)의 외주를 둘러싸도록 배치된 하우징(9)과 허브 부재(8) 사이에 래버린스 구조(labyrinth structure)(36)를 마련하는 것이다. 래버린스 구조(36)는 하우징(9)에 홈을 마련하고, 이물이 홈에 들어가기 쉬운 구조로 하여도 좋다. 그 외에 래버린스 구조로서는 어떠한 형상이어도 좋다.
래버린스 구조(36)를 마련하는 것에 의해, 회전축(11) 및 허브 부재(8)의 이면으로부터 발생한 이물이 원형형의 스케일 판(5)의 상면에 마련된 패턴(14)에 부착되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 반사형 광학식 인코더(1)의 신뢰성이 향상된다. 또한, 허브 부재(8)의 직경을 크게 하는 것에 의해, 허브 부재(8)에 부여하는 자성을 더욱 높일 수 있다. 따라서, 외란에 강한 안정된 자력을 발전 소자(3)에 인가할 수 있어서, 충분한 발전량을 확보할 수 있기 때문에, 반사형 광학식 인코더(1)의 신뢰성이 향상된다.
또한, 실시형태 2에 나타낸 돌기부를 마련하는 동시에 본 실시형태에 의한 래버린스 구조를 채용하여도 좋다.
실시형태 4
도 15는 실시형태 4에 의한 반사형 광학식 인코더에 있어서의 스케일 판 및 허브 부재의 단부를 도시하는 확대 단면도이다. 또한, 반사형 광학식 인코더의 기본 구성 및 그 제조 방법은 실시형태 1과 마찬가지이다. 본 실시형태에 있어서는, 도 15에 도시하는 바와 같이, 허브 부재(8)의 단차(23)에 있어서, 접착면(17)의 외주측에 곡면부(37)를 마련한 것이다. 곡면부(37)의 곡률 반경은 예를 들어 0.1㎜로 구성할 수 있다.
원형형의 스케일 판(5)으로 접착제(19)를 압궤했을 때에, 접착제(19)의 유동은 표면 장력에 의해 코너부에서 멈추기 쉽다. 즉, 원형형의 스케일 판(5)의 코너부 또는 허브 부재(8)의 접착면(17)의 코너부에서 접착제(19)의 유동이 멈추기 쉽기 때문에, 안정되게 단차(23)로 접착제(19)를 유도할 수가 없을 가능성이 있다. 거기서 허브 부재(8)의 접착면(17)의 코너부를 원호형상이 되도록 제거하는 것에 의해, 안정적으로 접착제(19)를 허브 부재(8)의 단차(23)로 유도할 수 있다. 따라서, 원형형의 스케일 판(5)의 상면에 마련된 패턴(14)으로의 접착제(19)의 타고 올라오는 것을 억제할 수 있으므로, 반사형 광학식 인코더(1)를 안정적으로 생산할 수 있다.
또한, 도 15에 있어서는, 실시형태 1의 구성에 곡면부(37)를 마련한 예에 대해 설명했지만, 실시형태 2, 3의 구성에 곡면부(37)를 마련하도록 하여도 좋다.
또한, 상기 실시형태 1 내지 4에 있어서는, 반사형 광학식 인코더에 대해 설명했지만, 투과형의 인코더, 즉 디스크를 사이에 두고 광원과 수광 어레이를 마련한 구조에 상기 실시형태 1 내지 4에 나타낸 구성을 채용시켜도 좋다.
또한, 본원은 여러 가지 예시적인 실시형태 및 실시예가 기재되어 있지만, 1개, 또는 복수의 실시형태에 기재된 여러 가지 특징, 태양, 및 기능은 특정의 실시형태의 적용에 한정되는 것이 아니며, 단독, 또는 여러 가지 조합으로 실시형태에 적용 가능하다.
따라서, 예시되어 있지 않은 무수한 변형예가 본원에 개시되는 기술의 범위 내에서 상정된다. 예를 들면, 적어도 1개의 구성 요소를 변형하는 경우, 추가하는 경우 또는 생략하는 경우, 또한 적어도 1개의 구성 요소를 추출하고, 다른 실시형태의 구성 요소와 조합하는 경우가 포함되는 것으로 한다.
1: 반사형 광학식 인코더 3: 발전 소자
5: 스케일 판 6: 광
8: 허브 부재 9: 하우징
11: 회전축 14: 패턴
15: 롤재 17: 접착면
19: 접착제 21: 센서
23: 단차 24: 단부
30: 볼록부 36: 래버린스 구조
37: 곡면부 41: 투광부
42: 수광부 100: 스케일 탑재 장치
101: 흡착면 141: 고반사부
142: 저반사부 143: 얼라인먼트 패턴

Claims (14)

  1. 회전축에 장착된 허브 부재와,
    상기 허브 부재에 접착제에 의해 고정되는 동시에, 표면에 광의 반사율이 높은 고반사부와 광의 반사율이 낮은 저반사부로 구성되는 패턴을 갖는 원형형의 스케일 판과,
    상기 스케일 판의 상기 표면에 광을 조사하는 투광부와,
    상기 스케일 판에 마련된 상기 패턴에서 반사한 반사광을 수광하는 수광부를 구비한 반사형 광학식 인코더에 있어서,
    상기 허브 부재의 외주부에 단차가 마련되며,
    상기 스케일 판의 외경은, 상기 허브 부재에 있어서의 상기 스케일 판과 상기 허브 부재의 접착면의 최외주부에 있어서의 외경보다 큰
    반사형 광학식 인코더.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 허브 부재의 외경인 상기 단차의 단부의 외경은 상기 스케일 판의 외경보다 큰
    반사형 광학식 인코더.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 접착면의 최외주부에 있어서의 외경이 상기 패턴의 최외주부에 있어서의 외경보다 큰
    반사형 광학식 인코더.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 허브 부재는 자성을 가지며,
    상기 허브 부재로부터 방출되는 자력의 변화에 의해 발전하는 발전 소자를 더 구비한
    반사형 광학식 인코더.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 스케일 판의 재질은 스테인리스인
    반사형 광학식 인코더.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 접착제는 자외선 경화형의 접착제인
    반사형 광학식 인코더.
  7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 허브 부재는 자성 입자가 플라스틱 재료에 분산되어 있는 것인
    반사형 광학식 인코더.
  8. 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 단차의 단부에 볼록부를 마련한
    반사형 광학식 인코더.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 볼록부의 높이는 상기 접착면보다 낮은
    반사형 광학식 인코더.
  10. 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 허브 부재의 외주를 둘러싸도록 배치된 하우징과 상기 허브 부재 사이에 래버린스 구조를 마련한
    반사형 광학식 인코더.
  11. 제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 접착면의 외주측에 곡면부를 마련한
    반사형 광학식 인코더.
  12. 제 1 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 기재된 상기 반사형 광학식 인코더를 구비한
    모터.
  13. 회전축에 장착된 허브 부재와,
    상기 허브 부재에 접착제에 의해 고정되는 동시에, 표면에 광의 반사율이 높은 고반사부와 광의 반사율이 낮은 저반사부로 구성되는 패턴을 갖는 원형형의 스케일 판을 구비하고,
    상기 허브 부재의 외주부에 단차가 마련되며, 상기 허브 부재의 외경인 상기 단차의 단부의 외경은 상기 스케일 판의 외경보다 크고, 상기 스케일 판의 외경은, 상기 허브 부재에 있어서의 상기 스케일 판과 상기 허브 부재의 접착면의 최외주부에 있어서의 외경보다 큰, 반사형 광학식 인코더의 제조 방법에 있어서,
    상기 스케일 판을 금속의 롤재로부터 성형하는 공정과,
    흡착면을 갖는 스케일 탑재 장치의 상기 흡착면에 상기 롤재로부터 성형된 상기 스케일 판을 흡착시키는 공정과,
    상기 허브 부재의 상기 접착면에 상기 접착제를 도포하는 공정과,
    상기 접착제가 도포된 상기 접착면으로부터 미리 정해진 거리만큼 이격된 위치에 상기 스케일 판을 상기 스케일 탑재 장치에 의해 이동시켜 상기 접착제를 압궤하는 공정과,
    상기 접착제를 경화시키는 공정을 구비한
    반사형 광학식 인코더의 제조 방법.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 스케일 판은 상기 패턴의 내경측 또는 외경측에 원형형의 얼라인먼트 패턴을 더 가지며,
    상기 접착제를 압궤하는 공정에 있어서, 상기 얼라인먼트 패턴의 중심 위치를 센서에서 검출하고, 상기 허브 부재의 중심 위치에 맞추도록 상기 스케일 판을 상기 스케일 탑재 장치에 의해 이동시키는
    반사형 광학식 인코더의 제조 방법.
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112368550B (zh) * 2018-07-17 2023-03-28 三菱电机株式会社 反射型光学式编码器及马达以及反射型光学式编码器的制造方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61243309A (ja) * 1985-04-19 1986-10-29 Nippon Kogaku Kk <Nikon> 変位測定装置
JP2009121958A (ja) * 2007-11-15 2009-06-04 Mitsuba Corp ロータリエンコーダ、およびブラシレスモータ
WO2013114567A1 (ja) * 2012-01-31 2013-08-08 株式会社安川電機 エンコーダ、エンコーダ製造方法、駆動装置
JP2014130104A (ja) 2012-12-28 2014-07-10 Yaskawa Electric Corp エンコーダ及びエンコーダ付きモータ
JP2015090305A (ja) * 2013-11-05 2015-05-11 株式会社安川電機 エンコーダ
WO2017126339A1 (ja) * 2016-01-18 2017-07-27 株式会社ニコン エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、及びロボット装置

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10056947A1 (de) * 2000-11-17 2002-05-23 Optolab Licensing Gmbh Verfahren und Anordnung zur Montage von Messsystemen
US7449676B2 (en) * 2004-05-24 2008-11-11 Pwb-Ruhlatec Industrieprodukte Gmbh Method for assembling an optical transducer element, and optical transducer element assembled by the method
JP4877573B2 (ja) * 2005-10-28 2012-02-15 株式会社ニコン エンコーダディスクおよびエンコーダ
JP2007309692A (ja) * 2006-05-16 2007-11-29 Ntn Corp 光学式エンコーダ及び回転センサ付き軸受ユニット
WO2008155897A1 (ja) * 2007-06-19 2008-12-24 Ntn Corporation 回転速度検出装置付き車輪用軸受装置
US8704157B2 (en) * 2009-04-14 2014-04-22 Mitsubishi Electric Corporation Optical rotary encoder and manufacturing method thereof
JP5812246B2 (ja) 2010-08-30 2015-11-11 キヤノン株式会社 ロータリエンコーダの製造方法
WO2013100061A1 (ja) * 2011-12-28 2013-07-04 株式会社ニコン エンコーダ、エンコーダ用スケールの製造方法、エンコーダの製造方法及び駆動装置
CN104620081A (zh) * 2012-09-26 2015-05-13 株式会社安川电机 编码器、编码器的制造方法、伺服系统
WO2014049744A1 (ja) 2012-09-26 2014-04-03 株式会社安川電機 エンコーダ及びモータ
WO2016010141A1 (ja) 2014-07-18 2016-01-21 株式会社ニコン エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、及びロボット装置
JP6301765B2 (ja) * 2014-07-25 2018-03-28 アスモ株式会社 ランデル型ロータ及びランデル型モータ
JP6482394B2 (ja) * 2015-06-15 2019-03-13 三菱電機株式会社 光学式エンコーダ
FR3069319B1 (fr) * 2017-07-18 2020-10-23 Ntn Snr Roulements Systeme de determination de la position d'un organe
CN112368550B (zh) 2018-07-17 2023-03-28 三菱电机株式会社 反射型光学式编码器及马达以及反射型光学式编码器的制造方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61243309A (ja) * 1985-04-19 1986-10-29 Nippon Kogaku Kk <Nikon> 変位測定装置
JP2009121958A (ja) * 2007-11-15 2009-06-04 Mitsuba Corp ロータリエンコーダ、およびブラシレスモータ
WO2013114567A1 (ja) * 2012-01-31 2013-08-08 株式会社安川電機 エンコーダ、エンコーダ製造方法、駆動装置
JP2014130104A (ja) 2012-12-28 2014-07-10 Yaskawa Electric Corp エンコーダ及びエンコーダ付きモータ
JP2015090305A (ja) * 2013-11-05 2015-05-11 株式会社安川電機 エンコーダ
WO2017126339A1 (ja) * 2016-01-18 2017-07-27 株式会社ニコン エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、及びロボット装置

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